JP2781667B2 - 静水圧軸受装置 - Google Patents

静水圧軸受装置

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JP2781667B2
JP2781667B2 JP2046891A JP2046891A JP2781667B2 JP 2781667 B2 JP2781667 B2 JP 2781667B2 JP 2046891 A JP2046891 A JP 2046891A JP 2046891 A JP2046891 A JP 2046891A JP 2781667 B2 JP2781667 B2 JP 2781667B2
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pressure water
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康範 原
義健 米窪
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は重量物の移動等に用いら
れる静水圧軸受装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】静圧軸受効果を利用して重量物を移動さ
せる装置が、特公平1−30727号公報等で提案され
ている。
【0003】これは、平滑な摺動面を摺動するパッド
と、摺動面との間に高圧流体を供給し、高圧流体の反力
により荷重を受け、パッドにかかる負荷を大幅に軽減す
るようにしたもので、パッドは比較的小さな駆動力で移
動させることができるため、重量物の運搬(移動)に好
適である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この場合、高圧流体と
して水を利用すると、摺動隙間からの漏れ等があっても
問題がなく、安価で無公害なメリットがあるが、低温
(氷点下)状態においては、水の凍結により装置の利用
が不能になることがある。
【0005】本発明は低温下での凍結の問題を解決し、
あらゆる条件で安定した作動性を発揮する静水圧軸受装
置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】そこでこの発明は、摺動
面に水圧パッドを介して接触し、水圧パッドと摺動面と
の間に高圧水が導かれる圧力室を区画形成した静水圧軸
受装置において、摺動面の凹凸を検出する凹凸検出手段
と、前記圧力室の高圧水を排出する排出手段と、圧力室
に高圧水を供給する加圧ユニットと、加圧ユニットの高
圧水を暖めるヒータと、加圧ユニットと圧力室とを結ぶ
高圧水の供給管路を開閉する切換弁とを備え、かつ前記
凹凸検出手段が凹凸を検出したときにヒータを作動させ
て温水を圧力室に供給する一方、停止時は切換弁を閉じ
ると共に排出弁を開いて排水する制御手段とを備えた。
【0007】
【作用】したがって、平滑な摺動面に漏れでた水の氷結
で凹凸ができるような低温での作動時には、温水を供給
することにより、配管等を含めて供給水の凍結を防ぎ、
安定した円滑な作動を確保する。また、停止時には完全
に排水するので、停止中に凍結が起きることもなく、支
障なく次の作動が再開できる。
【0008】
【実施例】図1は全体の回路構成を、図2は軸受部の断
面をあらわす。
【0009】図2において、平滑な摺動面1に沿って移
動する軸受装置は、水圧パッド2の下面に摺動面1に面
して開口する圧力室3が形成される。圧力室3には通口
5から予備室4を経由して高圧水が供給される。予備室
4は図1の加圧ユニット(後述する)と接続し、高圧水
が逆止弁6を通して送り込まれる。この予備室4は本体
部7と水圧パッド2との間に形成される。
【0010】水圧パッド2の上方環状部8は、本体部7
に形成した環状の凹部(シリンダ部)9に嵌合し、この
シリンダ室10に導入される圧油により、本体部7が上
下に移動する油圧ジャッキ11を構成する。
【0011】このように構成した軸受装置は、圧力室3
の高圧水の反力により、本体部7の上部に載置した重量
物の荷重の大部分を支えた状態で、図示しない駆動手段
により摺動面1に沿って移動される。
【0012】図1において、前記予備室4に接続する管
路20は、加圧ユニット21と高温蒸気供給ユニット2
2とに、それぞれ切換弁23と24を介して接続する。
加圧ユニット21は高圧水を供給するもので、この高圧
水は氷結のおそれのある低温時などヒータ25によって
暖められる。また、高温蒸気供給ユニット22は、低温
の作動開始時などに高温蒸気を供給して、管路20の内
部等の氷結部分を溶かす。これらヒータ25や高温蒸気
供給ユニット22は、切換弁23,24と共にコントロ
ーラ26によって作動が制御される。また、コントロー
ラ26は作動停止時に高圧水の供給回路内から高圧水を
すっかり抜き取るための、排出弁27の作動も制御す
る。
【0013】摺動面1の表面に漏れ出た水の氷結を検出
するために、摺動面1の凹凸検出手段として、例えばリ
ミットスイッチなどからなる凹凸検出スイッチ28が水
圧パッド2の端部等に備えられ、平滑な摺動面1に凹凸
を検出したときは、コントローラ26が氷結を判断す
る。なお、コントローラ26には同時に加圧ユニット2
1の水温を検出する水温センサ30からの信号も入力す
る。
【0014】コントローラ26はこれらに基づいて、後
述するようにして、ヒータ25や高温蒸気発生ユニット
21、さらには切換弁23,24と排出弁27の作動を
制御し、低温時にも安定した作動性を確保する。
【0015】前記油圧ジャッキ11には、油圧ユニット
32からの圧油が、高さ制御弁33を介して導入され
る。この高さ制御弁33は本体部7のジャッキアップ高
さを検出する高さ検出器34からの信号に基づいて作動
し、所定の高さを維持するように油圧ジャッキ11に圧
油を送り込む。
【0016】次に作用を含めてさらに説明する。
【0017】凹凸検出スイッチ28が摺動面1に凹凸を
検出しているときは、水圧パッド2の摺動隙間から漏れ
出た水が氷結した場合であって、コントローラ26は氷
結を判断すると、ヒータ25に通電して加圧ユニット2
1の高圧水を所定の温度まで暖める。なお、水温は水温
センサ30により測定され、これに基づいて一定温度を
維持するようにヒータ25の通電が制御される。
【0018】したがって、圧力室3に供給される高圧水
は、氷結を伴う外部温度に比べたら暖かく、回路内部の
凍結を防ぐことはもとより、水圧パッド2の移動面が氷
結していても、これを溶かしながら摺動させることがで
き、円滑で安定した作動が保証される。
【0019】装置の作動を停止するときは、コントロー
ラ26からの信号で切換弁23,24を閉じ、排出弁2
7を開く。すると回路内の水は全て外部に排水される。
なお、この水抜きを完全に行うために、水抜き用のアク
チュエータ(排水シリンダやポンプなど)を設けてもよ
い。このようにして水抜きをすることにより、作動停止
時の内部凍結や破損を防止することができる。
【0020】作動の再開時コントローラ26は、運転前
に高温蒸気供給ユニット22を作動させて蒸気を発生さ
せ、同時にヒータ25に通電して加圧ユニット21の高
圧水を加熱しておく。切換弁23を閉じ、切換弁24を
開くと、管路内に高温蒸気が供給されて内部を暖める。
一定の時間が経過したら、切換弁24を閉じて切換弁2
3を開く。すると、暖かい水が管路を流れ、水圧パッド
2の圧力室3にまで供給される。
【0021】このようにして、摺動面1が氷結のおそれ
のある低温時にも、安定した作動が確保され、また、停
止時の凍結も確実に防止できる。
【0022】なお、暖められた水が供給されているとき
は、高温蒸気供給ユニット22の作動は停止させる。
【0023】凹凸検出スイッチ28が摺動面1の凹凸を
検出しない常温時は、ヒータ25による加熱は行わず、
高圧水がそのまま供給され、また、作動の停止時に水抜
きも行わない。
【0024】したがって、氷結の恐れのない通常作動時
は、ヒータ25への不必要な通電を防ぎ、また迅速な作
動の再開が可能となる。
【0025】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、凹凸検出
手段が凹凸を検出したときにヒータを作動させて温水を
圧力室に供給する一方、停止時は切換弁を閉じると共に
排出弁を開いて排水するようにしたので、氷結の恐れの
ある低温時にも、凍結による破壊などの心配もなく、安
定した円滑な作動が確保できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す回路構成図である。
【図2】静水圧軸受部の断面図である。
【符号の説明】
1 摺動面 2 水圧パッド 3 圧力室 7 本体部 11 油圧ジャッキ 21 加圧ユニット 23 切換弁 24 切換弁 25 ヒータ 26 コントローラ 27 排出弁 28 凹凸検出スイッチ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−112506(JP,A) 特開 昭48−70295(JP,A) 特公 平1−30727(JP,B2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B65G 7/06 F16C 32/06

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 摺動面に水圧パッドを介して接触し、水
    圧パッドと摺動面との間に高圧水が導かれる圧力室を区
    画形成した静水圧軸受装置において、摺動面の凹凸を検
    出する凹凸検出手段と、前記圧力室の高圧水を排出する
    排出手段と、圧力室に高圧水を供給する加圧ユニット
    と、加圧ユニットの高圧水を暖めるヒータと、加圧ユニ
    ットと圧力室とを結ぶ高圧水の供給管路を開閉する切換
    弁とを備え、かつ前記凹凸検出手段が凹凸を検出したと
    きにヒータを作動させて温水を圧力室に供給する一方、
    停止時は切換弁を閉じると共に排出弁を開いて排水する
    制御手段とを備えたことを特徴とする静水圧軸受装置。
JP2046891A 1991-01-21 1991-01-21 静水圧軸受装置 Expired - Fee Related JP2781667B2 (ja)

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JP5166064B2 (ja) * 2008-02-19 2013-03-21 株式会社岡本工作機械製作所 ワークチャックロータリーテーブル機構
JP5203740B2 (ja) * 2008-02-19 2013-06-05 株式会社岡本工作機械製作所 基板用の平面研削ヘッドシステム

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