JP2702441B2 - ウェーハ識別文字認識システム - Google Patents
ウェーハ識別文字認識システムInfo
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- JP2702441B2 JP2702441B2 JP9509295A JP9509295A JP2702441B2 JP 2702441 B2 JP2702441 B2 JP 2702441B2 JP 9509295 A JP9509295 A JP 9509295A JP 9509295 A JP9509295 A JP 9509295A JP 2702441 B2 JP2702441 B2 JP 2702441B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェーハ識別文字認識シ
ステムに関し、特に半導体装置製造の拡散工程において
使用されるウェーハ識別文字認識システムに関する。
ステムに関し、特に半導体装置製造の拡散工程において
使用されるウェーハ識別文字認識システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置製造の拡散工程におい
ては、ウェーハの生産管理上、ウェーハ上に記載されて
いる識別文字を用いて各製造工程ごとに当該識別文字の
認識を行い、これらの各工程に対応する処理条件の設定
等に対応して使用されている。このウェーハ管理におい
て使用されている装置は、ウェーハ上に識別文字を記載
するウェーハマーキング装置と、識別文字の認識を行う
ウェーハ識別文字認識装置とにより、ウェーハ識別文字
認識システムとしてシステム化されている。
ては、ウェーハの生産管理上、ウェーハ上に記載されて
いる識別文字を用いて各製造工程ごとに当該識別文字の
認識を行い、これらの各工程に対応する処理条件の設定
等に対応して使用されている。このウェーハ管理におい
て使用されている装置は、ウェーハ上に識別文字を記載
するウェーハマーキング装置と、識別文字の認識を行う
ウェーハ識別文字認識装置とにより、ウェーハ識別文字
認識システムとしてシステム化されている。
【０００３】上記の従来のウェーハ識別文字認識システ
ムに含まれるウェ−ハマーキング装置の構成を示すブロ
ック図が図３に示される。図３に示されるように、本従
来例のウェ−ハマーキング装置は、主制御装置４１と、
マーキング制御部４２と、標準文字パターン記憶部４３
と、マーキング光学部４４とを備えて構成される。図４
において、主制御装置４１より出力されるマーキング対
象のウェ−ハ識別文字情報４０１はマーキング制御部４
２に入力される。マーキング制御部４２においては、当
該ウェ−ハ識別文字情報４０１に適合する標準文字パタ
ーンに対する読出し信号３０２が標準文字パターン記憶
部３４に送られて、これを受けて、標準文字パターン記
憶部３４からは、ウェーハ識別文字情報４０１に適合す
る文字パターン３０３が読出されてマーキング制御部３
３に入力される。マーキング制御部３３からは、この文
字パターン３０３を指定する信号が出力されてマーキン
グ光学部３８に入力され、これを受けて、マーキング光
学部３８において、半導体装置に対するウェ−ハ識別文
字のマーキングが行われる。
ムに含まれるウェ−ハマーキング装置の構成を示すブロ
ック図が図３に示される。図３に示されるように、本従
来例のウェ−ハマーキング装置は、主制御装置４１と、
マーキング制御部４２と、標準文字パターン記憶部４３
と、マーキング光学部４４とを備えて構成される。図４
において、主制御装置４１より出力されるマーキング対
象のウェ−ハ識別文字情報４０１はマーキング制御部４
２に入力される。マーキング制御部４２においては、当
該ウェ−ハ識別文字情報４０１に適合する標準文字パタ
ーンに対する読出し信号３０２が標準文字パターン記憶
部３４に送られて、これを受けて、標準文字パターン記
憶部３４からは、ウェーハ識別文字情報４０１に適合す
る文字パターン３０３が読出されてマーキング制御部３
３に入力される。マーキング制御部３３からは、この文
字パターン３０３を指定する信号が出力されてマーキン
グ光学部３８に入力され、これを受けて、マーキング光
学部３８において、半導体装置に対するウェ−ハ識別文
字のマーキングが行われる。
【０００４】次に、前記従来のウェーハ識別文字認識シ
ステムに含まれるウェーハ識別文字認識装置について説
明する。図４は、当該ウェーハ識別文字認識装置の構成
を示すブロック図である。図４に示されるように、本従
来例のウェーハ識別文字認識装置は、画像取込み部５１
と、画像データ変換器５２と、画像メモリー５３と、標
準文字パターン記憶部５４と、比較演算部５５と、結果
文字出力部５６と、主制御装置５７とを備えて構成され
る。図４において、対象とする半導体装置のウェ−ハ上
の識別文字は画像取込み部５１により読取られて、当該
ウェ−ハ識別文字に対応する画像信号５０１が生成され
て出力され、画像データ変換器５２に入力される。画像
データ変換器５２においては、画像信号５０１が所定の
デジタル画像信号にデータ変換されて出力され、画像メ
モリー５３に入力されて格納される。比較演算部５５に
おいては、画像メモリー５３より出力される前記画像信
号に対応するウェ−ハ識別文字パターンと、標準文字パ
ターン記憶部５４に格納されている標準文字パターンと
が比較照合されて、両文字パターンの一致・不一致が検
出される。比較演算部５５において両文字パターンが一
致した場合には、当該一致した文字パターンが結果文字
出力部５６に入力され、当該文字パターンが、ウェーハ
識別文字認識装置の認識結果によるウェ−ハ識別文字と
して、結果文字出力部５６より出力されて主制御装置５
７に入力される。
ステムに含まれるウェーハ識別文字認識装置について説
明する。図４は、当該ウェーハ識別文字認識装置の構成
を示すブロック図である。図４に示されるように、本従
来例のウェーハ識別文字認識装置は、画像取込み部５１
と、画像データ変換器５２と、画像メモリー５３と、標
準文字パターン記憶部５４と、比較演算部５５と、結果
文字出力部５６と、主制御装置５７とを備えて構成され
る。図４において、対象とする半導体装置のウェ−ハ上
の識別文字は画像取込み部５１により読取られて、当該
ウェ−ハ識別文字に対応する画像信号５０１が生成され
て出力され、画像データ変換器５２に入力される。画像
データ変換器５２においては、画像信号５０１が所定の
デジタル画像信号にデータ変換されて出力され、画像メ
モリー５３に入力されて格納される。比較演算部５５に
おいては、画像メモリー５３より出力される前記画像信
号に対応するウェ−ハ識別文字パターンと、標準文字パ
ターン記憶部５４に格納されている標準文字パターンと
が比較照合されて、両文字パターンの一致・不一致が検
出される。比較演算部５５において両文字パターンが一
致した場合には、当該一致した文字パターンが結果文字
出力部５６に入力され、当該文字パターンが、ウェーハ
識別文字認識装置の認識結果によるウェ−ハ識別文字と
して、結果文字出力部５６より出力されて主制御装置５
７に入力される。
【０００５】上記のように、従来のウェ−ハ識別文字認
識システムにおいては、当該システムに含まれるウェ−
ハマーキング装置とウェーハ識別文字認識装置におい
て、それぞれ予め決められている標準パターンが保有さ
れており、この標準パターンに基づいてウェ−ハ識別文
字のマーキングおよび識別が行われている。
識システムにおいては、当該システムに含まれるウェ−
ハマーキング装置とウェーハ識別文字認識装置におい
て、それぞれ予め決められている標準パターンが保有さ
れており、この標準パターンに基づいてウェ−ハ識別文
字のマーキングおよび識別が行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェ−
ハ識別文字認識システムによる場合には、半導体装置の
製造工程が進むにつれて、ウェ−ハ上に種々の薄膜を成
長させたりエッチングを繰返すことにより、ウェ−ハ上
の識別文字に形状変化が生じる。そのために、後工程に
進むにつれて、ウェ−ハ識別文字認識が困難になるとい
う欠点がある。
ハ識別文字認識システムによる場合には、半導体装置の
製造工程が進むにつれて、ウェ−ハ上に種々の薄膜を成
長させたりエッチングを繰返すことにより、ウェ−ハ上
の識別文字に形状変化が生じる。そのために、後工程に
進むにつれて、ウェ−ハ識別文字認識が困難になるとい
う欠点がある。
【０００７】更に、文字認識に使用されるアルゴリズム
が何であれ、下地のウェ−ハ上に疵および汚れなどがあ
った場合、またはウェ−ハにマーキングを行うレーザー
マーカーのレーザー出力の変動による識別文字のかす
れ、欠落などが発生すると、後工程において、識別文字
の認識が困難になるという欠点があり、また、ウェ−ハ
マーキング装置を複数台用いる場合には、これらの装置
間における機能差異がウェ−ハ識別文字認識の妨げにな
る場合があるという欠点がある。
が何であれ、下地のウェ−ハ上に疵および汚れなどがあ
った場合、またはウェ−ハにマーキングを行うレーザー
マーカーのレーザー出力の変動による識別文字のかす
れ、欠落などが発生すると、後工程において、識別文字
の認識が困難になるという欠点があり、また、ウェ−ハ
マーキング装置を複数台用いる場合には、これらの装置
間における機能差異がウェ−ハ識別文字認識の妨げにな
る場合があるという欠点がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ識別文
字認識システムは、半導体装置のウェーハ上に識別文字
を記載するウェーハマーキング装置と、当該識別文字の
認識を行うウェーハ識別文字認識装置により形成される
ウェーハ識別文字認識システムにおいて、前記ウェーハ
マーキング装置は、前記ウェーハ上に所定の識別文字を
書込むマーキング手段と、前記マーキング手段により前
記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報
を取込み、且つ当該識別文字パターン情報を記憶保持す
る第１のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第
１のマーキングパターン取込み記憶手段に保持されてい
る識別文字パターン情報を外部に出力するパターン出力
手段と、前記マーキング手段および前記第１のマーキン
グパターン取込み記憶手段に関連する動作機能を制御す
る第１の制御手段とを少なくとも備えて構成し、前記ウ
ェーハ識別文字認識装置は、前記パターン出力手段より
送られてくる前記識別文字パターン情報を入力するパタ
ーン入力手段と、前記パターン入力手段より出力される
前記識別文字パターン情報を入力して記憶保持する識別
文字パターン記憶手段と、前記マーキング手段により前
記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報
を取込み、当該識別文字パターン情報を格納保持する第
２のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第１の
マーキングパターン取込み記憶手段より出力される識別
文字パターン情報と、前記第２のマーキングパターン取
込み記憶手段より出力される識別文字パターン情報とを
参照して、前記マーキング手段により書込まれた識別文
字に対する認識結果として得られる識別文字情報を出力
する識別文字パターン認識手段と、前記識別文字パター
ン記憶手段、前記第２のマーキングパターン取込み記憶
手段および前記識別文字パターン認識手段に関連する動
作機能を制御する第２の制御手段とを少なくとも備えて
構成して、前記識別文字パターン認識手段より出力され
る識別文字情報を、次工程における参照用マーキングパ
ターンとして記憶保持することを特徴としている。
字認識システムは、半導体装置のウェーハ上に識別文字
を記載するウェーハマーキング装置と、当該識別文字の
認識を行うウェーハ識別文字認識装置により形成される
ウェーハ識別文字認識システムにおいて、前記ウェーハ
マーキング装置は、前記ウェーハ上に所定の識別文字を
書込むマーキング手段と、前記マーキング手段により前
記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報
を取込み、且つ当該識別文字パターン情報を記憶保持す
る第１のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第
１のマーキングパターン取込み記憶手段に保持されてい
る識別文字パターン情報を外部に出力するパターン出力
手段と、前記マーキング手段および前記第１のマーキン
グパターン取込み記憶手段に関連する動作機能を制御す
る第１の制御手段とを少なくとも備えて構成し、前記ウ
ェーハ識別文字認識装置は、前記パターン出力手段より
送られてくる前記識別文字パターン情報を入力するパタ
ーン入力手段と、前記パターン入力手段より出力される
前記識別文字パターン情報を入力して記憶保持する識別
文字パターン記憶手段と、前記マーキング手段により前
記ウェーハ上にマーキングされた識別文字パターン情報
を取込み、当該識別文字パターン情報を格納保持する第
２のマーキングパターン取込み記憶手段と、前記第１の
マーキングパターン取込み記憶手段より出力される識別
文字パターン情報と、前記第２のマーキングパターン取
込み記憶手段より出力される識別文字パターン情報とを
参照して、前記マーキング手段により書込まれた識別文
字に対する認識結果として得られる識別文字情報を出力
する識別文字パターン認識手段と、前記識別文字パター
ン記憶手段、前記第２のマーキングパターン取込み記憶
手段および前記識別文字パターン認識手段に関連する動
作機能を制御する第２の制御手段とを少なくとも備えて
構成して、前記識別文字パターン認識手段より出力され
る識別文字情報を、次工程における参照用マーキングパ
ターンとして記憶保持することを特徴としている。
【０００９】なお、前記マーキング手段は、ウェーハ識
別文字として標準的な文字パターンが収納されている標
準文字パターン記憶部と、前記第１の制御手段より出力
されるマーキング対象の識別文字情報を受けて、当該識
別文字情報に適合する標準文字パターンを前記標準文字
パターン記憶部より読出して、ウェーハ識別文字パター
ンを指定制御するマーキング制御部と、前記マーキング
制御部の制御作用を介して、光学的手法によりウェーハ
上に前記マーキング対象の識別文字をマーキングするマ
ーキング光学部とを備えて構成し、前記第１のマーキン
グパターン取込み記憶手段は、前記第１の制御手段の制
御作用を介して前記マーキング光学部によりウェーハ上
にマーキングされた識別文字を光学的手法により取込
み、画像信号として出力する第１の画像取込み部と、前
記第１の画像取込み部より入力される画像信号を記憶保
持し、前記第１の制御手段の制御作用を介して、当該画
像信号を識別文字パターン情報として前記パターン出力
手段に出力する画像記憶部とを備えて構成してもよく、
また前記第２のマーキングパターン取込み記憶手段は、
前記第２の制御手段の制御作用を介して前記マーキング
光学部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を
光学的手法により取込み、画像信号として出力する第２
の画像取込み部と、前記第２の画像取込み部より入力さ
れる画像信号をデータ変換して出力する画像データ変換
器と、前記画像データ変換器より入力される画像信号を
記憶保持し、前記第２の制御手段の制御作用を介して、
当該画像信号を識別文字パターン情報として出力する画
像メモリーとを備えて構成し、前記識別文字パターン認
識手段は、前記第２の制御手段の制御作用を介して、前
記識別文字パターン記憶手段より出力される識別文字パ
ターン情報と、前記画像メモリーより出力される識別文
字パターン情報とを比較照合して両パターン情報の一致
を検出し、当該識別文字の認識判定を行う比較演算部
と、前記比較演算部より認識結果として出力される識別
文字情報を受けて、当該識別文字情報を前記第２の制御
手段に出力する結果文字出力部とを備えて構成してもよ
い。
別文字として標準的な文字パターンが収納されている標
準文字パターン記憶部と、前記第１の制御手段より出力
されるマーキング対象の識別文字情報を受けて、当該識
別文字情報に適合する標準文字パターンを前記標準文字
パターン記憶部より読出して、ウェーハ識別文字パター
ンを指定制御するマーキング制御部と、前記マーキング
制御部の制御作用を介して、光学的手法によりウェーハ
上に前記マーキング対象の識別文字をマーキングするマ
ーキング光学部とを備えて構成し、前記第１のマーキン
グパターン取込み記憶手段は、前記第１の制御手段の制
御作用を介して前記マーキング光学部によりウェーハ上
にマーキングされた識別文字を光学的手法により取込
み、画像信号として出力する第１の画像取込み部と、前
記第１の画像取込み部より入力される画像信号を記憶保
持し、前記第１の制御手段の制御作用を介して、当該画
像信号を識別文字パターン情報として前記パターン出力
手段に出力する画像記憶部とを備えて構成してもよく、
また前記第２のマーキングパターン取込み記憶手段は、
前記第２の制御手段の制御作用を介して前記マーキング
光学部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を
光学的手法により取込み、画像信号として出力する第２
の画像取込み部と、前記第２の画像取込み部より入力さ
れる画像信号をデータ変換して出力する画像データ変換
器と、前記画像データ変換器より入力される画像信号を
記憶保持し、前記第２の制御手段の制御作用を介して、
当該画像信号を識別文字パターン情報として出力する画
像メモリーとを備えて構成し、前記識別文字パターン認
識手段は、前記第２の制御手段の制御作用を介して、前
記識別文字パターン記憶手段より出力される識別文字パ
ターン情報と、前記画像メモリーより出力される識別文
字パターン情報とを比較照合して両パターン情報の一致
を検出し、当該識別文字の認識判定を行う比較演算部
と、前記比較演算部より認識結果として出力される識別
文字情報を受けて、当該識別文字情報を前記第２の制御
手段に出力する結果文字出力部とを備えて構成してもよ
い。
【００１０】更にまた、他の構成としては、前記マーキ
ング手段は、ウェーハ識別文字として標準的な文字パタ
ーンが収納されている標準文字パターン記憶部と、前記
第１の制御手段より出力されるマーキング対象の識別文
字情報を受けて、当該識別文字情報に適合する標準文字
パターンを前記標準文字パターン記憶部より読出して、
ウェーハ識別文字パターンを指定制御するマーキング制
御部と、前記マーキング制御部の制御作用を介して、光
学的手法によりウェーハ上に前記マーキング対象の識別
文字をマーキングするマーキング光学部とを備えて構成
し、前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段は、
前記第１の制御手段の制御作用を介して前記マーキング
光学部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を
光学的手法により取込み、画像信号として出力する第１
の画像取込み部と、前記第１の画像取込み部より入力さ
れる画像信号の品質を検査し、所定の品質レベル以上の
画像信号のみを選択して出力する画像判定部と、前記画
像判定部より入力される画像信号を記憶保持し、前記第
１の制御手段の制御作用を介して、当該画像信号を識別
文字パターン情報として前記パターン出力手段に出力す
る画像記憶部とを備えて構成してもよく、また前記第２
のマーキングパターン取込み記憶手段は、前記第２の制
御手段の制御作用を介して前記マーキング光学部により
ウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学的手法に
より取込み、画像信号として出力する第２の画像取込み
部と、前記第２の画像取込み部より入力される画像信号
をデータ変換して出力する画像データ変換器と、前記画
像データ変換器より入力される画像信号を記憶保持し、
前記第２の制御手段の制御作用を介して、当該画像信号
を識別文字パターン情報として出力する画像メモリーと
を備えて構成して、前記識別文字パターン認識手段は、
前記第２の制御手段の制御作用を介して、前記識別文字
パターン記憶手段より出力される識別文字パターン情報
と、前記画像メモリーより出力される識別文字パターン
情報とを比較照合して両パターン情報の一致を検出し、
当該識別文字の認識判定を行う比較演算部と、前記比較
演算部より認識結果として出力される識別文字情報を受
けて、当該識別文字情報を前記第２の制御手段に出力す
る結果文字出力部とを備えて構成してもよい。
ング手段は、ウェーハ識別文字として標準的な文字パタ
ーンが収納されている標準文字パターン記憶部と、前記
第１の制御手段より出力されるマーキング対象の識別文
字情報を受けて、当該識別文字情報に適合する標準文字
パターンを前記標準文字パターン記憶部より読出して、
ウェーハ識別文字パターンを指定制御するマーキング制
御部と、前記マーキング制御部の制御作用を介して、光
学的手法によりウェーハ上に前記マーキング対象の識別
文字をマーキングするマーキング光学部とを備えて構成
し、前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段は、
前記第１の制御手段の制御作用を介して前記マーキング
光学部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を
光学的手法により取込み、画像信号として出力する第１
の画像取込み部と、前記第１の画像取込み部より入力さ
れる画像信号の品質を検査し、所定の品質レベル以上の
画像信号のみを選択して出力する画像判定部と、前記画
像判定部より入力される画像信号を記憶保持し、前記第
１の制御手段の制御作用を介して、当該画像信号を識別
文字パターン情報として前記パターン出力手段に出力す
る画像記憶部とを備えて構成してもよく、また前記第２
のマーキングパターン取込み記憶手段は、前記第２の制
御手段の制御作用を介して前記マーキング光学部により
ウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学的手法に
より取込み、画像信号として出力する第２の画像取込み
部と、前記第２の画像取込み部より入力される画像信号
をデータ変換して出力する画像データ変換器と、前記画
像データ変換器より入力される画像信号を記憶保持し、
前記第２の制御手段の制御作用を介して、当該画像信号
を識別文字パターン情報として出力する画像メモリーと
を備えて構成して、前記識別文字パターン認識手段は、
前記第２の制御手段の制御作用を介して、前記識別文字
パターン記憶手段より出力される識別文字パターン情報
と、前記画像メモリーより出力される識別文字パターン
情報とを比較照合して両パターン情報の一致を検出し、
当該識別文字の認識判定を行う比較演算部と、前記比較
演算部より認識結果として出力される識別文字情報を受
けて、当該識別文字情報を前記第２の制御手段に出力す
る結果文字出力部とを備えて構成してもよい。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１は、それぞれ本発明の第１の実施例を
形成するウェ−ハマーキング装置およびウェハー識別文
字認識装置の構成を示すブロック図である。図１に示さ
れるように、本実施例に含まれるウェーハマーキング装
置は、主制御装置１１と、画像取込み部１２と、マーキ
ング制御部１３と、標準文字パターン記憶部１４と、画
像記憶装置１５と、外部インターフェース１６と、マー
キング光学部１７とを備えて構成されており、またウェ
ーハ識別文字認識装置は、画像取込り部２１と、画像デ
ータ変換器２２と、画像メモリー２３と、外部インター
フェース２４と、取込み文字パターン記憶部２５と、比
較演算部２６と、結果文字出力部２７と、主制御装置２
８とを備えて構成される。
形成するウェ−ハマーキング装置およびウェハー識別文
字認識装置の構成を示すブロック図である。図１に示さ
れるように、本実施例に含まれるウェーハマーキング装
置は、主制御装置１１と、画像取込み部１２と、マーキ
ング制御部１３と、標準文字パターン記憶部１４と、画
像記憶装置１５と、外部インターフェース１６と、マー
キング光学部１７とを備えて構成されており、またウェ
ーハ識別文字認識装置は、画像取込り部２１と、画像デ
ータ変換器２２と、画像メモリー２３と、外部インター
フェース２４と、取込み文字パターン記憶部２５と、比
較演算部２６と、結果文字出力部２７と、主制御装置２
８とを備えて構成される。
【００１３】図１において、主制御装置１１より出力さ
れるマーキング対象の文字情報１０１はマーキング制御
部１２に入力される。マーキング制御部１２において
は、当該文字情報１０１に適合する標準文字パターンに
対する読出し信号１０２が標準文字パターン記憶部１４
に送られて、これを受けて、標準文字パターン記憶部１
４からは、文字情報１０１に適合する標準文字パターン
１０３が読出されてマーキング制御部１３に入力され
る。これを受けて、マーキング制御部１３からは、この
標準文字パターン１０３を指定する信号が出力されてマ
ーキング光学部１８に入力され、これを受けて、マーキ
ング光学部１８において、半導体装置に対するウェーハ
識別文字のマーキングが行われる。次いで、画像取込み
部１２においては、主制御装置１１からの制御信号を介
して、マーキング光学部１８によりマーキングされたウ
ェーハ識別文字がカメラを介して取込まれ、当該ウェー
ハ識別文字を示す画像信号が生成されて画像記憶装置１
５に送られて格納される。この画像取込み部１２におい
て取込まれて画像記録装置１５に入力される画像信号に
は、当然のことながら、各ウェーハマーキング装置に固
有のかすれ、欠落などの当該ウェーハマーキング装置の
標準パターンとは異なる情報が含まれている。従って、
ウェーハ識別文字情報に前記かすれ、欠落などが含まれ
る画像信号が、ウェーハ識別文字情報とともに外部イン
ターフェース１６に入力され、当該外部インターフェー
ス１６を介して出力される画像信号１０４は、前記ウェ
ハー識別文字認識装置に含まれる外部インターフェース
２４に送られる。
れるマーキング対象の文字情報１０１はマーキング制御
部１２に入力される。マーキング制御部１２において
は、当該文字情報１０１に適合する標準文字パターンに
対する読出し信号１０２が標準文字パターン記憶部１４
に送られて、これを受けて、標準文字パターン記憶部１
４からは、文字情報１０１に適合する標準文字パターン
１０３が読出されてマーキング制御部１３に入力され
る。これを受けて、マーキング制御部１３からは、この
標準文字パターン１０３を指定する信号が出力されてマ
ーキング光学部１８に入力され、これを受けて、マーキ
ング光学部１８において、半導体装置に対するウェーハ
識別文字のマーキングが行われる。次いで、画像取込み
部１２においては、主制御装置１１からの制御信号を介
して、マーキング光学部１８によりマーキングされたウ
ェーハ識別文字がカメラを介して取込まれ、当該ウェー
ハ識別文字を示す画像信号が生成されて画像記憶装置１
５に送られて格納される。この画像取込み部１２におい
て取込まれて画像記録装置１５に入力される画像信号に
は、当然のことながら、各ウェーハマーキング装置に固
有のかすれ、欠落などの当該ウェーハマーキング装置の
標準パターンとは異なる情報が含まれている。従って、
ウェーハ識別文字情報に前記かすれ、欠落などが含まれ
る画像信号が、ウェーハ識別文字情報とともに外部イン
ターフェース１６に入力され、当該外部インターフェー
ス１６を介して出力される画像信号１０４は、前記ウェ
ハー識別文字認識装置に含まれる外部インターフェース
２４に送られる。
【００１４】また、図１に示されるウェーハ識別文字認
識装置においては、ウェーハマーキング装置の外部イン
ターフェース１６より送られてくる画像信号１０４は外
部インターフェース２４に入力され、当該外部インター
フェース１６を介して、文字情報２０２として取込み文
字パターン記憶部２５に入力されて格納される。このウ
ェーハ識別文字認識装置においてウェーハ識別文字認識
を行う際には、対象とする半導体装置のウェーハ上の識
別文字が画像取込み部２１により読取られて、当該ウェ
ーハ識別文字に対応する画像信号２０１が生成されて出
力され、画像データ変換器２２に入力される。画像デー
タ変換器２２においては、画像信号２０１が所定のデジ
タル画像信号にデータ変換されて出力され、画像メモリ
ー２３に入力されて格納される。比較演算部２５におい
ては、画像メモリー２３より出力される前記画像信号に
対応するウェハー識別文字パターンと、取込み文字パタ
ーン記憶部２５に格納されている前記文字情報２０２に
対応する識別文字パターンとが比較照合されて、両文字
パターンの一致・不一致が検出される。比較演算部２６
において両文字パターンが一致した場合には、当該一致
した文字パターンが結果文字出力部２７に入力され、当
該文字パターンが、ウェーハ識別文字認識装置の認識結
果によるウェーハ識別文字パターンとして、結果文字出
力部２７より出力されて主制御装置２８に入力される。
また、次工程以後においては、ウェーハ識別文字認識装
置における読込み部分から出力される画像パターンが従
来パターンに対して置換され、次工程における参照用画
像パターンとして格納保持される。
識装置においては、ウェーハマーキング装置の外部イン
ターフェース１６より送られてくる画像信号１０４は外
部インターフェース２４に入力され、当該外部インター
フェース１６を介して、文字情報２０２として取込み文
字パターン記憶部２５に入力されて格納される。このウ
ェーハ識別文字認識装置においてウェーハ識別文字認識
を行う際には、対象とする半導体装置のウェーハ上の識
別文字が画像取込み部２１により読取られて、当該ウェ
ーハ識別文字に対応する画像信号２０１が生成されて出
力され、画像データ変換器２２に入力される。画像デー
タ変換器２２においては、画像信号２０１が所定のデジ
タル画像信号にデータ変換されて出力され、画像メモリ
ー２３に入力されて格納される。比較演算部２５におい
ては、画像メモリー２３より出力される前記画像信号に
対応するウェハー識別文字パターンと、取込み文字パタ
ーン記憶部２５に格納されている前記文字情報２０２に
対応する識別文字パターンとが比較照合されて、両文字
パターンの一致・不一致が検出される。比較演算部２６
において両文字パターンが一致した場合には、当該一致
した文字パターンが結果文字出力部２７に入力され、当
該文字パターンが、ウェーハ識別文字認識装置の認識結
果によるウェーハ識別文字パターンとして、結果文字出
力部２７より出力されて主制御装置２８に入力される。
また、次工程以後においては、ウェーハ識別文字認識装
置における読込み部分から出力される画像パターンが従
来パターンに対して置換され、次工程における参照用画
像パターンとして格納保持される。
【００１５】図２は、本発明の第２の実施例に含まれる
ウェーハマーキング装置の構成を示すブロック図であ
る。なお、本実施例におけるウェーハ識別文字認識装置
の構成ならびに動作は、図１に示される第１の実施例の
ウェハー識別文字認識装置と同一である。図２に示され
るように、本実施例に含まれるウェーハマーキング装置
は、主制御装置３１と、画像取込み部３２と、マーキン
グ制御部３３と、標準文字パターン記憶部３４と、画像
判定部３５と、画像記憶装置３６と、外部インターフェ
ース３７と、マーキング光学部３８とを備えて構成され
る。
ウェーハマーキング装置の構成を示すブロック図であ
る。なお、本実施例におけるウェーハ識別文字認識装置
の構成ならびに動作は、図１に示される第１の実施例の
ウェハー識別文字認識装置と同一である。図２に示され
るように、本実施例に含まれるウェーハマーキング装置
は、主制御装置３１と、画像取込み部３２と、マーキン
グ制御部３３と、標準文字パターン記憶部３４と、画像
判定部３５と、画像記憶装置３６と、外部インターフェ
ース３７と、マーキング光学部３８とを備えて構成され
る。
【００１６】図２において、主制御装置３１より出力さ
れるマーキング対象の文字情報３０１はマーキング制御
部３３に入力される。マーキング制御部３３において
は、当該文字情報３０１に適合する文字パターンに対す
る読出し信号３０２が標準文字パターン記憶部３４に送
られて、これを受けて、標準文字パターン記憶部３４か
らは、文字情報３０１に適合する文字パターン３０３が
読出されてマーキング制御部３３に入力される。これを
受けて、マーキング制御部３３からは、この標準文字パ
ターン３０３を指定する信号が出力されてマーキング光
学部３８に入力され、これを受けて、マーキング光学部
３８において、半導体装置に対するウェーハ識別文字の
マーキングが行われる。次いで、画像取込み部３２にお
いては、主制御装置３１から入力される制御信号を介し
て、マーキングされたウェハー識別文字が、マーキング
光学部３８においてカメラにより取込まれ、当該ウェー
ハ識別文字パターンを示す画像信号が生成されて画像判
定部３５に入力される。画像判定部３５においては、入
力される画像信号が検査されてその品質が判定され、所
定の品質以上の画像信号に限って当該画像信号が画像記
憶装置３６に入力されて格納される。そして、前記ウェ
ーハ識別文字認識装置においてウェーハ識別文字認識を
行う際には、画像記憶装置３６に格納されている画像信
号は、外部インターフェース３７を介して画像信号３０
４として出力され、前記ウェーハ識別文字認識装置に含
まれる外部インターフェース２４に送られる。このウェ
ーハ識別文字認識装置における識別文字認識動作につい
ては、既に第１の実施例において説明したとうりであ
り、その説明は省略する。
れるマーキング対象の文字情報３０１はマーキング制御
部３３に入力される。マーキング制御部３３において
は、当該文字情報３０１に適合する文字パターンに対す
る読出し信号３０２が標準文字パターン記憶部３４に送
られて、これを受けて、標準文字パターン記憶部３４か
らは、文字情報３０１に適合する文字パターン３０３が
読出されてマーキング制御部３３に入力される。これを
受けて、マーキング制御部３３からは、この標準文字パ
ターン３０３を指定する信号が出力されてマーキング光
学部３８に入力され、これを受けて、マーキング光学部
３８において、半導体装置に対するウェーハ識別文字の
マーキングが行われる。次いで、画像取込み部３２にお
いては、主制御装置３１から入力される制御信号を介し
て、マーキングされたウェハー識別文字が、マーキング
光学部３８においてカメラにより取込まれ、当該ウェー
ハ識別文字パターンを示す画像信号が生成されて画像判
定部３５に入力される。画像判定部３５においては、入
力される画像信号が検査されてその品質が判定され、所
定の品質以上の画像信号に限って当該画像信号が画像記
憶装置３６に入力されて格納される。そして、前記ウェ
ーハ識別文字認識装置においてウェーハ識別文字認識を
行う際には、画像記憶装置３６に格納されている画像信
号は、外部インターフェース３７を介して画像信号３０
４として出力され、前記ウェーハ識別文字認識装置に含
まれる外部インターフェース２４に送られる。このウェ
ーハ識別文字認識装置における識別文字認識動作につい
ては、既に第１の実施例において説明したとうりであ
り、その説明は省略する。
【００１７】なお、本実施例においては、ウェーハマー
キング装置における画像記憶装置に対しては、画像判定
部３５により品質判定された画像信号のみが格納される
ように機能構成されているために、当該画像記憶装置の
メモリ容量が、相対的に第１の実施例の場合よりも小容
量で済み、なお且つ、これに伴ないウェーハ識別文字認
識装置における比較演算部５５における両パターンの比
較照合に要する時間が短縮されるという利点がある。
キング装置における画像記憶装置に対しては、画像判定
部３５により品質判定された画像信号のみが格納される
ように機能構成されているために、当該画像記憶装置の
メモリ容量が、相対的に第１の実施例の場合よりも小容
量で済み、なお且つ、これに伴ないウェーハ識別文字認
識装置における比較演算部５５における両パターンの比
較照合に要する時間が短縮されるという利点がある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、前工程
において読込まれた画像信号を、次工程における標準パ
ターンとして用いることにより、工程の進行に伴ない発
生するウェーハ識別文字の形状変化による認識率の低
下、ウェーハ上のキズまたは汚れ、レーザーマーカーの
変動による識別文字のかすれ、欠落による認識率の低下
およびウェーハマーキング装置の装置間の差異による認
識率の低下を防止することができるという効果がある。
において読込まれた画像信号を、次工程における標準パ
ターンとして用いることにより、工程の進行に伴ない発
生するウェーハ識別文字の形状変化による認識率の低
下、ウェーハ上のキズまたは汚れ、レーザーマーカーの
変動による識別文字のかすれ、欠落による認識率の低下
およびウェーハマーキング装置の装置間の差異による認
識率の低下を防止することができるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例に含まれるウェーハマー
キング装置およびウェーハ識別文字認識装置の構成を示
すブロック図である。
キング装置およびウェーハ識別文字認識装置の構成を示
すブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施例に含まれるウェーハマー
キング装置の構成を示すブロック図である。
キング装置の構成を示すブロック図である。
【図３】従来例に含まれるウェーハマーキング装置の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図４】従来例に含まれるウェーハ識別文字認識装置の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
１１、２８、３１、４１、５７ 主制御装置 １２、２１、３２、５１ 画像取込み部 １３、３３、４２ マーキング制御部 １４、３４、４３、５４ 標準文字パターン記憶部 １５、３６ 画像記憶装置 １６、２４、３７ 外部インターフェース １７、３８、４４ マーキング光学部 ２２、５２ 画像データ変換器 ２３、５３ 画像メモリー ２５ 取込み文字パターン記憶部 ２６、５５ 比較演算部 ２７、５６ 結果文字出力部 ３５ 画像判定部
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体装置のウェーハ上に識別文字を記
載するウェーハマーキング装置と、当該識別文字の認識
を行うウェーハ識別文字認識装置により形成されるウェ
ーハ識別文字認識システムにおいて、 前記ウェーハマーキング装置が、前記ウェーハ上に所定
の識別文字を書込むマーキング手段と、 前記マーキング手段により前記ウェーハ上にマーキング
された識別文字パターン情報を取込み、且つ当該識別文
字パターン情報を記憶保持する第１のマーキングパター
ン取込み記憶手段と、 前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段に保持さ
れている識別文字パターン情報を外部に出力するパター
ン出力手段と、 前記マーキング手段および前記第１のマーキングパター
ン取込み記憶手段に関連する動作機能を制御する第１の
制御手段と、 を少なくとも備えて構成され、 前記ウェーハ識別文字認識装置が、前記パターン出力手
段より送られてくる前記識別文字パターン情報を入力す
るパターン入力手段と、 前記パターン入力手段より出力される前記識別文字パタ
ーン情報を入力して記憶保持する識別文字パターン記憶
手段と、 前記マーキング手段により前記ウェーハ上にマーキング
された識別文字パターン情報を取込み、当該識別文字パ
ターン情報を格納保持する第２のマーキングパターン取
込み記憶手段と、 前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段より出力
される識別文字パターン情報と、前記第２のマーキング
パターン取込み記憶手段より出力される識別文字パター
ン情報とを参照して、前記マーキング手段により書込ま
れた識別文字に対する認識結果として得られる識別文字
情報を出力する識別文字パターン認識手段と、 前記識別文字パターン記憶手段、前記第２のマーキング
パターン取込み記憶手段および前記識別文字パターン認
識手段に関連する動作機能を制御する第２の制御手段
と、 を少なくとも備えて構成され、前記識別文字パターン認
識手段より出力される識別文字情報を、次工程における
参照用マーキングパターンとして記憶保持することを特
徴とするウェーハ識別文字認識システム。 - 【請求項２】 前記マーキング手段が、ウェーハ識別文
字として標準的な文字パターンが収納されている標準文
字パターン記憶部と、 前記第１の制御手段より出力されるマーキング対象の識
別文字情報を受けて、当該識別文字情報に適合する標準
文字パターンを前記標準文字パターン記憶部より読出し
て、ウェーハ識別文字パターンを指定制御するマーキン
グ制御部と、 前記マーキング制御部の制御作用を介して、光学的手法
によりウェーハ上に前記マーキング対象の識別文字をマ
ーキングするマーキング光学部と、 を備えて構成され、 前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段が、前記
第１の制御手段の制御作用を介して前記マーキング光学
部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学
的手法により取込み、画像信号として出力する第１の画
像取込み部と、 前記第１の画像取込み部より入力される画像信号を記憶
保持し、前記第１の制御手段の制御作用を介して、当該
画像信号を識別文字パターン情報として前記パターン出
力手段に出力する画像記憶部と、 を備えて構成され、 前記第２のマーキングパターン取込み記憶手段が、前記
第２の制御手段の制御作用を介して前記マーキング光学
部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学
的手法により取込み、画像信号として出力する第２の画
像取込み部と、 前記第２の画像取込み部より入力される画像信号をデー
タ変換して出力する画像データ変換器と、 前記画像データ変換器より入力される画像信号を記憶保
持し、前記第２の制御手段の制御作用を介して、当該画
像信号を識別文字パターン情報として出力する画像メモ
リーと、 を備えて構成されて、 前記識別文字パターン認識手段が、前記第２の制御手段
の制御作用を介して、前記識別文字パターン記憶手段よ
り出力される識別文字パターン情報と、前記画像メモリ
ーより出力される識別文字パターン情報とを比較照合し
て両パターン情報の一致を検出し、当該識別文字の認識
判定を行う比較演算部と、 前記比較演算部より認識結果として出力される識別文字
情報を受けて、当該識別文字情報を前記第２の制御手段
に出力する結果文字出力部と、 を備えて構成される請求項１記載のウェーハ識別文字認
識システム。 - 【請求項３】 前記マーキング手段が、ウェーハ識別文
字として標準的な文字パターンが収納されている標準文
字パターン記憶部と、 前記第１の制御手段より出力されるマーキング対象の識
別文字情報を受けて、当該識別文字情報に適合する標準
文字パターンを前記標準文字パターン記憶部より読出し
て、ウェーハ識別文字パターンを指定制御するマーキン
グ制御部と、 前記マーキング制御部の制御作用を介して、光学的手法
によりウェーハ上に前記マーキング対象の識別文字をマ
ーキングするマーキング光学部と、 を備えて構成され、 前記第１のマーキングパターン取込み記憶手段が、前記
第１の制御手段の制御作用を介して前記マーキング光学
部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学
的手法により取込み、画像信号として出力する第１の画
像取込み部と、 前記第１の画像取込み部より入力される画像信号の品質
を検査し、所定の品質レベル以上の画像信号のみを選択
して出力する画像判定部と、 前記画像判定部より入力される画像信号を記憶保持し、
前記第１の制御手段の制御作用を介して、当該画像信号
を識別文字パターン情報として前記パターン出力手段に
出力する画像記憶部と、 を備えて構成され、 前記第２のマーキングパターン取込み記憶手段が、前記
第２の制御手段の制御作用を介して前記マーキング光学
部によりウェーハ上にマーキングされた識別文字を光学
的手法により取込み、画像信号として出力する第２の画
像取込み部と、 前記第２の画像取込み部より入力される画像信号をデー
タ変換して出力する画像データ変換器と、 前記画像データ変換器より入力される画像信号を記憶保
持し、前記第２の制御手段の制御作用を介して、当該画
像信号を識別文字パターン情報として出力する画像メモ
リーと、 とを備えて構成されて、 前記識別文字パターン認識手段が、前記第２の制御手段
の制御作用を介して、前記識別文字パターン記憶手段よ
り出力される識別文字パターン情報と、前記画像メモリ
ーより出力される識別文字パターン情報とを比較照合し
て両パターン情報の一致を検出し、当該識別文字の認識
判定を行う比較演算部と、 前記比較演算部より認識結果として出力される識別文字
情報を受けて、当該識別文字情報を前記第２の制御手段
に出力する結果文字出力部と、 を備えて構成される請求項１記載のウェーハ識別文字認
識システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9509295A JP2702441B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | ウェーハ識別文字認識システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9509295A JP2702441B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | ウェーハ識別文字認識システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288188A JPH08288188A (ja) | 1996-11-01 |
| JP2702441B2 true JP2702441B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=14128273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9509295A Expired - Fee Related JP2702441B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | ウェーハ識別文字認識システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2702441B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19733411B4 (de) * | 1997-08-01 | 2005-08-11 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Identifizierung von Wafern |
| DE19733412B4 (de) * | 1997-08-01 | 2005-08-04 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur automatischen Nachbeschriftung von Wafern. |
| JP6224350B2 (ja) * | 2013-05-17 | 2017-11-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP9509295A patent/JP2702441B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08288188A (ja) | 1996-11-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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