JP2762098B2 - ワーク洗浄・バリ取り装置 - Google Patents
ワーク洗浄・バリ取り装置Info
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- JP2762098B2 JP2762098B2 JP1043128A JP4312889A JP2762098B2 JP 2762098 B2 JP2762098 B2 JP 2762098B2 JP 1043128 A JP1043128 A JP 1043128A JP 4312889 A JP4312889 A JP 4312889A JP 2762098 B2 JP2762098 B2 JP 2762098B2
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- cleaning liquid
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、洗浄液内に置いたワークに超高圧ジェット
噴流液を当ててワークの洗浄・バリ取りを行なうワーク
洗浄・バリ取り装置に関するものである。
噴流液を当ててワークの洗浄・バリ取りを行なうワーク
洗浄・バリ取り装置に関するものである。
（発明の背景） 樹脂封止したIC（集積回路）の製造過程において、リ
ードフレームにボンディングしたICを樹脂封止する際に
バリが発生する。このようなワークに生じたバリを除去
したりワークを洗浄するために、水や洗浄液などの超高
圧ジェット噴流を直接当てることが考えられるが、この
場合にはジェット噴流を高圧にしなければならず（900
〜1500Kg/cm2）、ワークを傷めるおそれがある。
ードフレームにボンディングしたICを樹脂封止する際に
バリが発生する。このようなワークに生じたバリを除去
したりワークを洗浄するために、水や洗浄液などの超高
圧ジェット噴流を直接当てることが考えられるが、この
場合にはジェット噴流を高圧にしなければならず（900
〜1500Kg/cm2）、ワークを傷めるおそれがある。
そこでワークを洗浄液中に置き、洗浄液上方の空気中
から超高圧ジェット噴流（100〜800Kg/cm2）をワークに
向って噴射しつつ走査する方法が提案された。第５図は
この従来装置を示す図であり、符号１は洗浄液槽、２は
この中の洗浄液、３はこの洗浄液内に置かれたICなどの
ワークである。４は上方から下向きに洗浄液を噴射する
ノズルであり、このノズル４が噴射する超高圧ジェット
噴流５は洗浄液２の液面に当って空気を巻き込み、空気
の気泡と共にワークに当たる。この装置によれば、この
混入した空気泡がワーク３に当って急激な圧縮・膨張を
繰り返し、いわゆるキャビテーションを発生する。ま
た、ジェット噴流５がワーク３に当たる際の直射力によ
る物理的衝撃も発生する。これらの相乗効果により、洗
浄・バリ取り効果が向上すると考えられる。
から超高圧ジェット噴流（100〜800Kg/cm2）をワークに
向って噴射しつつ走査する方法が提案された。第５図は
この従来装置を示す図であり、符号１は洗浄液槽、２は
この中の洗浄液、３はこの洗浄液内に置かれたICなどの
ワークである。４は上方から下向きに洗浄液を噴射する
ノズルであり、このノズル４が噴射する超高圧ジェット
噴流５は洗浄液２の液面に当って空気を巻き込み、空気
の気泡と共にワークに当たる。この装置によれば、この
混入した空気泡がワーク３に当って急激な圧縮・膨張を
繰り返し、いわゆるキャビテーションを発生する。ま
た、ジェット噴流５がワーク３に当たる際の直射力によ
る物理的衝撃も発生する。これらの相乗効果により、洗
浄・バリ取り効果が向上すると考えられる。
しかしこの方法は洗浄液の液面上からジェット噴流を
当てねばならず、その配置上の関係からワークに対する
ジェット噴流の噴射方向設定上の自由度が制限されると
いう問題があった。そこで洗浄液が混入室を通して噴射
孔に入るようにして、この混入室に生じる負圧により空
気を洗浄液に混入させるものが提案された（例えば特開
昭49−82178号、実公昭49−16195号など）。しかしこれ
らで用いるノズルは構造が複雑になるという問題があっ
た。このため洗浄・バリ取り能率が悪いという問題があ
った。
当てねばならず、その配置上の関係からワークに対する
ジェット噴流の噴射方向設定上の自由度が制限されると
いう問題があった。そこで洗浄液が混入室を通して噴射
孔に入るようにして、この混入室に生じる負圧により空
気を洗浄液に混入させるものが提案された（例えば特開
昭49−82178号、実公昭49−16195号など）。しかしこれ
らで用いるノズルは構造が複雑になるという問題があっ
た。このため洗浄・バリ取り能率が悪いという問題があ
った。
（発明の目的） 本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、
ワークに対するジェット噴流の噴射方向設定の自由度が
増大し、複雑な構造のノズルを用いる必要がなく、作業
能率が向上するワーク洗浄・バリ取り装置を提供するこ
とを目的とする。
ワークに対するジェット噴流の噴射方向設定の自由度が
増大し、複雑な構造のノズルを用いる必要がなく、作業
能率が向上するワーク洗浄・バリ取り装置を提供するこ
とを目的とする。
（発明の構成） 本発明によればこの目的は、洗浄液槽内に置いたワー
クに超高圧ジェット噴流液を当ててワークを洗浄・バリ
取りするワーク洗浄・バリ取り装置において、洗浄液槽
内に置かれたワークに洗浄液槽内から超高圧ジェット噴
流液を噴射するノズルと、洗浄液中にあってこの超高圧
ジェット噴流液の下方から気泡を供給する送気口と、こ
の送気口へ気体を供給するポンプとを備え、前記送気口
から供給される気体を超高圧ジェット噴流液と共にワー
クに当てるようにしたことを特徴とするワーク洗浄・バ
リ取り装置、により達成される。
クに超高圧ジェット噴流液を当ててワークを洗浄・バリ
取りするワーク洗浄・バリ取り装置において、洗浄液槽
内に置かれたワークに洗浄液槽内から超高圧ジェット噴
流液を噴射するノズルと、洗浄液中にあってこの超高圧
ジェット噴流液の下方から気泡を供給する送気口と、こ
の送気口へ気体を供給するポンプとを備え、前記送気口
から供給される気体を超高圧ジェット噴流液と共にワー
クに当てるようにしたことを特徴とするワーク洗浄・バ
リ取り装置、により達成される。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を示す図である。この図で
10はノズルであり、洗浄液２中に置かれてワーク３に向
うジェット噴流液12を噴射する。この実施例の気体供給
手段14はジェット噴流液の下方に位置する送気口16と、
この送気口16に空気や不活性ガス（N2など）などの気体
を送るポンプ18とを備える。
10はノズルであり、洗浄液２中に置かれてワーク３に向
うジェット噴流液12を噴射する。この実施例の気体供給
手段14はジェット噴流液の下方に位置する送気口16と、
この送気口16に空気や不活性ガス（N2など）などの気体
を送るポンプ18とを備える。
従って送気口16から液中を上昇する気泡はジェット噴
流液12に巻き込まれて細かい気泡となり、ワーク３に当
たる。この時のキャビテーション作用と、ジェット噴流
液12自身が持つ物理的な直射力とにより、ワーク３の洗
浄・バリ取りが行なわれる。
流液12に巻き込まれて細かい気泡となり、ワーク３に当
たる。この時のキャビテーション作用と、ジェット噴流
液12自身が持つ物理的な直射力とにより、ワーク３の洗
浄・バリ取りが行なわれる。
第２、３、４図はこの装置の使用例を示す図である。
第２図のものは、ワーク３の上方からは第７図に示す従
来装置によりジェット噴流液５を当てる一方、ワーク３
の下面には本発明に係るノズル10を配置する。第３図の
ものはワーク３の左右両側に本発明に係るノズル10、10
を対向配置する。第４図のものは第２、３図のものを組
合せたものである。なおこれらの図では気体供給手段は
示されていないが、第１図に示した供給手段を適宜適用
すれば良いのは勿論である。
第２図のものは、ワーク３の上方からは第７図に示す従
来装置によりジェット噴流液５を当てる一方、ワーク３
の下面には本発明に係るノズル10を配置する。第３図の
ものはワーク３の左右両側に本発明に係るノズル10、10
を対向配置する。第４図のものは第２、３図のものを組
合せたものである。なおこれらの図では気体供給手段は
示されていないが、第１図に示した供給手段を適宜適用
すれば良いのは勿論である。
このように本発明によればワーク３の上面だけでなく
側面や下面からも同時に並行してバリ取り作業を行なう
ことができ、作業能率が向上する。
側面や下面からも同時に並行してバリ取り作業を行なう
ことができ、作業能率が向上する。
（発明の効果） 本発明は以上のように、ノズルを洗浄液中に置き、こ
のノズルから噴射される超高圧ジェット噴流の下方から
気泡を供給することにより超高圧ジェット噴流に気体を
混入してワークに当てるものであるから、ワークとノズ
ルの配置関係の自由度が増え、複雑な構造のノズルを用
いる必要がなくなり、ワークの側方や下方からもジェッ
ト噴流液を当てて能率良くワークの洗浄・バリ取り作業
を行なうことが可能となる。
のノズルから噴射される超高圧ジェット噴流の下方から
気泡を供給することにより超高圧ジェット噴流に気体を
混入してワークに当てるものであるから、ワークとノズ
ルの配置関係の自由度が増え、複雑な構造のノズルを用
いる必要がなくなり、ワークの側方や下方からもジェッ
ト噴流液を当てて能率良くワークの洗浄・バリ取り作業
を行なうことが可能となる。
第１図は本発明の実施例を示す図、第２〜４図はその適
用例を示す図、第５図は従来装置を示す図である。 １……洗浄液槽、 ２……洗浄液、 ３……ワーク、 10……ノズル、 12……ジェット噴流液、 14……気体供給手段、 16……送気口、 18……ポンプ。
用例を示す図、第５図は従来装置を示す図である。 １……洗浄液槽、 ２……洗浄液、 ３……ワーク、 10……ノズル、 12……ジェット噴流液、 14……気体供給手段、 16……送気口、 18……ポンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭48−82668（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−31154（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−134262（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−155655（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−75776（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−109281（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−147587（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−43386（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−82178（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−28671（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−93781（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−5440（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭49−22426（ＪＰ，Ｂ１) 特公 平７−63687（ＪＰ，Ｂ２) 特公 平３−70540（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭49−16195（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14
Claims (1)
- 【請求項１】洗浄液槽内に置いたワークに超高圧ジェッ
ト噴流液を当ててワークを洗浄・バリ取りするワーク洗
浄・バリ取り装置において、 洗浄液槽内に置かれたワークに洗浄液槽内から超高圧ジ
ェット噴流液を噴射するノズルと、洗浄液中にあってこ
の超高圧ジェット噴流液の下方から気泡を供給する送気
口と、この送気口へ気体を供給するポンプとを備え、前
記送気口から供給される気体を超高圧ジェット噴流液と
共にワークに当てるようにしたことを特徴とするワーク
洗浄・バリ取り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1043128A JP2762098B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1043128A JP2762098B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222760A JPH02222760A (ja) | 1990-09-05 |
| JP2762098B2 true JP2762098B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=12655206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1043128A Expired - Lifetime JP2762098B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | ワーク洗浄・バリ取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2762098B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2774008B2 (ja) * | 1992-01-24 | 1998-07-09 | 株式会社日立製作所 | 原子炉構造物の残留応力改善方法及びその残留応力改善装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4916195U (ja) * | 1972-03-17 | 1974-02-09 | ||
| JPS4928671U (ja) * | 1972-06-12 | 1974-03-12 | ||
| JPS4922426A (ja) * | 1972-06-22 | 1974-02-27 | ||
| JPS4982178A (ja) * | 1972-12-15 | 1974-08-07 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1043128A patent/JP2762098B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02222760A (ja) | 1990-09-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090327 Year of fee payment: 11 |
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