JP2703165B2

JP2703165B2 - 直進形柔軟アクチュエータ

Info

Publication number: JP2703165B2
Application number: JP4328596A
Authority: JP
Inventors: 鉄伸樽沢
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1992-11-13
Filing date: 1992-11-13
Publication date: 1998-01-26
Anticipated expiration: 2013-01-26
Also published as: JPH06159325A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は柔軟運動が可能なアクチ
ュエータに関し、さらに詳細には直進運動ができ、かつ
出力端における位置精度を向上させた直進形柔軟アクチ
ュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ウェハに機
械的衝撃が加わると内部欠陥が発生してその電気特性に
影響することがある。また、このような機械的衝撃によ
り必然的に発生するパーティクルは、ウェハ上に形成さ
れるべき微細回路素子よりも大きいことがあるので、必
要な微細回路加工を妨害することになる。これらの理由
により、半導体製造上、機械的衝撃は可能な限り排除す
べきである。しかし従来、モータ、ピストン機構のよう
なアクチュエータにおける機械的運動要素は、一般には
剛性のある構造とされ、かかる剛性によりミクロンオー
ダの運動と位置決め精度を持ちうるように構成されてい
る。このような剛的な運動要素が所定の運動をしている
途中に他の部材等に当たると、機械的衝撃を発生するこ
とになる。以下これを硬い動きという。したがって前記
半導体製造工程におけるウェハ搬送等にこのような硬い
動きを用いる場合には、極度に綿密な位置制御および速
度制御を行って、機械的衝撃の発生を抑える必要があ
る。

【０００３】これに対し、現在のロボット駆動に見られ
るように、発達した視覚、触覚センサを利用したマイク
ロプロセッサによる統括制御の下で使用されるアクチュ
エータは、必ずしも剛構造であり、かつ高加工精度を有
するものばかりでなくてもよい。むしろ、柔軟な動きが
可能なフレキシブルアクチュエータをかかる統括制御下
にて用いれば、人間の手指に代替できる人工手指の開発
につながるものと期待されている。したがって、このよ
うな柔軟な動きをするアクチュエータによれば、硬い動
きをするアクチュエータに比べてはるかに簡単な制御下
で、半導体製造工程に適用可能な無衝撃の搬送機構が実
現できると考えられる。

【０００４】そこで、かかる用途へ適用すべきフレキシ
ブルアクチュエータとしていくつかの提案がなされてお
り、これらの多くは異なる柔軟性を有する部材の組合
せ、もしくは柔軟性のあるチューブと伸縮しない強化繊
維との組合せにより湾曲やねじれ等の多様な変形を実現
するものである。例えば、ゴム管内を円周方向に３室に
分割して軸方向に長い３つの圧力室の集合体とし、各圧
力室にそれぞれ異なる圧力を印加することにより、湾
曲、軸方向の伸長、軸回りのねじり等、多様な柔軟変形
を可能としたものが知られている。（鈴森、日本機械学
会論文集Ｃ編（平１−１０）、２５４７〜２５５２）

【０００５】あるいは、ゴム管の周囲に強化繊維（周強
化繊維）を密に巻き、そして別の強化繊維（軸強化繊
維）を軸方向に沿って接合したものがある。周強化繊維
はゴム管内に加圧されたとき、ゴム巻の径が膨張するの
を防ぎ、軸方向にのみ膨張させる作用がある。そして軸
強化繊維が接合されている箇所においては軸方向の膨張
も防がれるので、このアクチュエータは加圧されると、
軸強化繊維のないところが膨張し、全体としては軸強化
繊維側を内側に湾曲することになる。（田中、機械設計
３６、８（１９９２−７）、３２〜３９）これらのフレ
キシブルアクチュエータを、半導体製造装置のウェハ搬
送装置に応用すれば、機械的衝撃による内部欠陥やパー
ティクルの発生のおそれがない、すぐれたウェハ搬送機
構が実現されるものと期待されている。

【０００６】この種のアクチュエータのうち出力端が直
進運動を示すものとしては、図３に示すように円筒形状
のチューブ１４と、その周囲に多数のリング状の強化繊
維１５を密に巻いたチューブアクチュエータ５が考えら
れる。チューブアクチュエータ５は、加圧されると、内
容積が増加するような変形をしようとするが、リング状
の強化繊維１５によりチューブ１４の半径方向への伸長
が規制されているので、チューブ１４の軸方向への伸長
しかできない。したがって、チューブアクチュエータ５
は、一端を固定し他端を出力端とすれば、加圧されるこ
とにより出力端がチューブ軸方向に沿って直進して伸長
する動きをみせる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
のゴムチューブを用いたフレキシブルアクチュエータ
は、使用を継続すると、ゴムの伸縮変形が反復されるこ
とになるので、ゴムが伸状態であった時間が累積される
ことにより、ゴムに不可避的にクリープ変形が発生す
る。これが発生すると、アクチュエータ出力端の位置が
発生前と比べてずれるので、必要な位置精度が得られな
いのである。また、前記のチューブアクチュエータ５に
おいては、出力端における、軸回りの回転運動を規制す
るものは何もないので、チューブ１４の材質の不均一や
強化繊維１５の接合密度の不均一等の要因により、ある
いは負荷のかかりかたにより、出力端の動きに軸回りの
回転成分がはいることがある。このような意図しない回
転成分があると、チューブアクチュエータ５が対象物に
対して応力をかけることとなり、対象物の特性や微細構
造に影響することがある。

【０００８】あるいは逆に対象物からの負荷によりチュ
ーブアクチュエータ５に回転成分が付加されることがあ
り、これが極端であるとチューブ１４の破損事故が起こ
り得る。いうまでもなくこのような事故が起これば危険
であるし、半導体製造上好ましくないパーティクル発生
原因ともなる。また、チューブアクチュエータ５は、直
進形とはいっても出力端は何ら支持されていないので、
対象物の重量によっては湾曲が避けられない。特に、加
圧して伸長しているときには、対象物の重量による曲げ
モーメントが大きくなるので湾曲しやすい。したがって
対象物がよほど軽いものでない限り、実際には直進形に
ならないのである。そのため、例えば、実願昭５６−５
６９５２号のように、チューブの外部にガイドを設ける
ことが提案されている。しかし、その方法では、ガイド
でパーティクルが発生し、問題である。また、過加圧す
るとチューブ１４が破損し、急激に飛散するおそれがあ
る。チューブ１４の回転成分によるものと同様、このよ
うな事故が起これば危険であり、パーティクルの発生原
因となる。

【０００９】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、反復使用してもチューブのクリ
ープによる位置精度の低下が起こらず、対象物の重量に
よらず確実にかつ回転成分を伴なわずに直進運動し、ま
た、回転成分や過加圧によるチューブ破損事故のおそれ
を排除し、また、パーティクルが外部に漏れる恐れのな
い、半導体製造分野に適した形状可変アクチュエータを
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の直進形柔軟アクチュエータは、柔軟性のある
チューブと、前記チューブの周囲に巻回されたリング状
の強化繊維とを有する柔軟アクチュエータであって、前
記チューブの一端を固定して保持する固定ホルダと、前
記チューブの他端に保持されるチューブキャップとを備
え、前記固定ホルダと前記チューブキャップとにはそれ
ぞれ軸方向に相互に摺動する摺動部位と、相互に当接し
て軸方向摺動範囲を規制する第１当接部位と第２当接部
位とが形成され、前記当接部位により規制される摺動範
囲内における前記チューブの最短長が前記チューブの自
由長より長いことを特徴とする構成とされる。また、本
発明の直進形柔軟アクチュエータは、前記摺動部位の一
部の断面形状が非円形であることを特徴とする前記の構
成とされる。

【００１１】また、本発明の直進形柔軟アクチュエータ
は、柔軟性のあるチューブと、チューブの周囲に巻回さ
れたリング状の強化繊維とを有する柔軟アクチュエータ
であって、チューブの一端を固定して保持する固定ホル
ダと、チューブの他端に保持されるチューブキャップと
を備え、固定ホルダとチューブキャップとにはそれぞれ
軸方向に相互に摺動する摺動部位と、チューブ内にあっ
て、チューブキャップの前進位置を規制する第１当接部
位と、チューブキャップの後退位置を規制する第２当接
部位とが形成されると共に、前記摺動部位が前記チュー
ブに覆われていて、摺動部位で発生するパーティクルが
外部に漏れない。

【００１２】

【作用】前記構成を有する本発明の直進形柔軟アクチュ
エータでは、チューブ内に空気圧を印加すると、チュー
ブが膨張しようとするが、チューブの周囲に巻回されて
いる強化繊維がチューブの周方向への膨張を規制するの
で、チューブは軸方向にのみ伸長する。印加されている
空気圧を開放すると、チューブは軸方向に縮小する。

【００１３】このとき、チューブの両端が、相互に摺動
する固定ホルダとチューブキャップとにより保持されて
いるので、対象物の重量により湾曲することがなく、直
進性が保証されている。また、固定ホルダとチューブキ
ャップとには当接箇所が形成され、摺動範囲が規制され
ているので、摺動範囲の下限により決定されるチューブ
の最短長を、チューブの自由長より長いこととしておけ
ば、チューブの初期クリープの影響を排除できる。ま
た、摺動範囲の上限により、過加圧によるチューブの破
損事故を防止できる。さらに、固定ホルダとチューブキ
ャップとの摺動部位の断面形状が非円形であるため、チ
ューブの伸縮によるチューブキャップの運動には、軸回
りの回転成分が加わることがなく、対象物に無用な応力
をかけることがなく、チューブの破損事故も防止され
る。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の直進形柔軟アクチュエータを
具体化した実施例を図面を参照して説明する。図１は本
実施例の直進形柔軟アクチュエータ１の全体構成を示す
断面図である。まず、直進形柔軟アクチュエータ１の全
体構成を説明し、次にその構成要素の１つであるチュー
ブアクチュエータ５について説明し、続いて直進形柔軟
アクチュエータ１の全体動作について説明し、しかる後
に直進形柔軟アクチュエータ１における本発明としての
主要部分について説明する。

【００１５】図１に示す直進形柔軟アクチュエータ１の
全体構成は、チューブアクチュエータ５の一端を固定ホ
ルダ６に気密に固着し、他端をチューブキャップ７に気
密に固着したものである。ここにおいて、固定ホルダ６
とチューブキャップ７とは、摺動部８において軸方向
（図中左右方向）に摺動できるようになっている。さら
に、固定ホルダ６には、チューブキャップ７と当接する
当接部９、１０が形成され、チューブキャップ７には、
固定ホルダ６と当接する当接部１１、１２が形成されて
いる。

【００１６】次に、以上の全体構成を有する直進形柔軟
アクチュエータ１の構成要素の１つであるチューブアク
チュエータ５について、図３に基づいて説明する。チュ
ーブアクチュエータ５は、柔軟性のあるチューブ１４に
伸縮しないリング状の強化繊維１５を密に巻回したもの
である。かかるチューブアクチュエータ５は、加圧され
ると全体が膨張しようとするが、強化繊維１５により半
径方向への膨張が規制されているので、軸方向にのみ伸
長する。加圧を解除すると、軸方向に縮小してもとに戻
る。ここで、チューブ１４の材質としては、ＮＢＲゴム
等のゴムあるいはプラスチック等適度な柔軟伸縮性を有
する素材であれば何でもよく、強化繊維１５としては、
炭素繊維、金属細線、絹糸等、縦弾性係数（ヤング率）
がチューブ材に比して充分大きく、かつ、降伏しにくい
ものであれば何でもよい。そしてこれらは通常何らかの
接着剤により接合されることになるが、かかる接着剤と
しては、チューブ１４と同質のものでかつ強化繊維１５
とのなじみがよいものを選ぶとよい。

【００１７】次に、以上の構成を有する直進形柔軟アク
チュエータ１の全体動作について説明する。まず、図１
（ａ）は、固定ホルダ６の当接部９とチューブキャップ
７の当接部１１とが当接している状態、すなわち縮状態
を示している。圧力室１３に加圧すると孔１６を介して
チューブ内空間１７も加圧されるので、チューブアクチ
ュエータ５は前記のように軸方向に伸長し、固定ホルダ
６の当接部１０とチューブキャップ７の当接部１２とが
当接して、図１（ｂ）に示す伸状態になる。このとき、
チューブキャップ７の当接部１２にも孔１８が穿設され
ているので、当接部１２と当接部１０との間の空間１９
の圧力変化が緩和されている。圧力室１３の圧力を適度
に加減すれば中間状態にすることもできる。圧力室１３
の圧力を開放すると、図１（ａ）の縮状態に戻る。

【００１８】これにより、直進形柔軟アクチュエータ１
の出力端たるチューブキャップ７は、圧力室１３にかけ
る圧力により、図中左右方向に直線的に移動することに
なり、移動しうる範囲は、固定ホルダ６の当接部９とチ
ューブキャップ７の当接部１１とにより下限が、固定ホ
ルダ６の当接部１０とチューブキャップ７の当接部１２
とにより上限が確定されている。また、ここにおけるチ
ューブキャップ７の動きは、空気圧と、柔軟なチューブ
の伸縮とによるものなので、対象物に衝撃を与えること
のないいわゆる柔軟な動きである。

【００１９】以上で、直進形柔軟アクチュエータ１の全
体に関する説明を終了し、本発明としての特徴部分につ
いての説明に移る。まず、第１の特徴部分は、図１
（ａ）で示される縮状態におけるチューブアクチュエー
タ５の長さ（図中Ｌ_S で示す）が、チューブアクチュエ
ータ５の自由長（固定ホルダ６等に組み付けられていな
い状態での長さ、以下Ｌ_f で示す）より長いことであ
る。したがって、チューブアクチュエータ５は、直進形
柔軟アクチュエータ１に、予め機械的にＬ_S −Ｌ_f の長
さだけ伸長されて（以下、予備伸長という）組み付けら
れていることになる。これは、チューブアクチュエータ
５がゴム等によるチューブ１４でできているために不可
避的に起こるクリープ変形によるチューブキャップ７の
位置ズレを防ぐためのものである。

【００２０】ここで、ゴム系材料のクリープ変形につい
て説明する。一般に高分子材料は一定応力下では時間と
ともにクリープを起こし、また一定変位を与えて維持す
る場合には応力の緩和現象が起こる。すなわちチューブ
アクチュエータ５の場合で言えば、チューブ１４が伸状
態に維持されると、クリープによりその自由長が伸びて
くるのである。

【００２１】この、クリープ変形挙動の一例を図４に示
す。図４は、ＮＢＲゴムに１２．６ｋｇｆ／ｃｍ² の一
定応力を印加したときの印加時間ｔ（対数表示）とクリ
ープ率Δεとの関係を表すグラフである。ここでクリー
プ率とは３０分間の応力印加による伸長率を基準にとっ
て表した伸長率であり、次式で表される。 Δε＝ε−ε₃₀ ここで、εは時間ｔにおける伸長率（％）を、ε₃₀は３
０分経過時の伸長率（％）を示す。図４より、クリープ
は、応力印加初期は、時間の対数に対してほぼ直線的に
増加するが、その後傾斜が急となり急速にクリープする
ようになることがわかる。これは、試験温度が高いほど
激しく、応力を長時間印加するとゴムの劣化による急速
なクリープが起こるものとみられる。ＮＢＲゴム以外の
ゴムも、これと同様の傾向を示す。

【００２２】図４中温度５０゜Ｃのカーブに着目する
と、印加時間１０００時間にてクリープ率は約１０％に
達している。したがって、５０゜Ｃでのε₃₀が仮に無視
できるほど小さいとしても１０００時間での伸長率εは
約１０％となり、チューブ１４の初期の自由長を５０ｍ
ｍとすれば５ｍｍの狂いが生じることになる。チューブ
アクチュエータ５を例えば半導体製造設備のウェハ搬送
機構に用いる場合、この狂いは大きい。しかも図４のグ
ラフの横軸の時間は対数目盛りであるから、これを真数
目盛りで表せば、伸長率変化の大部分は印加時間の比較
的前期に集中していると考えられる。以上のことから、
チューブアクチュエータ５に予備伸長を与えずに使用す
る従来の直進形アクチュエータでは、使用開始直後から
チューブ１４のクリープ変形に配慮して使用しなければ
ならないのである。

【００２３】そこで本実施例の直進形柔軟アクチュエー
タ１では、チューブアクチュエータ５に予備伸長を与え
て使用することにより、この困難を解消している。すな
わち、チューブアクチュエータ５に１０％の予備伸長を
与えて直進形柔軟アクチュエータ１に組み込んだ場合、
仮に予備伸長によるクリープ変形への寄与を無視すれ
ば、伸長率１０％に達する１０００時間までは、クリー
プ変形による狂いは予備伸長に吸収されてしまい問題に
ならないのである。実際には予備伸長もクリープ変形に
多少寄与するので、１０００時間より若干早くクリープ
変形による影響が現れると思われる。クリープ変形によ
る伸長率が予備伸長の量を越えると、チューブキャップ
７の位置ズレが起こるので、チューブアクチュエータ５
を新品に交換することになる。

【００２４】かかるクリープ変形による位置ズレは、加
圧時においても問題となるが、本実施例の直進形柔軟ア
クチュエータ１ではこの点も手当されている。すなわ
ち、本発明としての第２の特徴部分である当接部１０と
当接部１２とが、チューブアクチュエータ５の最大長
（図１中Ｌ_l ）を確定しているので、クリープ変形が起
こった後に圧力を印加しても、チューブアクチュエータ
５の長さはＬ_l を超えることはない。これらのことによ
り、直進形柔軟アクチュエータ１では、非加圧時、加圧
時とも位置精度が優れている。また、前記した最大長の
確定により、直進形柔軟アクチュエータ１では、誤操作
等により過加圧が起こった場合でも、チューブ１４の破
裂が起こることはない。このような破裂事故が起これ
ば、危険なことは言うまでもなく、さらに半導体製造上
好ましくないパーティクルの発生にもつながるので、こ
れを排除することの意味は大きい。

【００２５】次に、直進形柔軟アクチュエータ１におけ
る本発明としての第３の特徴部分であるチューブキャッ
プ７の回転成分防止機能について述べる。直進形柔軟ア
クチュエータ１の図１中Ｘ−Ｙに示す箇所の断面図を図
５に示す。図５に示す固定ホルダ６とチューブキャップ
７との摺動部位８は、四角形状をなしており、チューブ
キャップ７は固定ホルダ６に対して軸回りに回転するこ
とができない。

【００２６】このことにより、チューブ１４の材質不均
一等があっても、チューブキャップ７の運動に回転成分
が加わることはない。また、対象物の負荷によっても、
チューブキャップ７の運動に回転成分が加わることはな
い。したがって、対象物に無用な応力が印加されたり、
チューブ１４がねじれにより破損することがない。ここ
で図５に示す摺動部位８の断面形状は、四角形状に限ら
ず三角形等他の多角形や、あるいは楕円形等、固定ホル
ダ６とチューブキャップ７との軸回りの回転をさせない
形状であれば何でもよい。

【００２７】以上の各特徴部分を有する直進形柔軟アク
チュエータ１は、さらに、次のような特徴を有してい
る。まず、直進形柔軟アクチュエータ１においては、チ
ューブアクチュエータ５の両端が、固定ホルダ６とチュ
ーブキャップ７とにより確実に支持されているので、対
象物の重量により湾曲することがなく確実に直進運動す
ることができる。また、固定ホルダ６の当接部９とチュ
ーブキャップ７の当接部１１、固定ホルダ６の当接部１
０とチューブキャップ７の当接部１２とを含む摺動部位
が、チューブ５に完全に覆われているので、摺動部位で
パーティクルが発生しても外部に漏れる恐れがない。

【００２８】そして、チューブアクチュエータ５が固定
ホルダ６とチューブキャップ７とにより予備伸長を与え
られているので、この予備伸長の量を変更することによ
り、直進形柔軟アクチュエータ１が作動を開始する始動
圧力を設定することができる。図６に示すように、固定
ホルダ６を基部２４と先端部２３に分割して、ネジ止め
する構造とすれば、基部２４に対する先端部２３の位置
をネジにより調整することにより、チューブアクチュエ
ータ５の自由長を変更することなく予備伸長の量を変更
することができる。あるいは、チューブアクチュエータ
５の自由長を変更すれば、固定ホルダ６とチューブキャ
ップ７とをそのままにして予備伸長の量を変更すること
ができる。ただし、チューブ１４のクリープ変形に伴
い、始動圧力を管理する必要がある。

【００２９】さらに、図７に示すように、チューブキャ
ップ７をストッパ部２１とシャフト部２２とに分割し
て、ネジ止めする構造とすれば、シャフト部２２に対す
るストッパ部２１の位置をネジにより調整することによ
り、直進形柔軟アクチュエータ１としてのストローク量
を調整することができる。以上説明したことから明らか
なように、本実施例の直進形柔軟アクチュエータ１は、
チューブアクチュエータ５の両端を固定ホルダ６とチュ
ーブキャップ７とにより支持することとしたこと等によ
り、従来の直進形アクチュエータにない種々の特徴を有
している。

【００３０】次に、本実施例の直進形柔軟アクチュエー
タ１を応用したウェハホルダ２５について、図８を参照
して説明する。ウェハホルダ２５は、センター部２７を
介して３組の直進形柔軟アクチュエータ１を星形に配置
したものである。ウェハホルダ２５では、共通給圧口２
８から３組の直進形柔軟アクチュエータ１に同時に圧力
を供給、または開放できるようになっている。

【００３１】かかるウェハホルダ２５では、各直進形柔
軟アクチュエータ１のチューブキャップ７にウェハチャ
ック２９が取り付けられている（図９の側面図参照）の
で、共通給圧口２８から各直進形柔軟アクチュエータ１
を駆動することにより、ウェハ２６の保持または開放が
できる。すなわち、非加圧時には各チューブキャップ７
およびウェハチャック２９が実線で示す位置にあり、ウ
ェハ２６を保持するのである。共通給圧口２８から加圧
すると、破線で示すチューブキャップ７ａおよびウェハ
チャック２９ａの状態となり、ウェハ２６を開放するの
である。かかるウェハホルダ２５においては、各々の直
進形柔軟アクチュエータ１が本発明としての特徴を有し
ているので、ウェハ２６に衝撃や無用な応力がかかるこ
とはなく、チューブ破損事故が起こるおそれもなく、か
つ、各直進形柔軟アクチュエータ１の位置精度がよい。

【００３２】続いて、前述した直進形柔軟アクチュエー
タ１の変形例について説明する。図２に示す直進形柔軟
アクチュエータ２は、直進形柔軟アクチュエータ１にお
ける固定ホルダ６とチューブキャップ７とを変形して、
固定ホルダ３６、チューブキャップ３７としたものであ
る。図２（ａ）に縮状態を、図２（ｂ）に伸状態をそれ
ぞれ示す。この各直進形柔軟アクチュエータ２ないし４
においても、直進形柔軟アクチュエータ１と同様の特徴
を有していることはもちろんである。なお、ここで述べ
た各実施例は、本発明を何ら限定するものではなく、要
旨を逸脱しない範囲内でさらに種々の変形、改良を加え
ることが可能であることはもちろんである。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明の直進形柔軟アクチュエータでは、直進伸縮するチュ
ーブアクチュエータを、回転成分なく互いに摺動する固
定ホルダとチューブキャップとにより保持し、その摺動
範囲は上限、下限とも機械的に制限されることとしたの
で、アクチュエータとしての位置精度がよく、かつ、チ
ューブのクリープ変形の影響による出力位置の変化が起
こらない。また、対象物の負荷等による湾曲等や過加圧
による過伸長が起こらないので、直進性が確実で、チュ
ーブ破損事故のおそれがなく、また、対象物に衝撃や無
用な応力をかけることもない。また、摺動部位で発生す
るパーティクルが、外部に漏れる恐れがない。したがっ
て半導体製造分野に適した直進形柔軟アクチュエータを
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である直進形柔軟アクチュエ
ータの構成を示す図である。

【図２】本発明の一実施例である直進形柔軟アクチュエ
ータの構成を示す図である。

【図３】図１に示す直進形柔軟アクチュエータの構成要
素であるチューブアクチュエータの構成を示す図であ
る。

【図４】ＮＢＲゴムのクリープ特性を示すグラフであ
る。

【図５】図１に示す直進形柔軟アクチュエータのＸ−Ｙ
断面図である。

【図６】図１に示す直進形柔軟アクチュエータの構成要
素である固定ホルダの変形例を示す図である。

【図７】図１に示す直進形柔軟アクチュエータの構成要
素であるチューブキャップの変形例を示す図である。

【図８】図１に示す直進形柔軟アクチュエータチュエー
タを応用したウェハホルダの平面図である。

【図９】図８に示すウェハホルダの側面図である。

【符号の説明】

１、２、３、４直進形柔軟アクチュエータ５チューブアクチュエータ６固定ホルダ７チューブキャップ８摺動部９、１０、１１、１２当接部１４チューブ１５強化繊維

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】柔軟性のあるチューブと、前記チューブの周囲に巻回されたリング状の強化繊維と
を有する柔軟アクチュエータにおいて、前記チューブの一端を固定して保持する固定ホルダと、前記チューブの他端に保持されるチューブキャップとを
備え、前記固定ホルダと前記チューブキャップとにはそれぞれ
軸方向に相互に摺動する摺動部位と、相互に当接して軸方向摺動範囲を規制する第１当接部位
と第２当接部位とが形成され、前記当接部位により規制される摺動範囲内における前記
チューブの最短長が前記チューブの自由長より長いこと
を特徴とする直進形柔軟アクチュエータ。
【請求項２】請求項１に記載する直進形柔軟アクチュ
エータにおいて、前記摺動部位の一部の断面形状が非円形であることを特
徴とする直進形柔軟アクチュエータ。