JP2588348B2

JP2588348B2 - 形状可変アクチュエータ

Info

Publication number: JP2588348B2
Application number: JP4317856A
Authority: JP
Inventors: 鉄伸樽沢
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1992-11-02
Filing date: 1992-11-02
Publication date: 1997-03-05
Anticipated expiration: 2012-03-05
Also published as: JPH06147202A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は柔軟運動が可能な形状可
変アクチュエータに関し、さらに詳細には出力部が支持
部との平行を保ったまま移動して薄板状対象物や小寸対
象物を確実に把持できる形状可変アクチュエータに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ウェハに機
械的衝撃が加わると内部欠陥が発生してその電気特性に
影響することがある。また、このような機械的衝撃によ
り必然的に発生するパーティクルは、ウェハ上に形成さ
れるべき微細回路素子よりも大きいことがあるので、必
要な微細回路加工を妨害することになる。これらの理由
により、半導体製造上、機械的衝撃は可能な限り排除す
べきである。しかし従来、モータ、ピストン機構のよう
なアクチュエータにおける機械的運動要素は、一般には
剛性のある構造とされ、かかる剛性によりミクロンオー
ダの運動と位置決め精度を持ちうるように構成されてい
る。このような剛的な運動要素が所定の運動をしている
途中に他の部材等に当たると、機械的衝撃を発生するこ
とになる。以下これを硬い動きという。したがって前記
半導体製造工程におけるウェハ搬送等にこのような硬い
動きを用いる場合には、極度に綿密な位置制御および速
度制御を行って、機械的衝撃の発生を抑える必要があ
る。

【０００３】これに対し、現在のロボット駆動に見られ
るように、発達した視覚、触覚センサを利用したマイク
ロプロセッサによる統括制御の下で使用されるアクチュ
エータは、必ずしも剛構造であり、かつ高加工精度を有
するものばかりでなくてもよい。むしろ、柔軟な動きが
可能なフレキシブルアクチュエータをかかる統括制御下
にて用いれば、人間の手指に代替できる人工手指の開発
につながるものと期待されている。したがって、このよ
うな柔軟な動きをするアクチュエータによれば、硬い動
きをするアクチュエータに比べてはるかに簡単な制御下
で、半導体製造工程に適用可能な無衝撃の搬送機構が実
現できると考えられる。

【０００４】そこで、かかる用途へ適用すべきフレキシ
ブルアクチュエータとしていくつかの提案がなされてい
る。例えば第１の例として、ゴム管内を円周方向に３室
に分割して軸方向に長い３つの圧力室の集合体としたも
ので、各圧力室にそれぞれ異なる圧力を印加することに
より、湾曲、軸方向の伸長、軸回りのねじり等、多様な
柔軟変形を可能としたものが知られている。（鈴森、日
本機械学会論文集Ｃ編（平１−１０）、２５４７〜２５
５２）

【０００５】あるいは第２の例として、ゴム管３２の周
囲に強化繊維（周強化繊維）３３を密に巻き、そして別
の強化繊維（軸強化繊維）３４を軸方向に沿って接合し
たもの（図１２）がある。周強化繊維３３はゴム管内に
加圧されたとき、ゴム巻の径が膨張するのを防ぎ、軸方
向にのみ膨張させる作用がある。そして軸強化繊維３４
が接合されている箇所においては軸方向の膨張も防がれ
るので、このアクチュエータは加圧されると、軸強化繊
維３４のないところが膨張し、全体としては軸強化繊維
３４側を内側に湾曲することになる（図１３）。（田
中、機械設計３６、８（１９９２−７）、３２〜３９）これらのフレキシブルアクチュエータを、半導体製造装
置のウェハ搬送装置に応用すれば、機械的衝撃による内
部欠陥やパーティクルの発生のおそれがない、すぐれた
ウェハ搬送機構が実現されるものと期待されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た各フレキシブルアクチュエータは種々の問題点を有し
ている。第１のアクチュエータは、それ自体で多様な動
作が可能であるが、円周方向に３分割されたゴム管の製
作は容易ではなく、コスト的に不利である。特に、細径
長寸のものの実現は困難となる。また、使用するにあた
って３種類の圧力の圧縮空気を必要とするという難点が
ある。さらに、３室の形状と供給圧とによる管の実際の
変形挙動の解析にはきわめて複雑な３次元解析を要す
る。よって、管設計および駆動圧力設計には、例えば有
限要素法を利用した高度な解析技術が必要となり、使用
にあたっての負担が大きい。

【０００７】第２のアクチュエータにおいてはこの問題
点が解消されており、一方の端が固定され、非固定端を
出力端として使用するように考えられている。しかし、
このアクチュエータは全体が湾曲して動くので、出力端
たる非固定端は、図１４に示すように位置と角度との両
方が変化することになる。したがって、このアクチュエ
ータで例えばシリコンウェハのような薄板状対象物を把
持しようとすると、アクチュエータと対象物との接触が
点接触となってしまい、把持が安定しない。また、この
ときのアクチュエータの出力端の軸方向すなわち図中左
右方向の変位は、概ねアクチュエータの全長に比例しか
なり大きいので、把持しようとする対象物の位置に対す
るアクチュエータ取付位置の設定が容易でなく、特に小
寸対象物の把持がしにくい。また、図１２および図１３
のような片端固定の場合、対象物の重さによっては振動
が発生し位置精度が悪くなるので、両端固定とするのが
好ましいのであるが、このアクチュエータでは、両端を
固定すると加圧しても動くことができない。

【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、出力部が、角度を変えることな
く、また、チューブ軸方向への変位を最小限としたま
ま、チューブ軸に対して垂直な方向に変位することによ
り、薄板状対象物を確実に把持することができ、また対
象物に対するアクチュエータの取付位置の設定が容易
で、小寸対象物の把持がしやすい、半導体製造分野に適
した形状可変アクチュエータを提供することを目的とす
る。また、チューブの両端において固定され、アクチュ
エータの中央部にて対象物を把持し、対象物の重量によ
る振動発生が少なく、位置精度のよい、半導体製造分野
に適した形状可変アクチュエータを提供することを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の形状可変アクチュエータは、柔軟性のあるチ
ューブと、前記チューブの周囲に巻回された周強化繊維
と、前記チューブに接合された軸強化繊維とを有する形
状可変アクチュエータであって、第一の前記軸強化繊維
は始端から始端と１８０゜対向する位置にある終端まで
前記チューブの周囲に半周に渡って接合され、第二の前
記軸強化繊維は前記第一の軸強化繊維の始端から終端に
渡って第一の軸強化繊維の反対側に接合されていること
を特徴とすることを特徴とする構成とされる。または、
本発明の形状可変アクチュエータは、複数組の前記軸強
化繊維を有し、各軸強化繊維の始端の位置が前記チュー
ブの軸方向に対して同一直線上にあることを特徴とする
前記の構成とされる。または、本発明の形状可変アクチ
ュエータは、両端が固定されていることを特徴とする前
記の構成とされる。

【００１０】

【作用】前記構成を有する本発明の形状可変アクチュエ
ータでは、チューブ内に空気圧を印加すると、チューブ
に接合されている強化繊維により部分的に伸縮が規制さ
れるので、チューブがＳ字状に湾曲し、出力端は角度を
変化させることなく変位する。印加した圧力を開放する
と、チューブが直線状態にもどる。かかる動きにより、
薄板状対象物を柔軟にかつ確実に把持することができ
る。両端が固定されたアクチュエータでは、チューブ内
に空気圧を印加すると、アクチュエータの中央部が変位
する。印加した圧力を開放すると、チューブが直線状態
にもどる。かかる動きにより、板状対象物を柔軟にかつ
確実に把持することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の形状可変アクチュエータを具
体化した実施例を図面を参照して説明する。図１（ａ）
は本実施例の形状可変アクチュエータの構成図である。
図１（ａ）に示すアクチュエータ１は、柔軟性のあるチ
ューブ２に接着剤により強化繊維を接合したものであ
る。かかる強化繊維は、チューブ２の軸方向に垂直なも
のと軸方向に垂直でないものとの２種類がある。軸方向
に垂直な周強化繊維３は、チューブ２をその全長にわた
って密に巻回しており、チューブ２の半径方向の伸長収
縮を規制する機能を有している。

【００１２】そしてチューブ２には軸強化繊維４が接合
されている。ここで軸強化繊維４の接合位置は、始端５
と終端７とが約１８０゜対向するようになっており、周
強化繊維３を省略して示す図１（ｂ）の斜視図にみるよ
うにチューブ２の前面側に第一の軸強化繊維である第１
枝が、そして背面側に第二の軸強化繊維である第２枝が
接合されている。図１（ａ）中では第１枝と第２枝とは
重畳している。軸強化繊維４は、接合されている位置に
おいて、チューブ２の伸長収縮を規制する機能を有して
いるとともに、チューブ２の半径方向のうち意図する変
形と直角な方向への湾曲を規制する機能を有している。
かかるアクチュエータ１は、その一端がチューブホルダ
６に固定して取り付けられており、そして、給圧ホース
１２を介して圧縮空気ボンベ９に接続されている。遮断
弁１０は圧縮空気ボンベ９からアクチュエータ１への圧
縮空気の供給を断続するものであり、開放弁１１はアク
チュエータ１に供給された圧縮空気を大気に開放してア
クチュエータ１を自然状態に復帰させるものである。

【００１３】以上の構成を有するアクチュエータ１は、
自然状態、すなわちチューブ２の内部が大気圧であると
きには、図１（ａ）に示すように直線状となっている。
そして、開放弁１１を閉じ遮断弁１０を開くと、圧縮空
気ボンベ９から圧縮空気が供給され、チューブ２の内部
は加圧される。このとき柔軟性のあるチューブ２は全体
に膨張しようとするが、接合されている各強化繊維によ
り伸長が部分的に規制されていることにより独特の動き
を示す。すなわち、全長にわたって巻回されている周強
化繊維３により半径方向の伸長が規制されるので、チュ
ーブ２は主として軸方向に伸長しようとする。ところが
軸強化繊維４により、軸方向の伸長が規制される部分が
楕円状に存在している。軸強化繊維４の接合されていな
い部位では、軸方向の伸長は規制されない。

【００１４】このためアクチュエータ１は、軸強化繊維
４を半径として回転する動きを見せＳ字状に変形し、図
２に示すように出力端８は図中上方に移動する。このと
きのアクチュエータ１の変形は、中心点に対して左右対
称であるため、出力端８におけるアクチュエータ１の傾
きは相殺され０゜となる。遮断弁１０を閉じ開放弁１１
を開くと、チューブ２の内部は大気圧となり、図１
（ａ）の直線状態にもどる。

【００１５】このときのアクチュエータ１の出力端８の
動きについて考察する。出力端８の動きのうち角度の変
化すなわち傾きは前記のように０°であるので、考察の
対象は図中ｘ方向とｙ方向とのそれぞれの変位である。
アクチュエータ１で実際にものを把持することを考える
と、重要なのは必要なｙ変位を得るに当たっていかにｘ
変位が少なくてすむかということである。

【００１６】したがってｘ変位をｙ変位の関数として表
すのがよい。アクチュエータ１におけるｘ変位をｘ₁
と、ｙ変位をｙ₁ とすれば（図３参照、図３はアクチュ
エータ１の動きを説明する図であり、周強化繊維３を省
略して示す）、ｘ₁ ＝ｙ₁ ＊（ｃｏｓα₂ −ｃｏｓα₁ ）／（ｓｉｎα₂ −ｓｉｎα₁ ）（１）で表される。ここでα₁ は加圧されていない状態でのア
クチュエータ１における軸強化繊維４がチューブ２の軸
方向（図中水平方向）に対してなす角を意味し、α₂ は
加圧時におけるアクチュエータ１の軸強化繊維４が図中
の水平方向に対してなす角である。よってα₁ は負の値
である。

【００１７】そして、比較のために図１４に従来のアク
チュエータの動きを周強化繊維３３を省略して示す。図
１４においてｘ変位をｘ₂ と、ｙ変位をｙ₂ とすれば、ｘ₂ ＝（ｙ₂ ＊ｓｉｎα₃ ）／（１−ｃｏｓα₃ ）−Ｌ（２）で表される。ここでＬはアクチュエータの全長を、α₃
は図１４中出力端における傾き角を示す。なお、アクチ
ュエータ全体が均一に円弧状に湾曲するものとしてい
る。ここで、（１）式および（２）式に代表的な数値を
代入して両者を比較してみる。まず、両者ともアクチュ
エータの長さを１０ｃｍとし、径Ｄを１ｃｍとする。さ
らに、必要なｙ変位を４ｃｍとする。よってＬ＝１０ｃ
ｍ、ｙ₁ ＝ｙ₂ ＝４ｃｍである。

【００１８】これにより、本実施例のアクチュエータ１
におけるα₁ およびα₂ が求まる。α₁ は、非加圧時に
おけるアクチュエータ１の軸強化繊維４がチューブ２の
軸方向に対してなす角であり、ここでは負の値となるの
で、ｔａｎα₁ ＝−（１ｃｍ）／（１０ｃｍ）＝−０．１となり、 α₁ ＝−０．０９９７（ｒａｄ）（＝−５．７１゜）（３）が得られる。

【００１９】一方α₂ は、ｓｉｎα₂ ＝（ｙ₁ −Ｄ）／Ｒ₁ （Ｒ₁ は図中での
軸強化繊維４の長さ）となり、Ｒ₁ ＝Ｌ／ｃｏｓα₁ なので、Ｒ₁ ＝（１０ｃｍ）／ｃｏｓ（−０．０９９７（ｒａ
ｄ））＝１０．１（ｃｍ）となり、ｓｉｎα₂ ＝（４ｃｍ−１ｃｍ）／（１０．１ｃｍ）＝０．２９７となり、 α₂ ＝０．３０２（ｒａｄ）（＝１７．３゜）（４）が得られる。

【００２０】そして、従来のアクチュエータにおけるα
₃ は、図１４よりＬとの間にＲ₂ α₃ ＝Ｌ（５）との関係が成り立つ。ここでＲ₂ は弧状に湾曲している
アクチュエータの曲率半径である。さらに図１４より、ｙ₂ ＝Ｒ₂ −Ｒ₂ ｃｏｓα₃ （６）なる関係を読みとることができる。ここではＬ＝１０ｃ
ｍ、ｙ₂ ＝４ｃｍであるから、Ｒ₂ α₃ ＝１０（ｃｍ）（７）Ｒ₂ −Ｒ₂ ｃｏｓα₃ ＝４（ｃｍ）（８）となり、これを満たすＲ₂ 、α₃ は、Ｒ₂ ＝１１．８（ｃｍ）（９） α₃ ＝０．８５（ｒａｄ）（＝４８．７゜）（１０）である。

【００２１】よって、（１）式に（３）式と（４）式と
を代入し、さらにｙ₁ ＝４ｃｍであるから、ｘ₁ ＝−０．４０ｃｍが得られる。一方（２）式に（１０）式を代入し、さら
にＬ＝１０ｃｍ、ｙ₂ ＝４ｃｍであるから、ｘ₂ ＝−１．１６ｃｍが得られる。以上より、本実施例のアクチュエータ１に
おけるｘ変位ｘ₁ は、従来のアクチュエータにおけるｘ
変位ｘ₂ より小さいことがわかる。

【００２２】したがって例えば、平板上に置かれた径１
ｍｍ程度の小寸対象物を把持しようとする場合を考える
と、２組のアクチュエータを当該対象物の近傍へ搬送
し、アクチュエータに湾曲変形を起こさせて針状対象物
を挟持するのであるが、このとき従来のアクチュエータ
では、前記したｘ変位が対象物の大きさと同程度かまた
はそれ以上となり、かつアクチュエータ先端が傾いて対
象物に対して点接触となるので対象物の挟持がしにく
い。これに対して本実施例のアクチュエータ１では、前
記したようにｘ変位が小さく、かつアクチュエータ１の
先端が傾かないので対象物に対して点接触とならず、小
寸対象物を確実に挟持することができる。以上説明した
ように、本実施例のアクチュエータ１では従来のアクチ
ュエータと比較して、把持しようとする対象物の位置に
対するアクチュエータ取付位置の設定が容易であり、小
寸対象物の把持がしやすく、半導体製造分野に適してい
る。

【００２３】次に、本発明の第２の実施例について図４
に基づいて説明する。図４に示すのは、本実施例の形状
可変アクチュエータの構成図である。図４に示すアクチ
ュエータ２０は、図１のアクチュエータ１とほぼ同様の
構成を有するアクチュエータであり、柔軟性のあるチュ
ーブ２１に接着剤により周強化繊維２２を接合したもの
である。給圧ホース３６、遮断弁３８を介して圧縮空気
ボンベ３７から圧縮空気が供給されること、開放弁３５
により圧縮空気の開放ができることも、アクチュエータ
１と同様である。アクチュエータ１との違いは、２本の
軸強化繊維２３、２４が接合されていること、チューブ
ホルダ２６、チューブホルダ２７により両端が固定され
ていることにある。そして、軸強化繊維２３の始端２８
と軸強化繊維２４の始端３１とがチューブ２１の同軸上
にあり、軸強化繊維２３の終端２９と軸強化繊維２４の
終端３０とがチューブ２１の同軸上にある。

【００２４】かかる構成を有するアクチュエータ２０
に、遮断弁３８を開いて圧縮空気ボンベ３７から圧縮空
気を供給すると、アクチュエータ２０の図中左半分がア
クチュエータ１と同様の変形を示し、右半分はアクチュ
エータ１と対称の変形を示すので、図５のようにアクチ
ュエータ２０の中央部が図中上向きに移動することにな
る。遮断弁３８を閉じ開放弁３５を開くと、圧縮空気が
開放されアクチュエータ２０は図４の直線状態に戻る。

【００２５】アクチュエータ２０においては、上下移動
する中央部にて対象物を把持することとなるが、チュー
ブホルダ２６、チューブホルダ２７により両端が固定さ
れているので、把持する対象物の重量による振動発生が
軽減され、位置精度が向上する。また、両端が固定され
ていることの効果として、軸強化繊維２３および軸強化
繊維２４の接合位置がさほど厳密でなくてもよいという
効果もある。さらに、図４中チューブホルダ２７の先に
もう１つのアクチュエータ２０を配置し、同時に作動さ
せることができる。このときアクチュエータ２０は、ア
クチュエータとしての機能と配管としての機能とを兼ね
ているといえる。

【００２６】さらに、３つ以上のアクチュエータ２０を
環状に配置して同時に作動するようにすれば、環の中央
に置いた板状対象物（例えばシリコンウェハ等）の把持
ができ、半導体製造分野に適している。例えば図６に示
すのは、４つのアクチュエータ２０を環状に配置するこ
とにより実現したウェハ把持装置６０である。ウェハ把
持装置６０においては、４つのチューブホルダ６４が４
つのアクチュエータ２０の両端を固定している。ウェハ
把持装置６０は、共通加圧口６１から加圧すると、図７
に示すように、４つのアクチュエータ２０が同時に変形
して、各アクチュエータ２０の中央に取り付けられてい
るウェハクリップ６３がウェハ６２を把持する。ウェハ
６２を把持しているウェハ把持装置６０を搬送すること
により、半導体製造装置から別の半導体製造装置へのウ
ェハ６２の移動ができる。

【００２７】さらに、前述した各実施例のアクチュエー
タを変形した例についてのべる。図８に示すのは、図１
のアクチュエータ１を変形したアクチュエータ４０であ
る。アクチュエータ４０は、軸強化繊維４１と軸強化繊
維４２との２本の軸強化繊維をチューブ２に接合したも
のであり、他の構成はアクチュエータ１と同様である。
アクチュエータ４０は、加圧されると図９のような形状
となり、アクチュエータ１の場合と同様、出力端４３は
図８の状態から角度を変えずに変位しており、チューブ
２の軸方向と平行な方向への変位も小さい。したがって
アクチュエータ４０によってもアクチュエータ１と同
様、薄板状対象物を確実に把持でき、対象物に対するア
クチュエータ４０の位置設定も容易であり、小寸対象物
の把持がしやすい。さらに、軸強化繊維を３本以上とし
てもよい。

【００２８】図１０に示すのは、図３のアクチュエータ
２０を変形したアクチュエータ５０である。アクチュエ
ータ５０は、軸強化繊維５１、軸強化繊維５２、軸強化
繊維５３、軸強化繊維５４の４本の軸強化繊維をチュー
ブ２１に接合したものであり、他の構成はアクチュエー
タ２０と同様である。アクチュエータ５０は、加圧され
ると図１１のような形状となり、アクチュエータ２０の
場合と同様、中央部が図中上向きに移動することにな
る。したがってアクチュエータ５０もアクチュエータ２
０と同様に中央部で対象物を把持し、対象物の重量によ
る振動は少ないので位置精度がよい。軸強化繊維の本数
をさらにふやしてもよい。また、アクチュエータ５０に
配管としての機能を兼ねさせ、２以上のアクチュエータ
５０を同時に作動させることもできる。

【００２９】なお、以上の各実施例のアクチュエータに
おいて、チューブの材質として例えばシリコーンゴム、
生ゴム等が考えられるが、これらに限らず適度な柔軟性
と伸縮性を備えるものであれば何でもよい。また、周強
化繊維、軸強化繊維の材質としては、金属、炭素繊維の
ほか、絹糸等でもよいが、チューブおよび接着剤とのな
じみがよく、動作方向にのみ柔軟性が高く非動作方向に
は柔軟性が低いものを選択すべきである。そしてこれら
を接合する接着剤としては、チューブと同質のものを用
いるのがよい。なお、前記実施例は本発明を限定するも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において
種々の変形、改良が可能であることはもちろんである。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のアクチュエータでは、チューブに接合される軸強化
繊維の始端と終端とがたがいに１８０゜対向することと
し、さらにチューブの両側に第一の軸強化繊維と第二の
軸強化繊維とが接合されるようにしたので、その出力端
は、その角度を変えることなく、また、チューブ軸方向
への変位を最小限としたまま、チューブ軸に対して垂直
な方向に変位する。これにより、薄板状対象物を確実に
把持することができ、また対象物に対するアクチュエー
タの取付位置の設定が容易で、小寸対象物の把持がしや
すい。また、２組以上の軸強化繊維を有しそれらの始端
と終端とがそれぞれチューブの同軸上に存在し、そして
チューブの両端が固定されることとしたので、アクチュ
エータの中央部にて対象物を把持し、対象物の重量によ
る振動発生が少なく、位置精度を向上できる。以上によ
り半導体製造分野に適した形状可変アクチュエータを提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である形状可変アクチュエー
タの構成を示す図である。

【図２】図１に示すアクチュエータの動きを示す図であ
る。

【図３】図１に示すアクチュエータの動きを示す図であ
る。

【図４】本発明の一実施例である形状可変アクチュエー
タの構成を示す図である。

【図５】図４に示すアクチュエータの動きを示す図であ
る。

【図６】図４に示すアクチュエータの組合せによるウェ
ハ把持装置の構成を示す図である。

【図７】図６に示すウェハ把持装置の動きを示す図であ
る。

【図８】本発明の一実施例である形状可変アクチュエー
タの構成を示す図である。

【図９】図８に示すアクチュエータの動きを示す図であ
る。

【図１０】本発明の一実施例である形状可変アクチュエ
ータの構成を示す図である。

【図１１】図１０に示すアクチュエータの動きを示す図
である。

【図１２】従来の形状可変アクチュエータの構成を示す
図である。

【図１３】図１２に示すアクチュエータの動きを示す図
である。

【図１４】図１２に示すアクチュエータの動きを示す図
である。

【符号の説明】

１、２０形状可変アクチュエータ２、２１チューブ３、２２周強化繊維４、２３、２４軸強化繊維６、２６、２７チューブホルダ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】柔軟性のあるチューブと、前記チューブの周囲に巻回された周強化繊維と、前記チューブに接合された軸強化繊維とを有する形状可
変アクチュエータにおいて、第一の前記軸強化繊維は始端から始端と１８０゜対向す
る位置にある終端まで前記チューブの周囲に半周に渡っ
て接合され、第二の前記軸強化繊維は前記第一の軸強化繊維の始端か
ら終端に渡って第一の軸強化繊維の反対側に接合されて
いることを特徴とする形状可変アクチュエータ。
【請求項２】複数組の前記軸強化繊維を有し、
各軸強化繊維の始端の位置が前記チューブの軸方向に対
して同一直線上にあることを特徴とする請求項１に記載
する形状可変アクチュエータ。
【請求項３】両端が固定されていることを特徴と
する請求項２に記載する形状可変アクチュエータ。