JP2685322B2 - レーザーシステム用ガラス - Google Patents
レーザーシステム用ガラスInfo
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- JP2685322B2 JP2685322B2 JP2015577A JP1557790A JP2685322B2 JP 2685322 B2 JP2685322 B2 JP 2685322B2 JP 2015577 A JP2015577 A JP 2015577A JP 1557790 A JP1557790 A JP 1557790A JP 2685322 B2 JP2685322 B2 JP 2685322B2
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- glass
- laser system
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- laser
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/12—Silica-free oxide glass compositions
- C03C3/16—Silica-free oxide glass compositions containing phosphorus
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、レーザーシステム用ガラス、詳しくはハイ
パワーレーザーシステムにおける偏光子用ガラス、スペ
ーシャルフィルター用ガラス、波長変換セル用ウィンド
ーガラスなどに用いられる光学ガラスに関するものであ
る。
パワーレーザーシステムにおける偏光子用ガラス、スペ
ーシャルフィルター用ガラス、波長変換セル用ウィンド
ーガラスなどに用いられる光学ガラスに関するものであ
る。
［従来の技術］ 大出力ガラスレーザーにおいて最も重要なコンポーネ
ントは、そこに使用されている多種、多数の光学素子で
あり、その諸性能がレーザーシステム全体の性能を決定
する。
ントは、そこに使用されている多種、多数の光学素子で
あり、その諸性能がレーザーシステム全体の性能を決定
する。
光学素子の中で最も重要な素子は、Ndイオンをドープ
したいわゆるレーザーガラスであるが、その他にもファ
ラデー回転子の入出力側に使われる多層膜偏光子用ガラ
ス、ビーム径を調整するためのスペーシャルフィルター
用レンズ、波長変換セル（内部はKDP単結晶）用ウィン
ドーガラス等、重要な素子類がある。
したいわゆるレーザーガラスであるが、その他にもファ
ラデー回転子の入出力側に使われる多層膜偏光子用ガラ
ス、ビーム径を調整するためのスペーシャルフィルター
用レンズ、波長変換セル（内部はKDP単結晶）用ウィン
ドーガラス等、重要な素子類がある。
ハイパワーレーザーシステムの偏光子用ガラス、スペ
ーシャルフィルター用レンズ、波長変換セル用ウィンド
ーガラス等は、これまで、光学ガラスの代表的な硝種で
ある硼珪酸塩ガラスBK7が広く使われている。
ーシャルフィルター用レンズ、波長変換セル用ウィンド
ーガラス等は、これまで、光学ガラスの代表的な硝種で
ある硼珪酸塩ガラスBK7が広く使われている。
ところで核融合装置のハイパワーレーザーシステムに
用いられる光学系のガラスにおいては、その目的が核融
合の場合、レーザーガラスから発振された光を多段階増
幅して得られるエネルギーは少なくとも10Kjoule以上で
ある。従ってこの様なハイパワーレーザーシステムのレ
ーザー光路中に用いられる光学系のガラスは泡、異物等
の挟雑物を含まない、いわゆるインクルージョンフリー
のガラスが要求される。例えば、粒子サイズが５μｍ以
上の挟雑物（インクルージョン）が存在すると、2.0jou
le/cm3のエネルギー密度でさえダメージと呼ばれる内部
欠陥（貝がら状のクラック）を発生し、エネルギーがロ
スすると共にレーザービームも乱れ、特にはそのガラス
を破壊せしめる。
用いられる光学系のガラスにおいては、その目的が核融
合の場合、レーザーガラスから発振された光を多段階増
幅して得られるエネルギーは少なくとも10Kjoule以上で
ある。従ってこの様なハイパワーレーザーシステムのレ
ーザー光路中に用いられる光学系のガラスは泡、異物等
の挟雑物を含まない、いわゆるインクルージョンフリー
のガラスが要求される。例えば、粒子サイズが５μｍ以
上の挟雑物（インクルージョン）が存在すると、2.0jou
le/cm3のエネルギー密度でさえダメージと呼ばれる内部
欠陥（貝がら状のクラック）を発生し、エネルギーがロ
スすると共にレーザービームも乱れ、特にはそのガラス
を破壊せしめる。
従来、この目的に上述の如き硝珪酸塩ガラスBK7が使
用されて来た。このガラスは耐候性が高い、膨脹係数が
比較的小さい、屈折率が比較的に低い等の好ましい特性
を有している。しかしながら、このBK7ガラスは、溶融
温度が約1450℃と高いこと、溶融時において揮発しやす
いこと、溶融容器に対して高い侵蝕力を有することなど
のために、インクルージョンフリーすなわちダメージフ
リーのガラスを得ることは従来不可能であった。
用されて来た。このガラスは耐候性が高い、膨脹係数が
比較的小さい、屈折率が比較的に低い等の好ましい特性
を有している。しかしながら、このBK7ガラスは、溶融
温度が約1450℃と高いこと、溶融時において揮発しやす
いこと、溶融容器に対して高い侵蝕力を有することなど
のために、インクルージョンフリーすなわちダメージフ
リーのガラスを得ることは従来不可能であった。
すなわち、硼珪酸塩ガラスBK7を使用している光学素
子においては、これまでダメージフリーのガラスが得ら
れていない。Ndイオンドープレーザーガラスはその組成
や製造技術の改良の結果、今日ではダメージフリーのガ
ラスの量産化に成功しているが、レーザーシステム全体
をみた時に、増幅器としてのレーザーガラスのみがダメ
ージフリーになっても、他の素子に欠陥が生じては、シ
ステム全体がうまく作動しない。
子においては、これまでダメージフリーのガラスが得ら
れていない。Ndイオンドープレーザーガラスはその組成
や製造技術の改良の結果、今日ではダメージフリーのガ
ラスの量産化に成功しているが、レーザーシステム全体
をみた時に、増幅器としてのレーザーガラスのみがダメ
ージフリーになっても、他の素子に欠陥が生じては、シ
ステム全体がうまく作動しない。
［発明が解決しようとする課題］ 上述の通り、BK7は、硼珪酸塩ガラスであり、また高
粘性ガラスであるので、白金ルツボあるいはセラミック
スルツボのいずれを用いても高温状態を経なければなら
ない。ガラス中のダメージの発生要因は、ガラス内部に
存在する微小な白金インクルージョンやクリストバライ
ト結晶の有無による。白金インクルージョンを例にとる
と、これらが発生しない容器や製造条件をとる必要があ
り、又、もし発生した場合には、これをイオン状態に保
持しなければならない。しかしながらBK7に代表される
硼珪酸塩ガラスや、珪酸塩系ガラスは、白金の溶解度が
低いため、完全なイオン状態を保持することは困難であ
る。
粘性ガラスであるので、白金ルツボあるいはセラミック
スルツボのいずれを用いても高温状態を経なければなら
ない。ガラス中のダメージの発生要因は、ガラス内部に
存在する微小な白金インクルージョンやクリストバライ
ト結晶の有無による。白金インクルージョンを例にとる
と、これらが発生しない容器や製造条件をとる必要があ
り、又、もし発生した場合には、これをイオン状態に保
持しなければならない。しかしながらBK7に代表される
硼珪酸塩ガラスや、珪酸塩系ガラスは、白金の溶解度が
低いため、完全なイオン状態を保持することは困難であ
る。
従って本発明の目的は、硼珪酸塩ガラスや珪酸塩ガラ
スを用いたときに認められる上記欠点のないレーザーシ
ステム用ガラスを提供することにある。
スを用いたときに認められる上記欠点のないレーザーシ
ステム用ガラスを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために、本発明者らは、従来用い
られていた硼珪酸塩ガラスや珪酸塩ガラスの代りに、リ
ン酸塩ガラスを使用することに着眼し、種々検討した結
果、以下のような知見を得た。
られていた硼珪酸塩ガラスや珪酸塩ガラスの代りに、リ
ン酸塩ガラスを使用することに着眼し、種々検討した結
果、以下のような知見を得た。
（ａ）リン酸塩ガラスは硼珪酸塩ガラスや珪酸塩ガラス
に比べ、白金と反応しやすい性質があり、白金の溶解度
が高い。この点を考慮し、適切なガラス組成を選択する
ことにより、白金容器を使用しても白金インクルージョ
ンのないガラスを得ることができる。
に比べ、白金と反応しやすい性質があり、白金の溶解度
が高い。この点を考慮し、適切なガラス組成を選択する
ことにより、白金容器を使用しても白金インクルージョ
ンのないガラスを得ることができる。
（ｂ）リン酸塩ガラスは、その組成を選択することによ
り、基本的には硼珪酸塩ガラスBK7が有する光学恒数、
特にNdイオンドープレーザーの発振波長である1054nmの
屈折率（n1054）と等しくすることが可能となり、ハイ
パワーレーザーシステム全体の設計（焦点距離、反射率
等）を変更することがない。
り、基本的には硼珪酸塩ガラスBK7が有する光学恒数、
特にNdイオンドープレーザーの発振波長である1054nmの
屈折率（n1054）と等しくすることが可能となり、ハイ
パワーレーザーシステム全体の設計（焦点距離、反射率
等）を変更することがない。
本発明は上記の知見に基づいてなされたものであり、
本発明のレーザーシステム用ガラスは下記の成分を下記
の重量％で含むことを特徴とする。
本発明のレーザーシステム用ガラスは下記の成分を下記
の重量％で含むことを特徴とする。
成分 重量％ P2O5 60〜75 R2O 7〜14 RO 3〜16 R2O3 4〜14 RO2＋R2O5 0〜 5 （但しR2Oは、Li2O、Na2O、K2Oから成るアルカリ金属酸
化物の群から選択され、ROは、MgO、CaO、SrO、BaOのア
ルカリ土類金属酸化物、ZnOおよびPbOの群から選択さ
れ、R2O3は、Al2O3、La2O3、Y2O3、Gd2O3およびB2O3の
群から選択され、RO2は、ZrO2、TiO2、SiO2およびCeO2
の群から選択され、R2O5は、Nb2O5およびTa2O5の群から
選択される。） 以下、各成分およびその配合割合の限定理由について
説明する。P2O5は、白金の溶解度が高いため基本的成分
であるが、P2O5を使用する理由はレーザーシステムにお
いて重要な非線形屈折率n2が低いことも挙げられる。P2
O5は60％未満では、失透を生じ不安定な領域に入ってし
まい、75％を超えると、溶融中に過度の揮発が起こり、
均質度の高いガラスを得ることが困難となると共に、化
学的耐久性が低くなってしまう。従ってP2O5の重量割合
は60〜75％に限定される。その他にガラス形成酸化物と
して、GeO2、B2O3、SiO2などが挙げられるが、GeO2は原
料が高価なため好ましくなく、B2O3は化学的耐久性が低
いことや揮発し易いことなどの点で、多量に使う必要は
認められない。SiO2については、ソーラリゼーション防
止剤として使われる場合もあるが、多量に入ると溶融ガ
ラスの粘性を上げるため高温溶融が必要となり白金イン
クルージョンが発生し易くなると共に、その白金の溶解
度を低下させるため、本発明の目的に対しては好ましく
なく、又、クリストバライト結晶生成の恐れもある。こ
れらは化学的耐久性や光学恒数の調整に少量使うに留め
るべきである。
化物の群から選択され、ROは、MgO、CaO、SrO、BaOのア
ルカリ土類金属酸化物、ZnOおよびPbOの群から選択さ
れ、R2O3は、Al2O3、La2O3、Y2O3、Gd2O3およびB2O3の
群から選択され、RO2は、ZrO2、TiO2、SiO2およびCeO2
の群から選択され、R2O5は、Nb2O5およびTa2O5の群から
選択される。） 以下、各成分およびその配合割合の限定理由について
説明する。P2O5は、白金の溶解度が高いため基本的成分
であるが、P2O5を使用する理由はレーザーシステムにお
いて重要な非線形屈折率n2が低いことも挙げられる。P2
O5は60％未満では、失透を生じ不安定な領域に入ってし
まい、75％を超えると、溶融中に過度の揮発が起こり、
均質度の高いガラスを得ることが困難となると共に、化
学的耐久性が低くなってしまう。従ってP2O5の重量割合
は60〜75％に限定される。その他にガラス形成酸化物と
して、GeO2、B2O3、SiO2などが挙げられるが、GeO2は原
料が高価なため好ましくなく、B2O3は化学的耐久性が低
いことや揮発し易いことなどの点で、多量に使う必要は
認められない。SiO2については、ソーラリゼーション防
止剤として使われる場合もあるが、多量に入ると溶融ガ
ラスの粘性を上げるため高温溶融が必要となり白金イン
クルージョンが発生し易くなると共に、その白金の溶解
度を低下させるため、本発明の目的に対しては好ましく
なく、又、クリストバライト結晶生成の恐れもある。こ
れらは化学的耐久性や光学恒数の調整に少量使うに留め
るべきである。
R2O成分は、溶融時の安定性や、溶融速度の面から重
要な成分であるが、７％未満ではガラスが失透し、14％
を超えると化学的耐久性が劣化すると共に溶融時の揮発
量が多くなり、均質度の高いガラスを得るためには不適
である。従ってR2O成分の重量割合は７〜14％に限定さ
れる。R2O成分は、Li2O、Na2O、K2Oのアルカリ金属酸化
物から選択されるが、得ようとする光学恒数により、単
独あるいは組み合わせで使うことが出来る。
要な成分であるが、７％未満ではガラスが失透し、14％
を超えると化学的耐久性が劣化すると共に溶融時の揮発
量が多くなり、均質度の高いガラスを得るためには不適
である。従ってR2O成分の重量割合は７〜14％に限定さ
れる。R2O成分は、Li2O、Na2O、K2Oのアルカリ金属酸化
物から選択されるが、得ようとする光学恒数により、単
独あるいは組み合わせで使うことが出来る。
RO成分は、R2O成分と同様に、溶融時の安定性を得る
のに重要な役割を果たすが、３％未満ではガラスが失透
して不安定な状態となり、16％を超えると、熱膨張係数
が大きくなってしまう。従ってRO成分の重量割合は３〜
16％に限定される。RO成分としてはアルカリ土類金属酸
化物であるMgO、CaO、SrO、BaOが有効であるが、元素周
期律表II b族のZnO、PbOも光学恒数調整の目的で使用す
ることも出来る。元素周期律表II b族にはCdOもある
が、この成分は、公害問題上、使うことはひかえたい。
のに重要な役割を果たすが、３％未満ではガラスが失透
して不安定な状態となり、16％を超えると、熱膨張係数
が大きくなってしまう。従ってRO成分の重量割合は３〜
16％に限定される。RO成分としてはアルカリ土類金属酸
化物であるMgO、CaO、SrO、BaOが有効であるが、元素周
期律表II b族のZnO、PbOも光学恒数調整の目的で使用す
ることも出来る。元素周期律表II b族にはCdOもある
が、この成分は、公害問題上、使うことはひかえたい。
R2O3成分はガラスの化学的耐久性向上に大いに寄与す
ると共に、リン酸塩ガラスにおける失透防止剤の役割も
果たしている。R2O3成分は４％未満では化学的耐久性に
顕著な効果がなく、14％を超えると失透防止機能が逆に
失われてしまう。従ってR2O3成分の重量割合は４〜14％
に限定される。R2O3成分には様々なものがあるが、Nd2O
3、Er2O3、Dy2O3等の、特定波長域の光を吸収する希土
類酸化物は少量といえども避けるべきである。そこで、
R2O3成分としては、Al2O3、La2O3、Y2O3、Gd2O3、B2O3
の群から耐失透性と光学恒数の関係で単独又は組み合わ
せで選択される。
ると共に、リン酸塩ガラスにおける失透防止剤の役割も
果たしている。R2O3成分は４％未満では化学的耐久性に
顕著な効果がなく、14％を超えると失透防止機能が逆に
失われてしまう。従ってR2O3成分の重量割合は４〜14％
に限定される。R2O3成分には様々なものがあるが、Nd2O
3、Er2O3、Dy2O3等の、特定波長域の光を吸収する希土
類酸化物は少量といえども避けるべきである。そこで、
R2O3成分としては、Al2O3、La2O3、Y2O3、Gd2O3、B2O3
の群から耐失透性と光学恒数の関係で単独又は組み合わ
せで選択される。
RO2、R2O5成分は、必須成分ではないが、化学的耐久
性の改良や光学恒数調整の目的で使うことも可能であ
る。RO2としてはZrO2、TiO2、SiO2、CeO2が、R2O5とし
てはNb2O5、Ta2O5が用いられるが、これらのうちでNb2O
5、TiO2、CeO2等はソーラリゼーション防止剤としての
機能を有しているので、５％を超える多量の使用は溶解
性を悪くするので好ましくないが、５％以下の少量の場
合は有効といえる。
性の改良や光学恒数調整の目的で使うことも可能であ
る。RO2としてはZrO2、TiO2、SiO2、CeO2が、R2O5とし
てはNb2O5、Ta2O5が用いられるが、これらのうちでNb2O
5、TiO2、CeO2等はソーラリゼーション防止剤としての
機能を有しているので、５％を超える多量の使用は溶解
性を悪くするので好ましくないが、５％以下の少量の場
合は有効といえる。
この他に、As2O3、Sb2O3といった清澄促進剤等につい
ては、ダメージフリーガラスの製造が目的である以上、
酸化−還元反応の顕著な成分は、溶融の際にインクルー
ジョンを発生し易すく品質が安定しないため使わない方
が好ましい。
ては、ダメージフリーガラスの製造が目的である以上、
酸化−還元反応の顕著な成分は、溶融の際にインクルー
ジョンを発生し易すく品質が安定しないため使わない方
が好ましい。
［実施例］ 以下、実施例を挙げて、本発明のレーザーシステム用
ガラスについて説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
ガラスについて説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。
実施例１〜９ 表−１に示すようにP2O5、R2O、RO、R2O3、RO2、R2O5
を本発明で規定された重量割合で十分に混合した。な
お、ガラス原料中に遷移金属等に代表される不純物が存
在すると、レーザー発生波長の1054nmにおける減衰係数
が大きくなってしまうので、P2O5、R2O、RO、R2O3、R
O2、R2O5としては、試薬特級グレードの高純度原料を使
用した。
を本発明で規定された重量割合で十分に混合した。な
お、ガラス原料中に遷移金属等に代表される不純物が存
在すると、レーザー発生波長の1054nmにおける減衰係数
が大きくなってしまうので、P2O5、R2O、RO、R2O3、R
O2、R2O5としては、試薬特級グレードの高純度原料を使
用した。
原料成分を混合した後、白金又はセラミックスルツボ
を用いて、1000〜1400℃で溶解、清澄（脱泡）、均質化
のための充分な撹拌を行なった。その後、粘性調整を行
ない、予熱された型中に鋳込成型し、その後、精密徐冷
によって残留歪を除去し、実施例１〜９のガラスを得
た。
を用いて、1000〜1400℃で溶解、清澄（脱泡）、均質化
のための充分な撹拌を行なった。その後、粘性調整を行
ない、予熱された型中に鋳込成型し、その後、精密徐冷
によって残留歪を除去し、実施例１〜９のガラスを得
た。
得られた実施例１〜９のガラスは、ハイパワーレーザ
ーシステムと同程度のエネルギー密度（２〜12joule/cm
2）をもつレーザー光を照射させた結果（ダメージテス
ト）、インクルージョンのない均質度の高いものである
ことが確認された。
ーシステムと同程度のエネルギー密度（２〜12joule/cm
2）をもつレーザー光を照射させた結果（ダメージテス
ト）、インクルージョンのない均質度の高いものである
ことが確認された。
Ndイオンドープレーザーの発振波長は1054nmであり、
その1054nmの屈折率（n1054）は1.5068であるが、実施
例１〜９のガラスも1054nmの屈折率（n1054）が1.5068
±0.03であることが確認され、レーザーシステム全体の
設計を変更する必要がないことが明らかとなった。
その1054nmの屈折率（n1054）は1.5068であるが、実施
例１〜９のガラスも1054nmの屈折率（n1054）が1.5068
±0.03であることが確認され、レーザーシステム全体の
設計を変更する必要がないことが明らかとなった。
［発明の効果］ 本発明によれば、BK7に代表される硼珪酸塩ガラスを
特定組成のリン酸塩ガラスにすることによって、従来問
題となっていたハイパワーレーザーによるガラス内部の
ダメージの起きないレーザーシステム用ガラスを得るこ
とが出来た。このガラスは、均質度の高い光学ガラスで
あり、ハイパワーレーザーシステムにおける偏光子用ガ
ラス、スペーシャルフィルター用レンズ、波長変換用セ
ル用ウィンドーガラス等の光学素子類に供するに充分満
足のいくものである。
特定組成のリン酸塩ガラスにすることによって、従来問
題となっていたハイパワーレーザーによるガラス内部の
ダメージの起きないレーザーシステム用ガラスを得るこ
とが出来た。このガラスは、均質度の高い光学ガラスで
あり、ハイパワーレーザーシステムにおける偏光子用ガ
ラス、スペーシャルフィルター用レンズ、波長変換用セ
ル用ウィンドーガラス等の光学素子類に供するに充分満
足のいくものである。
Claims (2)
- 【請求項１】下記の成分を下記の重量％で含むことを特
徴とするレーザーシステム用ガラス。 成分 重量％ P2O5 60〜75 R2O 7〜14 RO 3〜16 R2O3 4〜14 RO2＋R2O5 0〜 5 （但しR2OはLi2O、Na2O、K2Oから成るアルカリ金属酸化
物の群から選択され、ROはMgO、CaO、SrO、BaOのアルカ
リ土類金属酸化物、ZnOおよびPbOの群から選択され、R2
O3はAl2O3、La2O3、Y2O3、Gd2O3およびB2O3の群から選
択され、RO2はZrO2、TiO2、SiO2およびCeO2の群から選
択され、R2O5はNb2O5およびTa2O5の群から選択され
る。） - 【請求項２】Ndイオンドープレーザーの発振波長である
1054nmの屈折率（n1054）が1.5068±0.03である、請求
項１に記載のレーザーシステム用ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015577A JP2685322B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザーシステム用ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015577A JP2685322B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザーシステム用ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218941A JPH03218941A (ja) | 1991-09-26 |
| JP2685322B2 true JP2685322B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=11892586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015577A Expired - Fee Related JP2685322B2 (ja) | 1990-01-25 | 1990-01-25 | レーザーシステム用ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2685322B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1555247A1 (de) | 2004-01-16 | 2005-07-20 | Schott AG | Optisches Glas insbesondere für blankgepresste optische Elemente |
| PL2675768T3 (pl) | 2011-02-18 | 2021-05-31 | Schott Ag | Przepust |
| CN113511813B (zh) * | 2021-06-28 | 2022-03-04 | 成都光明光电有限责任公司 | 一种用于激光玻璃的包边玻璃及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02188442A (ja) * | 1989-01-17 | 1990-07-24 | Nikon Corp | リン酸系光学ガラス |
| US5032315A (en) * | 1989-04-03 | 1991-07-16 | Schott Glass Technologies, Inc. | Phosphate glass useful in high power lasers |
-
1990
- 1990-01-25 JP JP2015577A patent/JP2685322B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03218941A (ja) | 1991-09-26 |
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