JP2754791B2 - 歪測定器 - Google Patents
歪測定器Info
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- JP2754791B2 JP2754791B2 JP26973289A JP26973289A JP2754791B2 JP 2754791 B2 JP2754791 B2 JP 2754791B2 JP 26973289 A JP26973289 A JP 26973289A JP 26973289 A JP26973289 A JP 26973289A JP 2754791 B2 JP2754791 B2 JP 2754791B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、板金部品などの平面歪を測定して客観性の
ある数値データとして示すことができる歪測定器に関
し、特に、曲面のあるワークへの対応も可能な歪測定器
に関する。
ある数値データとして示すことができる歪測定器に関
し、特に、曲面のあるワークへの対応も可能な歪測定器
に関する。
従来の技術 たとえば自動車の車体のような板金部品の平面歪は、
官能及び目視による検査が主体となっていたが、近年こ
の平面歪を数値測定して客観性のあるデータを提供する
歪測定器が開発されている。この歪測定器は、半導体レ
ーザから出射したビームの反射光を位置検出素子（PS
D）上に結像させ、結像位置の変化量を電気信号に変換
して測定面までの距離を測定できる距離センサを使用し
たものであり、この歪測定器を第９図ないし第12図に基
づいて説明する。第９図は歪測定器の概要を示す斜視図
であって、距離センサ01、XYテーブル２、パーソナルコ
ンピュータ３及びプロッター４を主要機器として具備
し、たとえば自動車のドアのような板金部品５の平面歪
を数値測定してパーソナルコンピュータ３のCRTやプロ
ッター４などの出力装置に図形表示することができる。
これを詳細に説明すると、Ｘ軸及びＹ軸の２方向の移動
を制御できるXYテーブル２に取付けられた距離センサ01
は、第10図及び第11図に示す如く、XYテーブル２と一体
に定量移動し、最初にＸ軸方向へピッチＰごとに移動し
ながら各測定点８で距離センサ01から板金部品５の表面
までの距離を測定する。次に、Ｘ軸方向の測定範囲を直
線的に走査した後には、Ｙ軸方向へピッチＰだけ平行移
動した走査線上を同様にＸ軸方向へピッチＰごとに測定
しながら定量移動する。このようにして、Ｙ軸方向の測
定範囲まで定量移動を続けることにより、第12図に示す
如く、Ｘ軸及びＹ軸の両方向にピッチＰの格子状に測定
点８が配置され、各測定点での測定値はパーソナルコン
ピュータ３に入力される。そして、パーソナルコンピュ
ータ３では入力された測定値をデータ処理し、CRTへの
図形表示やプロッター４からのプロットアウトによって
測定結果の出力をするのである。
官能及び目視による検査が主体となっていたが、近年こ
の平面歪を数値測定して客観性のあるデータを提供する
歪測定器が開発されている。この歪測定器は、半導体レ
ーザから出射したビームの反射光を位置検出素子（PS
D）上に結像させ、結像位置の変化量を電気信号に変換
して測定面までの距離を測定できる距離センサを使用し
たものであり、この歪測定器を第９図ないし第12図に基
づいて説明する。第９図は歪測定器の概要を示す斜視図
であって、距離センサ01、XYテーブル２、パーソナルコ
ンピュータ３及びプロッター４を主要機器として具備
し、たとえば自動車のドアのような板金部品５の平面歪
を数値測定してパーソナルコンピュータ３のCRTやプロ
ッター４などの出力装置に図形表示することができる。
これを詳細に説明すると、Ｘ軸及びＹ軸の２方向の移動
を制御できるXYテーブル２に取付けられた距離センサ01
は、第10図及び第11図に示す如く、XYテーブル２と一体
に定量移動し、最初にＸ軸方向へピッチＰごとに移動し
ながら各測定点８で距離センサ01から板金部品５の表面
までの距離を測定する。次に、Ｘ軸方向の測定範囲を直
線的に走査した後には、Ｙ軸方向へピッチＰだけ平行移
動した走査線上を同様にＸ軸方向へピッチＰごとに測定
しながら定量移動する。このようにして、Ｙ軸方向の測
定範囲まで定量移動を続けることにより、第12図に示す
如く、Ｘ軸及びＹ軸の両方向にピッチＰの格子状に測定
点８が配置され、各測定点での測定値はパーソナルコン
ピュータ３に入力される。そして、パーソナルコンピュ
ータ３では入力された測定値をデータ処理し、CRTへの
図形表示やプロッター４からのプロットアウトによって
測定結果の出力をするのである。
発明が解決しようとする課題 ところで、前述の従来例によれば、１個の距離センサ
がXYテーブルに取付けられて平面上を定量移動する構造
となっており、距離センサの取付角度は、被測定面の変
化にかかわらず常に一定である。このため、被測定面の
形状と距離センサの許容角度との関係が問題となり、曲
率の大きな曲面や傾斜角度の大きな傾斜面では測定精度
が低下したり測定不能となる場合があって不都合だっ
た。これを第13図に基づいて詳述すると、従来の歪測定
器では許容角度βの距離センサ01がXYテーブルの移動面
と平行な基準測定面６に対して垂直、すなわち取付角度
が０°で取付けられている。この距離センサ01は、基準
測定面に対して角度βの右下がりの傾斜面16から同じく
角度βの左下がりの傾斜面17までの範囲で測定可能であ
り、許容角度がβ以上にきつい傾斜面や曲面では反射角
度の関係などから受光光量が不足し、結果的には測定精
度の低下や測定不能となるのである。なお、12は基準測
定面６に対する垂線、12aは右下がりの傾斜面16に対す
る垂線、12bは左下がりの傾斜面17に対する垂線を示し
ており、いずれも測定点８を通っている。そこで、本発
明の目的は、曲面や傾斜面のある測定面に対しても測定
可能な歪測定器を提供することにある。
がXYテーブルに取付けられて平面上を定量移動する構造
となっており、距離センサの取付角度は、被測定面の変
化にかかわらず常に一定である。このため、被測定面の
形状と距離センサの許容角度との関係が問題となり、曲
率の大きな曲面や傾斜角度の大きな傾斜面では測定精度
が低下したり測定不能となる場合があって不都合だっ
た。これを第13図に基づいて詳述すると、従来の歪測定
器では許容角度βの距離センサ01がXYテーブルの移動面
と平行な基準測定面６に対して垂直、すなわち取付角度
が０°で取付けられている。この距離センサ01は、基準
測定面に対して角度βの右下がりの傾斜面16から同じく
角度βの左下がりの傾斜面17までの範囲で測定可能であ
り、許容角度がβ以上にきつい傾斜面や曲面では反射角
度の関係などから受光光量が不足し、結果的には測定精
度の低下や測定不能となるのである。なお、12は基準測
定面６に対する垂線、12aは右下がりの傾斜面16に対す
る垂線、12bは左下がりの傾斜面17に対する垂線を示し
ており、いずれも測定点８を通っている。そこで、本発
明の目的は、曲面や傾斜面のある測定面に対しても測定
可能な歪測定器を提供することにある。
課題を解決するための手段 本発明は、前述の課題を解決するもので、半導体レー
ザから出光したビームの反射光を受光して測定面までの
距離を測定するセンサが測定面上を所定のピッチＰで平
行に走査し、Ｘ軸及びＹ軸の両方向に等ピッチＰの格子
状に配置された測定点での測定データを処理して測定面
の歪を検出する歪測定器において、測定基準面に対して
垂直に支持された基準センサと、該基準センサを中心と
して走査方向の前後及び左右に配設され、前記基準セン
サと同じ測定点に向けて取付角度αで支持された４個の
傾斜面用センサとで成るセンサユニットを一体に走査せ
しめ、格子状に配置された各測定点で前記センサユニッ
トの５個のセンサが順次測定して得られた測定データを
分析し、測定面の傾斜に応じて選択したセンサの測定値
を有意データとして採用したことを特徴とする歪測定器
である。
ザから出光したビームの反射光を受光して測定面までの
距離を測定するセンサが測定面上を所定のピッチＰで平
行に走査し、Ｘ軸及びＹ軸の両方向に等ピッチＰの格子
状に配置された測定点での測定データを処理して測定面
の歪を検出する歪測定器において、測定基準面に対して
垂直に支持された基準センサと、該基準センサを中心と
して走査方向の前後及び左右に配設され、前記基準セン
サと同じ測定点に向けて取付角度αで支持された４個の
傾斜面用センサとで成るセンサユニットを一体に走査せ
しめ、格子状に配置された各測定点で前記センサユニッ
トの５個のセンサが順次測定して得られた測定データを
分析し、測定面の傾斜に応じて選択したセンサの測定値
を有意データとして採用したことを特徴とする歪測定器
である。
作用 前述の手段によれば、センサユニットを構成する５個
の距離センサが各測定点ごとに各々異なる方向から同一
測定点までの距離を測定し、その測定値をパーソナルコ
ンピュータに入力する。すなわち、測定基準面に対して
垂直方向から測定する取付角度０°の基準センサと、該
基準センサと測定点とを結ぶ垂線を測定点を中心として
走査方向の前後及び左右へ角度α回転させた方向から測
定する４個の傾斜面用センサとが各々独自の測定値を入
力するので、各測定点の傾斜に応じて最適の方向から測
定した距離センサの測定値を有意データとして選択でき
るようになり、曲面のあるワークに対しても測定可能な
歪測定器となる。
の距離センサが各測定点ごとに各々異なる方向から同一
測定点までの距離を測定し、その測定値をパーソナルコ
ンピュータに入力する。すなわち、測定基準面に対して
垂直方向から測定する取付角度０°の基準センサと、該
基準センサと測定点とを結ぶ垂線を測定点を中心として
走査方向の前後及び左右へ角度α回転させた方向から測
定する４個の傾斜面用センサとが各々独自の測定値を入
力するので、各測定点の傾斜に応じて最適の方向から測
定した距離センサの測定値を有意データとして選択でき
るようになり、曲面のあるワークに対しても測定可能な
歪測定器となる。
実施例 本発明による歪測定器の一実施例を第１図ないし第９
図に基づいて説明する。歪測定器は、第３図に示す如
く、距離センサを５個組合わせたセンサユニット１、XY
テーブル２、パーソナルコンピュータ３及びプロッター
４を主要機器として具備し、自動車のドアなど板金部品
５の表面歪を数値測定して図形表示できる装置である。
そして、Ｘ軸及びＹ軸の２方向へ平面的な定量移動を制
御できるXYテーブル２に取付けられたセンサユニット１
は、測定基準面６に対して垂直に支持された基準センサ
７と、該基準センサを中心として走査方向の前後及び左
右に配設され、基準センサ７と同じ測定点８に向けて取
付角度αで支持された４個の第１傾斜面用センサ9a、第
２傾斜面用センサ9b、第３傾斜面用センサ9c及び第４傾
斜面用センサ9dとが一体となって構成され、５個の距離
センサは各々専用のセンサコントローラ10を介してマス
ターコントローラ11及びパーソナルコンピュータ３と連
結されている。ここで、基準センサ７の取付角度は０°
となり、基準センサ７と測定点８とを結ぶ取付角度０°
の垂線12から測定点８を中心に前後及び左右の方向へ角
度αだけ回転させた直線13上に取付角度αの傾斜面用セ
ンサが位置している。また、４個の傾斜面用センサは、
測定基準面６と平行でかつ垂線12を中心とする円板14の
円周上に等ピッチ（90°ピッチ）で配置されている。な
お、基準測定面６は、XYテーブル２が定量移動を制御で
きる平面と平行であり、かつ、距離センサの高さ調整
（Ｚ方向）、すなわち０点調整の基準ともなる。
図に基づいて説明する。歪測定器は、第３図に示す如
く、距離センサを５個組合わせたセンサユニット１、XY
テーブル２、パーソナルコンピュータ３及びプロッター
４を主要機器として具備し、自動車のドアなど板金部品
５の表面歪を数値測定して図形表示できる装置である。
そして、Ｘ軸及びＹ軸の２方向へ平面的な定量移動を制
御できるXYテーブル２に取付けられたセンサユニット１
は、測定基準面６に対して垂直に支持された基準センサ
７と、該基準センサを中心として走査方向の前後及び左
右に配設され、基準センサ７と同じ測定点８に向けて取
付角度αで支持された４個の第１傾斜面用センサ9a、第
２傾斜面用センサ9b、第３傾斜面用センサ9c及び第４傾
斜面用センサ9dとが一体となって構成され、５個の距離
センサは各々専用のセンサコントローラ10を介してマス
ターコントローラ11及びパーソナルコンピュータ３と連
結されている。ここで、基準センサ７の取付角度は０°
となり、基準センサ７と測定点８とを結ぶ取付角度０°
の垂線12から測定点８を中心に前後及び左右の方向へ角
度αだけ回転させた直線13上に取付角度αの傾斜面用セ
ンサが位置している。また、４個の傾斜面用センサは、
測定基準面６と平行でかつ垂線12を中心とする円板14の
円周上に等ピッチ（90°ピッチ）で配置されている。な
お、基準測定面６は、XYテーブル２が定量移動を制御で
きる平面と平行であり、かつ、距離センサの高さ調整
（Ｚ方向）、すなわち０点調整の基準ともなる。
次に、上述した歪測定器の測定方法を第５図のフロー
チャートに基づいて説明すると、まず最初にXYテーブル
２の基準点出しをしてから測定範囲を決定する。この測
定範囲は、第６図に示す如く、測定点a11,a1n,am1及びa
mnの４点を結ぶ矩形となり、これをXYテーブル２にティ
ーチングする。次に、測定範囲内の変化が距離センサの
測定巾に入るように、センサユニット１の高さ（Ｚ方
向）を調整する。そして、いよいよ測定点a11から測定
を開始する。測定点a11では、基準センサ７、第１傾斜
面用センサ9a、第２傾斜面用センサ9b、第３傾斜面用セ
ンサ9c及び第４傾斜面用センサ9dが順番に１個ずつ測定
を実施してパーソナルコンピュータ３へ入力する。な
お、５個の距離センサに同時測定をさせないのは光射し
たビームが相互干渉するのを防ぐためであり、マスター
コントローラ11より各距離センサの電源へ同期をかけて
順次測定させている。なおまた、５個の距離センサから
出光したビームの干渉を防ぐ他の方法として、各距離セ
ンサに波長の異なる光源を使用し、光学系の前にバンド
パスフィルターを設けて区別してもよい。こうして測定
点a11での測定が終了すると、センサユニット１はXYテ
ーブル２と一体に走査方向へピッチＰだけ定量移動して
測定点a12に到達し、ここでも５個の距離センサが順次
測定してデータを入力する。同様にして測定点a13,a14
・・・a1nまで直線的にピッチＰの定量移動と各測定点
での測定及びデータ入力を繰り返し、測定点a1nでの測
定が終了した後には走査方向に対して垂直にピッチＰだ
け定量移動し、測定点a21での測定を開始する。そし
て、a11〜a1nの走査線と平行な直線上を走査方向のピッ
チＰの定量移動をしながら同様に測定及びデータ入力を
繰り返す。このようにして、センサユニット１は所定の
測定範囲内に走査方向と平行にピッチＰで配列された走
査線上をピッチＰの定量移動を繰り返し、測定点amnで
の測定を終了することによって、a11からa1nまで走査方
向へのｎ個及び走査方向と垂直方向へのｍ個の測定点が
ピッチＰの格子状に配置されたことになる。すなわち、
ｎとｍの積で求められる数の測定点が測定面上にピッチ
Ｐ（たとえば1mmピッチ）の格子状に存在し、各測定点
ごとに基準センサ７、第１傾斜面用センサ9a、第２傾斜
面用センサ9b、第３傾斜面用センサ9c及び第４傾斜面用
センサ9dの５個の距離センサがその測定値をパーソナル
コンピュータ３へ入力している。このため、各測定点に
おける有意データを５個の測定値の中から選択して決定
する必要があり、これを第７図及び第８図に基づいて説
明する。第７図は走行方向に右下がりの傾斜面15を示し
てあり、基準センサ７の許容角度βと走査線上に位置す
る第１傾斜面用センサ9a及び第２傾斜面用センサ9bの取
付角度αとの間にはα≦２βの関係がある。たとえば取
付角度α＝０°、許容角度β＝15°の基準センサ７に対
して取付角度α＝30°、許容角度β＝15°の第１傾斜面
用センサ9a及び第２傾斜面用センサ9bを設けておくと、
各距離センサの許容範囲境界線が隣接する距離センサど
うしで重なりあい、センサユニット１としては垂線12か
ら±45°の範囲が測定可能な許容角度となる。しかし、
第７図の傾斜面15にある測定点８で測定する場合、第２
傾斜面用センサ9bでは出射したビームと傾斜面15との角
度が平行に近くなってしまい、所定の受光部では反射角
度の関係から受光光量が低下して測定不能又は著しい精
度低下となるのは明らかである。また、基準センサ２及
び第１傾斜面用センサ9aに関しては、傾斜面15の角度に
応じた選択が必要となり、第７図においては傾斜面15の
垂線16が第１傾斜面用センサ9aの許容角度β内にあるた
め、第１傾斜面用センサ9aの測定値が最も信頼性の高い
有意データとして採用される。これを第８図のフローチ
ャートに基づいて説明すると、最初に傾斜面15の傾斜角
度γを算出する必要があり、各測定点における基準セン
サ７の測定値の差分をとって傾斜角度γを計算するので
ある。すなわち、第６図における測定点a11の走査方向
の有意データを決めるには、測定点a11での基準センサ
７の測定値と測定点a12での基準センサ７の測定値とを
比較してその差Δｌを算出し、Δｌ及びピッチＰを２辺
とする直角三角形のtanγ＝Δl/ピッチＰなる関係式か
ら傾斜角度γを算出する。そして、算出した傾斜角度γ
を距離センサの許容角度βと比較し、どの距離センサの
測定値を測定点a11の有意データとして採用するかを決
定する。ここで、測定基準面１に対して走査方向が低く
なる右下がりの傾斜を正、反対に走査方向が高くなる左
下がりの傾斜を負とすれば、算出した傾斜角度γが−β
以上でかつβ未満の場合は傾斜がゆるやかであると判断
して基準データ７の測定値を有意データとして採用す
る。また、傾斜角度γがβ以上の場合には右下がりの傾
斜が大きい傾斜面であると判断して第１傾斜面用センサ
9aの測定値を有意データとして採用し、反対に傾斜角度
γが−β未満の場合には左下がりの傾斜が大きい傾斜面
であると判断して第２傾斜面用センサ9bの測定値を有意
データとして採用する。同様にして、測定点a11での基
準センサ７の測定値と測定点a21での基準センサ７の測
定値を比較して差分をとれば、走査方向に対して直角な
方向の有意データを傾斜面に応じて基準センサ７、第３
傾斜面用センサ9c及び第４傾斜面用センサ9dの３つの距
離センサの測定値から選択することができる。このよう
にして決定された各測定点の有意データは、ボールネジ
歪補正などの従来と同様のデータ処理がなされてパーソ
ナルコンピュータ３のCRTやプロッター４から測定結果
として出力される。
チャートに基づいて説明すると、まず最初にXYテーブル
２の基準点出しをしてから測定範囲を決定する。この測
定範囲は、第６図に示す如く、測定点a11,a1n,am1及びa
mnの４点を結ぶ矩形となり、これをXYテーブル２にティ
ーチングする。次に、測定範囲内の変化が距離センサの
測定巾に入るように、センサユニット１の高さ（Ｚ方
向）を調整する。そして、いよいよ測定点a11から測定
を開始する。測定点a11では、基準センサ７、第１傾斜
面用センサ9a、第２傾斜面用センサ9b、第３傾斜面用セ
ンサ9c及び第４傾斜面用センサ9dが順番に１個ずつ測定
を実施してパーソナルコンピュータ３へ入力する。な
お、５個の距離センサに同時測定をさせないのは光射し
たビームが相互干渉するのを防ぐためであり、マスター
コントローラ11より各距離センサの電源へ同期をかけて
順次測定させている。なおまた、５個の距離センサから
出光したビームの干渉を防ぐ他の方法として、各距離セ
ンサに波長の異なる光源を使用し、光学系の前にバンド
パスフィルターを設けて区別してもよい。こうして測定
点a11での測定が終了すると、センサユニット１はXYテ
ーブル２と一体に走査方向へピッチＰだけ定量移動して
測定点a12に到達し、ここでも５個の距離センサが順次
測定してデータを入力する。同様にして測定点a13,a14
・・・a1nまで直線的にピッチＰの定量移動と各測定点
での測定及びデータ入力を繰り返し、測定点a1nでの測
定が終了した後には走査方向に対して垂直にピッチＰだ
け定量移動し、測定点a21での測定を開始する。そし
て、a11〜a1nの走査線と平行な直線上を走査方向のピッ
チＰの定量移動をしながら同様に測定及びデータ入力を
繰り返す。このようにして、センサユニット１は所定の
測定範囲内に走査方向と平行にピッチＰで配列された走
査線上をピッチＰの定量移動を繰り返し、測定点amnで
の測定を終了することによって、a11からa1nまで走査方
向へのｎ個及び走査方向と垂直方向へのｍ個の測定点が
ピッチＰの格子状に配置されたことになる。すなわち、
ｎとｍの積で求められる数の測定点が測定面上にピッチ
Ｐ（たとえば1mmピッチ）の格子状に存在し、各測定点
ごとに基準センサ７、第１傾斜面用センサ9a、第２傾斜
面用センサ9b、第３傾斜面用センサ9c及び第４傾斜面用
センサ9dの５個の距離センサがその測定値をパーソナル
コンピュータ３へ入力している。このため、各測定点に
おける有意データを５個の測定値の中から選択して決定
する必要があり、これを第７図及び第８図に基づいて説
明する。第７図は走行方向に右下がりの傾斜面15を示し
てあり、基準センサ７の許容角度βと走査線上に位置す
る第１傾斜面用センサ9a及び第２傾斜面用センサ9bの取
付角度αとの間にはα≦２βの関係がある。たとえば取
付角度α＝０°、許容角度β＝15°の基準センサ７に対
して取付角度α＝30°、許容角度β＝15°の第１傾斜面
用センサ9a及び第２傾斜面用センサ9bを設けておくと、
各距離センサの許容範囲境界線が隣接する距離センサど
うしで重なりあい、センサユニット１としては垂線12か
ら±45°の範囲が測定可能な許容角度となる。しかし、
第７図の傾斜面15にある測定点８で測定する場合、第２
傾斜面用センサ9bでは出射したビームと傾斜面15との角
度が平行に近くなってしまい、所定の受光部では反射角
度の関係から受光光量が低下して測定不能又は著しい精
度低下となるのは明らかである。また、基準センサ２及
び第１傾斜面用センサ9aに関しては、傾斜面15の角度に
応じた選択が必要となり、第７図においては傾斜面15の
垂線16が第１傾斜面用センサ9aの許容角度β内にあるた
め、第１傾斜面用センサ9aの測定値が最も信頼性の高い
有意データとして採用される。これを第８図のフローチ
ャートに基づいて説明すると、最初に傾斜面15の傾斜角
度γを算出する必要があり、各測定点における基準セン
サ７の測定値の差分をとって傾斜角度γを計算するので
ある。すなわち、第６図における測定点a11の走査方向
の有意データを決めるには、測定点a11での基準センサ
７の測定値と測定点a12での基準センサ７の測定値とを
比較してその差Δｌを算出し、Δｌ及びピッチＰを２辺
とする直角三角形のtanγ＝Δl/ピッチＰなる関係式か
ら傾斜角度γを算出する。そして、算出した傾斜角度γ
を距離センサの許容角度βと比較し、どの距離センサの
測定値を測定点a11の有意データとして採用するかを決
定する。ここで、測定基準面１に対して走査方向が低く
なる右下がりの傾斜を正、反対に走査方向が高くなる左
下がりの傾斜を負とすれば、算出した傾斜角度γが−β
以上でかつβ未満の場合は傾斜がゆるやかであると判断
して基準データ７の測定値を有意データとして採用す
る。また、傾斜角度γがβ以上の場合には右下がりの傾
斜が大きい傾斜面であると判断して第１傾斜面用センサ
9aの測定値を有意データとして採用し、反対に傾斜角度
γが−β未満の場合には左下がりの傾斜が大きい傾斜面
であると判断して第２傾斜面用センサ9bの測定値を有意
データとして採用する。同様にして、測定点a11での基
準センサ７の測定値と測定点a21での基準センサ７の測
定値を比較して差分をとれば、走査方向に対して直角な
方向の有意データを傾斜面に応じて基準センサ７、第３
傾斜面用センサ9c及び第４傾斜面用センサ9dの３つの距
離センサの測定値から選択することができる。このよう
にして決定された各測定点の有意データは、ボールネジ
歪補正などの従来と同様のデータ処理がなされてパーソ
ナルコンピュータ３のCRTやプロッター４から測定結果
として出力される。
また、第９図には基準センサ７及び８つの傾斜面用セ
ンサより成るセンサユニット１′が他の実施例として示
されており、第１ないし第８傾斜面用センサ9a,9b,9c,9
d,9e,9f,9g及び9hは円板14の円周上に45°の等ピッチで
配置され、取付角度αで同一測定点を向いている。この
ため、被測定面の傾斜方向が走査方向又は走査方向に対
して直角な方向意外の場合であっても、その傾斜方向に
応じた有意データをさらにきめ細かく選択してとること
が可能となる。なお、各傾斜面用センサは取付角度αが
同じであれば必ずしも円板14の円周上に配置しなくても
よい。
ンサより成るセンサユニット１′が他の実施例として示
されており、第１ないし第８傾斜面用センサ9a,9b,9c,9
d,9e,9f,9g及び9hは円板14の円周上に45°の等ピッチで
配置され、取付角度αで同一測定点を向いている。この
ため、被測定面の傾斜方向が走査方向又は走査方向に対
して直角な方向意外の場合であっても、その傾斜方向に
応じた有意データをさらにきめ細かく選択してとること
が可能となる。なお、各傾斜面用センサは取付角度αが
同じであれば必ずしも円板14の円周上に配置しなくても
よい。
発明の効果 前述の本発明によれば、従来正確な測定結果が得られ
なかったりあるいは測定不可能であった傾斜面を含む曲
面のあるワークに対して、基準センサに加えて複数の傾
斜面用センサを組合せたセンサユニットを使用すること
によって測定可能となる。たとえば、距離センサが測定
可能な許容角度を±15°とすれば、傾斜角度が45°の傾
斜面まで測定可能な歪測定器となり、測定精度の向上に
加えてその利用範囲を大きく広げる効果がある。
なかったりあるいは測定不可能であった傾斜面を含む曲
面のあるワークに対して、基準センサに加えて複数の傾
斜面用センサを組合せたセンサユニットを使用すること
によって測定可能となる。たとえば、距離センサが測定
可能な許容角度を±15°とすれば、傾斜角度が45°の傾
斜面まで測定可能な歪測定器となり、測定精度の向上に
加えてその利用範囲を大きく広げる効果がある。
第１図ないし第９図は本発明による歪測定器の一実施例
を示すもので、第１図はセンサユニットの距離センサ配
置を示す平面図、第２図は第１図のII-II線に沿う断面
図、第３図は歪測定器の概要を示す斜視図、第４図はセ
ンサユニットを構成する各距離センサの接続図、第５図
は測定手順を示すフローチャート、第６図は測定点の配
置を示す平面図、第７図は傾斜面の測定状態を示す図、
第８図は有意データの決定方法を示すフローチャート、
第９図はセンサユニットにおける距離センサ配置の他の
実施例を示す平面図、第10図ないし第13図は従来例を示
すもので、第10図は歪測定器の概要を示す斜視図、第11
図は測定状態を示す斜視図、第12図は測定点の配置図、
第13図は距離センサの測定許容角度を示す図である。 １……センサユニット、６……測定基準面、７……基準
センサ、８……測定点、9a……第１傾斜面用センサ、9b
……第２傾斜面用センサ、9c……第３傾斜面用センサ、
9d……第４傾斜面用センサ。
を示すもので、第１図はセンサユニットの距離センサ配
置を示す平面図、第２図は第１図のII-II線に沿う断面
図、第３図は歪測定器の概要を示す斜視図、第４図はセ
ンサユニットを構成する各距離センサの接続図、第５図
は測定手順を示すフローチャート、第６図は測定点の配
置を示す平面図、第７図は傾斜面の測定状態を示す図、
第８図は有意データの決定方法を示すフローチャート、
第９図はセンサユニットにおける距離センサ配置の他の
実施例を示す平面図、第10図ないし第13図は従来例を示
すもので、第10図は歪測定器の概要を示す斜視図、第11
図は測定状態を示す斜視図、第12図は測定点の配置図、
第13図は距離センサの測定許容角度を示す図である。 １……センサユニット、６……測定基準面、７……基準
センサ、８……測定点、9a……第１傾斜面用センサ、9b
……第２傾斜面用センサ、9c……第３傾斜面用センサ、
9d……第４傾斜面用センサ。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体レーザから出光したビームの反射光
を受光して測定面までの距離を測定するセンサが測定面
上を所定のピッチＰで平行に走査し、Ｘ軸及びＹ軸の両
方向に等ピッチＰの格子状に配置された測定点での測定
データを処理して測定面の歪を検出する歪測定器におい
て、測定基準面に対して垂直に支持された基準センサ
と、該基準センサを中心として走査方向の前後及び左右
に配設され、前記基準センサと同じ測定点に向けて取付
角度αで支持された４個の傾斜面用センサとで成るセン
サユニットを一体に走査せしめ、格子状に配置された各
測定点で前記センサユニットの５個のセンサが順次測定
して得られた測定データを分析し、測定面の傾斜に応じ
て選択したセンサの測定値を有意データとして採用した
ことを特徴とする歪測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973289A JP2754791B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 歪測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973289A JP2754791B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 歪測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03131709A JPH03131709A (ja) | 1991-06-05 |
| JP2754791B2 true JP2754791B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=17476397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26973289A Expired - Lifetime JP2754791B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 歪測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2754791B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006242481A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Osaka Gas Co Ltd | コンロ |
-
1989
- 1989-10-17 JP JP26973289A patent/JP2754791B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03131709A (ja) | 1991-06-05 |
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