JP2808639B2 - Conductive particles for electrodes of ceramic electronic components - Google Patents

Conductive particles for electrodes of ceramic electronic components

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JP2808639B2
JP2808639B2 JP1062479A JP6247989A JP2808639B2 JP 2808639 B2 JP2808639 B2 JP 2808639B2 JP 1062479 A JP1062479 A JP 1062479A JP 6247989 A JP6247989 A JP 6247989A JP 2808639 B2 JP2808639 B2 JP 2808639B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はセラミック電子部品の電極材料に用いられる
導電性粒子に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to conductive particles used for an electrode material of a ceramic electronic component.

従来の技術 従来より、導電性粒子、樹脂及び溶剤(場合によって
は微量のフリット、金属酸化物及び有機金属酸化物を含
む)とからなる導電性塗料が各種部品の電極材料として
広範囲に使用されている。ここで、導電性粒子として
は、金、銀、白金、パラジウムなどの高価な貴金属が用
いられており、電極材料のコスト低減のため、貴金属の
使用量削減、あるいは卑金属材料への置換などの検討が
なされている。
2. Description of the Related Art Conventionally, conductive coatings composed of conductive particles, resins and solvents (including trace amounts of frit, metal oxides and organometallic oxides in some cases) have been widely used as electrode materials for various components. I have. Here, as the conductive particles, expensive noble metals such as gold, silver, platinum, and palladium are used. In order to reduce the cost of the electrode material, consider reducing the amount of the noble metal used or replacing it with a base metal material. Has been made.

そして、卑金属材料への全面置換に対して銅及びニッ
ケル、一部置換に対して銀−銅合金などが用いられてい
るが、いずれも空気中焼き付け、あるいは放置により酸
化物が形成され、導電性が低下するため、焼き付け雰囲
気の制御や電極表面のコーテイングをしなければなら
ず、製造工程が複雑になるという問題がある。一方、貴
金属の使用量削減については、卑金属粉末を基体物質と
してこれに貴金属を被覆する方法が試みられている(例
えば、特公昭46−40593号公報、特開昭60−100679号公
報)。
Copper and nickel are used for the entire replacement with the base metal material, and silver-copper alloy is used for the partial replacement. Therefore, it is necessary to control the baking atmosphere and coat the electrode surface, resulting in a problem that the manufacturing process becomes complicated. On the other hand, in order to reduce the amount of noble metal used, a method of coating a noble metal with a base metal powder as a base material has been attempted (for example, Japanese Patent Publication No. 46-40593 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-100679).

このような貴金属被覆粉末を用いた導電性塗料をセラ
ミック材料に塗布し、空気中で焼き付けて電極を形成し
た場合、被覆された貴金属が連続した状態で焼結されて
おらず、基体物質が露出し、かつ酸化物が生成されるこ
とにより、導電性が低下してしまう。これを防ぐために
は貴金属の被覆厚みを厚くしなければならず、コスト削
減の効果は抑えられてしまう。また、基体物質の露出を
抑制するために貴金属被覆の際のメッキ法の改良も行わ
れている(例えば、特公昭61−22028号公報)。
When a conductive paint using such a noble metal coated powder is applied to a ceramic material and baked in air to form an electrode, the coated noble metal is not sintered in a continuous state, and the base material is exposed. In addition, the oxide is generated, thereby lowering the conductivity. In order to prevent this, the thickness of the coating of the noble metal must be increased, and the effect of cost reduction is suppressed. Further, in order to suppress the exposure of the base material, the plating method for coating the noble metal has been improved (for example, Japanese Patent Publication No. 61-22028).

しかしながら、卑金属粉末を基体物質としてこれに貴
金属を被覆した粉末に関しては、高温で焼き付ける際
に、基体物質の被覆金属への熱拡散を完全に抑制するこ
とは基本的にできないため、基体物質の露出を抑制する
にはどうしても被覆貴金属の厚みを厚くしなければなら
ず、やはり大幅なコスト削減は期待できない。
However, with respect to a powder obtained by coating a base metal powder with a noble metal as a base material, it is basically impossible to completely suppress the thermal diffusion of the base material to the coated metal when baking at a high temperature. In order to suppress this, the thickness of the coated noble metal must be increased, and a significant cost reduction cannot be expected.

また、期待物質に酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸
化バナジウム、酸化ジルコニウムあるいはチタン酸バリ
ウムなどの酸化物を用いることも検討されている(例え
ば、特公昭61−22029号公報、48586号公報)。
Also, use of oxides such as silicon oxide, aluminum oxide, vanadium oxide, zirconium oxide, and barium titanate as expected substances has been studied (for example, Japanese Patent Publication Nos. 61-22029 and 48586).

しかし、このような酸化物を用いた場合、卑金属と比
べて貴金属層への熱拡散は抑制されるが、上記酸化物は
いずれも絶縁体であるため、電極材料としての導電性を
保持するには、やはり被覆厚みを厚くしなければなら
ず、材料コストの大幅な低減は困難である。また、得ら
れた電極の比抵抗は基体が絶縁物であることから高くな
り、高周波特性を必要とする電子部品の電極材料として
は利用できない。
However, when such an oxide is used, heat diffusion to the noble metal layer is suppressed as compared with the base metal, but since all of the above oxides are insulators, it is difficult to maintain conductivity as an electrode material. However, it is necessary to increase the coating thickness, and it is difficult to significantly reduce the material cost. Further, the specific resistance of the obtained electrode is high because the base is an insulator, and cannot be used as an electrode material of an electronic component requiring high-frequency characteristics.

発明が解決しようとする課題 上記した構成の、卑金属あるいは酸化物を基体物質と
して貴金属被覆を施した導電性粒子については、高温で
の焼き付け処理による基体物質の露出あるいは導電性の
低下を防ぐためには、どうしても被覆厚みを厚くしなけ
ればならず、従って貴金属使用量が多くなり、導電性粒
子のコストを大幅に削減できないという問題がある。
Problems to be Solved by the Invention With respect to the conductive particles having the above-mentioned configuration and coated with a noble metal using a base metal or an oxide as a base material, in order to prevent exposure of the base material or reduction in conductivity due to baking treatment at a high temperature, However, there is a problem that the coating thickness must be thickened, the amount of the noble metal used increases, and the cost of the conductive particles cannot be significantly reduced.

本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、導電性に
優れ、かつ熱的安定性にも優れた導電性粒子を安価に提
供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above, and has as its object to provide inexpensively conductive particles having excellent conductivity and excellent thermal stability.

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために、本発明の導電性粒子は、
導電性複合酸化物の粒子表面をパラジウムコロイドにて
活性化した後、直接無電解メッキにて貴金属被覆すると
いう構成を備えたものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the conductive particles of the present invention,
After the particle surface of the conductive composite oxide is activated with a palladium colloid, it is directly covered with a noble metal by electroless plating.

ここで、導電性複合酸化物としては、特にLa1-xSrxCo
O3(0.1≦x≦0.8),Pr1-xSrxCoO3(0.2≦x≦0.8),Nd
1-xSrxCoO3(0.3≦x≦0.7),La1-xBaxCoO3(0.1≦x≦
0.5),Pr1-xBaxCoO3(0.2≦x≦0.5)のうちの1種ある
いは2種以上の組成を有するもの、あるいはLa2-xSrxCu
O4(0.1≦x≦0.5),La2-xBaxCuO4(0.01≦x≦0.5)の
うちの1種あるいは2種以上の固溶系の組成を有するも
の、さらにはYBa2Cu3O7系や、BiCaSrCu2O5.5系の組成を
有するものが好ましい。
Here, as the conductive composite oxide, in particular, La 1-x Sr x Co
O 3 (0.1 ≦ x ≦ 0.8), Pr 1-x Sr x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.8), Nd
1-x Sr x CoO 3 (0.3 ≦ x ≦ 0.7), La 1-x Ba x CoO 3 (0.1 ≦ x ≦
0.5), Pr 1-x Ba x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.5), having one or more compositions, or La 2-x Sr x Cu
O 4 (0.1 ≦ x ≦ 0.5), La 2-x Ba x CuO 4 (0.01 ≦ x ≦ 0.5) having one or more solid solution compositions, and furthermore, YBa 2 Cu 3 O Those having a composition of 7 series or BiCaSrCu 2 O 5.5 series are preferable.

作用 本発明は上記した構成により、基体物質が導電性酸化
物であるため、被覆貴金属層への拡散が抑制されるとと
もに、貴金属コロイドにて活性化処理することにより、
活性化処理段階におけるプロセスの複雑化をなくすこと
によってメッキ工程の簡略化ができる。また、貴金属コ
ロイドは活性化処理した後に、乾燥することも可能なこ
とから、工程の管理が容易である。この特徴により、メ
ッキ被覆厚みを制御することと工程コストの低減ができ
るため、製造コストを大幅に削減できる。また、被覆さ
れた貴金属層による化学的安定性からくる特徴として
は、誘電体材料・磁性材料などのセラミック材料と高温
で焼き付け処理を行う際、基体物質がセラミック材料と
反応し、セラミック材料の誘電特性あるいは磁気特性を
劣化させ、電極としての導電性も劣化するといったこと
を抑制することができる。
Action The present invention has the above-described configuration, and since the base substance is a conductive oxide, diffusion to the coated noble metal layer is suppressed, and activation treatment with a noble metal colloid is performed.
The plating process can be simplified by eliminating the complexity of the process in the activation processing stage. In addition, since the precious metal colloid can be dried after the activation treatment, the process can be easily controlled. With this feature, it is possible to control the plating coating thickness and to reduce the process cost, so that the manufacturing cost can be significantly reduced. Another characteristic of the chemical stability of the coated noble metal layer is that when a ceramic material such as a dielectric material or a magnetic material is baked at a high temperature, the base material reacts with the ceramic material and the dielectric material of the ceramic material reacts. It is possible to suppress deterioration of characteristics or magnetic characteristics and deterioration of conductivity as an electrode.

さらに、本発明において、基体物質として複合酸化物
としたのは、単一金属元素を含む酸化物に比べて、導電
性及びコストの点で複合酸化物の方が優れているためで
ある。
Furthermore, in the present invention, the reason why the composite oxide is used as the base substance is that the composite oxide is superior to the oxide containing a single metal element in terms of conductivity and cost.

特に、La1-xSrxCoO3(0.1≦x≦0.8),Pr1-xSrxCoO3
(0.2≦x≦0.8),Nd1-xSrxCoO3(0.3≦x≦0.7),La
1-xBaxCoO3(0.1≦x≦0.5),Pr1-xBaxCoO3(0.2≦x≦
0.5)のうちの1種あるいは2種以上の組成を有するも
の、あるいはLa2-xSrxCuO4(0.1≦x≦0.5),La2-xBaxC
uO4(0.01≦x≦0.5)のうちの1種あるいは2種以上の
固溶系の組成を有するもの、さらにはYBa2Cu3O7系や、B
iCaSrCu2O5.5系の組成を有するものはいずれも導電性に
優れており、被覆貴金属厚みが薄くても高い導電性が得
られるため、導電性粒子のコストを大幅に削減すること
が可能である。
In particular, La 1-x Sr x CoO 3 (0.1 ≦ x ≦ 0.8), Pr 1-x Sr x CoO 3
(0.2 ≦ x ≦ 0.8), Nd 1-x Sr x CoO 3 (0.3 ≦ x ≦ 0.7), La
1-x Ba x CoO 3 (0.1 ≦ x ≦ 0.5), Pr 1-x Ba x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦
0.5), La2 -x Sr x CuO 4 (0.1 ≦ x ≦ 0.5), La 2-x Ba x C
uO 4 (0.01 ≦ x ≦ 0.5) having one or more solid solution compositions, furthermore, YBa 2 Cu 3 O 7 or B
All those having the composition of iCaSrCu 2 O 5.5 system are excellent in conductivity, and high conductivity can be obtained even if the thickness of the coated noble metal is thin, so it is possible to drastically reduce the cost of conductive particles .

さらに、被覆可能な貴金属としては、金、銀、パラジ
ウム、白金、ロジウム、ルテニウム、あるいはこれらの
合金などを上げることができる。また、貴金属被覆に際
して上記2種以上の貴金属を多層被覆することも可能で
ある。
Further, as the noble metal that can be coated, gold, silver, palladium, platinum, rhodium, ruthenium, or an alloy thereof can be used. Further, at the time of coating the noble metal, it is possible to coat the two or more kinds of noble metals in a multilayer.

実施例 以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。Examples Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples.

(実施例1) La2O3、SrCO3、Co3O4を出発原料として、各々の必要
量を秤量し、エタノール中で12時間混合し、乾燥後900
℃で仮焼した。次いで、この仮焼粉を粉砕後、1100℃で
2時間焼成して、La0.5Sr0.5CoO3の組成を有する粉末を
得た。
(Example 1) Using La 2 O 3 , SrCO 3 , and Co 3 O 4 as starting materials, each required amount was weighed, mixed in ethanol for 12 hours, dried, and then dried.
It was calcined at ℃. Next, the calcined powder was pulverized and calcined at 1100 ° C. for 2 hours to obtain a powder having a composition of La 0.5 Sr 0.5 CoO 3 .

一方、パラジウムコロイドとして塩化パラジウムを5
モル倍量の塩化ナトリウムとともに水に溶解する。
On the other hand, palladium chloride
Dissolve in water with a molar amount of sodium chloride.

次に、それを撹拌しながら界面活性剤を加え、その後
水素化ホウ素ナトリウムの水溶液を滴下していくと、瞬
時にパラジウムコロイドが生成し、黒色を呈する。ここ
で、界面活性剤としては陽イオン性、陰イオン性、非イ
オン性のいずれのタイプのものを用いてもよい。本実施
例においては非イオン性界面活性剤として、ライオン油
脂(株)製の非イオン性界面活性剤(商品名;LD−110)
を1重量%添加している。このコロイド溶液中に上記La
0.5Sr0.5CoO3の組成を有する導電性粒子をマグネチック
スターラーにて分解させながら投入していく。そして、
約1時間、撹拌混合を行った溶液は透明を呈し、導電性
粒子にパラジウムコロイドが吸着する。このパラジウム
コロイドの吸着後、デカンテーション法による水洗を行
い、乾燥してパラジウムコロイド活性化粒子を得た。
Next, a surfactant is added while stirring the solution, and then an aqueous solution of sodium borohydride is added dropwise, whereby a palladium colloid is instantaneously generated, and a black color is formed. Here, any of cationic, anionic and nonionic surfactants may be used. In this example, as a nonionic surfactant, a nonionic surfactant manufactured by Lion Oil & Fat Co., Ltd. (trade name: LD-110)
1% by weight. The above La
The conductive particles having a composition of 0.5 Sr 0.5 CoO 3 are introduced while being decomposed by a magnetic stirrer. And
The solution obtained by stirring and mixing for about 1 hour is transparent, and the palladium colloid is adsorbed on the conductive particles. After the adsorption of the palladium colloid, the resultant was washed with water by a decantation method and dried to obtain palladium colloid-activated particles.

一方、メッキ液として塩化パラジウムを濃アンモニア
水に溶かし、これに塩酸を加えてPHを8.5に調整したパ
ラジウムメッキ液を準備した。このパラジウムメッキ液
に、上記La0.5Sr0.5CoO3の組成を有する貴金属コロイド
にて活性化された粉末をマグネチックスターラーにて分
散しながら投入していく。次に、還元剤としてのヒドラ
ジンを加え、撹拌することによって粉末表面にパラジウ
ムメッキを行った。メッキ処理後、デカンテーション法
による水洗を行い、乾燥してパラジウム被覆粉末を得
た。このようにして得られた粉末のLa0.5Sr0.5CoO3とパ
ラジウムメッキ皮膜との重量比は下記の<表1>に示す
通りであった。次に、上記パラジウム被覆粉末100重量
部、ガラスフリット5重量部、エチルセルローズ2重量
部、α−テレピノール10重量部からなる混合物を3本ロ
ールにて混練し、電極ペーストとした。この電極ペース
トをアルミナ基板上にスクリーン印刷後、1000℃で10分
間の焼き付け処理を行った。こうして焼き付けられた厚
膜の電気抵抗値は<表1>に示す通りであり、優れた導
電性を示した。一方、La0.5Sr0.5CoO3にパラジウム被覆
をしない粉末を用いて上記条件にて電極ペーストとして
評価した。
On the other hand, palladium chloride was dissolved in concentrated aqueous ammonia as a plating solution, and hydrochloric acid was added to the solution to prepare a palladium plating solution adjusted to pH 8.5. The powder activated by the noble metal colloid having the composition of La 0.5 Sr 0.5 CoO 3 is poured into this palladium plating solution while being dispersed by a magnetic stirrer. Next, hydrazine as a reducing agent was added, and the mixture was stirred to perform palladium plating on the powder surface. After the plating treatment, the resultant was washed with water by a decantation method and dried to obtain a palladium-coated powder. The weight ratio of La 0.5 Sr 0.5 CoO 3 to the palladium plating film of the powder thus obtained was as shown in Table 1 below. Next, a mixture consisting of 100 parts by weight of the palladium-coated powder, 5 parts by weight of glass frit, 2 parts by weight of ethyl cellulose, and 10 parts by weight of α-terpinol was kneaded with a three-roll mill to prepare an electrode paste. After screen printing this electrode paste on an alumina substrate, baking treatment was performed at 1000 ° C. for 10 minutes. The electrical resistance of the thick film thus baked is as shown in Table 1 and showed excellent conductivity. On the other hand, La 0.5 Sr 0.5 CoO 3 was evaluated as an electrode paste under the above conditions using a powder not coated with palladium.

これらの結果より、LaSrCoO3のみにて電極として利用
する場合には反応の安定性という点において、充分な焼
結時における安定性を有していないことが解る。従っ
て、パラジウム被覆をすることによって粉末の導電性を
高めるとともに、基体物質と基板材料であるアルミナ基
板との反応が抑制されるという2つの効果が相まって、
アルミナ基板上に導電性に優れた厚膜が形成されること
が解る。
From these results, it can be seen that when LaSrCoO 3 alone is used as an electrode, it does not have sufficient stability during sintering in terms of reaction stability. Therefore, the effect of suppressing the reaction between the base material and the alumina substrate, which is a substrate material, is enhanced by applying the palladium coating to increase the conductivity of the powder,
It can be seen that a thick film having excellent conductivity is formed on the alumina substrate.

(実施例2) La2O3,Pr6O11,Nd2O3,BaCO3,SrCO3,Co3O4を出発原料と
して、実施例1と同様の方法により、La1-xSrxCoO3,Pr
1-xSrxCoO3,Nd1-xSrxCoO3,La1-xBaxCoO3,Pr1-xBaxCoO3
の各組成系のxの異なる粉末を作成した。これらの粉末
を基体物質として、実施例1と同様の方法によりメッキ
処理を行い、基体物質とパラジウムの重量比が2/1のパ
ラジウム被覆粉末を得た。この粉末を用いて、同じく実
施例1と同様の方法により導体ペーストを作成し、アル
ミナ基板状に焼き付けて電気抵抗値を測定した。この測
定値をΩcmに単位換算した結果を下記の<表2>に示
す。
Example 2 La 1-x Sr x was obtained in the same manner as in Example 1 using La 2 O 3 , Pr 6 O 11 , Nd 2 O 3 , BaCO 3 , SrCO 3 , and Co 3 O 4 as starting materials. CoO 3 , Pr
1-x Sr x CoO 3 , Nd 1-x Sr x CoO 3 , La 1-x Ba x CoO 3 , Pr 1-x Ba x CoO 3
, Powders having different x of each composition system were prepared. Using these powders as a substrate material, plating was performed in the same manner as in Example 1 to obtain a palladium-coated powder having a weight ratio of the substrate material to palladium of 2/1. Using this powder, a conductor paste was prepared in the same manner as in Example 1 and baked on an alumina substrate to measure the electric resistance value. The results of converting the measured values into Ωcm are shown in Table 2 below.

上記の表2の結果から、焼き付けられた厚膜の電気抵
抗値は被覆したパラジウムだけで決められるのではな
く、基体物質の組成によって決められることが解る。そ
して、パラジウムはセラミック材料との反応を防止する
役割を果たすものである。また、優れた導電性を得るた
めには基体物質の組成として、La1-xSrxCoO3(0.1≦x
≦0.8),Pr1-xSrxCoO3(0.2≦x≦0.8),Nd1-xSrxCoO3
(0.3≦x≦0.7),La1-xBaxCoO3(0.1≦x≦0.5),Pr
1-xBaxCoO3(0.2≦x≦0.5),が適している。次に、上
記材料を複合化した酸化物を基体物質として上記と同様
の方法でメッキ処理にてパラジウム被覆し、ペースト化
及び焼き付け処理を行い、得られた厚膜の電気抵抗値を
測定した結果、下記の<表3>に示すように優れた導電
性を確認した。
From the results in Table 2 above, it can be seen that the electrical resistance of the baked thick film is not determined solely by the coated palladium, but by the composition of the substrate material. Palladium plays a role in preventing a reaction with the ceramic material. In order to obtain excellent conductivity, the composition of the base material is La 1-x Sr x CoO 3 (0.1 ≦ x
≦ 0.8), Pr 1-x Sr x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.8), Nd 1-x Sr x CoO 3
(0.3 ≦ x ≦ 0.7), La 1-x Ba x CoO 3 (0.1 ≦ x ≦ 0.5), Pr
1-x Ba x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.5) is suitable. Next, using an oxide obtained by compounding the above materials as a base material, palladium coating was performed by plating in the same manner as described above, and a paste was formed and baked, and the electrical resistance value of the obtained thick film was measured. As shown in Table 3 below, excellent conductivity was confirmed.

(実施例3) La2O3、SrCO3、BaCO3、CuOを出発原料として、各々の
必要量を秤量し、エタノール中で12時間混合し、乾燥後
900℃2時間焼成した後、600℃の酸素中で熱処理してLa
2-XSrxCuO4,La2-xBaxCuO4のxを種々に変えた組成を有
する粉末を得た。この粉末を実施例1と同じパラジウム
コロイド液にて活性化処理した後、この粉末を別途塩化
白金とアンモニア水と塩酸からなるメッキ液にヒドラジ
ンと一緒に投入し、撹拌することによって粉末表面に白
金をメッキした。そして、メッキ処理後デカンテーショ
ン法による水洗を行い、乾燥して白金被覆粉末を得た。
こうして得られた粉末の基体物質と白金との重量比は70
/30であった。上記白金メッキ被覆粉末を用いて、実施
例1と同様の方法により、導体ペーストを作成し、アル
ミナ基板状に900℃の温度で焼き付け、電気抵抗値を測
定した。この測定値をΩcmに単位換算した結果を下記の
<表4>に示す。
(Example 3) Using La 2 O 3 , SrCO 3 , BaCO 3 , and CuO as starting materials, each required amount was weighed, mixed in ethanol for 12 hours, and dried.
After calcination at 900 ° C for 2 hours, heat treatment in oxygen at 600 ° C
Powders having compositions in which x of x -X Sr x CuO 4 and La 2-x Ba x CuO 4 were variously changed were obtained. After activating this powder with the same palladium colloid solution as in Example 1, this powder was separately put together with hydrazine into a plating solution composed of platinum chloride, aqueous ammonia and hydrochloric acid, and stirred to form platinum on the powder surface. Was plated. Then, after the plating treatment, washing with water was performed by a decantation method, followed by drying to obtain a platinum-coated powder.
The weight ratio between the base material and platinum of the powder thus obtained was 70.
/ 30. Using the powder coated with platinum plating, a conductive paste was prepared in the same manner as in Example 1 and baked on an alumina substrate at a temperature of 900 ° C., and the electrical resistance was measured. The results of converting the measured values into Ωcm are shown in Table 4 below.

この<表4>の結果から、優れた導電性を得るために
は、基体物質の組成として、La2-xSrxCuO4(0.1≦x≦
0.5),La2-xBaxCuO4(0.01≦x≦0.5)が適しているこ
とが解る。次に、上記材料を複合化した酸化物を基体物
質として上記と同様の方法で白金メッキ、ペースト化及
び焼き付け処理を行い、得られた厚膜の電気抵抗値を測
定した結果、下記の<表5>に示すように優れた導電性
を確認した。
From the results in Table 4, in order to obtain excellent conductivity, the composition of the base material must be La 2-x Sr x CuO 4 (0.1 ≦ x ≦
0.5), La 2-x Ba x CuO 4 (0.01 ≦ x ≦ 0.5) is suitable. Next, platinum plating, pasting and baking were performed in the same manner as described above using the oxide obtained by compounding the above materials as a base material, and the electrical resistance of the obtained thick film was measured. 5>, excellent conductivity was confirmed.

(実施例4) Y2O3,BaCO3,CuO,Bi2O3,CaCO3,SrCO3を出発原料とし
て、各々の必要量を秤量し、エタノール中で12時間混合
し、乾燥後850℃で2時間焼成した後、600℃の酸素中で
熱処理して、YBa2Cu3O7及びBiCaSrCu2O5.5の組成を有す
る粉末を得た。この粉末を実施例1と同じパラジウムコ
ロイド溶液にて活性化処理した後、シアン化金とEDTA
(エチレンジアミンテトラアセテート)の4N液と塩酸か
らなる無電解メッキ液中に、上記粉末とアスコルビン酸
ナトリウムとを同時に投入し、撹拌することによって粉
末表面に金メッキ層を付着させた。このようにして得ら
れた粉末の基体物質と金の重量比は60/40であった。上
記金被覆粉末を用いて、実施例1と同様の方法により、
導体ペーストを作成し、アルミナ基板状に850℃の温度
で焼き付け、電気抵抗値を測定した。この結果、基体物
質がYBa2Cu3O7の場合の電気抵抗値は6×103Ωcm、BiCa
SrCu2O5.5の場合は8×103Ωcmであり、優れた導電性を
確認した。
(Example 4) Starting amounts of Y 2 O 3 , BaCO 3 , CuO, Bi 2 O 3 , CaCO 3 , and SrCO 3 are weighed, required amounts are mixed in ethanol for 12 hours, and dried at 850 ° C. And then heat-treated in oxygen at 600 ° C. to obtain a powder having a composition of YBa 2 Cu 3 O 7 and BiCaSrCu 2 O 5.5 . After activating this powder with the same palladium colloid solution as in Example 1, gold cyanide and EDTA
The above-mentioned powder and sodium ascorbate were simultaneously charged into an electroless plating solution consisting of a 4N solution of (ethylenediaminetetraacetate) and hydrochloric acid, and a gold plating layer was adhered to the surface of the powder by stirring. The weight ratio of the base material to gold in the powder thus obtained was 60/40. Using the above gold-coated powder, in the same manner as in Example 1,
A conductor paste was prepared and baked on an alumina substrate at a temperature of 850 ° C., and the electric resistance was measured. As a result, when the base material was YBa 2 Cu 3 O 7 , the electrical resistance was 6 × 10 3 Ωcm,
In the case of SrCu 2 O 5.5 , it was 8 × 10 3 Ωcm, and excellent conductivity was confirmed.

(実施例5) マグネシウム・ニオブ酸鉛〔Pb(Mg1/3Nb2/3)O3〕を
主成分とする誘電体粉末100重量部に、ポリビニルブチ
ラール樹脂8重量部、ジブチルフタレート4重量部、ト
リクロルエタン40重量部、酢酸ブチル25重量部を加え
て、ボールミルで20時間混合した。こうして得られた誘
電体スラリーをリバースロール法にて40μmの厚みにシ
ート成形した。次に、実施例1と同様の方法により、La
0.5Sr0.5CoO3粒子表面をパラジウムで被覆した粉末(La
0.5Sr0.5CoO3とパラジウムの重量比:50/50)を作成し、
これにエチルセルロースとα−テレピノールを加えて三
本ロールで混練して電極ペーストを作成した。この電極
ペーストを上記誘電体シートに印刷し、所望の寸法に切
断して1100℃、2時間にて焼成した。このようにして得
られた焼結体の電極が露出している側面に、実施例1と
同様の方法で作成したパラジウムで被覆したLa0.5Sr0.5
CoO3(La0.5Sr0.5CoO3とパラジウムの重量比:70/30)と
ガラスフリット、エチルセルロース、α−テレピノール
とからなる電極ペーストを塗布し、800℃で焼き付け
た。こうして得られた積層チップコンデンサの静電容量
値は誘電体の誘電率(ε12000)から計算された設計
値とよく一致しており、パラジウム被覆されたLa0.5Sr
0.5CoO3を用いた電極の実用性が確認された。本実施例
以外にも、貴金属被覆をした導電性複合酸化物粒子がチ
ップ抵抗、チップインダクタ、バリスタ、圧電素子、さ
らにはセラミック多層配線基板などの電極としての実用
性があることは言うまでもない。
(Example 5) 8 parts by weight of polyvinyl butyral resin and 4 parts by weight of dibutyl phthalate were added to 100 parts by weight of a dielectric powder mainly composed of magnesium / lead niobate [Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 ]. , 40 parts by weight of trichloroethane and 25 parts by weight of butyl acetate were added and mixed by a ball mill for 20 hours. The dielectric slurry thus obtained was formed into a sheet having a thickness of 40 μm by a reverse roll method. Next, in the same manner as in Example 1, La
0.5 Sr 0.5 CoO 3 Particle surface coated with palladium (La
0.5 Sr 0.5 CoO 3 and palladium weight ratio: 50/50)
Ethyl cellulose and α-terpinol were added thereto, and kneaded with a three-roll mill to prepare an electrode paste. This electrode paste was printed on the dielectric sheet, cut into desired dimensions, and fired at 1100 ° C. for 2 hours. La 0.5 Sr 0.5 coated with palladium prepared in the same manner as in Example 1 was applied to the side of the thus obtained sintered body where the electrodes were exposed.
An electrode paste composed of CoO 3 (La 0.5 Sr 0.5 CoO 3 and palladium in a weight ratio of 70/30), glass frit, ethyl cellulose, and α-terpinol was applied and baked at 800 ° C. The capacitance value of the multilayer chip capacitor thus obtained is in good agreement with the design value calculated from the dielectric constant (ε12000) of the dielectric, and the palladium-coated La 0.5 Sr
The practicality of the electrode using 0.5 CoO 3 was confirmed. In addition to the present embodiment, it is needless to say that the conductive composite oxide particles coated with the noble metal have practical use as electrodes for chip resistors, chip inductors, varistors, piezoelectric elements, and ceramic multilayer wiring boards.

本発明が対象とする複合酸化物は、いずれも通常は酸
化欠陥を有しているため、酸素の組成については特に規
定されるものではない。また、基体物質の化学的安定性
ないしは電気特性を制御するために、主成分元素以外の
金属元素あるいは陰イオン元素を基体物質に添加しても
よい。さらに、上記実施例で用いた複合酸化物粉末は、
0.1〜5.0μmの範囲の粒子径を有していたが、粒子径及
び粒子形状について特に規定されることはない。一方、
被覆貴金属として上記実施例に加えて無電解メッキ被覆
が可能な銀・ロジウム・イリジウム・ルテニウム及びこ
れらの合金を用いてもよいことは言うまでもない。
Since the composite oxides targeted by the present invention usually have oxidation defects, the composition of oxygen is not particularly limited. Further, in order to control the chemical stability or the electrical characteristics of the base material, a metal element or an anion element other than the main component element may be added to the base material. Further, the composite oxide powder used in the above examples,
Although it had a particle diameter in the range of 0.1 to 5.0 μm, there is no particular limitation on the particle diameter and particle shape. on the other hand,
It goes without saying that silver, rhodium, iridium, ruthenium and alloys thereof which can be coated by electroless plating may be used as the coated noble metal in addition to the above embodiments.

発明の効果 以上のように本発明は、導電性複合酸化物の粒子表面
を貴金属コロイドにて活性化処理した後に、直接無電解
メッキ液中にて貴金属被覆した構成の導電性粒子であ
り、導電性に優れ、且つ熱的、化学的安定性に優れた導
電性粒子を安価に製造せしめることができ、実用上の価
値は非常に大きいものである。
Effect of the Invention As described above, the present invention is a conductive particle having a configuration in which a particle surface of a conductive composite oxide is activated with a noble metal colloid and then directly coated with a noble metal in an electroless plating solution. Conductive particles having excellent heat resistance and chemical stability can be produced at low cost, and the practical value thereof is extremely large.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川北 晃司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 中村 恒 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−207875(JP,A) 特開 昭48−56591(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C23C 18/44 C23C 18/31 H01B 1/22──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Koji Kawakita 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-62-207875 (JP, A) JP-A-48-56591 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) C23C 18/44 C23C 18 / 31 H01B 1/22

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基体物質となる導電性複合酸化物の粒子表
面にパラジウムコロイドによる活性化処理後、直接無電
解メッキによる貴金属被覆をしてなるセラミック電子部
品の電極用導電性粒子。
An electroconductive particle for an electrode of a ceramic electronic component, wherein a particle surface of an electroconductive composite oxide serving as a base material is activated by a palladium colloid and then directly coated with a noble metal by electroless plating.
【請求項2】導電性複合酸化物がLa1-xSrxCoO3(0.1≦
x≦0.8),Pr1-xSrxCoO3(0.2≦x≦0.8),Nd1-xSrxCoO
3(0.3≦x≦0.7),La1-xBaxCoO3(0.1≦x≦0.5),Pr
1-xBaxCoO3(0.2≦x≦0.5)のうちの1種あるいは2種
以上の固溶系の組成を有することを特徴とする請求項1
記載のセラミック電子部品の電極用導電性粒子。
2. The method according to claim 1, wherein the conductive composite oxide is La 1-x Sr x CoO 3 (0.1 ≦
x ≦ 0.8), Pr 1-x Sr x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.8), Nd 1-x Sr x CoO
3 (0.3 ≦ x ≦ 0.7), La 1-x Ba x CoO 3 (0.1 ≦ x ≦ 0.5), Pr
The composition of one or more of 1-x Ba x CoO 3 (0.2 ≦ x ≦ 0.5) as a solid solution.
The conductive particles for electrodes of the ceramic electronic component according to the above.
【請求項3】導電性複合酸化物がLa2-xSrxCuO4(0.1≦
x≦0.5),La2-xBaxCuO4(0.01≦x≦0.5)のうちの1
種あるいは2種以上の固溶系の組成を有することを特徴
とする請求項1記載のセラミック電子部品の電極用導電
性粒子。
3. The method according to claim 1, wherein the conductive composite oxide is La 2-x Sr x CuO 4 (0.1 ≦
x ≦ 0.5), one of La 2-x Ba x CuO 4 (0.01 ≦ x ≦ 0.5)
2. The conductive particles for an electrode of a ceramic electronic component according to claim 1, wherein the conductive particles have one or more kinds of solid solution compositions.
【請求項4】導電性複合酸化物がYBa2Cu3O7系の組成を
有することを特徴とする請求項1記載のセラミック電子
部品の電極用導電性粒子。
4. The conductive particles for an electrode of a ceramic electronic component according to claim 1, wherein the conductive composite oxide has a YBa 2 Cu 3 O 7 system composition.
【請求項5】導電性複合酸化物がBiCaSrCu2O5.5系の組
成を有することを特徴とする請求項1記載のセラミック
電子部品の電極用導電性粒子。
5. The conductive particles for an electrode of a ceramic electronic component according to claim 1, wherein the conductive composite oxide has a composition of BiCaSrCu 2 O 5.5 system.
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