JP2752045B2 - 多素子放射線検出器およびその製造方法ならびにｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
多素子放射線検出器およびその製造方法ならびにｘ線ｃｔ装置Info
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 118
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 122
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 79
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 69
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 22
- 238000003491 array Methods 0.000 claims description 21
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 19
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 244000043261 Hevea brasiliensis Species 0.000 description 1
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 1
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229920003052 natural elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001194 natural rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は多素子放射線検出器およびその製造方法な
らびに多素子放射線検出器を有するＸ線CT装置（Ｘ線コ
ンピュータ断層撮影装置）に関するものである。
らびに多素子放射線検出器を有するＸ線CT装置（Ｘ線コ
ンピュータ断層撮影装置）に関するものである。
従来の多素子放射線検出器においては、特開昭61−74
89号公報、特開昭62−24174号公報、特開昭63−154983
号公報に示されるように、複数の蛍光体素子を有する素
子ブロックを多角形状に並べている。
89号公報、特開昭62−24174号公報、特開昭63−154983
号公報に示されるように、複数の蛍光体素子を有する素
子ブロックを多角形状に並べている。
第５図は従来の多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置の多
素子放射線検出器の素子ブロックを示す斜視図、第６図
は第５図に示した素子ブロックを固定枠に取り付けた状
態を示す側面図、第７図は同じく平面図、第８図は第５
図に示した素子ブロックを有する多素子放射線検出器の
一部を示す断面図、第９図は第５図に示した素子ブロッ
クの平面図である。図において、210は多素子放射線検
出器の素子ブロック、205はガラスエポキシからなる基
板で、基板205の上面205bに素子ブロック210が搭載され
ている。203は基板205上に設けられた素子ブロック210
の複数の光電変換素子で、光電変換素子203はシリコン
ウェハに形成されており、光電変換素子203は光を電流
に変換する。201は光電変換素子203上に設けられた複数
の蛍光体素子で、蛍光体素子201は光電変換素子203に対
応して設けられ、蛍光体素子201は放射線を光に変換す
る。そして、光電変換素子203、蛍光体素子201で検出素
子を構成している。202は蛍光体素子201間に設けられた
隔離板で、隔離板202は蛍光体素子201間の光クロストー
クおよび散乱Ｘ線によるクロストークを防止するととも
に、蛍光体素子201で発生した蛍光を光電変換素子203に
導く。204は光電変換素子203と蛍光体素子201および隔
離板202とを固着するための接着剤、206は基板205に取
り付けられたコネクタで、コネクタ206は光電変換素子2
03に接続されている。208は基板205が取り付けられた固
定枠で、基板205は底面205aを基準として固定枠208に取
り付けられている。101は入射Ｘ線、701は素子ブロック
210上に設けられた上面反射板で、上面反射板701は蛍光
体素子201で発生した蛍光を効率良く光電変換素子203に
供給するとともに、上面反射板701は蛍光体素子201で発
生した蛍光が隣接する検出素子へ漏れるのを防止する。
703は上面反射板701上に設けられたスポンジからなるカ
バー、704はカバー703上に設けられたA1からなる押え板
である。
素子放射線検出器の素子ブロックを示す斜視図、第６図
は第５図に示した素子ブロックを固定枠に取り付けた状
態を示す側面図、第７図は同じく平面図、第８図は第５
図に示した素子ブロックを有する多素子放射線検出器の
一部を示す断面図、第９図は第５図に示した素子ブロッ
クの平面図である。図において、210は多素子放射線検
出器の素子ブロック、205はガラスエポキシからなる基
板で、基板205の上面205bに素子ブロック210が搭載され
ている。203は基板205上に設けられた素子ブロック210
の複数の光電変換素子で、光電変換素子203はシリコン
ウェハに形成されており、光電変換素子203は光を電流
に変換する。201は光電変換素子203上に設けられた複数
の蛍光体素子で、蛍光体素子201は光電変換素子203に対
応して設けられ、蛍光体素子201は放射線を光に変換す
る。そして、光電変換素子203、蛍光体素子201で検出素
子を構成している。202は蛍光体素子201間に設けられた
隔離板で、隔離板202は蛍光体素子201間の光クロストー
クおよび散乱Ｘ線によるクロストークを防止するととも
に、蛍光体素子201で発生した蛍光を光電変換素子203に
導く。204は光電変換素子203と蛍光体素子201および隔
離板202とを固着するための接着剤、206は基板205に取
り付けられたコネクタで、コネクタ206は光電変換素子2
03に接続されている。208は基板205が取り付けられた固
定枠で、基板205は底面205aを基準として固定枠208に取
り付けられている。101は入射Ｘ線、701は素子ブロック
210上に設けられた上面反射板で、上面反射板701は蛍光
体素子201で発生した蛍光を効率良く光電変換素子203に
供給するとともに、上面反射板701は蛍光体素子201で発
生した蛍光が隣接する検出素子へ漏れるのを防止する。
703は上面反射板701上に設けられたスポンジからなるカ
バー、704はカバー703上に設けられたA1からなる押え板
である。
この多素子放射線検出器においては、入射Ｘ線101が
蛍光体素子201内で可視光に変換され、さらに菓子光が
光電変換素子203により電流に変換され、この信号がコ
ネクタ206を介して計測回路（図示せず）に導かれる。
蛍光体素子201内で可視光に変換され、さらに菓子光が
光電変換素子203により電流に変換され、この信号がコ
ネクタ206を介して計測回路（図示せず）に導かれる。
しかし、このような多素子放射線検出器およびＸ線CT
装置においては、基板205が底面205aを基準として固定
枠208に取り付けられているから、第６図に示すよう
に、隣接する基板205の厚さt1、t2が相違していると、
隣接する素子ブロック210の上面に段差Δｈが生じ、こ
の場合には隣接する素子ブロック210の入射Ｘ線101のエ
ネルギースペクトル変化に対する応答特性すなわち線質
特性が異なり、再生画像上の素子ブロック210の境界に
相当する部分にリング状のアーチファクトが発生すると
ともに、段差Δｈは素子ブロック210間のクロストーク
発生の原因となる。そして、段差Δｈの許容量はシステ
ムや撮影条件により異なるが、20〜50μｍである。ま
た、第７図に示すように、素子ブロック210間に隙間ΔS
1が生ずることがあり、この場合には検出素子が正規の
位置からずれることによる画像のボケが生ずる。さら
に、素子ブロック210間に隙間ΔS1が生じたときには、
第９図に示すように、最も外側の隔離板202aが最も外側
の蛍光体素子210aの側面に密着せず、隙間ΔS2が生じ、
この場合には蛍光体素子201aを有する検出素子と蛍光体
素子201bを有する検出素子との間に線質特性あるいは感
度分布の相違が生じ、再生画像上にリング状のアーチフ
ァクトが発生する。そして、隙間ΔS2の許容量はシステ
ムや撮影条件により異なるが、約50μｍである。また、
第８図に示すように、上面反射板701上にカバー703を設
けているが、上面反射板701と蛍光体素子201の表面との
密着度が十分ではなく、感度分布、線質特性のバラツ
キ、光クロストークが発生することがある。さらに、最
も外側の隔離板202aは外側にふくらむ傾向があるため、
素子ブロック210の配列作業時に隔離板202aが剥がれ落
ちやすい。また、外部の光や空気の流入に対する配慮が
不十分であり、周囲環境の影響を受けやすい。
装置においては、基板205が底面205aを基準として固定
枠208に取り付けられているから、第６図に示すよう
に、隣接する基板205の厚さt1、t2が相違していると、
隣接する素子ブロック210の上面に段差Δｈが生じ、こ
の場合には隣接する素子ブロック210の入射Ｘ線101のエ
ネルギースペクトル変化に対する応答特性すなわち線質
特性が異なり、再生画像上の素子ブロック210の境界に
相当する部分にリング状のアーチファクトが発生すると
ともに、段差Δｈは素子ブロック210間のクロストーク
発生の原因となる。そして、段差Δｈの許容量はシステ
ムや撮影条件により異なるが、20〜50μｍである。ま
た、第７図に示すように、素子ブロック210間に隙間ΔS
1が生ずることがあり、この場合には検出素子が正規の
位置からずれることによる画像のボケが生ずる。さら
に、素子ブロック210間に隙間ΔS1が生じたときには、
第９図に示すように、最も外側の隔離板202aが最も外側
の蛍光体素子210aの側面に密着せず、隙間ΔS2が生じ、
この場合には蛍光体素子201aを有する検出素子と蛍光体
素子201bを有する検出素子との間に線質特性あるいは感
度分布の相違が生じ、再生画像上にリング状のアーチフ
ァクトが発生する。そして、隙間ΔS2の許容量はシステ
ムや撮影条件により異なるが、約50μｍである。また、
第８図に示すように、上面反射板701上にカバー703を設
けているが、上面反射板701と蛍光体素子201の表面との
密着度が十分ではなく、感度分布、線質特性のバラツ
キ、光クロストークが発生することがある。さらに、最
も外側の隔離板202aは外側にふくらむ傾向があるため、
素子ブロック210の配列作業時に隔離板202aが剥がれ落
ちやすい。また、外部の光や空気の流入に対する配慮が
不十分であり、周囲環境の影響を受けやすい。
この発明は上述の課題を解決するためになされたもの
で、再生画像上にリング状のアーチファクトが発生する
ことがなく、クロストークが発生のすることがなく、再
生画像のボケが生ずることがなく、素子ブロックの配列
作業時に最も外側の隔離板が剥がれ落ちることがなく、
周囲環境の影響を受けにくい多素子放射線検出器および
その製造方法ならびにＸ線CT装置を提供することを目的
とする。
で、再生画像上にリング状のアーチファクトが発生する
ことがなく、クロストークが発生のすることがなく、再
生画像のボケが生ずることがなく、素子ブロックの配列
作業時に最も外側の隔離板が剥がれ落ちることがなく、
周囲環境の影響を受けにくい多素子放射線検出器および
その製造方法ならびにＸ線CT装置を提供することを目的
とする。
この目的を達成するため、この発明においては、基板
上に配置され光を電流に変換する複数素子が一方向に配
列する光電変換器と、該光電変換器の各素子にそれぞれ
対応して配置され放射線を光に変換する蛍光体素子と、
該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記蛍光体素子を
隔離する隔離板とからなる検出素子配列体の複数個と、
前記基板を固定するための固定枠と、前記検出素子配列
体の前記蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反
射板の上面に配置される弾性体からなるカバーと、該カ
バーを押えるための押え板と、該押え板の上面に配置さ
れ前記蛍光体素子に入射する放射線を規定するコリメー
タと、前記検出素子配列体を外部環境から隔離する外壁
とを有する多素子放射線検出器において、前記基板の前
記光電変換器が配置される側の面を前記固定枠に固定す
る。
上に配置され光を電流に変換する複数素子が一方向に配
列する光電変換器と、該光電変換器の各素子にそれぞれ
対応して配置され放射線を光に変換する蛍光体素子と、
該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記蛍光体素子を
隔離する隔離板とからなる検出素子配列体の複数個と、
前記基板を固定するための固定枠と、前記検出素子配列
体の前記蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反
射板の上面に配置される弾性体からなるカバーと、該カ
バーを押えるための押え板と、該押え板の上面に配置さ
れ前記蛍光体素子に入射する放射線を規定するコリメー
タと、前記検出素子配列体を外部環境から隔離する外壁
とを有する多素子放射線検出器において、前記基板の前
記光電変換器が配置される側の面を前記固定枠に固定す
る。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げて、前記隔離板を
接着剤により前記基板に固定する。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げて、前記隔離板を
接着剤により前記基板に固定する。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記基板と前記外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小
さい弾性体からなるシート状部材を配置する。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記基板と前記外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小
さい弾性体からなるシート状部材を配置する。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定する。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定する。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定され、前記基板と前記外壁
との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体からなる
シート状部材を配置する。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器において、
前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定され、前記基板と前記外壁
との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体からなる
シート状部材を配置する。
また、放射線を光に変換する複数の蛍光体素子と、該
蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光を電流
に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間に配置
され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板と、前記
蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反射板の上
面に配置される弾性体からなるカバーと、該カバーを押
えるための押え板と、該押え板の上面に配置され前記蛍
光体素子に入射する放射線を規定するコリメータと、前
記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境から隔離
する外壁とを有する多素子放射線検出器において、前記
押え板、前記外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹
脂により構成する。
蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光を電流
に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間に配置
され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板と、前記
蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反射板の上
面に配置される弾性体からなるカバーと、該カバーを押
えるための押え板と、該押え板の上面に配置され前記蛍
光体素子に入射する放射線を規定するコリメータと、前
記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境から隔離
する外壁とを有する多素子放射線検出器において、前記
押え板、前記外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹
脂により構成する。
また、放射線を光に変換する複数の蛍光体素子と、該
蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光を電流
に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間に配置
され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板と、前記
蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反射板の上
面に配置される弾性体からなるカバーと、該カバーを押
えるための押え板と、該押え板の上面に配置され前記蛍
光体素子に入射する放射線を規定するコリメータと、前
記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境から隔離
する外壁とを有する多素子放射線検出器において、前記
押え板、前記外壁の少なくとも１つを金属からなる第１
部材と該第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組
み合わせて構成する。
蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光を電流
に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間に配置
され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板と、前記
蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反射板の上
面に配置される弾性体からなるカバーと、該カバーを押
えるための押え板と、該押え板の上面に配置され前記蛍
光体素子に入射する放射線を規定するコリメータと、前
記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境から隔離
する外壁とを有する多素子放射線検出器において、前記
押え板、前記外壁の少なくとも１つを金属からなる第１
部材と該第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組
み合わせて構成する。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造方法
において、前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配
置される前記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離
板の前記一方向と直交する方向の両端部分を曲げて、前
記隔離板を接着剤により前記基板に固定する工程を行な
う。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造方法
において、前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配
置される前記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離
板の前記一方向と直交する方向の両端部分を曲げて、前
記隔離板を接着剤により前記基板に固定する工程を行な
う。
また、基板上に配置され光を電流に変換する複数素子
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造方法
において、前記検出素子配列体の複数個が、前記基板の
前記光電変換器が配置される側の面で前記固定枠に固定
される工程を行なう。
が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の各素
子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換する蛍
光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する前記
蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配列体
の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、前記
検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置される反
射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からなるカ
バーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え板の
上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を規定
するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境から
隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造方法
において、前記検出素子配列体の複数個が、前記基板の
前記光電変換器が配置される側の面で前記固定枠に固定
される工程を行なう。
また、Ｘ線CT装置の多素子放射線検出器として上記の
多素子放射線検出器を用いる。
多素子放射線検出器を用いる。
また、Ｘ線CT装置の多素子放射線検出器として上記の
多素子放射線検出器の製造方法により製造された多素子
放射線検出器を用いる。
多素子放射線検出器の製造方法により製造された多素子
放射線検出器を用いる。
多素子放射線検出器、その製造方法、Ｘ線CT装置にお
いて、基板の光電変換器が配置される側の面を固定枠に
固定したときには、隣接する検出素子配列体の上面に段
差が生ずることがない。
いて、基板の光電変換器が配置される側の面を固定枠に
固定したときには、隣接する検出素子配列体の上面に段
差が生ずることがない。
また、多素子放射線検出器、その製造方法、Ｘ線CT装
置において、検出素子配列体の前記一方向の両端に配置
される蛍光体素子のそれぞれの外側に、隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分を曲げて、隔離板を接着
剤により基板に固定したときには、最も外側の隔離板が
剥がれ落ちることはない。
置において、検出素子配列体の前記一方向の両端に配置
される蛍光体素子のそれぞれの外側に、隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分を曲げて、隔離板を接着
剤により基板に固定したときには、最も外側の隔離板が
剥がれ落ちることはない。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、基
板と外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体
からなるシート状部材を配置したときには、外部からの
熱を流入を防止することができる。
板と外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体
からなるシート状部材を配置したときには、外部からの
熱を流入を防止することができる。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、押
え板、外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹脂によ
り構成したときには、外部からの光の流入を防止するこ
とができる。
え板、外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹脂によ
り構成したときには、外部からの光の流入を防止するこ
とができる。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、押
え板、外壁の少なくとも１つを金属からなる第１部材と
第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組み合わせ
て構成したときには、外部からの熱の流入を防止するこ
とができる。
え板、外壁の少なくとも１つを金属からなる第１部材と
第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組み合わせ
て構成したときには、外部からの熱の流入を防止するこ
とができる。
第１図はこの発明に係る多素子放射線検出器の一部、
この発明に係るＸ線CT装置の多素子放射線検出器の一部
を示す一部切断斜視図、第２図は第１図に示した多素子
放射線検出器の一部を示す側面図、第３図は同じく側断
面図、第４図は同じく平断面図である。図において、10
2、104、105はA1からなる外壁で、素子ブロック210およ
び基板205を外部環境から保護するための外壁、601は外
壁104に取り付けられたAlからなる固定枠、103は上面反
射板701の放射線入射側に設置されたコリメータで、コ
リメータ103は真ちゅうからなり、コリメータ103は散乱
放射線を除去する。110は基板205と外壁102との間に設
けられたシート状部材で、シート状部材110はゴムから
なる。
この発明に係るＸ線CT装置の多素子放射線検出器の一部
を示す一部切断斜視図、第２図は第１図に示した多素子
放射線検出器の一部を示す側面図、第３図は同じく側断
面図、第４図は同じく平断面図である。図において、10
2、104、105はA1からなる外壁で、素子ブロック210およ
び基板205を外部環境から保護するための外壁、601は外
壁104に取り付けられたAlからなる固定枠、103は上面反
射板701の放射線入射側に設置されたコリメータで、コ
リメータ103は真ちゅうからなり、コリメータ103は散乱
放射線を除去する。110は基板205と外壁102との間に設
けられたシート状部材で、シート状部材110はゴムから
なる。
702は上面反射板701とカバー703との間に設けられた
厚さ約1mmのシートで、シート702はカバー703より密度
が大きく、たとえば密度が0.8〜2.0g/cm2であり、かつ
カバー703より弾性率が大きい天然ゴム、ニトリルゴム
等のゴムからなる。そして、第２図に示すように、基板
205の上面205bを基準にして基板205を固定枠601に固定
しており、また隣接する素子ブロック210を圧接してい
る。さらに、第４図に示すように、最も外側の隔離板80
1の端部を曲げて接着剤204により基板205に接着してい
る。また、上面反射板701としてポリエステルフィルム
にA1を蒸着したフィルムからなるものを用いている。さ
らに、隔離板202、801が蛍光体素子201の表面から突出
しておりかつ光電変換素子203の内部にまで達してい
る。また、隔離板202、801としてはＷ、Mo等のＸ線吸収
係数の大きい金属板の表面にAlを蒸着し、その上に増反
射処理を施した部材が用いられている。さらに、カバー
703としてはウレタンフォーム、ニトリルフォーム等か
らなるものが用いられている。
厚さ約1mmのシートで、シート702はカバー703より密度
が大きく、たとえば密度が0.8〜2.0g/cm2であり、かつ
カバー703より弾性率が大きい天然ゴム、ニトリルゴム
等のゴムからなる。そして、第２図に示すように、基板
205の上面205bを基準にして基板205を固定枠601に固定
しており、また隣接する素子ブロック210を圧接してい
る。さらに、第４図に示すように、最も外側の隔離板80
1の端部を曲げて接着剤204により基板205に接着してい
る。また、上面反射板701としてポリエステルフィルム
にA1を蒸着したフィルムからなるものを用いている。さ
らに、隔離板202、801が蛍光体素子201の表面から突出
しておりかつ光電変換素子203の内部にまで達してい
る。また、隔離板202、801としてはＷ、Mo等のＸ線吸収
係数の大きい金属板の表面にAlを蒸着し、その上に増反
射処理を施した部材が用いられている。さらに、カバー
703としてはウレタンフォーム、ニトリルフォーム等か
らなるものが用いられている。
この多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置においては、基
板205の上面205bを基準にして基板205を固定枠601に固
定するから、隣接する素子ブロック210の上面に段差が
生ずることがないので、隣接する素子ブロック210の線
質特性が異なることがなく、再生画像上の素子ブロック
210の境界に相当する部分にリング状のアーチファクト
が発生することがないとともに、素子ブロック210間の
クロストークが発生することはない。また、隣接する素
子ブロック210を圧接しているので、隣接する素子ブロ
ック210間に隙間が生ずることがないので、検出素子が
正規の位置からずれることがないため、再生画像のボケ
が生ずることがなく、しかも隔離板801が最も外側の蛍
光体素子201の側面に密着するので、検出素子間に線質
特性あるいは感度分布の相違が生ずることがなく、再生
画像上にリング状のアーチファクトが発生することがな
いとともに、最も外側の隔離板が外側にふくらむのを防
止することができる。さらに、隔離板801の端部を曲げ
て基板205に接着しているから、素子ブロック210の配列
作業時に隔離板801が剥がれ落ちることがない。また、
基板205と外壁102との間に電気絶縁性、非透光性を有し
かつ熱伝導率が小さい弾性体からなるシート状部材110
を設けているから、コネクタ206の周辺から外部の光や
空気の流入等を防止することができるので、周囲環境の
影響を受けにくい。さらに、上面反射板701とカバー703
との間にカバー703より密度の大きい弾性体からなるシ
ート702を設けているから、上面反射板701と蛍光体素子
201の表面との密着度が大きくなるので、感度分布、線
質特性のバラツキ、光クロストークが発生するのを防止
することができる。また、シート702としてゴムからな
るものを用いているから、上面反射板701と蛍光体素子2
01の表面との密着度がより大きくなるから、感度分布、
線質特性のバラツキ、光クロストークが発生するのをよ
り確実に防止することができる。さらに、上面反射板70
1とカバー703との間にカバー703より弾性率の大きい弾
性体からなるシート702を設けているから、上面反射板7
01と蛍光体素子201の表面との密着度が大きくなるの
で、感度分布、線質特性のバラツキ、光クロストークが
発生するのを防止することができる。また、隔離板20
2、801が蛍光体素子201の表面から突出しておりかつ光
電変換素子203の内部にまで達しているから、蛍光体素
子201間の光クロストークが発生するのを防止すること
ができる。
板205の上面205bを基準にして基板205を固定枠601に固
定するから、隣接する素子ブロック210の上面に段差が
生ずることがないので、隣接する素子ブロック210の線
質特性が異なることがなく、再生画像上の素子ブロック
210の境界に相当する部分にリング状のアーチファクト
が発生することがないとともに、素子ブロック210間の
クロストークが発生することはない。また、隣接する素
子ブロック210を圧接しているので、隣接する素子ブロ
ック210間に隙間が生ずることがないので、検出素子が
正規の位置からずれることがないため、再生画像のボケ
が生ずることがなく、しかも隔離板801が最も外側の蛍
光体素子201の側面に密着するので、検出素子間に線質
特性あるいは感度分布の相違が生ずることがなく、再生
画像上にリング状のアーチファクトが発生することがな
いとともに、最も外側の隔離板が外側にふくらむのを防
止することができる。さらに、隔離板801の端部を曲げ
て基板205に接着しているから、素子ブロック210の配列
作業時に隔離板801が剥がれ落ちることがない。また、
基板205と外壁102との間に電気絶縁性、非透光性を有し
かつ熱伝導率が小さい弾性体からなるシート状部材110
を設けているから、コネクタ206の周辺から外部の光や
空気の流入等を防止することができるので、周囲環境の
影響を受けにくい。さらに、上面反射板701とカバー703
との間にカバー703より密度の大きい弾性体からなるシ
ート702を設けているから、上面反射板701と蛍光体素子
201の表面との密着度が大きくなるので、感度分布、線
質特性のバラツキ、光クロストークが発生するのを防止
することができる。また、シート702としてゴムからな
るものを用いているから、上面反射板701と蛍光体素子2
01の表面との密着度がより大きくなるから、感度分布、
線質特性のバラツキ、光クロストークが発生するのをよ
り確実に防止することができる。さらに、上面反射板70
1とカバー703との間にカバー703より弾性率の大きい弾
性体からなるシート702を設けているから、上面反射板7
01と蛍光体素子201の表面との密着度が大きくなるの
で、感度分布、線質特性のバラツキ、光クロストークが
発生するのを防止することができる。また、隔離板20
2、801が蛍光体素子201の表面から突出しておりかつ光
電変換素子203の内部にまで達しているから、蛍光体素
子201間の光クロストークが発生するのを防止すること
ができる。
なお、上述実施例においては、上面反射板701、シー
ト702、カバー703を別々に設けたが、上面反射板701と
シート702とを接着し、シート702とカバー703とを接着
すれば、上面反射板701、シート702、カバー703を別々
に設ける必要がないから、製造が容易である。さらに、
カバー、押え板、コリメータ、外壁として熱伝導率の小
さい材料からなるものを用いれば、外部からの熱の流入
を防止することができるので、周囲環境の影響を受けに
くい。また、押え板、外壁、固定枠として非透光性でか
つ熱伝導率の小さい合成樹脂からなるものを用いれば、
外部からの光、熱の流入を防止することができるので、
周囲環境の影響を受けにくい。また、上述実施例におい
ては、押え板704、外壁102、104、105、固定枠601とし
てAlからなるものを用いたが、押え板、外壁、固定枠と
して金属からなる第１部材と第１部材より熱伝導率の小
さい第２部材たとえば発砲スチロール等とを組み合わせ
たものを用いても、外部からの熱の流入を防止すること
ができるので、周囲環境の影響を受けにくい。さらに、
上述実施例においては、ガラスエポキシからなる基板20
5を用いたが、各種セラミック、ポリイミド等からなる
基板を用いてもよい。また、上述実施例においては、ゴ
ムからなるシート状部材110を用いたが、シート状部材
としては電気絶縁性、非透光性を有しかつ熱伝導率が小
さい弾性体からなるものを用いればよい。さらに、上述
実施例においては、上面反射板701としてポリエステル
フィルムにAlを蒸着したフィルムからなるものを用いた
が、上面反射板の材料としては高い光反射率を有する面
を持ち、Ｘ線の吸収が無視できる程度に小さく、かつ可
撓性に富むものであればよい。また、上述実施例におい
ては、シート702としてゴムからなるものを用いたが、
シートとしてはゴムと同様の密度、弾性率、可撓性を有
し、Ｘ線の吸収が実用上問題にならない材質、厚さのも
のを用いることができる。さらに、上述実施例において
は、カバー703としてウレタンフォーム、ニトリルフォ
ーム等からなるものを用いたが、カバーとしてはウレタ
ンフォーム、ニトリルフォーム等と同様の密度、弾性
率、可撓性を有し、Ｘ線の吸収が実用上問題にならない
材質、厚さのものを用いることができる。また、上述実
施例においては、上面反射板701とシート702とを別々に
設けたが、シート702の表面に反射層を直接形成しても
よい。さらに、上述実施例においては、押え板704とし
てAlからなるものを用いたが、Alと同様の硬度を有し、
Ｘ線吸収量が実用上問題にならない程度の金属あるいは
非金属からなるものを使用することができる。また、上
面反射板、シート、カバー、押え板として上記諸特性を
満足し、かつ熱伝導率の小さい材料のものを使用すれ
ば、前面からの熱の流入を低減することができる。さら
に、上述実施例においては、コリメータ103として真ち
ゅうからなるものを用いたが、Pb,W、Mo等のＸ線吸収係
数が大きいものからなるものを用いればよく、その上ス
テンレスのように熱伝導率が小さいものであればさらに
よい。また、上述実施例においては、外壁102、104、10
5、固定枠601としてAlからなるものを用いたが、機械的
強度、加工性の点を満たす他の材料からなるものを用い
てもよく、また機械的振動を吸収する特性を有する合成
樹脂からなるものを用いれば、機械的振動に対する安定
性が増大する。
ト702、カバー703を別々に設けたが、上面反射板701と
シート702とを接着し、シート702とカバー703とを接着
すれば、上面反射板701、シート702、カバー703を別々
に設ける必要がないから、製造が容易である。さらに、
カバー、押え板、コリメータ、外壁として熱伝導率の小
さい材料からなるものを用いれば、外部からの熱の流入
を防止することができるので、周囲環境の影響を受けに
くい。また、押え板、外壁、固定枠として非透光性でか
つ熱伝導率の小さい合成樹脂からなるものを用いれば、
外部からの光、熱の流入を防止することができるので、
周囲環境の影響を受けにくい。また、上述実施例におい
ては、押え板704、外壁102、104、105、固定枠601とし
てAlからなるものを用いたが、押え板、外壁、固定枠と
して金属からなる第１部材と第１部材より熱伝導率の小
さい第２部材たとえば発砲スチロール等とを組み合わせ
たものを用いても、外部からの熱の流入を防止すること
ができるので、周囲環境の影響を受けにくい。さらに、
上述実施例においては、ガラスエポキシからなる基板20
5を用いたが、各種セラミック、ポリイミド等からなる
基板を用いてもよい。また、上述実施例においては、ゴ
ムからなるシート状部材110を用いたが、シート状部材
としては電気絶縁性、非透光性を有しかつ熱伝導率が小
さい弾性体からなるものを用いればよい。さらに、上述
実施例においては、上面反射板701としてポリエステル
フィルムにAlを蒸着したフィルムからなるものを用いた
が、上面反射板の材料としては高い光反射率を有する面
を持ち、Ｘ線の吸収が無視できる程度に小さく、かつ可
撓性に富むものであればよい。また、上述実施例におい
ては、シート702としてゴムからなるものを用いたが、
シートとしてはゴムと同様の密度、弾性率、可撓性を有
し、Ｘ線の吸収が実用上問題にならない材質、厚さのも
のを用いることができる。さらに、上述実施例において
は、カバー703としてウレタンフォーム、ニトリルフォ
ーム等からなるものを用いたが、カバーとしてはウレタ
ンフォーム、ニトリルフォーム等と同様の密度、弾性
率、可撓性を有し、Ｘ線の吸収が実用上問題にならない
材質、厚さのものを用いることができる。また、上述実
施例においては、上面反射板701とシート702とを別々に
設けたが、シート702の表面に反射層を直接形成しても
よい。さらに、上述実施例においては、押え板704とし
てAlからなるものを用いたが、Alと同様の硬度を有し、
Ｘ線吸収量が実用上問題にならない程度の金属あるいは
非金属からなるものを使用することができる。また、上
面反射板、シート、カバー、押え板として上記諸特性を
満足し、かつ熱伝導率の小さい材料のものを使用すれ
ば、前面からの熱の流入を低減することができる。さら
に、上述実施例においては、コリメータ103として真ち
ゅうからなるものを用いたが、Pb,W、Mo等のＸ線吸収係
数が大きいものからなるものを用いればよく、その上ス
テンレスのように熱伝導率が小さいものであればさらに
よい。また、上述実施例においては、外壁102、104、10
5、固定枠601としてAlからなるものを用いたが、機械的
強度、加工性の点を満たす他の材料からなるものを用い
てもよく、また機械的振動を吸収する特性を有する合成
樹脂からなるものを用いれば、機械的振動に対する安定
性が増大する。
そして、第１図〜第４図に示す多素子放射線検出器を
製造するには、接着剤204により蛍光体素子201および隔
離板202と光電変換素子203とを接着するときに、隔離板
801の端部を曲げて、その端部を接着剤204により基板20
5に接着する。そして、中央に位置する基板205Aの上面2
05bを基準にして基板205Aをネジにより固定枠601に固定
したのち、その基板205Aに搭載された素子ブロック210A
に隣接すべき素子ブロック210B、210Cを素子ブロック21
0Aに圧接しながら、素子ブロック210B、210Cが搭載され
た基板205B、205Cをネジにより固定枠601に固定し、こ
のようにして順次基板205をネジにより固定枠601に固定
する。
製造するには、接着剤204により蛍光体素子201および隔
離板202と光電変換素子203とを接着するときに、隔離板
801の端部を曲げて、その端部を接着剤204により基板20
5に接着する。そして、中央に位置する基板205Aの上面2
05bを基準にして基板205Aをネジにより固定枠601に固定
したのち、その基板205Aに搭載された素子ブロック210A
に隣接すべき素子ブロック210B、210Cを素子ブロック21
0Aに圧接しながら、素子ブロック210B、210Cが搭載され
た基板205B、205Cをネジにより固定枠601に固定し、こ
のようにして順次基板205をネジにより固定枠601に固定
する。
この多素子放射線検出器の製造方法においては、素子
ブロック210をその素子ブロック210に隣接する素子ブロ
ック210に圧接して順次配列するから、隣接する素子ブ
ロック210間に隙間が生ずることがないので、検出素子
が正規の位置からずれることがないため、再生画像のボ
ケが生ずることがなく、しかも隔離板801が最も外側の
蛍光体素子201の側面に密着するので、検出素子間に線
質特性あるいは感度分布の相違が生ずることがなく、再
生画像上にリング状のアーチファクトが発生することが
ないとともに、最も外側の隔離板が外側にふくらむのを
防止することができる。また、隔離板801の端部を曲げ
て基板205に接着するから、素子ブロック210の配列作業
時に隔離板801が剥がれ落ちることがない。
ブロック210をその素子ブロック210に隣接する素子ブロ
ック210に圧接して順次配列するから、隣接する素子ブ
ロック210間に隙間が生ずることがないので、検出素子
が正規の位置からずれることがないため、再生画像のボ
ケが生ずることがなく、しかも隔離板801が最も外側の
蛍光体素子201の側面に密着するので、検出素子間に線
質特性あるいは感度分布の相違が生ずることがなく、再
生画像上にリング状のアーチファクトが発生することが
ないとともに、最も外側の隔離板が外側にふくらむのを
防止することができる。また、隔離板801の端部を曲げ
て基板205に接着するから、素子ブロック210の配列作業
時に隔離板801が剥がれ落ちることがない。
以上説明したように、この発明に係る多素子放射線検
出器、その製造方法、Ｘ線CT装置において、基板の光電
変換器が配置される側の面を固定枠に固定したときに
は、隣接する検出素子配列体の上面に段差が生ずること
がないから、隣接する検出素子配列体の線質特性が異な
ることがなく、再生画像上の検出素子配列体の境界に相
当する部分にリング状のアーチファクトが発生すること
がないとともに、検出素子配列体間のクロストークが発
生することはない。
出器、その製造方法、Ｘ線CT装置において、基板の光電
変換器が配置される側の面を固定枠に固定したときに
は、隣接する検出素子配列体の上面に段差が生ずること
がないから、隣接する検出素子配列体の線質特性が異な
ることがなく、再生画像上の検出素子配列体の境界に相
当する部分にリング状のアーチファクトが発生すること
がないとともに、検出素子配列体間のクロストークが発
生することはない。
また、多素子放射線検出器、その製造方法、Ｘ線CT装
置において、検出素子配列体の前記一方向の両端に配置
される蛍光体素子のそれぞれの外側に、隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分を曲げて、隔離板を接着
剤により基板に固定したときには、検出素子配列体の配
列作業時に最も外側の隔離板が剥がれ落ちることがな
い。
置において、検出素子配列体の前記一方向の両端に配置
される蛍光体素子のそれぞれの外側に、隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分を曲げて、隔離板を接着
剤により基板に固定したときには、検出素子配列体の配
列作業時に最も外側の隔離板が剥がれ落ちることがな
い。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、基
板と外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体
からなるシート状部材を配置したときには、外部からの
熱の流入を防止することができるから、周囲環境の影響
を受けにくい。
板と外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体
からなるシート状部材を配置したときには、外部からの
熱の流入を防止することができるから、周囲環境の影響
を受けにくい。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、押
え板、外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹脂によ
り構成したときには、外部からの光の流入を防止するこ
とができるから、周囲環境の影響を受けにくい。
え板、外壁の少なくとも１つを非透光性の合成樹脂によ
り構成したときには、外部からの光の流入を防止するこ
とができるから、周囲環境の影響を受けにくい。
また、多素子放射線検出器、Ｘ線CT装置において、押
え板、外壁の少なくとも１つを金属からなる第１部材と
第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組み合わせ
て構成したときには、外部からの熱の流入を防止するこ
とができるから、周囲環境の影響を受けにくい。
え板、外壁の少なくとも１つを金属からなる第１部材と
第１部材より熱伝導率の小さい第２部材とを組み合わせ
て構成したときには、外部からの熱の流入を防止するこ
とができるから、周囲環境の影響を受けにくい。
このように、この発明の効果は顕著である。
第１図はこの発明に係る多素子放射線検出器の一部、こ
の発明に係るＸ線CT装置の多素子放射線検出器の一部を
示す一部切断斜視図、第２図は第１図に示した多素子放
射線検出器の一部を示す側面図、第３図は同じく側断面
図、第４図は同じく平断面図、第５図は従来の多素子放
射線検出器、Ｘ線CT装置の多素子放射線検出器の素子ブ
ロックを示す斜視図、第６図は第５図に示した素子ブロ
ックを固定枠に取り付けた状態を示す側面図、第７図は
同じく平面図、第８図は第５図に示した素子ブロックを
有する多素子放射線検出器の一部を示す断面図、第９図
は第５図に示した素子ブロックの平面図である。 102、104、105……外壁 103……コリメータ 110……シート状部材 201……蛍光体素子 202……隔離板 203……光電変換素子 205……基板 205b……上面 210……素子ブロック 601……固定枠 701……上面反射板 702……シート 703……カバー 704……押え板 801……隔離板
の発明に係るＸ線CT装置の多素子放射線検出器の一部を
示す一部切断斜視図、第２図は第１図に示した多素子放
射線検出器の一部を示す側面図、第３図は同じく側断面
図、第４図は同じく平断面図、第５図は従来の多素子放
射線検出器、Ｘ線CT装置の多素子放射線検出器の素子ブ
ロックを示す斜視図、第６図は第５図に示した素子ブロ
ックを固定枠に取り付けた状態を示す側面図、第７図は
同じく平面図、第８図は第５図に示した素子ブロックを
有する多素子放射線検出器の一部を示す断面図、第９図
は第５図に示した素子ブロックの平面図である。 102、104、105……外壁 103……コリメータ 110……シート状部材 201……蛍光体素子 202……隔離板 203……光電変換素子 205……基板 205b……上面 210……素子ブロック 601……固定枠 701……上面反射板 702……シート 703……カバー 704……押え板 801……隔離板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−46877（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−153288（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−141087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−112092（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01T 1/20 A61B 6/00 300 A61B 6/03 320
Claims (11)
- 【請求項１】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記基板の前記光電変換器が配置される側の面を前記固
定枠に固定することを特徴とする多素子放射線検出器。 - 【請求項２】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定されることを特徴とす
る多素子放射線検出器。 - 【請求項３】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記基板と前記外壁との間に、少なくとも熱伝導率が小
さい弾性体からなるシート状部材を配置することを特徴
とする多素子放射線検出器。 - 【請求項４】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定することを特徴とする多素
子放射線検出器。 - 【請求項５】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分が曲げられて、前記隔離
板が接着剤により前記基板に固定され、前記検出素子配
列体の複数個を、前記基板の前記光電変換器が配置され
る側の面を前記固定枠に固定され、前記基板と前記外壁
との間に、少なくとも熱伝導率が小さい弾性体からなる
シート状部材を配置することを特徴とする多素子放射線
検出器。 - 【請求項６】放射線を光に変換する複数の蛍光体素子
と、該蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光
を電流に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間
に配置され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板
と、前記蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反
射板の上面に配置される弾性体からなるカバーと、該カ
バーを押えるための押え板と、該押え板の上面に配置さ
れ前記蛍光体素子に入射する放射線を規定するコリメー
タと、前記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記押え板、前記外壁の少なくとも１つを非透光性の合
成樹脂により構成することを特徴とする多素子放射線検
出器。 - 【請求項７】放射線を光に変換する複数の蛍光体素子
と、該蛍光体素子のそれぞれに対応して配置され前記光
を電流に変換する光電変換素子と、前記蛍光体素子の間
に配置され隣接する前記蛍光体素子を隔離する隔離板
と、前記蛍光体素子の上面に配置される反射板と、該反
射板の上面に配置される弾性体からなるカバーと、該カ
バーを押えるための押え板と、該押え板の上面に配置さ
れ前記蛍光体素子に入射する放射線を規定するコリメー
タと、前記蛍光体素子と前記光電変換素子とを外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器におい
て、 前記押え板、前記外壁の少なくとも１つを金属からなる
第１部材と該第１部材より熱伝導率の小さい第２部材と
を組み合わせて構成することを特徴とする多素子放射線
検出器。 - 【請求項８】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造
方法において、 前記検出素子配列体の前記一方向の両端に配置される前
記蛍光体素子のそれぞれの外側に、前記隔離板の前記一
方向と直交する方向の両端部分を曲げて、前記隔離板を
接着剤により前記基板に固定する工程を有することを特
徴とする多素子放射線検出器の製造方法。 - 【請求項９】基板上に配置され光を電流に変換する複数
素子が一方向に配列する光電変換器と、該光電変換器の
各素子にそれぞれ対応して配置され放射線を光に変換す
る蛍光体素子と、該蛍光体素子の間に配置され隣接する
前記蛍光体素子を隔離する隔離板とからなる検出素子配
列体の複数個と、前記基板を固定するための固定枠と、
前記検出素子配列体の前記蛍光体素子の上面に配置され
る反射板と、該反射板の上面に配置される弾性体からな
るカバーと、該カバーを押えるための押え板と、該押え
板の上面に配置され前記蛍光体素子に入射する放射線を
規定するコリメータと、前記検出素子配列体を外部環境
から隔離する外壁とを有する多素子放射線検出器の製造
方法において、 前記検出素子配列体の複数個が、前記基板の前記光電変
換器が配置される側の面で前記固定枠に固定される工程
を有することを特徴とする多素子放射線検出器の製造方
法。 - 【請求項１０】多素子放射線検出器を有するＸ線CT装置
において、 前記多素子放射線検出器として請求項１から請求項７の
いずれかに記載の多素子放射線検出器を用いることを特
徴とするＸ線CT装置。 - 【請求項１１】多素子放射線検出器を有するＸ線CT装置
において、 前記多素子放射線検出器として請求項８または請求項９
のいずれかに記載の多素子放射線検出器の製造方法によ
り製造された多素子放射線検出器を用いることを特徴と
するＸ線CT装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63305926A JP2752045B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 多素子放射線検出器およびその製造方法ならびにｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63305926A JP2752045B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 多素子放射線検出器およびその製造方法ならびにｘ線ｃｔ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02151789A JPH02151789A (ja) | 1990-06-11 |
| JP2752045B2 true JP2752045B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=17950963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63305926A Expired - Fee Related JP2752045B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 多素子放射線検出器およびその製造方法ならびにｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2752045B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343172A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Hitachi Ltd | コンピュータ断層撮影装置 |
| JP5124226B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2013-01-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP5997892B2 (ja) * | 2011-10-12 | 2016-09-28 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線検出器、ｘ線ｃｔ装置、及びｘ線検出器の製造方法 |
| JP6310703B2 (ja) * | 2014-01-21 | 2018-04-11 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器とそれを用いたｘ線ｃｔ装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4417144A (en) * | 1981-02-23 | 1983-11-22 | General Electric Company | Modular solid-state detector cell |
| JPS5946877A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-16 | Hitachi Ltd | 放射線検出器 |
| US4560877A (en) * | 1982-12-29 | 1985-12-24 | General Electric Company | Solid state detector module |
| JPS62112092A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Hitachi Medical Corp | 多チヤネル放射線検出器 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP63305926A patent/JP2752045B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02151789A (ja) | 1990-06-11 |
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|---|---|---|---|
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