JP2792804B2 - 電磁遮蔽板 - Google Patents
電磁遮蔽板Info
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- JP2792804B2 JP2792804B2 JP5038830A JP3883093A JP2792804B2 JP 2792804 B2 JP2792804 B2 JP 2792804B2 JP 5038830 A JP5038830 A JP 5038830A JP 3883093 A JP3883093 A JP 3883093A JP 2792804 B2 JP2792804 B2 JP 2792804B2
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- electromagnetic shielding
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- glass
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- shielding plate
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電磁遮蔽ガラス、特に
単板でも使用できる電磁遮蔽ガラスなどの電磁遮蔽板に
関する。
単板でも使用できる電磁遮蔽ガラスなどの電磁遮蔽板に
関する。
【０００２】
【従来技術とその問題点】事務所ビルなどにおいて、建
物内でＯＡ機器などの電子機器、高周波機器などが発生
する電磁波を外部に出さず、外部の自動車、電車などの
乗り物、各種の無線機器、高圧線などから到来する電磁
波を建物内に入れないことで、建物内のフロアを電波に
対して独立した空間にすることが、近年求められるよう
になってきた。
物内でＯＡ機器などの電子機器、高周波機器などが発生
する電磁波を外部に出さず、外部の自動車、電車などの
乗り物、各種の無線機器、高圧線などから到来する電磁
波を建物内に入れないことで、建物内のフロアを電波に
対して独立した空間にすることが、近年求められるよう
になってきた。
【０００３】従って建物などにおいては、壁、天井、床
などを電磁遮蔽構造とするとともに、窓などの開口部に
も電磁波遮蔽部材を使用して、ビル全体あるいは特定の
フロアを電磁遮蔽構造にする必要がある。
などを電磁遮蔽構造とするとともに、窓などの開口部に
も電磁波遮蔽部材を使用して、ビル全体あるいは特定の
フロアを電磁遮蔽構造にする必要がある。
【０００４】このような窓などに好適な電磁遮蔽ガラス
として、ガラスの上に酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）と
二酸化錫（ＳｎＯ2 ）の固溶体（以下、ＩＴＯと略称す
る）膜とＳｉＯ2 を繰り返し積層し、最外層をＩＴＯ膜
構成とした５層構造の電磁遮蔽ガラス（特開昭６３−２
０１４９４号）、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 、ＳｎＯ2 、ＺｒＯ
2 、Ｉｎ2 Ｏ3 、Ｔａ2 Ｏ5 などの透明酸化物層と銀層
を交互に２ｎ＋１層（ｎは２以上）積層した電磁遮蔽ガ
ラス（特開昭６３−２３９０４４号）などが提案されて
いる。
として、ガラスの上に酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）と
二酸化錫（ＳｎＯ2 ）の固溶体（以下、ＩＴＯと略称す
る）膜とＳｉＯ2 を繰り返し積層し、最外層をＩＴＯ膜
構成とした５層構造の電磁遮蔽ガラス（特開昭６３−２
０１４９４号）、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 、ＳｎＯ2 、ＺｒＯ
2 、Ｉｎ2 Ｏ3 、Ｔａ2 Ｏ5 などの透明酸化物層と銀層
を交互に２ｎ＋１層（ｎは２以上）積層した電磁遮蔽ガ
ラス（特開昭６３−２３９０４４号）などが提案されて
いる。
【０００５】しかしながら、このような従来の遮蔽ガラ
スは前者にあっては、膜を多層に成膜する煩雑さがある
上に、最外層がＩＴＯ膜であるので、耐久性が充分では
なく、単板ガラスで使用するのは困難である。
スは前者にあっては、膜を多層に成膜する煩雑さがある
上に、最外層がＩＴＯ膜であるので、耐久性が充分では
なく、単板ガラスで使用するのは困難である。
【０００６】また、後者にあっては銀層を含むものであ
るから、被膜の物理的、化学的耐久性が悪く、特に湿気
に対して耐久性が悪いので単板ガラスで窓などに使用す
ることは困難である。
るから、被膜の物理的、化学的耐久性が悪く、特に湿気
に対して耐久性が悪いので単板ガラスで窓などに使用す
ることは困難である。
【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、透明板状体に膜を二層積層するだけであるが、窓
として使用されるときに必要とされる電磁遮蔽効果を有
し、しかも、単板であっても充分な耐久性を有する電磁
遮蔽板を提供することを目的とする。
ので、透明板状体に膜を二層積層するだけであるが、窓
として使用されるときに必要とされる電磁遮蔽効果を有
し、しかも、単板であっても充分な耐久性を有する電磁
遮蔽板を提供することを目的とする。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明は透明板状体上
に膜厚が４０００Å〜８０００ÅのＩＴＯ膜と膜厚が１
００Å〜３００ÅのＳｎＯx （１．５≦ｘ≦２．２）膜
を積層するようにしたことを特徴とする。
に膜厚が４０００Å〜８０００ÅのＩＴＯ膜と膜厚が１
００Å〜３００ÅのＳｎＯx （１．５≦ｘ≦２．２）膜
を積層するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】ガラスなどの透明板状体上に厚さが４０００Å
〜８０００ÅのＩＴＯ膜を形成することにより、充分な
電磁遮蔽性能を付与するものであり、４０００Åより薄
いと抵抗値が上がり電磁遮蔽性能が低下するので、４０
００Å以上必要であり、８０００Åより厚いと作業性が
低下し、光がＩＴＯ膜の表面と裏面（透明板状体との界
面）で反射されるときに光の干渉により、角度によって
反射の色合いが変わるが、その度合いが顕著になって、
好ましくないので８０００Å以下とする。
〜８０００ÅのＩＴＯ膜を形成することにより、充分な
電磁遮蔽性能を付与するものであり、４０００Åより薄
いと抵抗値が上がり電磁遮蔽性能が低下するので、４０
００Å以上必要であり、８０００Åより厚いと作業性が
低下し、光がＩＴＯ膜の表面と裏面（透明板状体との界
面）で反射されるときに光の干渉により、角度によって
反射の色合いが変わるが、その度合いが顕著になって、
好ましくないので８０００Å以下とする。
【００１０】ＩＴＯ膜上に形成するＳｎＯx （１．５≦
ｘ≦２．２）膜は１００Å〜３００Åの膜厚とすること
により、充分な物理的、化学的耐久性を付与し、ＩＴＯ
膜との接着力も強く、その結果単板であっても窓などに
電磁遮蔽板として使用できるようにするものであり、１
００Åより薄いと耐久性が充分でなくなるので１００Å
以上にする必要があり、３００Åより厚いと常温に戻し
たときにＳｎＯx 膜面に熱応力が発生し、ＳｎＯx 膜に
クラックが生じる恐れがあり、クラック部に酸などが流
れこみＩＴＯ膜に達し色むらを生ずる可能性が高いので
３００Å以下とする必要がある。
ｘ≦２．２）膜は１００Å〜３００Åの膜厚とすること
により、充分な物理的、化学的耐久性を付与し、ＩＴＯ
膜との接着力も強く、その結果単板であっても窓などに
電磁遮蔽板として使用できるようにするものであり、１
００Åより薄いと耐久性が充分でなくなるので１００Å
以上にする必要があり、３００Åより厚いと常温に戻し
たときにＳｎＯx 膜面に熱応力が発生し、ＳｎＯx 膜に
クラックが生じる恐れがあり、クラック部に酸などが流
れこみＩＴＯ膜に達し色むらを生ずる可能性が高いので
３００Å以下とする必要がある。
【００１１】
【実施例】大きさが５００ｍｍ×５００ｍｍで厚さが３
ｍｍのフロート板ガラスを透明板状体として、この透明
板状体を中性洗剤で洗浄、水で濯いだ後イソプリピルア
ルコールで洗浄し、乾燥した後にＤＣマグネトロンスパ
ッタリング装置の真空槽内にセットしてあるＩＴＯ、Ｓ
ｎのターゲットに対向して上方を水平方向に往復できる
セットした状態で真空槽内を真空ポンプで約５×１０-6
Ｔｏｒｒまで脱気し、真空槽内のヒーターに通電するこ
とにより、真空槽内を１５０°Ｃに保持するとともに、
透明板状体の表面温度が１５０°Ｃになるように加熱す
る。
ｍｍのフロート板ガラスを透明板状体として、この透明
板状体を中性洗剤で洗浄、水で濯いだ後イソプリピルア
ルコールで洗浄し、乾燥した後にＤＣマグネトロンスパ
ッタリング装置の真空槽内にセットしてあるＩＴＯ、Ｓ
ｎのターゲットに対向して上方を水平方向に往復できる
セットした状態で真空槽内を真空ポンプで約５×１０-6
Ｔｏｒｒまで脱気し、真空槽内のヒーターに通電するこ
とにより、真空槽内を１５０°Ｃに保持するとともに、
透明板状体の表面温度が１５０°Ｃになるように加熱す
る。
【００１２】この状態で真空槽内にガス流量比で９９％
のＡｒガスと１％のＯ2 ガス（ＡｒガスとＯ2 ガスの流
量比は１００：０から９５：５の範囲で適宜選択すれば
よい）を導入して、真空度を約２×１０-3Ｔｏｒｒにな
ったところで、その状態を保持して前記ＩＴＯのターゲ
ットに１．０Ｋｗの電力を印加し、ＡｒとＯ2 の混合ガ
スによるＤＣマグネトロンスパッタリングしながら、Ｉ
ＴＯターゲット上方において、５０ｍｍ／ｍｉｎのスピ
ードで透明板状体を水平移動させ、全面に約６０００Å
の均一なＩＴＯ膜を第１層として成膜した。成膜が完了
した後、ＩＴＯターゲットへの印加を停止し、ヒーター
への通電を停止する。
のＡｒガスと１％のＯ2 ガス（ＡｒガスとＯ2 ガスの流
量比は１００：０から９５：５の範囲で適宜選択すれば
よい）を導入して、真空度を約２×１０-3Ｔｏｒｒにな
ったところで、その状態を保持して前記ＩＴＯのターゲ
ットに１．０Ｋｗの電力を印加し、ＡｒとＯ2 の混合ガ
スによるＤＣマグネトロンスパッタリングしながら、Ｉ
ＴＯターゲット上方において、５０ｍｍ／ｍｉｎのスピ
ードで透明板状体を水平移動させ、全面に約６０００Å
の均一なＩＴＯ膜を第１層として成膜した。成膜が完了
した後、ＩＴＯターゲットへの印加を停止し、ヒーター
への通電を停止する。
【００１３】次に透明板状体を前記真空槽中に置いたま
ま、前記Ｓｎターゲットに約１．０Ｋｗの電力を印加
し、ガス流量比で１００％のＯ2 ガス（Ｏ2 ガスとＡｒ
ガスの流量比は１００：０から５０：５０の範囲で適宜
選択すればよい） によるＤＣマグネトロン反応スパッ
タリングしながら、前記Ｓｎのターゲットの上方におい
て、約９００ｍｍ／ｍｉｎのスピードで透明板状体を水
平に移動させることにより、ＩＴＯ膜の表面に約１００
Åの均一なＳｎＯ2 薄膜を第２層として形成した。
ま、前記Ｓｎターゲットに約１．０Ｋｗの電力を印加
し、ガス流量比で１００％のＯ2 ガス（Ｏ2 ガスとＡｒ
ガスの流量比は１００：０から５０：５０の範囲で適宜
選択すればよい） によるＤＣマグネトロン反応スパッ
タリングしながら、前記Ｓｎのターゲットの上方におい
て、約９００ｍｍ／ｍｉｎのスピードで透明板状体を水
平に移動させることにより、ＩＴＯ膜の表面に約１００
Åの均一なＳｎＯ2 薄膜を第２層として形成した。
【００１４】このようにして得られた電磁遮蔽板を、米
国のＭＩＬ−ＳＴＤ−２８５（ＭＩＬＩＴＡＲＹ ＳＴ
ＡＮＤＡＲＡＤ ２８５：電磁関係の試験に用いる電磁
シールド室の減衰量測定法）の挿入損失法に準拠して、
幅１８３０ｍｍ、奥行１２００ｍｍ、高さ１２００ｍｍ
の金属製シールドボックスの前面にこの電磁遮蔽板を開
口部に設けて、この板の外側の２６５０ｍｍの位置に発
振用アンテナを設け、シールドボックス内の電磁遮蔽板
から２１０ｍｍの位置に受信アンテナを設けて、遮蔽板
の有無による受信レベルの差を測定したところ、２００
ＭＨｚの高周波電磁波に対して４８．８ｄＢ、４００Ｍ
Ｈｚの高周波電磁波に対して３７．５ｄＢ、６００ＭＨ
ｚの電磁波に対して３６．０ｄＢとそれぞれ減衰してお
り、窓において要求される遮蔽性能が３０ｄＢ前後であ
るので、良好な遮蔽性能を有することがわかる。
国のＭＩＬ−ＳＴＤ−２８５（ＭＩＬＩＴＡＲＹ ＳＴ
ＡＮＤＡＲＡＤ ２８５：電磁関係の試験に用いる電磁
シールド室の減衰量測定法）の挿入損失法に準拠して、
幅１８３０ｍｍ、奥行１２００ｍｍ、高さ１２００ｍｍ
の金属製シールドボックスの前面にこの電磁遮蔽板を開
口部に設けて、この板の外側の２６５０ｍｍの位置に発
振用アンテナを設け、シールドボックス内の電磁遮蔽板
から２１０ｍｍの位置に受信アンテナを設けて、遮蔽板
の有無による受信レベルの差を測定したところ、２００
ＭＨｚの高周波電磁波に対して４８．８ｄＢ、４００Ｍ
Ｈｚの高周波電磁波に対して３７．５ｄＢ、６００ＭＨ
ｚの電磁波に対して３６．０ｄＢとそれぞれ減衰してお
り、窓において要求される遮蔽性能が３０ｄＢ前後であ
るので、良好な遮蔽性能を有することがわかる。
【００１５】また、ＪＩＳ Ｒ３２２１（熱線反射ガラ
スＢ類の耐酸テストおよび耐アルカリテスト）の規格に
準拠して、１規定のＨＣｌに６時間浸漬して浸漬前と浸
漬後の光学特性と測定したところ、可視光透過率が浸漬
前で８０．６％、浸漬後で７９．７％、透過光主波長が
浸漬前で−５２６、浸漬後で−５０２、刺激純度が浸漬
前で−５２６、浸漬後で−５０２、可視光反射率が浸漬
前で−１４．４、浸漬後で−１３．３となりほとんど変
化なく、ＳｎＯ2 膜面における抵抗値も浸漬前で８．６
Ω／□、浸漬後で９．０Ω／□となりほとんで変化な
く、良好な耐酸性を示すことがわかる。
スＢ類の耐酸テストおよび耐アルカリテスト）の規格に
準拠して、１規定のＨＣｌに６時間浸漬して浸漬前と浸
漬後の光学特性と測定したところ、可視光透過率が浸漬
前で８０．６％、浸漬後で７９．７％、透過光主波長が
浸漬前で−５２６、浸漬後で−５０２、刺激純度が浸漬
前で−５２６、浸漬後で−５０２、可視光反射率が浸漬
前で−１４．４、浸漬後で−１３．３となりほとんど変
化なく、ＳｎＯ2 膜面における抵抗値も浸漬前で８．６
Ω／□、浸漬後で９．０Ω／□となりほとんで変化な
く、良好な耐酸性を示すことがわかる。
【００１６】また、本規格に準拠した１規定のＮａＯＨ
に６時間浸漬して浸漬前と浸漬後の光学特性と測定した
ところ、前記の光学特性の変化がほとんどなく、耐アル
カリ性も充分であることを確認した。
に６時間浸漬して浸漬前と浸漬後の光学特性と測定した
ところ、前記の光学特性の変化がほとんどなく、耐アル
カリ性も充分であることを確認した。
【００１７】以上、好適な実施例により説明したが、本
発明はこれらに限定されるものではなく、種々の応用が
可能である。透明板状体について、フロート法などによ
り製板された普通板ガラスは勿論、強化ガラスでもよ
く、また、板ガラス以外にもポリカーボネート樹脂、ア
クリル樹脂などの透明樹脂であってもよく、これらの透
明板を２枚を中間膜で接着して合わせ構造としても、ス
ペーサを介して積層した複層構造としてもよい。
発明はこれらに限定されるものではなく、種々の応用が
可能である。透明板状体について、フロート法などによ
り製板された普通板ガラスは勿論、強化ガラスでもよ
く、また、板ガラス以外にもポリカーボネート樹脂、ア
クリル樹脂などの透明樹脂であってもよく、これらの透
明板を２枚を中間膜で接着して合わせ構造としても、ス
ペーサを介して積層した複層構造としてもよい。
【００１８】ＩＴＯ膜はスパッタリング法で成膜すれば
よいが、透明板状体の温度を１５０°Ｃ以上で成膜する
と抵抗値が下がるので、遮蔽性能が向上し好ましい。ま
た、本発明の電磁遮蔽板は建物、乗り物などの窓だけで
なく、建物内などにシールドルームを設ける場合に、そ
の壁材、天井材などにも応用できるものである。
よいが、透明板状体の温度を１５０°Ｃ以上で成膜する
と抵抗値が下がるので、遮蔽性能が向上し好ましい。ま
た、本発明の電磁遮蔽板は建物、乗り物などの窓だけで
なく、建物内などにシールドルームを設ける場合に、そ
の壁材、天井材などにも応用できるものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明の電磁遮蔽板はＩＴＯ膜とＳｎＯ
x （１．５≦ｘ≦２．２）膜を特定厚さに積層するだけ
で、遮蔽性能が高くすることができ、単板ガラスであっ
ても充分な耐久性を有するものである。
x （１．５≦ｘ≦２．２）膜を特定厚さに積層するだけ
で、遮蔽性能が高くすることができ、単板ガラスであっ
ても充分な耐久性を有するものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 道永武士 三重県松阪市大口町1510番地 セントラ ル硝子株式 社テクニカルセンター内 (56)参考文献 実開 昭59−191795（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05K 9/00
Claims (1)
- 【請求項１】透明板状体上に膜厚が４０００Å〜８００
０Åの酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）と二酸化錫（Ｓｎ
Ｏ2 ）の固溶体膜と、膜厚が１００Å〜３００ÅのＳｎ
Ｏx （１．５≦ｘ≦２．２）膜を積層するようにしたこ
とを特徴とする電磁遮蔽板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5038830A JP2792804B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 電磁遮蔽板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5038830A JP2792804B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 電磁遮蔽板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06252585A JPH06252585A (ja) | 1994-09-09 |
| JP2792804B2 true JP2792804B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=12536152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5038830A Expired - Fee Related JP2792804B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 電磁遮蔽板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2792804B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7305392B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-07-10 | 積水化学工業株式会社 | λ／４型電波吸収体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59191795U (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-19 | 帝人株式会社 | 透明電磁波シールド板 |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP5038830A patent/JP2792804B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06252585A (ja) | 1994-09-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |