JP2681843B2 - Manufacturing method of β-type silicon nitride whiskers - Google Patents

Manufacturing method of β-type silicon nitride whiskers

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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、複合材料の素材として有用なβ型窒化珪素
ウイスカーの製法に関し、特にウイスカーの平均径が2
μm以上であるβ型窒化珪素ウイスカーの製法に関す
る。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing β-type silicon nitride whiskers useful as a raw material for composite materials, and particularly, the average diameter of whiskers is 2
The present invention relates to a method for producing β-type silicon nitride whiskers having a size of μm or more.

(従来の技術及びその問題点) セラミックウイスカーの代表的なものとして、炭化珪
素ウイスカー及び窒化珪素ウイスカーが知られている。
これらは、一般に耐摩耗性が良好で、さらに強度及び弾
性率の大きい複合材料を与える強化材としての用途が期
待されており、これらの用途の一つとしてウイスカー強
化セラミック複合材料がある。
(Prior Art and Problems Thereof) Silicon carbide whiskers and silicon nitride whiskers are known as typical ceramic whiskers.
These are generally expected to be used as a reinforcing material that gives a composite material having good wear resistance and high strength and elastic modulus, and one of these applications is a whisker-reinforced ceramic composite material.

ところで、β型窒化珪素ウイスカーは、α型窒化珪素
ウイスカーと違い、非酸化性ガス雰囲気中1500℃以上窒
化珪素の分解温度(約1800℃)以下の高温においてもそ
の結晶構造を変えることがなく、窒化珪素が本来有して
いる優れた特性を維持することができるため、高融点金
属又はセラミックスの強化材として好適である。
By the way, unlike the α-type silicon nitride whiskers, the β-type silicon nitride whiskers do not change their crystal structure even at a high temperature of 1500 ° C. or higher and a decomposition temperature of silicon nitride (about 1800 ° C.) or lower in a non-oxidizing gas atmosphere. Since it is possible to maintain the excellent characteristics that silicon nitride originally has, it is suitable as a reinforcing material for refractory metals or ceramics.

β型窒化珪素ウイスカーの製法に関してはいくつかの
提案がある。
There are several proposals regarding the manufacturing method of β-type silicon nitride whiskers.

例えば、特開昭59−147000号公報には、シリカ、カー
ボン及び氷晶石の混合物をアンモニアと窒素との混合雰
囲気で加熱反応させて、β型窒化珪素ウイスカーを製造
する方法が開示されている。また、特開平1−278500号
公報には、シリカ粉末をアンモニアガスと炭化水素ガス
との混合ガス中で加熱させて非晶質窒化珪素を生成さ
せ、これに金属ハロゲン化合物を加えて非酸化性ガス中
で加熱処理することでβ型窒化珪素ウイスカーを製造す
る方法が開示されている。
For example, JP-A-59-147000 discloses a method for producing β-type silicon nitride whiskers by heating and reacting a mixture of silica, carbon and cryolite in a mixed atmosphere of ammonia and nitrogen. . Further, in JP-A-1-278500, a silica powder is heated in a mixed gas of ammonia gas and hydrocarbon gas to produce amorphous silicon nitride, and a metal halogen compound is added to the amorphous silicon nitride to make it non-oxidizing. A method for producing β-type silicon nitride whiskers by heat treatment in gas is disclosed.

さらに、本出願人も、特開昭63−2900号公報、特開昭
63−25299号公報等で、非晶質窒化珪素又はα型窒化珪
素に稀土類酸化物を添加して焼成することによりβ型窒
化珪素ウイスカーを製造する方法を提案している。
Furthermore, the applicant of the present invention also discloses that the Japanese Patent Laid-Open No. 63-2900,
63-25299 discloses a method of producing β-type silicon nitride whiskers by adding a rare earth oxide to amorphous silicon nitride or α-type silicon nitride and baking the mixture.

ところで、近年、セラミックスをマトリックスとした
複合材料の強靭化のために太い径のウイスカーが望まれ
ている。
By the way, in recent years, a whisker having a large diameter has been desired in order to strengthen a composite material using ceramics as a matrix.

しかしながら、前記従来の製法では、ウイスカーの径
が0.1〜1.5μmと細いものしか得られず、平均径が2μ
m以上の太いウイスカーを製造することは困難であっ
た。
However, in the above-mentioned conventional manufacturing method, only whisker diameters as small as 0.1 to 1.5 μm are obtained, and the average diameter is 2 μm.
It was difficult to manufacture thick whiskers of m or more.

(発明の目的) 本発明の目的は、前記欠点を解決し、平均径が2μm
以上の太いβ型窒化珪素ウイスカーを収率よく、かつ効
率的に製造できる方法を提供するものである。
(Object of the Invention) The object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks and to have an average diameter of 2 μm.
It is intended to provide a method capable of efficiently producing the thick β-type silicon nitride whiskers described above in a high yield.

(問題点を解決するための技術的手段) 本発明は、非晶質窒化珪素及び/又はα型窒化珪素粉
末100重量部に、酸化物粉末又は焼成時に酸化物に転化
しうる化合物粉末(ただし、フッ化物を除く)、及びフ
ッ化物粉末が合計で0.01〜20重量部配合された混合粉末
を、非酸化性ガス雰囲気下1550〜1800℃で焼成すること
を特徴とするβ型窒化珪素ウイスカーの製法に関する。
(Technical Means for Solving Problems) The present invention provides 100 parts by weight of amorphous silicon nitride and / or α-type silicon nitride powder as an oxide powder or a compound powder that can be converted into an oxide during firing (however, Of the β-type silicon nitride whiskers, characterized in that the mixed powder in which 0.01 to 20 parts by weight of the fluoride powder is added in total is baked at 1550 to 1800 ° C. in a non-oxidizing gas atmosphere. Regarding manufacturing method.

本発明で使用される非晶質窒化珪素粉末は、それ自体
公知の方法、例えば四ハロゲン化珪素とアンモニアとを
液相又は気相で反応させた反応生成物を加熱処理するこ
とによって調製することができ、通常のX線回折によっ
て明確な回折現象が現れない、いわゆる非晶質の粉末で
ある。また、この非晶質窒化珪素粉末は、珪素原子、窒
素原子の他の水素原子、酸素原子を含有してもよい。
The amorphous silicon nitride powder used in the present invention is prepared by a method known per se, for example, by heat-treating a reaction product obtained by reacting silicon tetrahalide with ammonia in a liquid phase or a gas phase. It is a so-called amorphous powder in which a clear diffraction phenomenon does not appear by ordinary X-ray diffraction. Further, this amorphous silicon nitride powder may contain silicon atoms, hydrogen atoms other than nitrogen atoms, and oxygen atoms.

α型窒化珪素粉末は、上記の非晶質窒化珪素粉末を焼
成する方法の他に、シリカの還元窒化法、珪素の直接窒
化法等の公知の方法で製造することができる。α型窒化
珪素粉末の比表面積は0.001〜20m2/g、特に2〜13m2/g
であることが好ましい。
The α-type silicon nitride powder can be manufactured by a known method such as a reduction nitriding method of silica or a direct nitriding method of silicon, in addition to the method of firing the above-mentioned amorphous silicon nitride powder. The specific surface area of the α-silicon nitride powder is 0.001~20m 2 / g, especially 2~13m 2 / g
It is preferred that

本発明における酸化物粉末としては、稀土類元素及び
アルカリ土類金属の酸化物から選ばれる少なくとも一種
の粉末が用いられる。
As the oxide powder in the present invention, at least one powder selected from oxides of rare earth elements and alkaline earth metals is used.

稀土類元素の具体例としては、イットリウム、ランタ
ン、セリウム、プラセオジウム、ネオジウム、サマリウ
ム、ユーロピウム、ガドリニウム、ジスプロシウム、イ
ッテルビウム等のランタン系列元素及びスカンジウムが
挙げられる。
Specific examples of the rare earth element include lanthanum series elements such as yttrium, lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, dysprosium, and ytterbium, and scandium.

また、アルカリ土類金属の具体例としては、マグネシ
ウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム等が挙げ
られる。
In addition, specific examples of the alkaline earth metal include magnesium, calcium, strontium, barium, and the like.

焼成時に前記酸化物に転化しうる化合物粉末として
は、β型窒化珪素ウイスカー成長時に一部又は全部が前
記酸化物に転化しうる化合物粉末であればよく、例え
ば、炭酸塩、水酸化物等が挙げられる。ただし、フッ化
物を除く。
The compound powder that can be converted into the oxide during firing may be any compound powder that can be partially or wholly converted into the oxide during β-type silicon nitride whisker growth, and examples thereof include carbonate and hydroxide. Can be mentioned. However, fluoride is excluded.

本発明におけるフッ化物粉末としては、アルカリ金
属、アルカリ土類金属及び稀土類元素のフッ化物から選
ばれる少なくとも一種の粉末が用いられる。特に、融点
が1200〜1700℃の範囲であるものが好ましい。
As the fluoride powder in the present invention, at least one powder selected from fluorides of alkali metals, alkaline earth metals and rare earth elements is used. In particular, those having a melting point of 1200 to 1700 ° C. are preferable.

酸化物粉末又は焼成時に酸化物に転化しうる化合物粉
末とフッ化物粉末の割合は、特に制限はないが、重量比
で酸化物(但し、焼成時に酸化物に転化しうる化合物の
場合は酸化物換算):フッ化物=2:1〜1:10の範囲が好
ましい。
The ratio of the oxide powder or the compound powder that can be converted into an oxide during firing and the fluoride powder is not particularly limited, but the oxide is a weight ratio (however, in the case of a compound that can be converted into an oxide during firing, the oxide is Conversion): Fluoride = 2: 1 to 1:10 is preferable.

酸化物粉末又は焼成時に酸化物に転化しうる化合物粉
末及びフッ化物粉末の配合量は、非晶質窒化珪素及び/
又はα型窒化珪素粉末100重量部当たり、合計で(但
し、焼成時に酸化物に転化しうる化合物の場合は酸化物
換算で)0.01〜20重量部、好ましくは、0.5〜10重量部
である。これらの配合量が下限より少ないとウイスカー
の生成が不十分で収率が悪くなり、またウイスカーの径
が細くなる。逆に、配合量が上限より多いとウイスカー
同士の融着が起こり、またウイスカーの長さが短くな
る。
The compounding amount of the oxide powder or the compound powder and the fluoride powder that can be converted into the oxide during firing is amorphous silicon nitride and / or
Alternatively, the total amount is 0.01 to 20 parts by weight, preferably 0.5 to 10 parts by weight, per 100 parts by weight of the α-type silicon nitride powder (however, in the case of a compound that can be converted into an oxide during firing, calculated as oxide). If the blending amount of these is less than the lower limit, the formation of whiskers is insufficient and the yield becomes poor, and the diameter of the whiskers becomes thin. On the other hand, if the blending amount is more than the upper limit, whiskers will be fused together and the length of the whiskers will be shortened.

非晶質窒化珪素及び/又はα型窒化珪素粉末と酸化物
粉末又は焼成時に酸化物に転化しうる化合物粉末及びフ
ッ化物粉末との混合粉末の調製法については特に制限は
なく、それ自体公知の方法、例えば両者を乾式混合する
方法、不活性液体中で両者を湿式混合した後に、不活性
液体を除去する方法等を採用することができる。混合装
置としてはV型混合機、ボールミル又は振動ボールミル
が好ましく使用される。上記混合粉末の別の調製法とし
ては、非晶質窒化珪素粉末の前躯体、例えば、シリコン
ジイミド又はシリコンテトラアミドに酸化物粉末又は焼
成時に酸化物に転化しうる化合物粉末及びフッ化物粉末
を混合分散させ、この分散物を加熱処理する方法を採用
することもできる。上記調製法において、非晶質窒化珪
素又はその前躯体を使用する場合、これは酸素又は水分
に対して極めて敏感であるので、制御された不活性雰囲
気下で取り扱う必要がある。
There is no particular limitation on the method for preparing a mixed powder of amorphous silicon nitride and / or α-type silicon nitride powder and an oxide powder or a compound powder and a fluoride powder which can be converted into an oxide during firing, and there are no particular limitations on the method known per se. A method, for example, a method of dry-mixing both of them, a method of wet-mixing both in an inert liquid and then removing the inert liquid, and the like can be adopted. A V-type mixer, a ball mill or a vibrating ball mill is preferably used as the mixing device. As another method of preparing the above mixed powder, a precursor of amorphous silicon nitride powder, for example, silicon diimide or silicon tetraamide is mixed with an oxide powder or a compound powder and a fluoride powder which can be converted into an oxide during firing. It is also possible to employ a method of dispersing and heating the dispersion. If amorphous silicon nitride or its precursor is used in the above method of preparation, it is extremely sensitive to oxygen or moisture and must be handled under a controlled inert atmosphere.

本発明においては、前記混合粉末を、成形することな
く粉末状態で、非酸化性ガス雰囲気下1550〜1800℃で焼
成することにより、β型窒化珪素ウイスカーが得られ
る。
In the present invention, the β-type silicon nitride whiskers are obtained by firing the mixed powder in a powder state without molding in a non-oxidizing gas atmosphere at 1550 to 1800 ° C.

非酸化性ガスの具体例としては、窒素、アルゴン、ア
ンモニアあるいはこれらの混合ガスが挙げられる。焼成
条件としては、混合粉末が1000℃から最高温度の間を平
均して、0.1〜40時間、特に4〜20時間で加熱されるよ
うに設定することが好ましい。焼成時の最高温度は1800
℃以下、好ましくは1550〜1750℃の範囲内の温度であ
る。焼成の際に使用される炉については、特に制限はな
く、例えば高周波誘導加熱方式、抵抗加熱方式によるバ
ッチ炉、ロータリー炉、プッシャー炉等を使用すること
ができる。
Specific examples of the non-oxidizing gas include nitrogen, argon, ammonia, or a mixed gas thereof. The firing conditions are preferably set so that the mixed powder is heated for 0.1 to 40 hours, particularly 4 to 20 hours on average from 1000 ° C to the maximum temperature. Maximum temperature during firing is 1800
C. or lower, preferably in the range of 1550 to 1750.degree. The furnace used for firing is not particularly limited, and for example, a high frequency induction heating method, a resistance heating method batch furnace, a rotary furnace, a pusher furnace, or the like can be used.

(発明の効果) 本発明によれば、平均径2μm以上の太いβ型窒化珪
素ウイスカーを収率よく得ることができ、大量生産に適
した製造が可能になった。特に、このβ型窒化珪素ウイ
スカーは、従来のウイスカーより径が太いので、これを
用いて金属、プラスチック、セラミックの強化複合材料
を製造した場合に優れた強化効果が得られる。特に、セ
ラミックの強化材として各種セラミック粉末に配合して
焼結するだけで、特性の優れた、特に靭性が向上した焼
結体を与えることができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, thick β-type silicon nitride whiskers having an average diameter of 2 μm or more can be obtained in good yield, and production suitable for mass production has become possible. In particular, since this β-type silicon nitride whisker has a larger diameter than conventional whiskers, when it is used to produce a reinforced composite material of metal, plastic, or ceramic, an excellent strengthening effect can be obtained. In particular, it is possible to provide a sintered body having excellent characteristics, particularly improved toughness, simply by mixing it with various types of ceramic powder as a ceramic reinforcing material and sintering it.

(実施例) 以下に実施例及び比較例を示す。(Example) An example and a comparative example are shown below.

実施例1 シリコンジイミドを1200℃で加熱分解して得られた非
晶質窒化珪素粉末50gと純度99.9%の酸化イットリウム
1.0g及び純度99.9%のフッ化カルシウム1.0gとを、窒化
ガス雰囲気下ボールミルで1時間混合した。
Example 1 50 g of amorphous silicon nitride powder obtained by thermally decomposing silicon diimide at 1200 ° C. and yttrium oxide having a purity of 99.9%
1.0 g and 1.0 g of calcium fluoride having a purity of 99.9% were mixed in a nitriding gas atmosphere in a ball mill for 1 hour.

次いで、混合粉末を、内径120mm、内容積450mlの黒鉛
製ルツボに入れ、高周波誘導炉中にセットし、窒化ガス
雰囲気下で、室温から1200℃を1時間、1200℃から1400
℃を2時間、1400℃から1750℃を2.5時間で昇温し、さ
らに、1750℃に6時間保持して焼成した。
Then, the mixed powder is put into a graphite crucible having an inner diameter of 120 mm and an inner volume of 450 ml, and set in a high frequency induction furnace, and the temperature is from room temperature to 1200 ° C. for 1 hour and 1200 ° C. to 1400 ° C. under a nitriding gas atmosphere.
The temperature was raised from 1400 ° C. to 1750 ° C. in 2.5 hours, and then held at 1750 ° C. for 6 hours for firing.

得られた粉末をX線回折によって調べたところ、その
結晶形態は第1図に示すようにβ型であり、また、走査
型電子顕微鏡で観察したところ、第2図に示すように、
長さ20〜80μm、径1.5〜4.0μm(平均径2.5μm)の
ウイスカーであることが認められた。非晶質窒化珪素を
基準にしたウイスカーの収率(以下、単に収率という)
は91%であった。
When the obtained powder was examined by X-ray diffraction, its crystal form was β type as shown in FIG. 1, and when it was observed with a scanning electron microscope, as shown in FIG.
It was confirmed that the whiskers had a length of 20 to 80 μm and a diameter of 1.5 to 4.0 μm (average diameter of 2.5 μm). Whisker yield based on amorphous silicon nitride (hereinafter simply referred to as yield)
Was 91%.

実施例2 比表面積5.3m2/gのα型窒化珪素粉末50gと純度99.9%
の酸化イットリウム1.5g及び純度99.9%のフッ化セリウ
ム3.0gとを、振動ボールミルで2時間混合した。
Example 2 50 g of α-type silicon nitride powder having a specific surface area of 5.3 m 2 / g and purity of 99.9%
Yttrium oxide (1.5 g) and cerium fluoride (3.0 g) having a purity of 99.9% were mixed with a vibrating ball mill for 2 hours.

次いで、混合粉末を、内径120mm、内容積450mlの黒鉛
製ルツボに入れ、高周波誘導炉中にセットし、窒化ガス
雰囲気下で、室温から1200℃を1時間、1200℃から1750
℃を5.5時間で昇温し、さらに、1750℃に8時間保持し
て焼成した。
Next, the mixed powder is put into a graphite crucible having an inner diameter of 120 mm and an inner volume of 450 ml, set in a high-frequency induction furnace, and heated from room temperature to 1200 ° C. for 1 hour and from 1200 ° C. to 1750 in a nitriding gas atmosphere.
The temperature was raised to 5.5 ° C. for 5.5 hours, and the temperature was maintained at 1750 ° C. for 8 hours for firing.

得られた粉末をX線回折によって調べたところ、その
結晶形態はβ型であり、また、走査型電子顕微鏡で観察
したところ、長さ25〜60μm、径1.0〜3.5μm(平均径
2.0μm)のウイスカーであることが認められた。ウイ
スカーの収率は93%であった。
When the obtained powder was examined by X-ray diffraction, its crystal form was β type, and when observed with a scanning electron microscope, the length was 25 to 60 μm, and the diameter was 1.0 to 3.5 μm (average diameter).
It was confirmed that the whiskers were 2.0 μm). The yield of whiskers was 93%.

比較例1 シリコンジイミドを1200℃で加熱分解して得られた非
晶質窒化珪素粉末50gと純度99.9%の酸化イットリウム
2.0gとを、窒素ガス雰囲気下ボールミルで1時間混合し
た。
Comparative Example 1 50 g of amorphous silicon nitride powder obtained by thermally decomposing silicon diimide at 1200 ° C. and yttrium oxide having a purity of 99.9%
2.0 g was mixed with a ball mill for 1 hour in a nitrogen gas atmosphere.

得られた混合粉末を実施例1と同様にして焼成した。 The obtained mixed powder was fired in the same manner as in Example 1.

得られた粉末をX線回折によって調べたところ、その
結晶形態はβ型であり、また、走査型電子顕微鏡で観察
したところ、第3図に示すように、長さ10〜30μm、径
0.5〜1.5μm(平均径0.8μm)のウイスカーであるこ
とが認められた。ウイスカーの収率は93%であった。
When the obtained powder was examined by X-ray diffraction, the crystal form was β type, and when observed with a scanning electron microscope, as shown in FIG. 3, the length was 10 to 30 μm and the diameter was 10 μm.
It was recognized that the whiskers were 0.5 to 1.5 μm (average diameter 0.8 μm). The yield of whiskers was 93%.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の実施例1で得られたβ型窒化珪素ウイ
スカーのX線回折図であり、第2図及び第3図は、それ
ぞれ、本発明の実施例1及び比較例1で得られたβ型窒
化珪素ウイスカーの粒子構造を示す図面に代える走査型
電子顕微鏡写真である。
FIG. 1 is an X-ray diffraction diagram of the β-type silicon nitride whiskers obtained in Example 1 of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are obtained in Example 1 of the present invention and Comparative Example 1, respectively. It is a scanning electron micrograph which replaces the drawing which shows the particle structure of the obtained β-type silicon nitride whiskers.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】非晶質窒化珪素及び/又はα型窒化珪素粉
末100重量部に、酸化物粉末又は焼成時に酸化物に転化
しうる化合物粉末(ただし、フッ化物を除く)、及びフ
ッ化物粉末が合計で0.01〜20重量部配合された混合粉末
を、非酸化性ガス雰囲気下1550〜1800℃で焼成すること
を特徴とするβ型窒化珪素ウイスカーの製法。
1. 100 parts by weight of amorphous silicon nitride and / or α-type silicon nitride powder, oxide powder or compound powder (excluding fluoride) that can be converted into oxide during firing, and fluoride powder A method for producing β-type silicon nitride whiskers, which comprises firing a mixed powder containing 0.01 to 20 parts by weight in total at 1550 to 1800 ° C in a non-oxidizing gas atmosphere.
【請求項2】酸化物粉末が、稀土類元素及びアルカリ土
類金属の酸化物から選ばれる少なくとも一種の粉末であ
る特許請求の範囲第1項記載のβ型窒化珪素ウイスカー
の製法。
2. The method for producing β-type silicon nitride whiskers according to claim 1, wherein the oxide powder is at least one powder selected from oxides of rare earth elements and alkaline earth metals.
【請求項3】フッ化物粉末が、アルカリ金属、アルカリ
土類金属及び稀土類元素のフッ化物から選ばれる少なく
とも一種の粉末であることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載のβ型窒化珪素ウイスカーの製法。
3. The β-nitride according to claim 1, wherein the fluoride powder is at least one powder selected from fluorides of alkali metals, alkaline earth metals and rare earth elements. How to make silicon whiskers.
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