JP2814726B2 - Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method - Google Patents

Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、移載ヘッドのノズルに吸着されたチップの
θ補正を精密に行って基板に実装する電子部品実装装置
及び電子部品実装方法に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method for precisely performing θ correction of a chip adsorbed on a nozzle of a transfer head and mounting the chip on a substrate. Things.

(従来の技術) 第4図は、従来の電子部品実装装置を示すものであっ
て、101はロータリーヘッド、102はロータリーヘッド10
1に垂設された移載ヘッド、103はチップPを吸着するノ
ズル、104はチップPのθ方向(ノズル103の軸心を中心
とする回転方向)の位置ずれを補正するために、ノズル
103をθ方向に回転させるモータ、105はベルト、106は
基板107が配設されたXY方向移動装置である。
(Prior Art) FIG. 4 shows a conventional electronic component mounting apparatus, in which 101 is a rotary head, and 102 is a rotary head 10.
A transfer head vertically mounted on 1, a nozzle 103 for sucking the chip P, and a nozzle 104 for correcting a positional shift of the chip P in the θ direction (a rotation direction about the axis of the nozzle 103).
A motor for rotating 103 in the θ direction, a belt 105, and an XY direction moving device 106 on which a substrate 107 is disposed.

この装置は、ロータリーヘッド101がインデックス回
転することにより、ノズル103によりチップ供給部(図
外)のチップPを吸着してテイクアップし、基板107に
移送搭載する。チップ供給部とXY方向移動装置106の間
には、ノズル103に吸着されたチップPのXYθ方向の位
置ずれを観察する観察装置(図外)が設けられており、
その観察結果に基いて、XY方向の位置ずれはXY方向移動
装置106を駆動して基板107を同方向に同量だけ移動させ
ることにより補正し、またθ方向の位置ずれは、モータ
104を駆動してノズル103を回転させることにより補正す
るようになっている。
In this apparatus, when the rotary head 101 performs index rotation, the nozzle P sucks and takes up the chip P in the chip supply unit (not shown) and transfers the chip P to the substrate 107. Between the chip supply unit and the XY direction moving device 106, an observation device (not shown) for observing the displacement of the chip P sucked by the nozzle 103 in the XYθ direction is provided.
Based on the observation results, the displacement in the XY direction is corrected by driving the XY direction moving device 106 to move the substrate 107 by the same amount in the same direction.
The correction is performed by driving the nozzle 104 to rotate the nozzle 103.

(発明が解決しようとする課題) ところで、モータ104の最小回転角度には限界があ
り、したがって微小なθ補正を行えるようにするために
は、ベルト105が調帯されたプーリのプーリ比を大きく
して、モータ104の回転速度を十分に減速しなければな
らない。しかしながらこのようにプーリ比を大きくする
と、ノズル103の回転速度が低下してそれだけ実装能率
が低下し、またベルト105が伸びやすくなって実装精度
が低下しやすく、更にはモータ104の容量を大きくしな
ければならないため、装置が大型重量化する問題があっ
た。かかる問題は、ベルトやプーリに換えて、ギヤ等の
他の減速手段によりモータ104の回転をノズル103に伝動
する場合も同様に生じる。またかかる問題は、移載ヘッ
ドを多数個装備したロータリーヘッド式の電子部品実装
装置に限らず、移載ヘッドをXY方向に移動させてチップ
供給部のチップを基板に移送搭載する方式の電子部品実
装装置の場合にも同様に生じる。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, there is a limit to the minimum rotation angle of the motor 104. Therefore, in order to perform a minute θ correction, the pulley ratio of the pulley on which the belt 105 is tuned must be increased. Thus, the rotation speed of the motor 104 must be sufficiently reduced. However, when the pulley ratio is increased in this manner, the rotation speed of the nozzle 103 is reduced and the mounting efficiency is reduced accordingly, and the belt 105 is easily stretched and the mounting accuracy is easily lowered, and further, the capacity of the motor 104 is increased. Therefore, there is a problem in that the device becomes large and heavy. Such a problem similarly occurs when the rotation of the motor 104 is transmitted to the nozzle 103 by another reduction means such as a gear instead of a belt or a pulley. Such a problem is not limited to a rotary head type electronic component mounting device equipped with a large number of transfer heads, but an electronic component of a type in which the transfer head is moved in the XY direction to transfer and mount the chip in the chip supply unit to the substrate. This also occurs in the case of a mounting device.

したがって本発明は、高速高精度にてノズルに吸着さ
れたチップのθ補正を行うことができる手段を備えた電
子部品実装装置及び電子部品実装方法を提供することを
目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method provided with means capable of performing θ correction of a chip sucked to a nozzle with high speed and high accuracy.

(課題を解決するための手段) このために本発明は、チップ供給部と、基板の位置決
め装置と、このチップ供給部のチップをノズルに吸着し
て、位置決め装置に位置決めされた基板に移送搭載する
移載ヘッドと、このノズルに吸着されたチップの位置ず
れを検出する観察装置と、このノズルを回転させてこの
ノズルに吸着されたチップのθ方向の荒補正を行うノズ
ル回転手段とを備えた電子部品実装装置において、上記
位置決め装置に、基板の配設部を回転軸を中心に水平回
転自在に設けるとともに、上記チップのθ方向の位置ず
れを補正するべくこの配設部を水平回転させる駆動装置
を設けたものである。
(Means for Solving the Problems) For this purpose, the present invention provides a chip supply unit, a substrate positioning device, and a chip of the chip supply unit sucked by a nozzle and transferred to a substrate positioned by the positioning device. A transfer head, an observation device for detecting a displacement of a chip adsorbed on the nozzle, and a nozzle rotating means for rotating the nozzle to perform coarse correction in the θ direction of the chip adsorbed on the nozzle. In the electronic component mounting apparatus, the positioning unit is provided with a portion on which the substrate is disposed so as to be freely rotatable about a rotation axis, and the disposition portion is horizontally rotated to correct the positional deviation of the chip in the θ direction. A drive device is provided.

また本発明は、移載ヘッドがチップ供給部のチップを
ノズルに吸着してピックアップする工程と、ピックアッ
プされたチップを観察装置により観察してチップの位置
ずれを検出する工程と、ノズルをノズル回転手段により
回転させてチップのθ方向の位置ずれを荒補正する工程
と、位置決め装置に設けられた基板の配設部を駆動装置
を駆動して回転軸を中心に水平回転させることによりチ
ップのθ方向の位置ずれを微補正する工程と、位置ずれ
の補正がなされたチップを基板に搭載する工程と、を含
むことを特徴とする電子部品実装方法である。
The present invention also provides a process in which the transfer head sucks and picks up a chip in a chip supply unit to a nozzle, a step in which the picked up chip is observed by an observation device to detect a chip displacement, and Means for roughly correcting the displacement of the chip in the θ direction by rotating the means, and driving the driving unit to horizontally rotate the arrangement portion of the substrate provided on the positioning device about the rotation axis. An electronic component mounting method characterized by including a step of finely correcting a positional shift in a direction and a step of mounting a chip on which a positional shift has been corrected on a substrate.

(作用) 上記構成によれば、駆動装置を駆動して配設部を水平
回転させることにより、チップの精密なθ補正を行った
うえで、基板に搭載する。
(Operation) According to the above configuration, the chip is mounted on the substrate after the chip is precisely θ-corrected by driving the driving device to horizontally rotate the arrangement portion.

(実施例) 次に図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。Embodiment Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第2図はロータリーヘッド式電子部品実装装置の要部
斜視図であって、1はロータリーヘッドであり、その円
周方向に沿って、多数の移載ヘッド2が垂設されてい
る。3はロータリーヘッド1の下方に設けられたトレイ
から成るチップ供給部、4は基板5の位置決め装置とし
てのXY方向移動装置である。チップ供給部としては、テ
ープフィーダやチューブフィーダも多用される。
FIG. 2 is a perspective view of a main part of the rotary head type electronic component mounting apparatus, wherein 1 is a rotary head, and a number of transfer heads 2 are suspended along the circumferential direction. Reference numeral 3 denotes a chip supply unit comprising a tray provided below the rotary head 1, and reference numeral 4 denotes an XY direction moving device as a device for positioning the substrate 5. A tape feeder or a tube feeder is often used as a chip supply unit.

チップ供給部3とXY方向移動装置4の間には、移載ヘ
ッド2に吸着されたチップPを下方から観察して、その
XYθ方向の位置ずれを検出するカメラ6を備えた観察装
置7が設けられている。ロータリーヘッド1は、水平方
向N1にインデックス回転し、これにともなって、移載ヘ
ッド2はチップ供給部3のチップPを吸着してピックア
ップし、基板5に移送搭載する。8は基板5をXY方向移
動装置4に搬入し、またこれから搬出するコンベヤであ
る。
The chip P adsorbed by the transfer head 2 is observed from below between the chip supply unit 3 and the XY direction moving device 4,
An observation device 7 including a camera 6 for detecting a positional shift in the XYθ direction is provided. The rotary head 1 rotates in the index direction in the horizontal direction N 1, and accordingly, the transfer head 2 sucks and picks up the chip P of the chip supply unit 3 and transfers it to the substrate 5. Reference numeral 8 denotes a conveyor for carrying the substrate 5 into and out of the XY-direction moving device 4.

第1図は移載ヘッド2とXY方向移動装置4を詳細に示
すものである。移載ヘッド2は、本体ケース11と、この
本体ケース11の下部から突出するノズル12と、このノズ
ル12をθ方向に回転させるノズル回転手段としてのパル
スモータ13から成っている。ノズル12に吸着されたチッ
プPは、4方向に突出するリード14を有するQFPであ
る。QFPはリード14の本数が多く、またそのピッチが小
さいことから、きわめて高い実装精度が要求される。勿
論、QFPに限らず、2方向にリードを有するSOP,抵抗チ
ップ,コンデンサチップ等も実装対象となる。
FIG. 1 shows the transfer head 2 and the XY direction moving device 4 in detail. The transfer head 2 includes a main body case 11, a nozzle 12 protruding from a lower portion of the main body case 11, and a pulse motor 13 as a nozzle rotating means for rotating the nozzle 12 in the θ direction. The chip P sucked by the nozzle 12 is a QFP having leads 14 protruding in four directions. Since QFP has a large number of leads 14 and a small pitch, extremely high mounting accuracy is required. Of course, not only QFP, but also SOPs having two-way leads, resistor chips, capacitor chips, and the like can be mounted.

16はXY方向移動装置4上に設けられた基板5の配設部
であって、その両側部には基板5を両側部からクランプ
して位置決めするクランプ材17a,17bが設けられてい
る。またその角部は、回転軸18によりXY方向移動装置4
上に水平回転自在に軸着されている。
Reference numeral 16 denotes an arrangement portion of the substrate 5 provided on the XY direction moving device 4, and clamp members 17a and 17b for clamping and positioning the substrate 5 from both sides are provided on both sides thereof. In addition, the corner is moved by the rotating shaft 18 in the XY direction
It is mounted on the top so that it can rotate horizontally.

20は配設部16を水平回転させる駆動装置であって(第
3図も参照)、21はモータ、22は送りねじ、23はナット
である。ナット23にはローラ24が設けられており、この
ナット24はXY方向移動装置4から突出する係合子25に係
合している。したがってモータ21が駆動すると、ナット
23は送りねじ22に沿って往復動し、配設部16は回転軸18
を中心に水平回転する。本装置は上記のような構成より
成り、次に動作の説明を行う。
Reference numeral 20 denotes a driving device for horizontally rotating the disposing portion 16 (see also FIG. 3), reference numeral 21 denotes a motor, reference numeral 22 denotes a feed screw, and reference numeral 23 denotes a nut. A roller 24 is provided on the nut 23, and the nut 24 is engaged with an engaging element 25 protruding from the XY direction moving device 4. Therefore, when the motor 21 is driven, the nut
23 reciprocates along the feed screw 22, and the disposition portion 16
Rotate horizontally around. The present apparatus has the above configuration, and the operation will be described next.

ロータリーヘッド1のインデックス回転にともない、
チップ供給部3のチップPはノズル12の下端部に吸着さ
れ、XY方向移動装置4に位置決めされた基板5に向って
移送される。その途中において、観察装置7により、ノ
ズル12に吸着されたチップPのXYθ方向の位置ずれが検
出される。
With the rotation of the index of the rotary head 1,
The chip P of the chip supply unit 3 is sucked by the lower end of the nozzle 12 and transferred toward the substrate 5 positioned by the XY direction moving device 4. On the way, the observation device 7 detects a positional shift in the XYθ direction of the chip P sucked by the nozzle 12.

XY方向の位置ずれは、XY方向移動装置4を駆動して基
板5をXY方向に移動させることにより補正される。また
θ方向の位置ずれは、モータ13とモータ21を駆動するこ
とにより補正される。すなわち、モータ13を駆動する
と、ノズル12はθ方向に回転するが、上述したようにモ
ータ13の最小回転角度には限界があることから、ノズル
12の回転により、高速高精度にてθ方向の位置ずれを補
正することは困難である。そこでこのモータ13によって
は荒補正(例えば5゜以上の補正)を行い、他方のモー
タ21により配設部16を水平回転させることにより、微補
正(例えば5゜以下の補正)を行う。
The displacement in the XY direction is corrected by driving the XY direction moving device 4 to move the substrate 5 in the XY direction. The displacement in the θ direction is corrected by driving the motor 13 and the motor 21. That is, when the motor 13 is driven, the nozzle 12 rotates in the θ direction. However, since the minimum rotation angle of the motor 13 is limited as described above,
Due to the rotation of 12, it is difficult to correct the positional deviation in the θ direction with high speed and high accuracy. Therefore, a coarse correction (for example, a correction of 5 ° or more) is performed by the motor 13 and a fine correction (for example, a correction of 5 ° or less) is performed by horizontally rotating the arrangement unit 16 by the other motor 21.

このように、移載ヘッド2に装備されたθ補正用モー
タ13によって荒補正のみを行うようにすれば、モータ13
の大きな減速は不要となり、かつ小容量のモータ13でも
高速度にてノズル12を回転させることができる。また駆
動装置20のモータ21を駆動して、配設部16を水平回転さ
せることにより微補正を行うことから、高速にて精度よ
くチップPのθ補正を行って基板5に実装することがで
きる。なおθ補正に付隨して新たに生じるXY方向の位置
ずれは、XY方向移動装置4を同方向に駆動することによ
り簡単に補正できる。
As described above, if only the rough correction is performed by the θ correction motor 13 mounted on the transfer head 2, the motor 13
No large deceleration is required, and the nozzle 12 can be rotated at a high speed even with a small capacity motor 13. In addition, since the fine correction is performed by driving the motor 21 of the driving device 20 to horizontally rotate the disposition unit 16, the θ correction of the chip P can be performed accurately at high speed and mounted on the substrate 5. . It should be noted that the displacement in the XY direction newly generated in association with the θ correction can be easily corrected by driving the XY direction moving device 4 in the same direction.

ところで上記θ補正を正確に行うためには、上記配設
部16の回転軸18が、基板5の座標原点と合致するように
組み付けねばならない。しかしながら組み付け誤差の為
に、回転軸18は基板5の座標原点に必ずしも合致しな
い。そこで次のようにして実際の回転中心を求める。
By the way, in order to accurately perform the θ correction, it is necessary to assemble the rotating shaft 18 of the disposing portion 16 so as to coincide with the coordinate origin of the substrate 5. However, the rotation axis 18 does not always coincide with the coordinate origin of the substrate 5 due to an assembly error. Therefore, the actual rotation center is obtained as follows.

第3図において、5aは基板の治具、O(xO,yO)は治
具5aに任意に設けられた原点、X1,Y1は原点Oと同一の
X軸線上及び、Y軸線上に形成されたマークである。
In FIG. 3, 5a is a jig for the substrate, O (xO, yO) is an origin arbitrarily provided on the jig 5a, and X1 and Y1 are formed on the same X-axis and Y-axis as the origin O. Mark.

まずカメラ(図外)により原点Oを観察する。次いで
治具5aをX方向に移動させて、マークX1を観察する。こ
のときマークX1がカメラの視野の中心からずれていれ
ば、これをXY方向移動装置4の移動誤差として記憶し、
この誤差は後で補正する。
First, the origin O is observed with a camera (not shown). Next, the jig 5a is moved in the X direction, and the mark X1 is observed. At this time, if the mark X1 is shifted from the center of the field of view of the camera, this is stored as a movement error of the XY direction movement device 4,
This error will be corrected later.

次にモータ21を駆動して、治具5aを若干回転させ、回
動点X1a,X1bをカメラにより観察する。次いで回動点X1
a,X1bの垂直2等分線Nxを求める。
Next, the motor 21 is driven to slightly rotate the jig 5a, and the turning points X1a and X1b are observed by the camera. Then turn point X1
Find the perpendicular bisector Nx of a and X1b.

上記と同様の操作をマークY1についても行い、回動点
Y1a,Y1bの垂直2等分線Nyを求める。
Perform the same operation for the mark Y1 as
A vertical bisector Ny of Y1a and Y1b is obtained.

垂直2等分線Nx、Nyの交点O′(xO′,yO′)が実際
の回転中心である。このようにして、回転中心O′の座
標が分かったならば、これから上記送りねじ22の軸心ま
での距離Lを求める。
The intersection O '(xO', yO ') of the perpendicular bisector Nx, Ny is the actual center of rotation. When the coordinates of the rotation center O 'are known in this way, the distance L to the axis of the feed screw 22 is determined from this.

このようにして距離Lを求めたならば、基板5を任意
角度回転させるのに必要なナット23の送り量を算出し
て、精密なθ補正を行うことができる。また上記のよう
に真の回転中心O′を求めれば、θ補正のために基板5
を水平回転させることにより新たに生じるXY方向の微小
誤差も計算でき、この誤差は、XY方向移動装置4を移動
させることにより補正できる。
When the distance L is obtained in this manner, the feed amount of the nut 23 required to rotate the substrate 5 by an arbitrary angle can be calculated, and precise θ correction can be performed. If the true rotation center O 'is obtained as described above, the substrate 5
Can also be calculated by horizontally rotating the XY direction, and this error can be corrected by moving the XY direction moving device 4.

上記実施例は、ロータリーヘッド式電子部品実装装置
を例にとって説明したが、本発明は移載ヘッドをXY方向
に移動させながら、チップを基板に移送搭載するような
他の方式の電子部品実装装置にも適用できる。
Although the above embodiment has been described taking the rotary head type electronic component mounting apparatus as an example, the present invention is directed to another type of electronic component mounting apparatus in which a chip is transferred and mounted on a substrate while moving the transfer head in the XY direction. Also applicable to

(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、移載ヘッドのノ
ズルに吸着されたチップのθ方向の位置ずれを精密に補
正して、基板に実装することができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, it is possible to precisely correct the displacement in the θ direction of the chip sucked by the nozzle of the transfer head and mount the chip on the substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は移載
ヘッドとXY方向移動装置の斜視図、第2図はロータリー
ヘッド式電子部品実装装置の斜視図、第3図は配設部の
平面図、第4図は従来装置の斜視図である。 2……移載ヘッド 3……チップ供給部 4……位置決め装置 5……基板 7……観察装置 11……ノズル 16……配設部 20……駆動装置
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of a transfer head and an XY direction moving device, FIG. 2 is a perspective view of a rotary head type electronic component mounting device, and FIG. FIG. 4 is a plan view of the installation portion, and FIG. 4 is a perspective view of the conventional device. 2 Transfer head 3 Chip supply unit 4 Positioning device 5 Substrate 7 Observation device 11 Nozzle 16 Arrangement unit 20 Drive unit

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】チップ供給部と、基板の位置決め装置と、
このチップ供給部のチップをノズルに吸着して、位置決
め装置に位置決めされた基板に移送搭載する移載ヘッド
と、このノズルに吸着されたチップの位置ずれを検出す
る観察装置と、このノズルを回転させてこのノズルに吸
着されたチップのθ方向の荒補正を行うノズル回転手段
とを備えた電子部品実装装置において、上記位置決め装
置に、基板の配設部を回転軸を中心に水平回転自在に設
けるとともに、上記チップのθ方向の位置ずれを補正す
るべくこの配設部を水平回転させる駆動装置を設けたこ
とを特徴とする電子部品実装装置。
1. A chip supply unit, a substrate positioning device,
A transfer head for sucking the chips of the chip supply unit to the nozzle and transferring the chips to the substrate positioned by the positioning device, an observation device for detecting a displacement of the chip sucked by the nozzle, and rotating the nozzle. In the electronic component mounting apparatus having nozzle rotating means for performing rough correction in the θ direction of the chip adsorbed by the nozzle, the positioning unit is provided so that the substrate mounting portion can be horizontally rotated about the rotation axis. An electronic component mounting apparatus, further comprising: a driving device for horizontally rotating the disposing portion to correct the displacement of the chip in the θ direction.
【請求項2】移載ヘッドがチップ供給部のチップをノズ
ルに吸着してピックアップする工程と、ピックアップさ
れたチップを観察装置により観察してチップの位置ずれ
を検出する工程と、ノズルをノズル回転手段により回転
させてチップのθ方向の位置ずれを荒補正する工程と、
位置決め装置に設けられた基板の配設部を駆動装置を駆
動して回転軸を中心に水平回転させることによりチップ
のθ方向の位置ずれを微補正する工程と、位置ずれの補
正がなされたチップを基板に搭載する工程と、を含むこ
とを特徴とする電子部品実装方法。
A step of picking up a chip in a chip supply section by a nozzle by a transfer head; and a step of observing the picked-up chip by an observation device to detect a displacement of the chip; Rotating the chip by means to roughly correct the chip position shift in the θ direction;
A step of finely correcting the position shift of the chip in the θ direction by driving the driving device to horizontally rotate the rotation of the arrangement portion of the substrate provided on the positioning device, and the chip having the position shift corrected. Mounting an electronic component on a substrate.
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