JP2728004B2 - ビーム間隔測定装置 - Google Patents
ビーム間隔測定装置Info
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- JP2728004B2 JP2728004B2 JP7038109A JP3810995A JP2728004B2 JP 2728004 B2 JP2728004 B2 JP 2728004B2 JP 7038109 A JP7038109 A JP 7038109A JP 3810995 A JP3810995 A JP 3810995A JP 2728004 B2 JP2728004 B2 JP 2728004B2
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビーム間隔測定装置に
係り、特に光ディスク原盤の露光ビームのビーム径や二
つのビームの間隔を測定するビーム間隔測定装置に関す
る。
係り、特に光ディスク原盤の露光ビームのビーム径や二
つのビームの間隔を測定するビーム間隔測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のビーム間隔測定装置は、
例えば実開平２−１１８２３２号公報に示されるよう
に、微少なスポットに収束されたビームのビーム径及び
二ビームのビーム間隔を測定するのに用いられている。
例えば実開平２−１１８２３２号公報に示されるよう
に、微少なスポットに収束されたビームのビーム径及び
二ビームのビーム間隔を測定するのに用いられている。
【０００３】図３乃至図４に、従来の２ビーム間隔測定
装置の模式図を示す。この図３乃至図４に示す従来の２
ビーム間隔測定装置は、回転スリット板５０と、この回
転スリット板５０を一定速度で回転させる駆動部５２
と、回転スリット板５０で横切られたビーム２，３を受
光する光センサ５４と、この光センサ５４の出力する検
出信号ｃを微分する微分回路５６と、この微分回路５６
が出力する微分信号ｄからビーム間隔を算出する演算回
路５８とから構成される。
装置の模式図を示す。この図３乃至図４に示す従来の２
ビーム間隔測定装置は、回転スリット板５０と、この回
転スリット板５０を一定速度で回転させる駆動部５２
と、回転スリット板５０で横切られたビーム２，３を受
光する光センサ５４と、この光センサ５４の出力する検
出信号ｃを微分する微分回路５６と、この微分回路５６
が出力する微分信号ｄからビーム間隔を算出する演算回
路５８とから構成される。
【０００４】そして、測定時には、定回転数で回転する
回転スリット板５０で横切られたビーム２，３は光セン
サ５４で受光される。そして、この光センサ５４から出
力される検出信号ｃは、被測定ビーム径の面積に比例し
て増大するため微分回路５６で増加量を時間で微分する
ことにより被測定ビームの出射方向に対する直角方向の
ビーム径プロファイルを得ることができる。
回転スリット板５０で横切られたビーム２，３は光セン
サ５４で受光される。そして、この光センサ５４から出
力される検出信号ｃは、被測定ビーム径の面積に比例し
て増大するため微分回路５６で増加量を時間で微分する
ことにより被測定ビームの出射方向に対する直角方向の
ビーム径プロファイルを得ることができる。
【０００５】図４（Ａ）に光センサ５４より出力される
検出信号ｃを微分回路５６で微分した微分信号ｄの波形
図を示す。検出信号ｃの傾斜６３，６４は、回転スリッ
ト板５０がビーム２，３を横切る際の光量変化を表し、
微分信号ｄのプロファイル６５，６６は検出信号ｃの各
々の傾斜６３，６４に対応したビーム２，３のプロファ
イルを表している。
検出信号ｃを微分回路５６で微分した微分信号ｄの波形
図を示す。検出信号ｃの傾斜６３，６４は、回転スリッ
ト板５０がビーム２，３を横切る際の光量変化を表し、
微分信号ｄのプロファイル６５，６６は検出信号ｃの各
々の傾斜６３，６４に対応したビーム２，３のプロファ
イルを表している。
【０００６】例えば、ビーム２のビーム径を求める場
合、図４のビーム２のプロファイル６５で、極値６７の
縦軸の値を１とするとビーム径の縦軸の値「１／ｅ2 」
での２点の横軸の値の差から求められる時間差ｔ4 と、
回転スリット板の回転数ｖ(RPM) と、ビーム２がナイフ
エッジ部を横切る場合の当該回転スリット板の半径ｒか
ら求められる。
合、図４のビーム２のプロファイル６５で、極値６７の
縦軸の値を１とするとビーム径の縦軸の値「１／ｅ2 」
での２点の横軸の値の差から求められる時間差ｔ4 と、
回転スリット板の回転数ｖ(RPM) と、ビーム２がナイフ
エッジ部を横切る場合の当該回転スリット板の半径ｒか
ら求められる。
【０００７】演算回路５８では、ビーム２のビーム径を
φとすると、「φ＝２πｒｖｔ4 」の算出式に従ってビ
ーム径を算出する。
φとすると、「φ＝２πｒｖｔ4 」の算出式に従ってビ
ーム径を算出する。
【０００８】また、ビーム２とビーム３のとのビーム間
隔は、図４（Ｂ）のビーム２，３のビームプロファイル
６５，６６の各々の極値６７，６８間の時間差ｔ5 か
ら、演算回路５８にて「ビーム間隔：Ｌ＝２πｒｖ
ｔ5 」の算出式に従って求めることができる。
隔は、図４（Ｂ）のビーム２，３のビームプロファイル
６５，６６の各々の極値６７，６８間の時間差ｔ5 か
ら、演算回路５８にて「ビーム間隔：Ｌ＝２πｒｖ
ｔ5 」の算出式に従って求めることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例における２ビーム間隔測定装置は、回転スリット板
５０を回転させる駆動部が常に一定の回転数を正確に得
られるものとしてビームが一方のナイフエッジを横切る
時間からビーム径及びビーム間隔を求めるために、ビー
ムが回転スリット板５０の当たる位置によって半径や速
度にバラツキが生じた場合には、２ビーム間隔Ｌを正確
に捕捉することができないという不都合が生じていた。
来例における２ビーム間隔測定装置は、回転スリット板
５０を回転させる駆動部が常に一定の回転数を正確に得
られるものとしてビームが一方のナイフエッジを横切る
時間からビーム径及びビーム間隔を求めるために、ビー
ムが回転スリット板５０の当たる位置によって半径や速
度にバラツキが生じた場合には、２ビーム間隔Ｌを正確
に捕捉することができないという不都合が生じていた。
【００１０】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに ビームがスリット板の当たる位置に
よって半径や速度にバラツキが生じた場合にも２ビーム
のビーム間隔を高精度に測定することができるビーム間
隔測定装置を提供することを、その目的とする。
を改善し、とくに ビームがスリット板の当たる位置に
よって半径や速度にバラツキが生じた場合にも２ビーム
のビーム間隔を高精度に測定することができるビーム間
隔測定装置を提供することを、その目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、所定の間隔で設けられた
ナイフエッジをスリット状に有する回転スリット板と、
ナイフエッジに横切られるビームを受光する光センサ
と、該光センサより出力される検出信号を微分して所定
の微分信号を出力する微分回路とを備えている。そし
て、この微分回路で得られる微分信号の内、一方のビー
ムをスリットの一方と他方のナイフエッジが横切る際に
得られる微分信号の発生タイミング情報と，同じく他方
のビームから得られる微分信号の一方のナイフエッジが
横切る際に得られる微分信号の発生タイミング情報とに
基づいて、ビーム径及びビーム間隔を算出する演算回路
を備えている。
め、請求項１記載の発明では、所定の間隔で設けられた
ナイフエッジをスリット状に有する回転スリット板と、
ナイフエッジに横切られるビームを受光する光センサ
と、該光センサより出力される検出信号を微分して所定
の微分信号を出力する微分回路とを備えている。そし
て、この微分回路で得られる微分信号の内、一方のビー
ムをスリットの一方と他方のナイフエッジが横切る際に
得られる微分信号の発生タイミング情報と，同じく他方
のビームから得られる微分信号の一方のナイフエッジが
横切る際に得られる微分信号の発生タイミング情報とに
基づいて、ビーム径及びビーム間隔を算出する演算回路
を備えている。
【００１２】そして、上記演算回路が、一方のビームを
前述した一方と他方のナイフエッジが横切る際に得られ
る二つの微分信号の極値相互間の時間間隔ｔ1 と，前述
した一方のナイフエッジが横切る際に得られ一方と他方
のビームにかかる微分信号の極値相互間の時間間隔ｔ2
とを算出し、この二つの極値相互間の時間に基づいて二
つのビーム相互間の間隔Ｌを、ナイフエッジ相互間の間
隔をＳとして、式「Ｌ＝Ｓ・（ｔ2 ／ｔ1 ）」により演
算する機能を備えている、という構成を採っている。
前述した一方と他方のナイフエッジが横切る際に得られ
る二つの微分信号の極値相互間の時間間隔ｔ1 と，前述
した一方のナイフエッジが横切る際に得られ一方と他方
のビームにかかる微分信号の極値相互間の時間間隔ｔ2
とを算出し、この二つの極値相互間の時間に基づいて二
つのビーム相互間の間隔Ｌを、ナイフエッジ相互間の間
隔をＳとして、式「Ｌ＝Ｓ・（ｔ2 ／ｔ1 ）」により演
算する機能を備えている、という構成を採っている。
【００１３】（削除）
【００１４】
【作 用】まず、図１に示すように、定回転数で回転す
る回転スリット板１で横切られるビーム２，３は、光セ
ンサ４で受光される。この光センサ４からの検出信号ａ
は、被測定ビーム径の面積に比例して増大するため、微
分回路６での増加量を時間で微分することにより被測定
ビームの出射方向に対する直角方向のビーム径のプロフ
ァイルを得られる。
る回転スリット板１で横切られるビーム２，３は、光セ
ンサ４で受光される。この光センサ４からの検出信号ａ
は、被測定ビーム径の面積に比例して増大するため、微
分回路６での増加量を時間で微分することにより被測定
ビームの出射方向に対する直角方向のビーム径のプロフ
ァイルを得られる。
【００１５】光センサ４より出力される検出信号ａと該
検出信号ａを微分回路６で微分した微分信号ｂとに基づ
いて、ナイフエッジ４，５がビーム２を横切る際の光量
変化は、図２に示すように、検出信号ａの傾斜９，１０
として得られる。また、ナイフエッジ４，５がビーム３
を横切る際の光量変化は、傾斜１１，１２として得られ
る。微分信号ｂのプロファイル１３，１４は検出信号ａ
の各々の傾斜９，１０に対応したビーム２のプロファイ
ルを示す。また、プロファイル１５，１６は検出信号ａ
の各々の傾斜１１，１２に対応したビーム３のプロファ
イルを示す。プロファイル１３，１４の極値１７，１８
の間隔はエッジ４と５の間隔に等しいことから、極値１
７，１８と極値１９の位置関係からビーム２とビーム３
との間隔が算出される。
検出信号ａを微分回路６で微分した微分信号ｂとに基づ
いて、ナイフエッジ４，５がビーム２を横切る際の光量
変化は、図２に示すように、検出信号ａの傾斜９，１０
として得られる。また、ナイフエッジ４，５がビーム３
を横切る際の光量変化は、傾斜１１，１２として得られ
る。微分信号ｂのプロファイル１３，１４は検出信号ａ
の各々の傾斜９，１０に対応したビーム２のプロファイ
ルを示す。また、プロファイル１５，１６は検出信号ａ
の各々の傾斜１１，１２に対応したビーム３のプロファ
イルを示す。プロファイル１３，１４の極値１７，１８
の間隔はエッジ４と５の間隔に等しいことから、極値１
７，１８と極値１９の位置関係からビーム２とビーム３
との間隔が算出される。
【００１６】求める２ビーム間隔は、極値１７と１８の
時間差ｔ1 と、極値１７と１９の時間差ｔ2 と、ナイフ
エッジ１Ａと１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８
では、２ビームのビーム間隔をＬとすると、「Ｌ＝Ｓ・
（ｔ2 ／ｔ1 ）の算出式に従って２ビームのビーム間隔
を算出する。
時間差ｔ1 と、極値１７と１９の時間差ｔ2 と、ナイフ
エッジ１Ａと１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８
では、２ビームのビーム間隔をＬとすると、「Ｌ＝Ｓ・
（ｔ2 ／ｔ1 ）の算出式に従って２ビームのビーム間隔
を算出する。
【００１７】（削除）
【００１８】ビーム３のビーム径も同様にして算出され
る。
る。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図２に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００２０】この図１乃至図２に示す実施例は、所定の
間隔で設けられたナイフエッジ１Ａ，１Ｂをスリット状
に備えた回転スリット板１と、ナイフエッジ１Ａ，１Ｂ
に横切られるビームを受光する光センサ４と、この光セ
ンサ４より出力される検出信号ａを微分して所定の微分
信号ｂを出力する微分回路６とを備えている。
間隔で設けられたナイフエッジ１Ａ，１Ｂをスリット状
に備えた回転スリット板１と、ナイフエッジ１Ａ，１Ｂ
に横切られるビームを受光する光センサ４と、この光セ
ンサ４より出力される検出信号ａを微分して所定の微分
信号ｂを出力する微分回路６とを備えている。
【００２１】また、図１において符号８は演算回路を示
す。この演算回路８は、前述した微分回路６で得られる
微分信号ｂの内、一方のビーム２をスリットの一方と他
方のナイフエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる微分
信号の発生タイミング情報と，同じく他方のビーム３か
ら得られる微分信号の一方のナイフエッジ１Ａが横切る
際に得られる微分信号の発生タイミング情報とに基づい
て、ビーム径及びビーム間隔を算出する機能を備えてい
る。
す。この演算回路８は、前述した微分回路６で得られる
微分信号ｂの内、一方のビーム２をスリットの一方と他
方のナイフエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる微分
信号の発生タイミング情報と，同じく他方のビーム３か
ら得られる微分信号の一方のナイフエッジ１Ａが横切る
際に得られる微分信号の発生タイミング情報とに基づい
て、ビーム径及びビーム間隔を算出する機能を備えてい
る。
【００２２】この演算回路８は、二つのビーム２，３の
ビーム相互間の間隔Ｌを、以下のようにして演算する機
能を備えている。
ビーム相互間の間隔Ｌを、以下のようにして演算する機
能を備えている。
【００２３】即ち、一方のビーム２を一方と他方のナイ
フエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる二つの微分信
号の極値１７，１８相互間の時間間隔ｔ1 と，前述した
一方のナイフエッジ１Ａが横切る際に得られ一方と他方
のビーム２，４にかかる微分信号の極値１７，１９相互
間の時間間隔ｔ2 とを算出し、この二つの極値相互間の
時間ｔ1 ，ｔ2 に基づいて二つのビーム相互間の間隔Ｌ
を、前述したナイフエッジ１Ａ，１Ｂ相互間の間隔をＳ
として、式「Ｌ＝Ｓ・（ｔ2 ／ｔ1 ）」により演算す
る。
フエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる二つの微分信
号の極値１７，１８相互間の時間間隔ｔ1 と，前述した
一方のナイフエッジ１Ａが横切る際に得られ一方と他方
のビーム２，４にかかる微分信号の極値１７，１９相互
間の時間間隔ｔ2 とを算出し、この二つの極値相互間の
時間ｔ1 ，ｔ2 に基づいて二つのビーム相互間の間隔Ｌ
を、前述したナイフエッジ１Ａ，１Ｂ相互間の間隔をＳ
として、式「Ｌ＝Ｓ・（ｔ2 ／ｔ1 ）」により演算す
る。
【００２４】また、前述した演算回路は、前述した一方
のビームのビーム幅Ｗを、以下のようにして演算する機
能を備えている。
のビームのビーム幅Ｗを、以下のようにして演算する機
能を備えている。
【００２５】即ち、一方のビーム２を前述した一方と他
方のナイフエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる二つ
の微分信号の極値１７，１８相互間の時間間隔ｔ1 と，
前述した一方のナイフエッジ１Ａが横切る際に得られ一
方のビーム２にかかる微分信号自体の時間幅ｔ3 とを算
出し、この二つの時間ｔ1 ，ｔ3 に基づいて一方のビー
ム２のビーム径φを、前述したナイフエッジ相互間の間
隔をＳとして、式「φ＝Ｓ・（ｔ3 ／ｔ1 ）」により演
算する機能を備えている。
方のナイフエッジ１Ａ，１Ｂが横切る際に得られる二つ
の微分信号の極値１７，１８相互間の時間間隔ｔ1 と，
前述した一方のナイフエッジ１Ａが横切る際に得られ一
方のビーム２にかかる微分信号自体の時間幅ｔ3 とを算
出し、この二つの時間ｔ1 ，ｔ3 に基づいて一方のビー
ム２のビーム径φを、前述したナイフエッジ相互間の間
隔をＳとして、式「φ＝Ｓ・（ｔ3 ／ｔ1 ）」により演
算する機能を備えている。
【００２６】他方のビーム３のビーム径φも、同様の手
法によって算出される
法によって算出される
【００２７】次に、上記実施例の動作を説明する。
【００２８】図２（Ａ）において、定回転数で回転する
回転スリット板１で横切られるビーム２，３は、光セン
サ４で受光される。図２（Ａ）に光センサ４からの出力
（検出信号ａ）の例を示す。この光センサ４より出力さ
れる検出信号ａは、被測定ビーム径の面積に比例して増
大するため、微分回路６での増加量を時間で微分するこ
とにより被測定ビームの出射方向に対する直角方向のビ
ーム径のプロファイルを得ることができる。図２（Ｂ）
にその具他例を示す。
回転スリット板１で横切られるビーム２，３は、光セン
サ４で受光される。図２（Ａ）に光センサ４からの出力
（検出信号ａ）の例を示す。この光センサ４より出力さ
れる検出信号ａは、被測定ビーム径の面積に比例して増
大するため、微分回路６での増加量を時間で微分するこ
とにより被測定ビームの出射方向に対する直角方向のビ
ーム径のプロファイルを得ることができる。図２（Ｂ）
にその具他例を示す。
【００２９】図２（Ｂ）に光センサ４より出力される検
出信号ａと検出信号ａを微分回路６で微分した微分信号
ｂの波形図を示す。この図２（Ｂ）において、検出信号
ａの傾斜９，１０は、ナイフエッジ４，５がビーム２を
横切る際の光量変化を、傾斜１１，１２はナイフエッジ
４，５がビーム３を横切る際の光量変化を表し、微分信
号ｂのプロファイル１３，１４は検出信号ａの各々の傾
斜９，１０に対応したビーム２のプロファイルを、プロ
ファイル１５，１６は検出信号ａの各々の傾斜１１，１
２に対応したビーム３のプロファイルを表している。プ
ロファイル１３，１４の極値１７，１８の間隔はエッジ
４と５の間隔に等しいことから、極値１７，１８と極値
１９の位置関係からビーム２とビーム３との間隔を算出
する。
出信号ａと検出信号ａを微分回路６で微分した微分信号
ｂの波形図を示す。この図２（Ｂ）において、検出信号
ａの傾斜９，１０は、ナイフエッジ４，５がビーム２を
横切る際の光量変化を、傾斜１１，１２はナイフエッジ
４，５がビーム３を横切る際の光量変化を表し、微分信
号ｂのプロファイル１３，１４は検出信号ａの各々の傾
斜９，１０に対応したビーム２のプロファイルを、プロ
ファイル１５，１６は検出信号ａの各々の傾斜１１，１
２に対応したビーム３のプロファイルを表している。プ
ロファイル１３，１４の極値１７，１８の間隔はエッジ
４と５の間隔に等しいことから、極値１７，１８と極値
１９の位置関係からビーム２とビーム３との間隔を算出
する。
【００３０】求める２ビーム間隔は、極値１７と１８の
時間差ｔ1 と、極値１７と１９の時間差ｔ2 と、ナイフ
エッジ１Ａと１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８
では、２ビームのビーム間隔をＬとすると、「Ｌ＝Ｓ・
（ｔ2 ／ｔ1 ）」の算出式に従って２ビームのビーム間
隔を算出する。
時間差ｔ1 と、極値１７と１９の時間差ｔ2 と、ナイフ
エッジ１Ａと１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８
では、２ビームのビーム間隔をＬとすると、「Ｌ＝Ｓ・
（ｔ2 ／ｔ1 ）」の算出式に従って２ビームのビーム間
隔を算出する。
【００３１】また、ビーム２のビーム径を求める場合、
図２（Ｂ）のビーム２のプロファイル１３で極値１７の
縦軸の値を１とすると、ビーム径は、縦軸の値「１／ｅ
2 」での２点の横軸の値の差から求められる時間差ｔ3
と、極値１７と１８の時間差ｔ1 と、ナイフエッジ１Ａ
と１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８では、ビー
ム径をφとすると、「φ＝Ｓ・（ｔ3 ／ｔ1 ）」の算出
式に従ってビーム２のビーム径φが算出される。
図２（Ｂ）のビーム２のプロファイル１３で極値１７の
縦軸の値を１とすると、ビーム径は、縦軸の値「１／ｅ
2 」での２点の横軸の値の差から求められる時間差ｔ3
と、極値１７と１８の時間差ｔ1 と、ナイフエッジ１Ａ
と１Ｂの間隔Ｓから求められる。演算回路８では、ビー
ム径をφとすると、「φ＝Ｓ・（ｔ3 ／ｔ1 ）」の算出
式に従ってビーム２のビーム径φが算出される。
【００３２】ビーム３のビーム径も同様にして算出され
る。
る。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、所
定の間隔で設けられたナイフエッジ状のスリットを持つ
回転スリット板を用いて、ビームが両方のナイフエッジ
を横切る際に得られる微分信号の位置関係から微細なビ
ーム径及びビーム間隔を測定するという構成を採用した
ことから、ビームがスリット板に当たる位置によって半
径や速度にバラツキが生じた場合にも２ビームのビーム
間隔を高精度に正確に測定することができるという従来
にない優れたビーム間隔測定装置を提供することができ
る。
定の間隔で設けられたナイフエッジ状のスリットを持つ
回転スリット板を用いて、ビームが両方のナイフエッジ
を横切る際に得られる微分信号の位置関係から微細なビ
ーム径及びビーム間隔を測定するという構成を採用した
ことから、ビームがスリット板に当たる位置によって半
径や速度にバラツキが生じた場合にも２ビームのビーム
間隔を高精度に正確に測定することができるという従来
にない優れたビーム間隔測定装置を提供することができ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１の動作を示す説明図で、図２（Ａ）は、光
センサの出力信号の例を示す線図、図２（Ｂ）は光セン
サより出力される検出信号ａを微分回路で微分した微分
信号の波形の例を示す線図である。
センサの出力信号の例を示す線図、図２（Ｂ）は光セン
サより出力される検出信号ａを微分回路で微分した微分
信号の波形の例を示す線図である。
【図３】従来例を示す構成図である。
【図４】図３の動作を示す説明図で、図４（Ａ）は、光
センサの出力信号の例を示す線図、図４（Ｂ）は光セン
サより出力される検出信号ａを微分回路で微分した微分
信号の波形の例を示す線図である。
センサの出力信号の例を示す線図、図４（Ｂ）は光セン
サより出力される検出信号ａを微分回路で微分した微分
信号の波形の例を示す線図である。
１ 回転スリット板 １Ａ，１Ｂ ナイフエッジ ２，３ ビーム ４ 光センサ ６ 微分回路 ８ 演算回路 ９，１０，１１，１２ 傾斜 １３，１４，１５，１６ プロファイル １７，１８，１９，２０ 極値
Claims (1)
- 【請求項１】 所定の間隔で設けられたナイフエッジを
スリット状に有する回転スリット板と、前記ナイフエッ
ジに横切られるビームを受光する光センサと、該光セン
サより出力される検出信号を微分して所定の微分信号を
出力する微分回路とを備え、 この微分回路で得られる微分信号の内、一方のビームを
スリットの一方と他方のナイフエッジが横切る際に得ら
れる微分信号の発生タイミング情報と，同じく他方のビ
ームから得られる微分信号の一方のナイフエッジが横切
る際に得られる微分信号の発生タイミング情報とに基づ
いて、ビーム径及びビーム間隔を算出する演算回路を具
備し、 この演算回路が、前記一方のビームを前記一方と他方の
ナイフエッジが横切る際に得られる二つの微分信号の極
値相互間の時間間隔ｔ 1 と，前記一方のナイフエッジが
横切る際に得られ一方と他方のビームにかかる微分信号
の極値相互間の時間間隔ｔ 2 とを算出し、この二つの極
値相互間の時間に基づいて二つのビーム相互間の間隔Ｌ
を、前記ナイフエッジ相互間の間隔をＳとして、式「Ｌ
＝Ｓ・（ｔ 2 ／ｔ 1 ）」により演算する ことを特徴とす
るビーム間隔測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038109A JP2728004B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ビーム間隔測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038109A JP2728004B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ビーム間隔測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233651A JPH08233651A (ja) | 1996-09-13 |
| JP2728004B2 true JP2728004B2 (ja) | 1998-03-18 |
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ID=12516316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7038109A Expired - Fee Related JP2728004B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | ビーム間隔測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728004B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01312426A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビームプロファイル測定装置 |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP7038109A patent/JP2728004B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08233651A (ja) | 1996-09-13 |
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