JP2766349B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、例えば、ワイヤスプールから繰り出された
ボンディングワイヤをボンディングツールに供給し、ボ
ンディングワイヤの先端部をボンディングツールから導
出してインナリードボンディング等を行うワイヤボンデ
ィング装置に関する。
ボンディングワイヤをボンディングツールに供給し、ボ
ンディングワイヤの先端部をボンディングツールから導
出してインナリードボンディング等を行うワイヤボンデ
ィング装置に関する。
（従来の技術） 例えば、ワイヤボンディング装置として特開平1-9693
9号公報や実開平1-71444号公報などに記載されているよ
うなものが知られている。
9号公報や実開平1-71444号公報などに記載されているよ
うなものが知られている。
すなわち、第２図に示すように、特開平1-96939号公
報に記載されているワイヤボンディング装置１では、ワ
イヤスプール２から解かれて下方へ繰り出されたボンデ
ィングワイヤ（以下、ワイヤと称する）３は、第１の張
力付加装置４に導入され、この張力付加装置４により下
方への張力を与えられている。さらに、ワイヤ３は弛み
センサ５の、略水平方向に延びる２本の平行な端子６、
７の間を上方から下方へ通過したのち、第２の張力付加
装置８に導入されている。
報に記載されているワイヤボンディング装置１では、ワ
イヤスプール２から解かれて下方へ繰り出されたボンデ
ィングワイヤ（以下、ワイヤと称する）３は、第１の張
力付加装置４に導入され、この張力付加装置４により下
方への張力を与えられている。さらに、ワイヤ３は弛み
センサ５の、略水平方向に延びる２本の平行な端子６、
７の間を上方から下方へ通過したのち、第２の張力付加
装置８に導入されている。
そして、ワイヤ３は、第２の張力付加装置８により上
方への張力を与えられるとともに、第２の張力付加装置
８から下方へ直線状に導出されている。そして、第２の
張力付加装置８から導出された部分はクランパ９の間を
通り、ボンディングツール10に供給され、ボンディング
ツール10からその先端部を突出させている。
方への張力を与えられるとともに、第２の張力付加装置
８から下方へ直線状に導出されている。そして、第２の
張力付加装置８から導出された部分はクランパ９の間を
通り、ボンディングツール10に供給され、ボンディング
ツール10からその先端部を突出させている。
さらに、ワイヤ３は、第１の張力付加装置４と第２の
張力付加装置８の間の部分を撓ませており、この部分を
下方へ弛ませている。そして、ワイヤ３は、ボンディン
グ動作が繰り返されるうちにその弛み具合を小とし、弛
みセンサ５の一方の端子６に徐々に接近するようになっ
ている。
張力付加装置８の間の部分を撓ませており、この部分を
下方へ弛ませている。そして、ワイヤ３は、ボンディン
グ動作が繰り返されるうちにその弛み具合を小とし、弛
みセンサ５の一方の端子６に徐々に接近するようになっ
ている。
そして、ワイヤ３は上記端子６に接触したときに、弛
みセンサ５によって弛み具合が所定の程度にまで減少し
たことを検知される。そして、ワイヤ３は、弛みセンサ
５の出力に基づいた制御部11の指令信号を受けて回転制
御されるモータ12によってワイヤスプール２から繰り出
され、両張力付加装置4,8の間の部分を弛ませる。
みセンサ５によって弛み具合が所定の程度にまで減少し
たことを検知される。そして、ワイヤ３は、弛みセンサ
５の出力に基づいた制御部11の指令信号を受けて回転制
御されるモータ12によってワイヤスプール２から繰り出
され、両張力付加装置4,8の間の部分を弛ませる。
一方、第３図に示すように、実開平1-71444号公報に
記載されたワイヤボンディング装置21では、ワイヤ３が
ガイド22によって斜め方向から下方向へ向けて曲げら
れ、保持力に微妙な調整を施されたハーフクランパ23に
より保持された後、クランパ24の間を通り、ボンディン
グツール10に供給されている。
記載されたワイヤボンディング装置21では、ワイヤ３が
ガイド22によって斜め方向から下方向へ向けて曲げら
れ、保持力に微妙な調整を施されたハーフクランパ23に
より保持された後、クランパ24の間を通り、ボンディン
グツール10に供給されている。
（発明が解決しようとする課題） ところで、第２図に示すワイヤボンディング装置１
は、一方の張力付加装置４を、その軸心をボンディング
ツール10の軸線に対してずらした状態で配置していると
ともに、ワイヤ３を一方の張力付加装置４から他方の張
力付加装置８へ直接的に導いており、ボンディングツー
ル10側の張力付加装置８のワイヤ挿入口8aにおいてワイ
ヤ３を摺動させ、摩擦を生じさせている。
は、一方の張力付加装置４を、その軸心をボンディング
ツール10の軸線に対してずらした状態で配置していると
ともに、ワイヤ３を一方の張力付加装置４から他方の張
力付加装置８へ直接的に導いており、ボンディングツー
ル10側の張力付加装置８のワイヤ挿入口8aにおいてワイ
ヤ３を摺動させ、摩擦を生じさせている。
このため、高速ボンディング（例えば、ワイヤ走行速
度が12〜14mm/s以上）を行う場合には、ワイヤ挿入口8a
でワイヤ３に不安定で不要な歪が生じてしまい、良好な
ボンディングを行うことが困難になる。
度が12〜14mm/s以上）を行う場合には、ワイヤ挿入口8a
でワイヤ３に不安定で不要な歪が生じてしまい、良好な
ボンディングを行うことが困難になる。
また、第３図に示すワイヤボンディング装置21では、
ガイド22によってワイヤ３を曲げているため、高速ボン
ディング時等のようにワイヤ３が引張られるとワイヤ３
に不安定で不要な歪が生じ、良好なボンディングを行う
ことが困難になる。
ガイド22によってワイヤ３を曲げているため、高速ボン
ディング時等のようにワイヤ３が引張られるとワイヤ３
に不安定で不要な歪が生じ、良好なボンディングを行う
ことが困難になる。
本発明の目的とするところは、ワイヤに不要な歪を生
じさせることなく、ワイヤの張力を安定に保ち、常に良
好なボンディングを行うことが可能なワイヤボンディン
グ装置を提供することにある。
じさせることなく、ワイヤの張力を安定に保ち、常に良
好なボンディングを行うことが可能なワイヤボンディン
グ装置を提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段および作用） 上記目的を達成するために本発明は、ワイヤスプール
から繰り出されたボンディングワイヤを、その中途部を
緩ませた状態でボンディングツールに供給するととも
に、上記ワイヤスプールとボンディングツールとの間の
ボンディングワイヤ走行路に設けられた張力付加手段に
より、繰り出された上記ボンディングワイヤにボンディ
ングワイヤの走行方向と逆方向の張力を与えるようにし
たワイヤボンディング装置において、上記ワイヤスプー
ルから繰り出されたボンディングワイヤの弛み具合を検
知する非接触式の弛み検知手段と、上記ボンディングワ
イヤの上記張力付加手段の挿入口に導入される部分が上
記挿入口と摺動するのを防止するために上記張力付加手
段に導入される前のボンディングワイヤにエアを吹き付
ける空気吹付け手段とを設けたことにある。
から繰り出されたボンディングワイヤを、その中途部を
緩ませた状態でボンディングツールに供給するととも
に、上記ワイヤスプールとボンディングツールとの間の
ボンディングワイヤ走行路に設けられた張力付加手段に
より、繰り出された上記ボンディングワイヤにボンディ
ングワイヤの走行方向と逆方向の張力を与えるようにし
たワイヤボンディング装置において、上記ワイヤスプー
ルから繰り出されたボンディングワイヤの弛み具合を検
知する非接触式の弛み検知手段と、上記ボンディングワ
イヤの上記張力付加手段の挿入口に導入される部分が上
記挿入口と摺動するのを防止するために上記張力付加手
段に導入される前のボンディングワイヤにエアを吹き付
ける空気吹付け手段とを設けたことにある。
また本発明は、ワイヤスプールから繰り出されたボン
ディングワイヤを、その中途部を弛ませた状態でボンデ
ィングツールに供給するとともに、上記ワイヤスプール
とボンディングツールとの間のボンディングワイヤ走行
路に設けられた張力付加手段により、繰り出された上記
ボンディングワイヤにボンディングワイヤの走行方向と
逆方向の張力を与えるようにしたワイヤボンディング装
置において、上記ボンディングワイヤの上記張力付加手
段の挿入口に導入される部分が上記挿入口と摺動するの
を防止するために上記張力付加手段に導入される前のボ
ンディングワイヤにエアを吹き付ける空気吹付け手段を
設けたことにある。
ディングワイヤを、その中途部を弛ませた状態でボンデ
ィングツールに供給するとともに、上記ワイヤスプール
とボンディングツールとの間のボンディングワイヤ走行
路に設けられた張力付加手段により、繰り出された上記
ボンディングワイヤにボンディングワイヤの走行方向と
逆方向の張力を与えるようにしたワイヤボンディング装
置において、上記ボンディングワイヤの上記張力付加手
段の挿入口に導入される部分が上記挿入口と摺動するの
を防止するために上記張力付加手段に導入される前のボ
ンディングワイヤにエアを吹き付ける空気吹付け手段を
設けたことにある。
こうすることによって本発明は、ワイヤに不要な歪を
生じさせることなく、ワイヤの張力を安定に保つことが
でき、常に良好なボンディングを行えるようにしたこと
にある。
生じさせることなく、ワイヤの張力を安定に保つことが
でき、常に良好なボンディングを行えるようにしたこと
にある。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例の要部を示すもので、図中
31は例えばワイヤボンディング等を行うワイヤボンディ
ング装置を示している。このワイヤボンディング装置31
は、モータ32により回転駆動される円筒状のワイヤスプ
ール33にボンディングワイヤ（以下、ワイヤと称する）
34を巻回しており、ワイヤスプール33を回転させて、ワ
イヤ34をワイヤスプール33から下方へ繰り出すようにな
っている。
31は例えばワイヤボンディング等を行うワイヤボンディ
ング装置を示している。このワイヤボンディング装置31
は、モータ32により回転駆動される円筒状のワイヤスプ
ール33にボンディングワイヤ（以下、ワイヤと称する）
34を巻回しており、ワイヤスプール33を回転させて、ワ
イヤ34をワイヤスプール33から下方へ繰り出すようにな
っている。
そして、ワイヤボンディング装置31はワイヤ34の先端
部を、上下方向にその挿入口35aと引出口35bとを向けた
張力付加手段としての張力付加装置35、および、クラン
パ36の保持部36aを順に通過させたのち、ボンディング
ツール37に供給している（すなわち、張力付加装置35、
クランパ36はワイヤ34の走行路上に設けられている）。
そして、ワイヤボンディング装置31は、クランパ36によ
りワイヤ34を保持するとともに、張力付加装置35により
例えば空気の負圧（もしくは正圧）を利用してワイヤ34
に上方向、すなわちワイヤ34の走行方向と逆の方向（第
１図矢印Ｔ方向）の張力を与え、ワイヤ34を上下に直線
状に延ばした状態でボンディングツール37に導入してい
る。
部を、上下方向にその挿入口35aと引出口35bとを向けた
張力付加手段としての張力付加装置35、および、クラン
パ36の保持部36aを順に通過させたのち、ボンディング
ツール37に供給している（すなわち、張力付加装置35、
クランパ36はワイヤ34の走行路上に設けられている）。
そして、ワイヤボンディング装置31は、クランパ36によ
りワイヤ34を保持するとともに、張力付加装置35により
例えば空気の負圧（もしくは正圧）を利用してワイヤ34
に上方向、すなわちワイヤ34の走行方向と逆の方向（第
１図矢印Ｔ方向）の張力を与え、ワイヤ34を上下に直線
状に延ばした状態でボンディングツール37に導入してい
る。
また、図中に38で示すのは弛み検知手段としての弛み
センサ（以下、センサと称する）である。このセンサ38
は非接触式のもので、本体39から下方へ互いに略平行に
突出した２本の丸棒状のガイド40,40を有している。そ
して、センサ38は上記ガイド40,40の間に、ワイヤ34
の、ワイヤスプール33から繰り出されて自重により弛ん
だ部分の下端部を通過させている。
センサ（以下、センサと称する）である。このセンサ38
は非接触式のもので、本体39から下方へ互いに略平行に
突出した２本の丸棒状のガイド40,40を有している。そ
して、センサ38は上記ガイド40,40の間に、ワイヤ34
の、ワイヤスプール33から繰り出されて自重により弛ん
だ部分の下端部を通過させている。
さらに、センサ38は、本体39から下方へ突出した検知
部41をガイド40,40の間に向けている。そして、センサ3
8は、ガイド40,40によってワイヤ34をこの検知部41の直
下に案内しており、検知部41によってワイヤ34の、例え
ば検知部41からの距離を測定してワイヤ34の弛み具合を
検知するようになっている。
部41をガイド40,40の間に向けている。そして、センサ3
8は、ガイド40,40によってワイヤ34をこの検知部41の直
下に案内しており、検知部41によってワイヤ34の、例え
ば検知部41からの距離を測定してワイヤ34の弛み具合を
検知するようになっている。
そして、センサ38は、ボンディングツール37によって
ボンディング動作が繰り返されることに伴いワイヤ34が
消費されて短くなり、ガイド40,40の間で上方に移動し
て弛み具合を小とし例えば図中の二点鎖線34aで示すよ
うに所定位置に達したときに、ワイヤ34の弛み具合が所
定の程度にまで減少したことを知らせる出力信号を制御
部42へ発信する。
ボンディング動作が繰り返されることに伴いワイヤ34が
消費されて短くなり、ガイド40,40の間で上方に移動し
て弛み具合を小とし例えば図中の二点鎖線34aで示すよ
うに所定位置に達したときに、ワイヤ34の弛み具合が所
定の程度にまで減少したことを知らせる出力信号を制御
部42へ発信する。
ここで、センサ38は、例えば本体39から下方へ向けて
空気を吹出すようになっており、吹出した空気によっ
て、ワイヤスプール33から繰り出されたワイヤ34の自重
による弛みを補助するようになっている。また、上記ガ
イド40,40はその先端部40a,40aを互いに徐々に拡がるよ
う折曲されており、ワイヤ34がガイド40,40に接触する
ことを防止している。
空気を吹出すようになっており、吹出した空気によっ
て、ワイヤスプール33から繰り出されたワイヤ34の自重
による弛みを補助するようになっている。また、上記ガ
イド40,40はその先端部40a,40aを互いに徐々に拡がるよ
う折曲されており、ワイヤ34がガイド40,40に接触する
ことを防止している。
さらに、上記制御部42はセンサ38の出力信号に基づい
て、ワイヤ34の弛み具合が所定の程度にまで減小したと
きに前記モータ32へ出力し、ワイヤスプール33を回転さ
せる。そして、ワイヤスプール33からワイヤ34を所定量
繰り出し、ワイヤ34の弛み具合をボンディングに十分な
程度に保つ。さらに、制御部42は、センサ38を動作させ
るワイヤ34の位置、モータ32の動作タイミングおよび動
作時間等を制御できるようになっている。
て、ワイヤ34の弛み具合が所定の程度にまで減小したと
きに前記モータ32へ出力し、ワイヤスプール33を回転さ
せる。そして、ワイヤスプール33からワイヤ34を所定量
繰り出し、ワイヤ34の弛み具合をボンディングに十分な
程度に保つ。さらに、制御部42は、センサ38を動作させ
るワイヤ34の位置、モータ32の動作タイミングおよび動
作時間等を制御できるようになっている。
図中に43で示すのは空気吹付け手段としてのエアブロ
ー装置である。このエアブロー装置43は、矢印Ａで示す
ように上方へ向けて空気を吹出し、ワイヤ34の、上記ガ
イド40,40と上記張力付加装置35との間の部分に空気を
吹付けてワイヤ34を押上げるものである。
ー装置である。このエアブロー装置43は、矢印Ａで示す
ように上方へ向けて空気を吹出し、ワイヤ34の、上記ガ
イド40,40と上記張力付加装置35との間の部分に空気を
吹付けてワイヤ34を押上げるものである。
そして、エアブロー装置43は、上方へ略平行に突出し
先端部をＪ字状に成形された２本のワイヤガイド44,44
により案内しながら、ワイヤ34を上方に弛ませている。
そして、ワイヤ34の、張力付加装置35の挿入口35aに導
入される部分を、張力付加装置35の軸心に略沿うよう、
上下に直線状に延ばしている。
先端部をＪ字状に成形された２本のワイヤガイド44,44
により案内しながら、ワイヤ34を上方に弛ませている。
そして、ワイヤ34の、張力付加装置35の挿入口35aに導
入される部分を、張力付加装置35の軸心に略沿うよう、
上下に直線状に延ばしている。
すなわち、このようなワイヤボンディング装置31は、
エアブロー装置43によってワイヤ34を上方へ弛ませ、ワ
イヤ34を直線状に延ばして張力付加装置35に導入してい
るから、ワイヤ34を挿入口35aの例えば開口縁部に摺動
させて摩擦を生じるということがない。したがって、高
速ボンディング（例えば、ワイヤ走行速度が12〜14mm/s
以上）を行っても、ワイヤ34に不安定で不要な歪みを生
じることがない。
エアブロー装置43によってワイヤ34を上方へ弛ませ、ワ
イヤ34を直線状に延ばして張力付加装置35に導入してい
るから、ワイヤ34を挿入口35aの例えば開口縁部に摺動
させて摩擦を生じるということがない。したがって、高
速ボンディング（例えば、ワイヤ走行速度が12〜14mm/s
以上）を行っても、ワイヤ34に不安定で不要な歪みを生
じることがない。
また、センサ38のガイド40,40を、ボンディング動作
が繰り返されることに伴って変位するワイヤ34の移動方
向に対して略平行に延ばしており、また、ワイヤ34の弛
みをセンサ38により非接触式に検知しているので、ボン
ディング動作に伴ってワイヤ34が引張られてもワイヤ34
に歪を生じることがない。
が繰り返されることに伴って変位するワイヤ34の移動方
向に対して略平行に延ばしており、また、ワイヤ34の弛
みをセンサ38により非接触式に検知しているので、ボン
ディング動作に伴ってワイヤ34が引張られてもワイヤ34
に歪を生じることがない。
そして、これらのことから上述のワイヤボンディング
装置31では、ワイヤ34の張力を安定に保つことができる
とともにワイヤ34を、ワイヤ34に不要な歪を生じること
なくボンディングツール37に供給することができ、常に
良好なボンディングを行なうことが可能である。
装置31では、ワイヤ34の張力を安定に保つことができる
とともにワイヤ34を、ワイヤ34に不要な歪を生じること
なくボンディングツール37に供給することができ、常に
良好なボンディングを行なうことが可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、ワイヤスプールから下
方へ繰り出されたボンディングワイヤを、ボンディング
ワイヤの途中の部分を弛ませてボンディングツールに供
給するとともに、ボンディングワイヤの途中の部分を引
張りボンディングワイヤに上方への張力を与えてボンデ
ィングワイヤをボンディングツールへ導く張力付加手段
を備えたワイヤボンディング装置において、ボンディン
グワイヤの、ワイヤスプールから繰り出されて自重によ
り弛んだ部分の弛み具合を検知する非接触式の弛み検知
手段と、ボンディングワイヤの張力付加手段へ導かれる
部分にエアを吹付けてボンディングワイヤを上方に弛ま
せる空気吹付け手段とを設けたものである。
方へ繰り出されたボンディングワイヤを、ボンディング
ワイヤの途中の部分を弛ませてボンディングツールに供
給するとともに、ボンディングワイヤの途中の部分を引
張りボンディングワイヤに上方への張力を与えてボンデ
ィングワイヤをボンディングツールへ導く張力付加手段
を備えたワイヤボンディング装置において、ボンディン
グワイヤの、ワイヤスプールから繰り出されて自重によ
り弛んだ部分の弛み具合を検知する非接触式の弛み検知
手段と、ボンディングワイヤの張力付加手段へ導かれる
部分にエアを吹付けてボンディングワイヤを上方に弛ま
せる空気吹付け手段とを設けたものである。
したがって本発明は、ワイヤに不要な歪を生じさせる
ことなく、ワイヤの張力を安定に保つことができ、常に
良好なボンディングを行えるという効果がある。
ことなく、ワイヤの張力を安定に保つことができ、常に
良好なボンディングを行えるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の要部を概略的に示す斜視
図、第２図および第３図はそれぞれ従来例の要部を概略
的に示す同じく斜視図である。 31……ワイヤボンディング装置、33……ワイヤスプー
ル、34……ボンディングワイヤ、35……張力付加装置
（張力付加手段）、37……ボンディングツール、38……
弛みセンサ（弛み検知手段）、43……エアブロー装置
（空気吹付け手段）。
図、第２図および第３図はそれぞれ従来例の要部を概略
的に示す同じく斜視図である。 31……ワイヤボンディング装置、33……ワイヤスプー
ル、34……ボンディングワイヤ、35……張力付加装置
（張力付加手段）、37……ボンディングツール、38……
弛みセンサ（弛み検知手段）、43……エアブロー装置
（空気吹付け手段）。
Claims (2)
- 【請求項１】ワイヤスプールから繰り出されたボンディ
ングワイヤを、その中途部を弛ませた状態でボンディン
グツールに供給するとともに、上記ワイヤスプールとボ
ンディングツールとの間のボンディングワイヤ走行路に
設けられた張力付加手段により、繰り出された上記ボン
ディングワイヤにボンディングワイヤの走行方向と逆方
向の張力を与えるようにしたワイヤボンディング装置に
おいて、上記ワイヤスプールから繰り出されたボンディ
ングワイヤの弛み具合を検知する非接触式の弛み検知手
段と、上記ボンディングワイヤの上記張力付加手段の挿
入口に導入される部分が上記挿入口と摺動するのを防止
するために上記張力付加手段に導入される前のボンディ
ングワイヤにエアを吹き付ける空気吹付け手段とを設け
たことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】ワイヤスプールから繰り出されたボンディ
ングワイヤを、その中途部を弛ませた状態でボンディン
グツールに供給するとともに、上記ワイヤスプールとボ
ンディングツールとの間のボンディングワイヤ走行路に
設けられた張力付加手段により、繰り出された上記ボン
ディングワイヤにボンディングワイヤの走行方向と逆方
向の張力を与えるようにしたワイヤボンディング装置に
おいて、上記ボンディングワイヤの上記張力付加手段の
挿入口に導入される部分が上記挿入口と摺動するのを防
止するために上記張力付加手段に導入される前のボンデ
ィングワイヤにエアを吹き付ける空気吹付け手段を設け
たことを特徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288849A JP2766349B2 (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1288849A JP2766349B2 (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03150852A JPH03150852A (ja) | 1991-06-27 |
| JP2766349B2 true JP2766349B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=17735545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1288849A Expired - Lifetime JP2766349B2 (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2766349B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-08 JP JP1288849A patent/JP2766349B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03150852A (ja) | 1991-06-27 |
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