JP2807947B2 - ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの組立
工程において、第１ボンディング点、例えば半導体チッ
プ上の電極（パッド）と、第２ボンディング点、例えば
リードフレームに配設された外部リードとをワイヤを用
いて接続するワイヤボンディング装置におけるワイヤボ
ンダー用ボール形成装置及びその方法に関する。
工程において、第１ボンディング点、例えば半導体チッ
プ上の電極（パッド）と、第２ボンディング点、例えば
リードフレームに配設された外部リードとをワイヤを用
いて接続するワイヤボンディング装置におけるワイヤボ
ンダー用ボール形成装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金線又は銅、アルミニウムなどの
ワイヤを用いて第１ボンディング点となる半導体チップ
上の電極と、第２ボンディング点となるリードとを接続
するワイヤボンディング装置においては、先ずキャピラ
リから突出したワイヤの先端と放電電極（電気トーチ）
との間に高電圧を印加することにより放電を起こさせ、
その放電エネルギーによりワイヤの先端部分を溶融して
キャピラリ内に挿通されたワイヤの先端にボールを形成
する。そしてキャピラリの先端に保持されたボールをボ
ンディング点に当接させつつ、超音波振動を印加するこ
とによってボンディング点に対してワイヤ接続を行う。
ワイヤを用いて第１ボンディング点となる半導体チップ
上の電極と、第２ボンディング点となるリードとを接続
するワイヤボンディング装置においては、先ずキャピラ
リから突出したワイヤの先端と放電電極（電気トーチ）
との間に高電圧を印加することにより放電を起こさせ、
その放電エネルギーによりワイヤの先端部分を溶融して
キャピラリ内に挿通されたワイヤの先端にボールを形成
する。そしてキャピラリの先端に保持されたボールをボ
ンディング点に当接させつつ、超音波振動を印加するこ
とによってボンディング点に対してワイヤ接続を行う。
【０００３】先ず、図５はそのボンディング作業を行う
に先立ち、ワイヤの先端にイニシャルボールＩＢを形成
させる従来のボール形成装置の例を示したものである。
即ち、図５に示す装置は、高電圧を発生する電源回路１
０１と、この電源回路１０１の一端に接続され、定電流
を発生する定電流回路１０２と、この定電流回路１０２
に直列に接続されたスイッチング回路１０３と、このス
イッチング回路１０３を一定時間オン状態とするタイマ
回路１０４と、前記スイッチング回路１０３と接続され
た安定器１０５と、この安定器１０５に接続された放電
電極１０６と、前記電源回路１０１の他端子に接続され
たクランパ１０７と、このクランパ１０７によってクラ
ンプされ、その先端がキャピラリ１０８を挿通して前記
放電電極１０６に距離Ｓを介して対向するように成され
たワイヤ１０９とで構成されている。
に先立ち、ワイヤの先端にイニシャルボールＩＢを形成
させる従来のボール形成装置の例を示したものである。
即ち、図５に示す装置は、高電圧を発生する電源回路１
０１と、この電源回路１０１の一端に接続され、定電流
を発生する定電流回路１０２と、この定電流回路１０２
に直列に接続されたスイッチング回路１０３と、このス
イッチング回路１０３を一定時間オン状態とするタイマ
回路１０４と、前記スイッチング回路１０３と接続され
た安定器１０５と、この安定器１０５に接続された放電
電極１０６と、前記電源回路１０１の他端子に接続され
たクランパ１０７と、このクランパ１０７によってクラ
ンプされ、その先端がキャピラリ１０８を挿通して前記
放電電極１０６に距離Ｓを介して対向するように成され
たワイヤ１０９とで構成されている。
【０００４】上記構成よりなる装置を用いてボールＩＢ
（図６に図示）の形成を行うには、外部からのトリガ信
号Ｔｒによってタイマ回路１０４がトリガされてスイッ
チング回路１０３を駆動してスイッチをオンにする。こ
のスイッチのオンによって定電流回路１０２より一定の
電流が供給されて安定器１０５を介して放電電極１０６
とワイヤ１０９との間に高電圧、例えば−１０００〜２
０００Ｖ程度が印加されて、ワイヤ１０９の先端と放電
電極１０６との間で放電を起こさしめ、その放電エネル
ギーＰによりワイヤ１０９の先端を溶融してボール状に
形成する。
（図６に図示）の形成を行うには、外部からのトリガ信
号Ｔｒによってタイマ回路１０４がトリガされてスイッ
チング回路１０３を駆動してスイッチをオンにする。こ
のスイッチのオンによって定電流回路１０２より一定の
電流が供給されて安定器１０５を介して放電電極１０６
とワイヤ１０９との間に高電圧、例えば−１０００〜２
０００Ｖ程度が印加されて、ワイヤ１０９の先端と放電
電極１０６との間で放電を起こさしめ、その放電エネル
ギーＰによりワイヤ１０９の先端を溶融してボール状に
形成する。
【０００５】図６は以上のようにしてワイヤ１０９の先
端にボールＩＢを形成した後のボンディングの作業工程
について示したものである。即ち、図６（ａ）に示すよ
うにキャピラリ１０８を第１ボンディング点となるＩＣ
チップ（半導体）１１０のパッド１１１の直上に位置さ
せる。次に図６（ｂ）に示すようにキャピラリ１０８を
下降させてボールＩＢをパッド１１１に当接させ、更に
ボンディング加圧を加えて図６（ｃ）に示すように所定
の圧着径Ｄ及び所定の圧着厚ＷＤとなるまでボールＩＢ
を押しつぶす。
端にボールＩＢを形成した後のボンディングの作業工程
について示したものである。即ち、図６（ａ）に示すよ
うにキャピラリ１０８を第１ボンディング点となるＩＣ
チップ（半導体）１１０のパッド１１１の直上に位置さ
せる。次に図６（ｂ）に示すようにキャピラリ１０８を
下降させてボールＩＢをパッド１１１に当接させ、更に
ボンディング加圧を加えて図６（ｃ）に示すように所定
の圧着径Ｄ及び所定の圧着厚ＷＤとなるまでボールＩＢ
を押しつぶす。
【０００６】この押しつぶすと同時に、キャピラリ１０
８の先端に対して超音波ホーン（図示せず）を介して超
音波を印加して超音波振動による接続を行う。この超音
波接続によりパッド１１１に対してワイヤ１０９が接続
され、続いて図６（ｄ）に示すようにキャピラリ１０８
を所定のループコントロールにしたがって上昇および水
平方向に移動させて、第２ボンディング点となるリード
１１２の上方に位置させ、二点鎖線で示すようにキャピ
ラリ１０８を下降させてキャピラリ１０８の下端部によ
りワイヤ１０９の一部を押しつぶし、偏平部を形成す
る。ここで再びキャピラリ１０８の先端に対して超音波
振動を印加してリード１１２に接続させる。その後キャ
ピラリ１０８のみが所定量上昇してクランプ１０７によ
りワイヤ１０９をクランプして前記偏平部の端からワイ
ヤ１０９を切断して一回のボンディング作業が終了す
る。
８の先端に対して超音波ホーン（図示せず）を介して超
音波を印加して超音波振動による接続を行う。この超音
波接続によりパッド１１１に対してワイヤ１０９が接続
され、続いて図６（ｄ）に示すようにキャピラリ１０８
を所定のループコントロールにしたがって上昇および水
平方向に移動させて、第２ボンディング点となるリード
１１２の上方に位置させ、二点鎖線で示すようにキャピ
ラリ１０８を下降させてキャピラリ１０８の下端部によ
りワイヤ１０９の一部を押しつぶし、偏平部を形成す
る。ここで再びキャピラリ１０８の先端に対して超音波
振動を印加してリード１１２に接続させる。その後キャ
ピラリ１０８のみが所定量上昇してクランプ１０７によ
りワイヤ１０９をクランプして前記偏平部の端からワイ
ヤ１０９を切断して一回のボンディング作業が終了す
る。
【０００７】そしてキャピラリ１０８を再び図５に示す
放電電極１０６に対向させてキャピラリ１０８の先端の
ワイヤ１０９と放電電極１０６との間で放電を起こさ
せ、キャピラリ１０８の先端にボールＩＢを形成して図
（ａ）の状態に戻り、次のボンディングを行う。
放電電極１０６に対向させてキャピラリ１０８の先端の
ワイヤ１０９と放電電極１０６との間で放電を起こさ
せ、キャピラリ１０８の先端にボールＩＢを形成して図
（ａ）の状態に戻り、次のボンディングを行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図５に示すような従来
のボール形成装置においては、放電によって形成される
イニシャルボールＩＢの所望の大きさを決定するための
条件設定は手動設定により行われている。このため仮の
放電電流値及び仮の放電電流時間（タイマ１０４のオン
時間）を種々設定し、図６（ｃ）に示すような圧着径Ｄ
及び圧着厚ＷＤを実測する。この実測された圧着径Ｄ及
び圧着厚ＷＤからこの時の放電電流値及び放電時間をデ
ータとしてサンプルする。この得られたデータを基に結
果として図６（ｃ）に示すような所定の圧着径Ｄ及び所
定の圧着厚ＷＤとなるボンディング形状、即ちイニシャ
ルボールＩＢを形成するようにしている。
のボール形成装置においては、放電によって形成される
イニシャルボールＩＢの所望の大きさを決定するための
条件設定は手動設定により行われている。このため仮の
放電電流値及び仮の放電電流時間（タイマ１０４のオン
時間）を種々設定し、図６（ｃ）に示すような圧着径Ｄ
及び圧着厚ＷＤを実測する。この実測された圧着径Ｄ及
び圧着厚ＷＤからこの時の放電電流値及び放電時間をデ
ータとしてサンプルする。この得られたデータを基に結
果として図６（ｃ）に示すような所定の圧着径Ｄ及び所
定の圧着厚ＷＤとなるボンディング形状、即ちイニシャ
ルボールＩＢを形成するようにしている。
【０００９】しかしながら、このような作業はたとえ熟
練者であっても容易ではなく、目的とする圧着径Ｄ及び
圧着厚ＷＤのボンディング形状を得るために、幾度もの
ボンディング作業及び測定作業を余儀無くされている。
練者であっても容易ではなく、目的とする圧着径Ｄ及び
圧着厚ＷＤのボンディング形状を得るために、幾度もの
ボンディング作業及び測定作業を余儀無くされている。
【００１０】そこで、本発明は前記した従来技術の問題
点に鑑みて成されたものであって、キーボードによって
イニシャルボールＩＢに関するデータを入力実行するこ
とにより、該イニシャルボールの大きさを得るためのデ
ータを自動的に演算して所定の放電エネルギー、即ち所
定の放電電流及び所定の放電時間でキャピラリの先端か
ら送り出されたワイヤと放電電極との間で放電を行わせ
て所望のイニシャルボールを形成することのできるワイ
ヤボンダー用ボール形成装置及びその方法を提供するこ
とを目的としている。
点に鑑みて成されたものであって、キーボードによって
イニシャルボールＩＢに関するデータを入力実行するこ
とにより、該イニシャルボールの大きさを得るためのデ
ータを自動的に演算して所定の放電エネルギー、即ち所
定の放電電流及び所定の放電時間でキャピラリの先端か
ら送り出されたワイヤと放電電極との間で放電を行わせ
て所望のイニシャルボールを形成することのできるワイ
ヤボンダー用ボール形成装置及びその方法を提供するこ
とを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、キャピラリの
先端から送り出されたワイヤの先端と放電電極との間に
高電圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電
エネルギーによりワイヤの先端部を溶融してイニシャル
ボールを形成するワイヤボンダー用ボール形成装置であ
って、前記イニシャルボールのボール径に関するデータ
を設定して入力実行するキーボードと、前記イニシャル
ボールの体積に関するデータを格納する第１テーブル
と、前記イニシャルボールの体積及びワイヤ径との相関
関係から演算された放電エネルギーに関するデータを格
納する第２テーブルとを含むデータテーブルと、前記キ
ーボードにより入力実行された前記イニシャルボールの
ボール径に関するデータを受けて前記データテーブルの
前記第１テーブルを参照して前記ボール径に相当する前
記イニシャルボールの体積を読み出し、更に第２テーブ
ルを参照して第１テーブルから読み出されたイニシャル
ボールの体積と前記ワイヤ径との相関関係から放電エネ
ルギーに関するデータを読み出して放電時間及び放電電
流を演算制御する制御手段と、前記制御手段からの制御
信号により放電時間の制御を行う時間制御器と、前記時
間制御器により制御された時間内定電流制御を行う定電
流回路とを備え、前記制御手段からの制御信号に基づい
て前記キャピラリの先端から送り出されたワイヤと放電
電極との間で前記放電エネルギーによる放電を起こさせ
て前記ワイヤの先端に前記ボール径に相当するイニシャ
ルボールを形成してなるものである。また、本発明によ
る前記データテーブルは、キャピラリの形状に関するデ
ータを格納する第３テーブルを有するものである。ま
た、本発明による前記キャピラリの形状に関するデータ
は、ホール径、チャンファー径、チャンファー角度等に
関するものである。また、本発明は、キャピラリの先端
から送り出されたワイヤの先端と放電電極との間に高電
圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電エネ
ルギーによりワイヤの先端部を溶融してイニシャルボー
ルを形成するワイヤボンディング方法において、キーボ
ードにより前記イニシャルボールのボール径に関するデ
ータを入力実行して制御手段に出力し、この出力を受け
て制御手段は、データテーブルの第１テーブルを参照し
て前記ボール径に相当する前記イニシャルボールの体積
を読み出し、更に第２テーブルを参照して前記第１テー
ブルから読み出された前記イニシャルボールの体積と前
記ワイヤ径との相関関係から放電エネルギーに関するデ
ータを読み出して放電時間及び放電電流を演算制御し、
前記制御手段からの制御信号により制御された時間内定
電流回路により定電流制御を行うことによって、前記キ
ャピラリの先端から送り出されたワイヤと放電電極との
間で前記放電エネルギーによる放電を起こさせて前記ワ
イヤの先端に前記ボール径に相当するイニシャルボール
を形成するものである。
先端から送り出されたワイヤの先端と放電電極との間に
高電圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電
エネルギーによりワイヤの先端部を溶融してイニシャル
ボールを形成するワイヤボンダー用ボール形成装置であ
って、前記イニシャルボールのボール径に関するデータ
を設定して入力実行するキーボードと、前記イニシャル
ボールの体積に関するデータを格納する第１テーブル
と、前記イニシャルボールの体積及びワイヤ径との相関
関係から演算された放電エネルギーに関するデータを格
納する第２テーブルとを含むデータテーブルと、前記キ
ーボードにより入力実行された前記イニシャルボールの
ボール径に関するデータを受けて前記データテーブルの
前記第１テーブルを参照して前記ボール径に相当する前
記イニシャルボールの体積を読み出し、更に第２テーブ
ルを参照して第１テーブルから読み出されたイニシャル
ボールの体積と前記ワイヤ径との相関関係から放電エネ
ルギーに関するデータを読み出して放電時間及び放電電
流を演算制御する制御手段と、前記制御手段からの制御
信号により放電時間の制御を行う時間制御器と、前記時
間制御器により制御された時間内定電流制御を行う定電
流回路とを備え、前記制御手段からの制御信号に基づい
て前記キャピラリの先端から送り出されたワイヤと放電
電極との間で前記放電エネルギーによる放電を起こさせ
て前記ワイヤの先端に前記ボール径に相当するイニシャ
ルボールを形成してなるものである。また、本発明によ
る前記データテーブルは、キャピラリの形状に関するデ
ータを格納する第３テーブルを有するものである。ま
た、本発明による前記キャピラリの形状に関するデータ
は、ホール径、チャンファー径、チャンファー角度等に
関するものである。また、本発明は、キャピラリの先端
から送り出されたワイヤの先端と放電電極との間に高電
圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電エネ
ルギーによりワイヤの先端部を溶融してイニシャルボー
ルを形成するワイヤボンディング方法において、キーボ
ードにより前記イニシャルボールのボール径に関するデ
ータを入力実行して制御手段に出力し、この出力を受け
て制御手段は、データテーブルの第１テーブルを参照し
て前記ボール径に相当する前記イニシャルボールの体積
を読み出し、更に第２テーブルを参照して前記第１テー
ブルから読み出された前記イニシャルボールの体積と前
記ワイヤ径との相関関係から放電エネルギーに関するデ
ータを読み出して放電時間及び放電電流を演算制御し、
前記制御手段からの制御信号により制御された時間内定
電流回路により定電流制御を行うことによって、前記キ
ャピラリの先端から送り出されたワイヤと放電電極との
間で前記放電エネルギーによる放電を起こさせて前記ワ
イヤの先端に前記ボール径に相当するイニシャルボール
を形成するものである。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１乃至図４を用い
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１は、本発明に係るワイヤボンダー用ボ
ール形成装置の回路構成の一例について示したものであ
る。即ち図１において、高電圧を発生する直流電源回路
１は、約−１２００Ｖ程度の高電圧電源である。この直
流電源回路１の−（マイナス）端子は定電流回路２に接
続されている。この定電流回路２は抵抗Ｒ1 とＮＰＮ型
トランジスタＱ１とで構成されている。抵抗Ｒ1 の一端
は前記直流電源回路１の−（マイナス）端子と接続さ
れ、他端はトランジスタＱ1 のエミッタと接続されてい
る。このトランジスタＱ１のコレクタはインダクタＬよ
りなる安定器３と接続され、この安定器３は放電電極４
と接続されている。この安定器３は放電電流が何等かの
原因により減少してもインダクタＬの自己誘導作用によ
りこの電流の減少分に相当する電圧を発生させて電圧を
上昇させスパーク放電を安定維持させる。
ール形成装置の回路構成の一例について示したものであ
る。即ち図１において、高電圧を発生する直流電源回路
１は、約−１２００Ｖ程度の高電圧電源である。この直
流電源回路１の−（マイナス）端子は定電流回路２に接
続されている。この定電流回路２は抵抗Ｒ1 とＮＰＮ型
トランジスタＱ１とで構成されている。抵抗Ｒ1 の一端
は前記直流電源回路１の−（マイナス）端子と接続さ
れ、他端はトランジスタＱ1 のエミッタと接続されてい
る。このトランジスタＱ１のコレクタはインダクタＬよ
りなる安定器３と接続され、この安定器３は放電電極４
と接続されている。この安定器３は放電電流が何等かの
原因により減少してもインダクタＬの自己誘導作用によ
りこの電流の減少分に相当する電圧を発生させて電圧を
上昇させスパーク放電を安定維持させる。
【００１４】また前記トランジスタＱ１のベースには、
時間制御器としてのスイッチ回路５が接続されている。
このスイッチ回路５は、後述する制御回路からの制御信
号ｔにより決められる所定の時間、放電を継続制御する
構成となっている。このスイッチ回路５がオン動作して
いる間、定電流回路２は放電電極４に定電流を流すよう
に制御を行う。このスイッチ回路５の入力側にはアナロ
グ演算器６の出力端子Ｏｕｔ２が接続されている。また
このアナログ演算器６の出力端子Ｏｕｔ１は、直流電源
回路１と抵抗Ｒ１間に接続されている。
時間制御器としてのスイッチ回路５が接続されている。
このスイッチ回路５は、後述する制御回路からの制御信
号ｔにより決められる所定の時間、放電を継続制御する
構成となっている。このスイッチ回路５がオン動作して
いる間、定電流回路２は放電電極４に定電流を流すよう
に制御を行う。このスイッチ回路５の入力側にはアナロ
グ演算器６の出力端子Ｏｕｔ２が接続されている。また
このアナログ演算器６の出力端子Ｏｕｔ１は、直流電源
回路１と抵抗Ｒ１間に接続されている。
【００１５】前記アナログ演算器６は、後述するように
放電電圧が高い場合には設定された電流値よりも放電電
流が低くなるように制御を行い、逆に放電電圧が低い場
合には放電電流が高くなるように制御を行う。即ち、単
位時間あたりの放電エネルギーが一定となるように制御
される。
放電電圧が高い場合には設定された電流値よりも放電電
流が低くなるように制御を行い、逆に放電電圧が低い場
合には放電電流が高くなるように制御を行う。即ち、単
位時間あたりの放電エネルギーが一定となるように制御
される。
【００１６】このアナログ演算器６の第１の制御入力端
子Ｉｎ１には、マイクロプロセッサユニット（μｐｃ）
より成る制御手段としての制御回路７が接続されてい
る。この制御手段としての制御回路７からは、ワイヤ１
１の先端と放電電極４との間に加える所定の放電電流Ｉ
を制御する制御信号ｉがアナログ演算器６の第１の制御
入力端子Ｉｎ１に加えられる。また前記制御手段として
の制御回路７からは、スイッチ回路５に対して放電時間
Ｔを制御する制御信号ｔが供給される。
子Ｉｎ１には、マイクロプロセッサユニット（μｐｃ）
より成る制御手段としての制御回路７が接続されてい
る。この制御手段としての制御回路７からは、ワイヤ１
１の先端と放電電極４との間に加える所定の放電電流Ｉ
を制御する制御信号ｉがアナログ演算器６の第１の制御
入力端子Ｉｎ１に加えられる。また前記制御手段として
の制御回路７からは、スイッチ回路５に対して放電時間
Ｔを制御する制御信号ｔが供給される。
【００１７】この制御手段としての制御回路７にはキー
ボード実行スイッチ８が接続されており、このキーボー
ド実行スイッチ８は、後に詳細に説明するが、ワイヤの
先端に形成されるイニシャルボールのデータ、例えばイ
ニシャルボールＩＢのボール径に関するデータを設定し
て入力実行する。そしてこのイニシャルボールのデータ
が入力されると、制御手段としての制御回路７は、制御
回路７に接続されたデータテーブル９を参照して前記所
定の放電電流を制御する制御信号ｉおよび所定の放電時
間Ｔを制御する制御信号ｔを演算して求め、それぞれ前
記アナログ演算器６及びスイッチ回路５に対して供給す
る。
ボード実行スイッチ８が接続されており、このキーボー
ド実行スイッチ８は、後に詳細に説明するが、ワイヤの
先端に形成されるイニシャルボールのデータ、例えばイ
ニシャルボールＩＢのボール径に関するデータを設定し
て入力実行する。そしてこのイニシャルボールのデータ
が入力されると、制御手段としての制御回路７は、制御
回路７に接続されたデータテーブル９を参照して前記所
定の放電電流を制御する制御信号ｉおよび所定の放電時
間Ｔを制御する制御信号ｔを演算して求め、それぞれ前
記アナログ演算器６及びスイッチ回路５に対して供給す
る。
【００１８】一方、前記直流電源の＋（プラス）端子
は、クランパ１０と接続され、ボール形成時にワイヤ１
１をクランプし、キャピラリ１２に挿通されたワイヤ１
１と所定の電極間距離Ｓを保つように移動してワイヤ１
１の先端下方に放電電極４が移動される構成となってい
る。
は、クランパ１０と接続され、ボール形成時にワイヤ１
１をクランプし、キャピラリ１２に挿通されたワイヤ１
１と所定の電極間距離Ｓを保つように移動してワイヤ１
１の先端下方に放電電極４が移動される構成となってい
る。
【００１９】そして、前記トランジスタＱ１のコレクタ
と安定器３との間及び直流電源回路１とクランパ１０と
の間には、電極間電圧Ｖを検出する電圧検出器１３が接
続されている。この電圧検出器１３により検出された電
極間電圧Ｖは前記アナログ演算器６の第２の制御入力端
子Ｉｎ２に供給される構成となっている。
と安定器３との間及び直流電源回路１とクランパ１０と
の間には、電極間電圧Ｖを検出する電圧検出器１３が接
続されている。この電圧検出器１３により検出された電
極間電圧Ｖは前記アナログ演算器６の第２の制御入力端
子Ｉｎ２に供給される構成となっている。
【００２０】図２は前記したアナログ演算器６の基本構
成を示したものであり、一対のＰＮＰ型トランジスタＱ
２とＱ３及びＰＮＰ型の電流制御トランジスタＱ４によ
り差動増幅器を構成している。即ち、トランジスタＱ２
とＱ３のそれぞれのエミッタは共通接続されてトランジ
スタＱ４のコレクタに接続されており、このトランジス
タＱ４のエミッタは正電源＋Ｖｃｃに接続されている。
成を示したものであり、一対のＰＮＰ型トランジスタＱ
２とＱ３及びＰＮＰ型の電流制御トランジスタＱ４によ
り差動増幅器を構成している。即ち、トランジスタＱ２
とＱ３のそれぞれのエミッタは共通接続されてトランジ
スタＱ４のコレクタに接続されており、このトランジス
タＱ４のエミッタは正電源＋Ｖｃｃに接続されている。
【００２１】そして前記一対のトランジスタＱ２とＱ３
のコレクタには、それぞれ負荷抵抗Ｒ２及びＲ３の一端
が接続され、負荷抵抗Ｒ２及びＲ３の他端は共通接続さ
れて負電源−Ｖｃｃに接続されている。
のコレクタには、それぞれ負荷抵抗Ｒ２及びＲ３の一端
が接続され、負荷抵抗Ｒ２及びＲ３の他端は共通接続さ
れて負電源−Ｖｃｃに接続されている。
【００２２】前記電流制御トランジスタＱ４のベースに
はベース抵抗Ｒ５の一端が接続されており、その他端は
演算器６の第１制御入力端子Ｉｎ１を形成している。
はベース抵抗Ｒ５の一端が接続されており、その他端は
演算器６の第１制御入力端子Ｉｎ１を形成している。
【００２３】また、前記トランジスタＱ３のベースは、
このアナログ演算器６の基準電位点に接続されている。
さらに前記トランジスタＱ２のベースにはベース抵抗Ｒ
４の一端が接続されており、その他端は演算器６の第２
の制御入力端子Ｉｎ２を形成している。そして、前記ト
ランジスタＱ２のコレクタに接続された負荷抵抗Ｒ２の
両端がそれぞれアナログ演算器６の出力端子Ｏｕｔ１及
びＯｕｔ２を形成している。
このアナログ演算器６の基準電位点に接続されている。
さらに前記トランジスタＱ２のベースにはベース抵抗Ｒ
４の一端が接続されており、その他端は演算器６の第２
の制御入力端子Ｉｎ２を形成している。そして、前記ト
ランジスタＱ２のコレクタに接続された負荷抵抗Ｒ２の
両端がそれぞれアナログ演算器６の出力端子Ｏｕｔ１及
びＯｕｔ２を形成している。
【００２４】次に、本発明に係るボール形成装置により
所望の大きさのイニシャルボールＩＢを形成する場合に
ついて説明する。
所望の大きさのイニシャルボールＩＢを形成する場合に
ついて説明する。
【００２５】図３は、キャピラリ１２の先端に保持され
たボールＩＢをボンディング点に対して当接させてボン
ディング加圧が加えられた状態を示している。この時の
ボール圧着径をＤ、圧着厚をＷＤとし、キャピラリ１２
のホール径をＨ、チャンファー径をＣＤ、チャンファー
角度をθとした場合、図３におけるＡ，Ｂ，Ｃの各部の
体積はそれぞれ次のように表せる。 Ａ部＝π・ＷＤ (Ｄ／2)2 Ｂ部＝π／24・ (ＣＤ3 −Ｈ3)・tan 〔(180o −θ) ／
2)〕 Ｃ部＝π (Ｈ／2)2 ・ (ＷＤ／2)
たボールＩＢをボンディング点に対して当接させてボン
ディング加圧が加えられた状態を示している。この時の
ボール圧着径をＤ、圧着厚をＷＤとし、キャピラリ１２
のホール径をＨ、チャンファー径をＣＤ、チャンファー
角度をθとした場合、図３におけるＡ，Ｂ，Ｃの各部の
体積はそれぞれ次のように表せる。 Ａ部＝π・ＷＤ (Ｄ／2)2 Ｂ部＝π／24・ (ＣＤ3 −Ｈ3)・tan 〔(180o −θ) ／
2)〕 Ｃ部＝π (Ｈ／2)2 ・ (ＷＤ／2)
【００２６】従って、前記Ａ，Ｂ，Ｃの各部の体積の合
計がイニシャルボールＩＢの体積に等しいことになり、 ＩＢ＝Ａ部＋Ｂ部＋Ｃ部＝π・ＷＤ (Ｄ／2)2 ＋π／24 (ＣＤ3 −Ｈ3 ) ・tan 〔(180o −θ／2)〕＋π (Ｈ／2 )2 ・ (ＷＤ／2 ) ……（１） となる。
計がイニシャルボールＩＢの体積に等しいことになり、 ＩＢ＝Ａ部＋Ｂ部＋Ｃ部＝π・ＷＤ (Ｄ／2)2 ＋π／24 (ＣＤ3 −Ｈ3 ) ・tan 〔(180o −θ／2)〕＋π (Ｈ／2 )2 ・ (ＷＤ／2 ) ……（１） となる。
【００２７】ここで、前記式（１）に示す体積のイニシ
ャルボールＩＢを得るために必要な放電エネルギーＰ
は、図４に示すような関係になる。即ち横軸に放電エネ
ルギーＰを、縦軸にイニシャルボールＩＢの体積をとる
と、その相関関係はほぼＦとして示されるように、 Ｐ＝Ｆ（ＩＢ，Ｗ）……（２） 〔ただしＩＢはイニシャルボールの体積、Ｗはワイヤ
径〕となる。従って前記式（１）及び式（２）より必要
なボール圧着径Ｄ、圧着厚ＷＤに応じた必要な放電エネ
ルギーＰを演算することが可能となる。
ャルボールＩＢを得るために必要な放電エネルギーＰ
は、図４に示すような関係になる。即ち横軸に放電エネ
ルギーＰを、縦軸にイニシャルボールＩＢの体積をとる
と、その相関関係はほぼＦとして示されるように、 Ｐ＝Ｆ（ＩＢ，Ｗ）……（２） 〔ただしＩＢはイニシャルボールの体積、Ｗはワイヤ
径〕となる。従って前記式（１）及び式（２）より必要
なボール圧着径Ｄ、圧着厚ＷＤに応じた必要な放電エネ
ルギーＰを演算することが可能となる。
【００２８】一方、ワイヤの先端と放電電極との間での
放電エネルギーＰは、一般にワイヤと放電電極間電圧
Ｖ、放電電流Ｉ、放電時間Ｔとの積になる。よって前記
式（１）に関する相関関係の詳細なデータ、例えば式
（１）によって得られたイニシャルボールＩＢの体積を
前記データテーブル９内に第１テーブルとして格納する
と共に、前記式（２）に関する相関関係のデータをデー
タテーブル９内に第２テーブルとして格納しておく。そ
してキーボード実行スイッチ８より必要なイニシャルボ
ールＩＢのデータ、例えばイニシャルボールＩＢの大き
さを入力実行することにより、制御手段としての制御回
路７は、制御回路７と接続されたデータテーブル９を参
照する。
放電エネルギーＰは、一般にワイヤと放電電極間電圧
Ｖ、放電電流Ｉ、放電時間Ｔとの積になる。よって前記
式（１）に関する相関関係の詳細なデータ、例えば式
（１）によって得られたイニシャルボールＩＢの体積を
前記データテーブル９内に第１テーブルとして格納する
と共に、前記式（２）に関する相関関係のデータをデー
タテーブル９内に第２テーブルとして格納しておく。そ
してキーボード実行スイッチ８より必要なイニシャルボ
ールＩＢのデータ、例えばイニシャルボールＩＢの大き
さを入力実行することにより、制御手段としての制御回
路７は、制御回路７と接続されたデータテーブル９を参
照する。
【００２９】今、キーボード実行スイッチ８から所望の
イニシャルボールＩＢの大きさ等のデータ、例えばボー
ル径に関するデータが入力実行されると、制御手段とし
ての制御回路７はこのボール径に相当するイニシャルボ
ールＩＢの体積を第１テーブルに格納されているデータ
からサーチして読み出す。次に制御回路７は、第１テー
ブルから得られたこれらのデータを基に、再びデータテ
ーブル９を参照して第２テーブルによって必要な放電エ
ネルギーＰを読み出す。
イニシャルボールＩＢの大きさ等のデータ、例えばボー
ル径に関するデータが入力実行されると、制御手段とし
ての制御回路７はこのボール径に相当するイニシャルボ
ールＩＢの体積を第１テーブルに格納されているデータ
からサーチして読み出す。次に制御回路７は、第１テー
ブルから得られたこれらのデータを基に、再びデータテ
ーブル９を参照して第２テーブルによって必要な放電エ
ネルギーＰを読み出す。
【００３０】以上のようにして必要な放電エネルギーＰ
が求められれば、ワイヤ１１と放電電極４間における所
定の放電電流Ｉを制御する制御信号ｉ及び所定の放電時
間Ｔを制御する制御信号ｔがそれぞれ演算できる。
が求められれば、ワイヤ１１と放電電極４間における所
定の放電電流Ｉを制御する制御信号ｉ及び所定の放電時
間Ｔを制御する制御信号ｔがそれぞれ演算できる。
【００３１】次に以上の演算処理に基づいて制御される
図１及び図２に示す回路構成の作用について説明する。
図１及び図２に示す回路構成の作用について説明する。
【００３２】今、図１に示すようにワイヤ１１と放電電
極４が所定距離Ｓ離間させた状態にあるとき、キーボー
ド実行スイッチ８により、所望のイニシャルボールＩＢ
を得るために必要なデータ、例えばイニシャルボールＩ
Ｂの径等がマイクロプロセッサより成る制御回路７に入
力される。これにより制御回路７は前記した通り、デー
タテーブル９の第１テーブル及び第２テーブルを順次参
照して、ワイヤ１１と放電電極４間における所定の放電
電流Ｉを制御する制御信号ｉ及び所定の放電時間Ｔを制
御する制御信号ｔの値を演算する。
極４が所定距離Ｓ離間させた状態にあるとき、キーボー
ド実行スイッチ８により、所望のイニシャルボールＩＢ
を得るために必要なデータ、例えばイニシャルボールＩ
Ｂの径等がマイクロプロセッサより成る制御回路７に入
力される。これにより制御回路７は前記した通り、デー
タテーブル９の第１テーブル及び第２テーブルを順次参
照して、ワイヤ１１と放電電極４間における所定の放電
電流Ｉを制御する制御信号ｉ及び所定の放電時間Ｔを制
御する制御信号ｔの値を演算する。
【００３３】その演算結果としての制御信号ｉ及びｔ
は、前記アナログ演算器６及びスイッチ回路５に対して
それぞれ供給される。前記制御信号ｔを受けたスイッチ
回路５はこれをオン状態とし、アナログ演算器６の出力
端Ｏｕｔ２の出力を定電流回路２を構成するトランジス
タＱ２のベースに供給し、ワイヤ１１と放電電極４間に
おける放電が開始される。
は、前記アナログ演算器６及びスイッチ回路５に対して
それぞれ供給される。前記制御信号ｔを受けたスイッチ
回路５はこれをオン状態とし、アナログ演算器６の出力
端Ｏｕｔ２の出力を定電流回路２を構成するトランジス
タＱ２のベースに供給し、ワイヤ１１と放電電極４間に
おける放電が開始される。
【００３４】この放電が開始されると、電圧検出器１３
は放電電圧を検出し、この検出電圧はアナログ演算器６
の第２の制御入力端子Ｉｎ２に供給される。アナログ演
算器６においては、図２に示すように、電圧検出器１３
より供給された検出電圧はベース抵抗Ｒ4 を介してトラ
ンジスタＱ２のベースに印加されることになる。
は放電電圧を検出し、この検出電圧はアナログ演算器６
の第２の制御入力端子Ｉｎ２に供給される。アナログ演
算器６においては、図２に示すように、電圧検出器１３
より供給された検出電圧はベース抵抗Ｒ4 を介してトラ
ンジスタＱ２のベースに印加されることになる。
【００３５】また、アナログ演算器６の第１の制御入力
端子Ｉｎ１には、前記制御回路７より制御信号ｉが供給
され、この制御信号ｉは、ベース抵抗Ｒ５を介してトラ
ンジスタＱ４のベースに印加される。
端子Ｉｎ１には、前記制御回路７より制御信号ｉが供給
され、この制御信号ｉは、ベース抵抗Ｒ５を介してトラ
ンジスタＱ４のベースに印加される。
【００３６】従ってトランジスタＱ４のベースに印加さ
れるアナログデータによって差動増幅器の全電流（基準
定電流）が決定され、またトランジスタＱ２のベースに
印加される電圧検出器１３より供給された検出電圧（放
電電圧）によってトランジスタＱ２及びＱ３より成る差
動対の各流入電流が決定される。
れるアナログデータによって差動増幅器の全電流（基準
定電流）が決定され、またトランジスタＱ２のベースに
印加される電圧検出器１３より供給された検出電圧（放
電電圧）によってトランジスタＱ２及びＱ３より成る差
動対の各流入電流が決定される。
【００３７】ここで、前記電圧検出器１３により検出さ
れる検出電圧が所定値（アナログ演算器６の前記基準電
位点）よりも高くなると、トランジスタＱ２に印加され
るベース電圧がトランジスタＱ３のベース電圧よりも相
対的に上昇したことになる。従って差動増幅器の基本作
用によってトランジスタＱ２のエミッタ電流（コレクタ
電流）が激減し、トランジスタＱ３のエミッタ電流（コ
レクタ電流）が増大する。よって、トランジスタＱ２に
おける負荷抵抗Ｒ２の両端電圧、即ち演算器６の出力端
子Ｏｕｔ１及びＯｕｔ２間の出力電圧が減少する。
れる検出電圧が所定値（アナログ演算器６の前記基準電
位点）よりも高くなると、トランジスタＱ２に印加され
るベース電圧がトランジスタＱ３のベース電圧よりも相
対的に上昇したことになる。従って差動増幅器の基本作
用によってトランジスタＱ２のエミッタ電流（コレクタ
電流）が激減し、トランジスタＱ３のエミッタ電流（コ
レクタ電流）が増大する。よって、トランジスタＱ２に
おける負荷抵抗Ｒ２の両端電圧、即ち演算器６の出力端
子Ｏｕｔ１及びＯｕｔ２間の出力電圧が減少する。
【００３８】また前記電圧検出器９により検出される検
出電圧が所定値よりも低くなると、トランジスタＱ２に
印加されるベース電圧がトランジスタＱ３のベース電圧
よりも相対的に低下したことになる。従ってトランジス
タＱ２のエミッタ電流（コレクタ電流）が増大し、また
トランジスタＱ３のエミッタ電流（コレクタ電流）が減
少する。よって、トランジスタＱ２における負荷抵抗Ｒ
２の両端電圧、即ち演算器６の出力端子Ｏｕｔ１及びＯ
ｕｔ２間の出力電圧が増大する。
出電圧が所定値よりも低くなると、トランジスタＱ２に
印加されるベース電圧がトランジスタＱ３のベース電圧
よりも相対的に低下したことになる。従ってトランジス
タＱ２のエミッタ電流（コレクタ電流）が増大し、また
トランジスタＱ３のエミッタ電流（コレクタ電流）が減
少する。よって、トランジスタＱ２における負荷抵抗Ｒ
２の両端電圧、即ち演算器６の出力端子Ｏｕｔ１及びＯ
ｕｔ２間の出力電圧が増大する。
【００３９】アナログ演算器６の出力端子Ｏｕｔ１及び
Ｏｕｔ２は前記した通り、放電時間の制御を行うスイッ
チ回路５を介して定電流回路２に接続されており、従っ
て電圧検出器１３によって検出される放電電圧が上昇す
ると、定電流回路２を構成するトランジスタＱ１のベー
ス電圧を低下させて放電電流を減少せしめ、また電圧検
出器９によって検出される放電電圧が低下すると、定電
流回路２を構成するトランジスタＱ１のベース電圧を上
昇させて放電電流を増大させるように作用し、結果とし
て時間単位の放電エネルギーが一定となるように制御さ
れる。
Ｏｕｔ２は前記した通り、放電時間の制御を行うスイッ
チ回路５を介して定電流回路２に接続されており、従っ
て電圧検出器１３によって検出される放電電圧が上昇す
ると、定電流回路２を構成するトランジスタＱ１のベー
ス電圧を低下させて放電電流を減少せしめ、また電圧検
出器９によって検出される放電電圧が低下すると、定電
流回路２を構成するトランジスタＱ１のベース電圧を上
昇させて放電電流を増大させるように作用し、結果とし
て時間単位の放電エネルギーが一定となるように制御さ
れる。
【００４０】なおこの場合、トランジスタＱ１に流れる
放電電流の設定基準値（基準定電流値）は、演算器６の
差動対に流れる全電流、換言すれば、入力端子Ｉｎ１に
印加されるトランジスタＱ４のベース電圧によって決定
されることになる。従って結果として、制御回路７で演
算された制御信号ｉによって放電電流が制御され、しか
も前記したように単位時間あたりの電力が制御信号ｉに
比例するように成される。
放電電流の設定基準値（基準定電流値）は、演算器６の
差動対に流れる全電流、換言すれば、入力端子Ｉｎ１に
印加されるトランジスタＱ４のベース電圧によって決定
されることになる。従って結果として、制御回路７で演
算された制御信号ｉによって放電電流が制御され、しか
も前記したように単位時間あたりの電力が制御信号ｉに
比例するように成される。
【００４１】そして前記制御回路７からの制御信号ｔが
所定時間後にスイッチ回路５をオフさせるように制御
し、所定の電力エネルギーが供給された時点で放電が停
止される。
所定時間後にスイッチ回路５をオフさせるように制御
し、所定の電力エネルギーが供給された時点で放電が停
止される。
【００４２】この結果、予めキーボード実行スイッチ８
によって設定された所定のイニシャルボールＩＢがワイ
ヤ１１の先端に形成されることになる。
によって設定された所定のイニシャルボールＩＢがワイ
ヤ１１の先端に形成されることになる。
【００４３】なお以上は、イニシャルボールＩＢに関す
るデータを予めキーボード実行スイッチ８によって設定
し、これにより所定のイニシャルボールを形成させる例
について説明しているが、例えば複数種類のキャピラリ
の形状に対応できるようにする場合には、前記データテ
ーブル９にキャピラリの形状（ホール径Ｈ、チャンファ
ー径ＣＤ、チャンファー角度θ等）に関するデータを格
納する第３テーブルを持たせ、演算要素にキャピラリの
形状に関するパラメータ設定が成されるようにすればよ
い。
るデータを予めキーボード実行スイッチ８によって設定
し、これにより所定のイニシャルボールを形成させる例
について説明しているが、例えば複数種類のキャピラリ
の形状に対応できるようにする場合には、前記データテ
ーブル９にキャピラリの形状（ホール径Ｈ、チャンファ
ー径ＣＤ、チャンファー角度θ等）に関するデータを格
納する第３テーブルを持たせ、演算要素にキャピラリの
形状に関するパラメータ設定が成されるようにすればよ
い。
【００４４】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係るワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法によ
れば、キーボードによってイニシャルボールに関するデ
ータを入力実行することにより、これに対応したイニシ
ャルボールを自動的に形成させることができる効果があ
る。従って従来のように、目的とする圧着径Ｄ及び圧着
厚ＷＤのボンディング形状を得るために、幾度ものボン
ディング作業及び測定作業を余儀なくされるといった問
題点を解消することが可能である。
係るワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法によ
れば、キーボードによってイニシャルボールに関するデ
ータを入力実行することにより、これに対応したイニシ
ャルボールを自動的に形成させることができる効果があ
る。従って従来のように、目的とする圧着径Ｄ及び圧着
厚ＷＤのボンディング形状を得るために、幾度ものボン
ディング作業及び測定作業を余儀なくされるといった問
題点を解消することが可能である。
【図１】図１は、本発明に係るワイヤボンダー用ボール
形成装置の回路構成を示した結線図である。
形成装置の回路構成を示した結線図である。
【図２】図２は、図１におけるアナログ演算器の基本構
成を示す結線図である。
成を示す結線図である。
【図３】図３は、キャピラリによりボンディングポイン
トに対してボンディングを行う場合の状態を示した断面
図である。
トに対してボンディングを行う場合の状態を示した断面
図である。
【図４】図４は所定のイニシャルボールを形成する場合
に必要とする放電エネルギーの関係を示した特性図であ
る。
に必要とする放電エネルギーの関係を示した特性図であ
る。
【図５】図５は従来のワイヤボンダー用ボール形成装置
の回路構成を示した結線図である。
の回路構成を示した結線図である。
【図６】図６はワイヤボンディングの工程を説明する断
面図である。
面図である。
１ 直流電源回路 ２ 定電流回路 ３ 安定器 ４ 放電電極 ５ スイッチ回路 ６ アナログ演算器 ７ 制御回路 ８ キーボード実行スイッチ ９ データテーブル １０ クランパ １１ ワイヤ １２ キャピラリ １３ 電圧検出器
Claims (4)
- 【請求項１】 キャピラリの先端から送り出されたワイ
ヤの先端と放電電極との間に高電圧を印加することによ
り放電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの
先端部を溶融してイニシャルボールを形成するワイヤボ
ンダー用ボール形成装置であって、 前記イニシャルボールのボール径に関するデータを設定
して入力実行するキーボードと、 前記イニシャルボールの体積に関するデータを格納する
第１テーブルと、前記イニシャルボールの体積及びワイ
ヤ径との相関関係から演算された放電エネルギーに関す
るデータを格納する第２テーブルとを含むデータテーブ
ルと、 前記キーボードにより入力実行された前記イニシャルボ
ールのボール径に関するデータを受けて前記データテー
ブルの前記第１テーブルを参照して前記ボール径に相当
する前記イニシャルボールの体積を読み出し、更に第２
テーブルを参照して第１テーブルから読み出されたイニ
シャルボールの体積と前記ワイヤ径との相関関係から放
電エネルギーに関するデータを読み出して放電時間及び
放電電流を演算制御する制御手段と、 前記制御手段からの制御信号により放電時間の制御を行
う時間制御器と、 前記時間制御器により制御された時間内定電流制御を行
う定電流回路とを備え、 前記制御手段からの制御信号に基づいて前記キャピラリ
の先端から送り出されたワイヤと放電電極との間で前記
放電エネルギーによる放電を起こさせて前記ワイヤの先
端に前記ボール径に相当するイニシャルボールを形成し
てなること を特徴とするワイヤボンダー用ボール形成装
置。 - 【請求項２】 前記データテーブルは、キャピラリの形
状に関するデータを格納する第３テーブルを有すること
を特徴とする請求項１記載のワイヤボンダー用ボール形
成装置。 - 【請求項３】 前記キャピラリの形状に関するデータ
は、ホール径、チャンファー径、チャンファー角度等に
関することを特徴とする請求項２記載のワイヤボンダー
用ボール形成装置。 - 【請求項４】 キャピラリの先端から送り出されたワイ
ヤの先端と放電電極との間に高電圧を印加することによ
り放電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの
先端部を溶融してイニシャルボールを形成するワイヤボ
ンディング方法において、 キーボードにより前記イニシャルボールのボール径に関
するデータを入力実行して制御手段に出力し、この出力
を受けて制御手段は、データテーブルの第１テーブルを
参照して前記ボール径に相当する前記イニシャルボール
の体積を読み出し、更に第２テーブルを参照して前記第
１テーブルから読み出された前記イニシャルボールの体
積と前記ワイヤ径との相関関係から放電エネルギーに関
するデータを読み出して放電時間及び放電電流を演算制
御し、前記制御手段からの制御信号により制御された時
間内定電流回路により定電流制御を行うことによって、
前記キャピラリの先端から送り出されたワイヤと放電電
極との間で前記放電エネルギーによる放電を起こさせて
前記ワイヤの先端に前記ボール径に相当するイニシャル
ボールを形成すること を特徴とするワイヤボンディング
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4214772A JP2807947B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4214772A JP2807947B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645391A JPH0645391A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2807947B2 true JP2807947B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=16661286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4214772A Expired - Fee Related JP2807947B2 (ja) | 1992-07-21 | 1992-07-21 | ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2807947B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5893266B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2016-03-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2611899B2 (ja) * | 1992-06-08 | 1997-05-21 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法 |
-
1992
- 1992-07-21 JP JP4214772A patent/JP2807947B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0645391A (ja) | 1994-02-18 |
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Legal Events
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