JP2688582B2 - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

Info

Publication number
JP2688582B2
JP2688582B2 JP63133573A JP13357388A JP2688582B2 JP 2688582 B2 JP2688582 B2 JP 2688582B2 JP 63133573 A JP63133573 A JP 63133573A JP 13357388 A JP13357388 A JP 13357388A JP 2688582 B2 JP2688582 B2 JP 2688582B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
motor
stator
speed
moving element
mover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP63133573A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01303077A (ja
Inventor
信治 相良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fukoku Co Ltd
Original Assignee
Fukoku Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fukoku Co Ltd filed Critical Fukoku Co Ltd
Priority to JP63133573A priority Critical patent/JP2688582B2/ja
Publication of JPH01303077A publication Critical patent/JPH01303077A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2688582B2 publication Critical patent/JP2688582B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、圧電体により固定子に進行波を生じさせて
移動子を駆動させるようにした超音波モータに関し、特
に回転軸の回転速度を限りなく0に近づけることができ
るようにしたものである。
「従来の技術」 超音波モータは低速、高トルクが得られ、しかも駆
動、停止の応答性がよいので、高精度の制御装置に使用
することが知られている。
また、超音波モータを正、逆方向に交互に連続して繰
り返すと、振動装置として適用できることを本出願人は
提案している。
「発明が解決しようとする課題」 従来、超音波モータの回転方向を正、逆に切換えて使
用したり、速度を特に0付近にして使用する場合、超音
波モータの回転が停止しやすいので、その回転が非常に
不安定になる。
そこで本発明は、固定子と移動子とで構成されるモー
タ部を2組使用し、各モータ部の速度を完全に0、ある
いは0付近にすることなく2組のモータ部の合成速度を
完全に0、あるいは0付近にするようにし、超音波モー
タの駆動を確実にし、しかも安定にすることを目的とす
る。
「課題を解決するための手段」 本発明の超音波モータは、圧電素子を取付けた固定子
に移動子を圧接させたモータ部を2組有し、第1のモー
タ部の移動子と第2のモータ部の固定子を連結して一体
に駆動可能にし、第1のモータ部の固定子は基盤に固定
し、第2のモータ部の移動子は出力軸と一体回転するよ
うに連結し、第1の移動子と第2の移動子の回転速度を
それぞれ検出する速度検出器を設け、この各速度検出器
の検出値によって電源を制御する速度コントロールアン
プを設け、この速度コントロールアンプにより、第1の
移動子を正回転(あるいは逆回転)させ、第2の移動子
を逆回転(あるいは正回転)させるように電源を制御す
るようにした。
「作用」 上記構成の超音波モータは、2組のモータ部を有し
て、第1移動子と第2の移動子の回転速度をそれぞれ検
出する速度検出器を設け、この各速度検出器の検出値に
よって電源を制御する速度コントロールアンプを設け、
この速度コントロールアンプにより、第1の移動子を正
回転(あるいは逆回転)させ、第2の移動子を逆回転
(あるいは正回転)させるように電源を制御するように
したので、各モータの速度を完全に0、あるいは0付近
にさせずに、合成速度を完全に0、あるいは0付近にさ
せることができる。その結果、超音波モータの速度0付
近での駆動が確実になり、しかも回転方向を正、逆に切
換えて駆動する場合でも安定に作動する。
「実施例」 本発明の超音波モータの一実施例を図面により説明す
る。
円板上の基板1上に、第1モータ部の固定子2が固定
され、固定子2上に摩擦材3を介して移動子4が配置さ
れる。この移動子4はゴム材4aを介して皿バネ5に押さ
れ、固定子2に圧接される。また、移動子4と接触する
面の逆側の固定子2の面に、圧電素子6が円弧状に配置
され、この圧電素子6は、電源7が接続されて高周波電
圧が印加される。そして、圧電素子6が高周波電圧によ
り振動して、振動波を生じさせ、この振動波により移動
子4が回転する。
第2モータ部の固定子8は、上記移動子4の上面側に
配置されるとともに、この固定子8上には、摩擦材9を
介して移動子10が設けられる。また、固定子8に圧電素
子11が取付けられ、この圧伝素子11に電源7から高周波
電圧が供給される。また、移動子10はゴム材10aを介し
て皿バネ12に押され、固定子8に圧接される。移動子10
は皿バネ12の押圧力により、固定子8に押接されて固定
子8に生じる進行波を受けた移動子10が回転する。この
移動子10の出力により出力軸13が一体に回転するる。な
お、出力軸13は、第1のモータ部と第2のモータ部の中
央部を貫通し、基板1に設けた軸受14とカバーに設けた
軸受15で回転自在に保持される。
また、カラー16に鍔部16aが設けられ、この鍔部16aに
第1のモータ部の皿バネ5の中央基部が係止され、さら
に鍔部16aと第2モータ部の固定子8とが連結される。
また、このカラー16内にブッシュ17が設けられ、このブ
ッシュ17内を回転軸13が貫通し、ブッシュ17とは別個に
回転する。よって、第1モータ部の移動子4はカラー16
を介して、第2モータ部の固定子8と一体に回転する。
第1のモータ部の移動子4、第2モータ部の移動子10
の外周位置にそれぞれ、速度検出装置18、19が設けら
れ、その検出値が速度コントロールアンプ20に入力され
る。この速度コントロールアンプ20は、検出値に応じて
各モータ部の前記電源7を制御し、各モータ部を適宜の
速度に制御する。よって、出力軸13は、各モータ部を別
個に電源7で駆動し、2つのモータ部の合成速度で回転
するため、各モータ部の速度を完全に0、あるいは0付
近なる。
「発明の効果」 本発明の超音波モータは、各モータ部の速度を完全に
0、あるいは0付近にしなくてもこの各モータ部の合成
速度を完全に0、あるいは0付近にできる。よって、出
力軸の回転は、0付近の速度でも確実に作動する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の超音波モータの断面図である。 2、8;固定子、4、10;移動子 5、12;皿バネ、13;出力軸 18、19;速度検出装置

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電素子を取付けた固定子に移動子を圧接
    させたモータ部を2組有し、第1のモータ部の移動子と
    第2のモータ部の固定子を連結して一体に駆動可能に
    し、第1のモータ部の固定子は基盤に固定し、第2のモ
    ータ部の移動子は出力軸と一体回転するように連結し、
    第1の移動子と第2の移動子の回転速度をそれぞれ検出
    する速度検出器を設け、この各速度検出器の検出値によ
    って電源を制御する速度コントロールアンプを設け、こ
    の速度コントロールアンプにより、第1の移動子を正回
    転(あるいは逆回転)させ、第2の移動子を逆回転(あ
    るいは正回転)させるように電源を制御することを特徴
    とする超音波モータ。
JP63133573A 1988-05-31 1988-05-31 超音波モータ Expired - Fee Related JP2688582B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63133573A JP2688582B2 (ja) 1988-05-31 1988-05-31 超音波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63133573A JP2688582B2 (ja) 1988-05-31 1988-05-31 超音波モータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01303077A JPH01303077A (ja) 1989-12-06
JP2688582B2 true JP2688582B2 (ja) 1997-12-10

Family

ID=15107969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63133573A Expired - Fee Related JP2688582B2 (ja) 1988-05-31 1988-05-31 超音波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2688582B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3248545B2 (ja) * 1993-07-23 2002-01-21 株式会社ニコン 超音波モータの駆動制御装置
US6252334B1 (en) * 1993-01-21 2001-06-26 Trw Inc. Digital control of smart structures
DE19634943C2 (de) * 1996-08-29 1999-05-20 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Modulation der Eigenschaften eines optischen Systems

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62207179A (ja) * 1986-03-07 1987-09-11 Nissan Motor Co Ltd 超音波振動モ−タ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01303077A (ja) 1989-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2688582B2 (ja) 超音波モータ
JP2608413B2 (ja) 超音波駆動装置
JPS61192441A (ja) 回転動力伝達装置
JP2997710B2 (ja) 回転体のバランス修正装置
JP2663164B2 (ja) 超音波モータ
JP2975072B2 (ja) アクチュエータの駆動方法及びこの駆動方法を実現した超音波アクチュエータ
JP2586045B2 (ja) 振動モータ
JPS5854878Y2 (ja) 振動子駆動型モ−タ
JPH0646546A (ja) 小型の高速モータのための伝動装置
JPH0442784A (ja) 温度調節装置を備えた超音波モータ
JP2606286B2 (ja) 超音波モータ
JP3224141B2 (ja) 超音波モータ
JP2628170B2 (ja) 超音波リニア駆動装置
JPS5919960Y2 (ja) 摩擦伝達装置
JP2000177611A5 (ja)
JPS60257275A (ja) 用紙送り駆動機構
SU1136914A1 (ru) Стол дл сварки
JP2601659B2 (ja) 超音波駆動装置
JPH01254971A (ja) 画像記録装置
JP2625691B2 (ja) 超音波モータ
JPH0750878Y2 (ja) 超音波モータ
JPS62113950U (ja)
JPH0640748B2 (ja) 超音波振動モ−タ
JPH0742238Y2 (ja) 超音波駆動装置
KR0153640B1 (ko) 테이프 레코더의 릴 구동 장치

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees