JP2670285B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JP2670285B2 JP2670285B2 JP63035601A JP3560188A JP2670285B2 JP 2670285 B2 JP2670285 B2 JP 2670285B2 JP 63035601 A JP63035601 A JP 63035601A JP 3560188 A JP3560188 A JP 3560188A JP 2670285 B2 JP2670285 B2 JP 2670285B2
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- insulating tube
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- tube
- gas laser
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はトリガ電極によって放電空間を予備電離す
る構造のガスレーザ装置に関する。
る構造のガスレーザ装置に関する。
（従来の技術） 一般に、ガスレーザ発振装置は、その放電空間を予備
電離してから一対の主電極間に主放電を生じさせてレー
ザ光を発振させるようにしている。上記放電空間を予備
電離するには種々の手段があり、その１つとしてトリガ
電極を用いることが知られている。
電離してから一対の主電極間に主放電を生じさせてレー
ザ光を発振させるようにしている。上記放電空間を予備
電離するには種々の手段があり、その１つとしてトリガ
電極を用いることが知られている。
トリガ電極を用いたガスレーザ発振装置は、通常、第
３図に示すように構成されている。すなわち、図中１は
気密容器としてのレーザ管である。このレーザ管１内に
は一対の主電極として陰極２と、この陰極の上方に離間
対向した陽極３とが配設されている。これら陰極２と陽
極３とにはピーキングコンデンサ４を介してパルス電極
５が接続されている。
３図に示すように構成されている。すなわち、図中１は
気密容器としてのレーザ管である。このレーザ管１内に
は一対の主電極として陰極２と、この陰極の上方に離間
対向した陽極３とが配設されている。これら陰極２と陽
極３とにはピーキングコンデンサ４を介してパルス電極
５が接続されている。
一方、上記陰極２の電極面にはレーザ管１の軸方向と
平行に複数のＶ溝６が形成されている。各Ｖ溝６にはそ
れぞれトリガ電極７が載置されている。
平行に複数のＶ溝６が形成されている。各Ｖ溝６にはそ
れぞれトリガ電極７が載置されている。
従来、上記トリガ電極７は第４図に示すようにパイレ
ックスガラス管などからなる絶縁管８と、この絶縁管８
に挿通されたトリガワイヤ９とから構成され、上記絶縁
管８は絶縁性の向上を計るために一端が封止部8aに形成
され、他端がＬ字状の折曲部8bに形成されている。
ックスガラス管などからなる絶縁管８と、この絶縁管８
に挿通されたトリガワイヤ９とから構成され、上記絶縁
管８は絶縁性の向上を計るために一端が封止部8aに形成
され、他端がＬ字状の折曲部8bに形成されている。
上記トリガワイヤ９は一端が上記封止部8aの近傍に位
置し、他端側は折曲部8bから導出され、その導出端は小
容量コンテナ10および陽極３に接続されてから接地され
ている。そして、陰極２に30KV程度の負高圧パルスを印
加すると、トリガワイヤ９と陰極２のＶ溝６のエッジ部
との間でコロナ放電が生じるから、それによって陰極２
の表面が予備電離され、レーザ発振に有効な大体積グロ
ー放電が得られるようになっている。
置し、他端側は折曲部8bから導出され、その導出端は小
容量コンテナ10および陽極３に接続されてから接地され
ている。そして、陰極２に30KV程度の負高圧パルスを印
加すると、トリガワイヤ９と陰極２のＶ溝６のエッジ部
との間でコロナ放電が生じるから、それによって陰極２
の表面が予備電離され、レーザ発振に有効な大体積グロ
ー放電が得られるようになっている。
ところで、このような構成のガスレーザ装置において
は、レーザ管２内になんらかの原因で大気が混入し、陰
極２と陽極３間における放電開始電圧が上昇することが
ある。すると、陰極２とトリガワイヤ９との間に大きな
電圧が印加され、その電圧が絶縁管８を貫通して陰極２
へ抜けるから、それによって上記絶縁管８の封止部8aの
箇所が破壊されるということがあった。また、上記絶縁
管８は絶縁性を向上させる目的で一端を封止部8aに、他
端側を折曲部8bに熱加工しているため、その両端部に熱
加工歪みが残ることが避けられない。すると、それらの
封止部8aと折曲部8bとの箇所は熱加工歪みによって破壊
電圧が低下することになるから、それによっても絶縁管
８が破壊し易いということがあった。
は、レーザ管２内になんらかの原因で大気が混入し、陰
極２と陽極３間における放電開始電圧が上昇することが
ある。すると、陰極２とトリガワイヤ９との間に大きな
電圧が印加され、その電圧が絶縁管８を貫通して陰極２
へ抜けるから、それによって上記絶縁管８の封止部8aの
箇所が破壊されるということがあった。また、上記絶縁
管８は絶縁性を向上させる目的で一端を封止部8aに、他
端側を折曲部8bに熱加工しているため、その両端部に熱
加工歪みが残ることが避けられない。すると、それらの
封止部8aと折曲部8bとの箇所は熱加工歪みによって破壊
電圧が低下することになるから、それによっても絶縁管
８が破壊し易いということがあった。
（発明が解決しようとする課題） このように従来のガスレーザ発振装置においては、ト
リガ電極の絶縁管の一端が封止され、他端がＬ字状に折
曲されていたので、陰極とトリガ電極との間に加わる大
電圧によって上記絶縁管の封止された一端が破壊された
り、熱加工歪みを有する両端部の破壊電圧が低いため、
その両端部が破壊し易いなどのことがあった。
リガ電極の絶縁管の一端が封止され、他端がＬ字状に折
曲されていたので、陰極とトリガ電極との間に加わる大
電圧によって上記絶縁管の封止された一端が破壊された
り、熱加工歪みを有する両端部の破壊電圧が低いため、
その両端部が破壊し易いなどのことがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その
目的とするところは、大きな電圧が印加されても、トリ
ガ電極の絶縁管が破壊しずらいようにしたガスレーザ発
振装置を提供することにある。
目的とするところは、大きな電圧が印加されても、トリ
ガ電極の絶縁管が破壊しずらいようにしたガスレーザ発
振装置を提供することにある。
［発明の構成］ 上記課題を解決するためにこの発明は、気密容器と、
この気密容器内に離間対向して配置された少なくとも一
対の主電極と、これら主電極にパルス電圧を印加するパ
ルス電源と、上記一対の主電極の一方あるいは両方の電
極面上に配置された予備放電用のトリガ電極とを具備
し、上記トリガ電極は、両端が開口したストレート状の
絶縁管と、この絶縁管に挿通され一端が上記絶縁管の一
方の開口端から所定寸法内側に位置し他端が上記絶縁管
の他端開口から導出されたトリガワイヤとから構成す
る。このような構成とすることによって上記絶縁管の破
壊電圧を向上させるとともに、トリガ電極に必要以上に
大きな電圧が印加された場合にも、絶縁管が破壊される
ことがないようにしたものである。
この気密容器内に離間対向して配置された少なくとも一
対の主電極と、これら主電極にパルス電圧を印加するパ
ルス電源と、上記一対の主電極の一方あるいは両方の電
極面上に配置された予備放電用のトリガ電極とを具備
し、上記トリガ電極は、両端が開口したストレート状の
絶縁管と、この絶縁管に挿通され一端が上記絶縁管の一
方の開口端から所定寸法内側に位置し他端が上記絶縁管
の他端開口から導出されたトリガワイヤとから構成す
る。このような構成とすることによって上記絶縁管の破
壊電圧を向上させるとともに、トリガ電極に必要以上に
大きな電圧が印加された場合にも、絶縁管が破壊される
ことがないようにしたものである。
（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図と第２図を参照し
て説明する。なお、第３図と第４図とに示す構成と同一
の部分には同一の記号を付して説明を省略する。すなわ
ち、この発明に係わるトリガ電極７の絶縁管18は、外形
が4mm、内径が1.5mm程度のパイレックスガラス管によっ
て両端が開口したストレート状に形成されている。この
絶縁管18に挿通されたトリガワイヤ９は先端を上記絶縁
管18の一方の開口端から所定寸法、たとえば50mm程度内
方に位置させ、他端は絶縁管18の他端開口よりも十分内
方の位置でたとえば架橋ポリエチレン線などのような高
耐圧被覆ケーブル11のリード線12に接続されている。つ
まり、このリード線12はトリガワイヤ９の一部をなして
いる。そして、各トリガ電極７のトリガワイヤ９に接続
されたリード線12は小容量コンデンサ10に接続されてい
る。この小容量コンデンサ10はトリガ電極７が陰極２の
電極面上に10本程度設けられる場合には1000ピコファラ
ッド程度の容量のものを用いれば、後述するごとくトリ
ガワイヤ９と陰極２との間に沿面放電が生じても、その
ときに上記トリガワイヤ９に流れる電流を制限し、トリ
ガワイヤ９が溶断されるのを防止する。
て説明する。なお、第３図と第４図とに示す構成と同一
の部分には同一の記号を付して説明を省略する。すなわ
ち、この発明に係わるトリガ電極７の絶縁管18は、外形
が4mm、内径が1.5mm程度のパイレックスガラス管によっ
て両端が開口したストレート状に形成されている。この
絶縁管18に挿通されたトリガワイヤ９は先端を上記絶縁
管18の一方の開口端から所定寸法、たとえば50mm程度内
方に位置させ、他端は絶縁管18の他端開口よりも十分内
方の位置でたとえば架橋ポリエチレン線などのような高
耐圧被覆ケーブル11のリード線12に接続されている。つ
まり、このリード線12はトリガワイヤ９の一部をなして
いる。そして、各トリガ電極７のトリガワイヤ９に接続
されたリード線12は小容量コンデンサ10に接続されてい
る。この小容量コンデンサ10はトリガ電極７が陰極２の
電極面上に10本程度設けられる場合には1000ピコファラ
ッド程度の容量のものを用いれば、後述するごとくトリ
ガワイヤ９と陰極２との間に沿面放電が生じても、その
ときに上記トリガワイヤ９に流れる電流を制限し、トリ
ガワイヤ９が溶断されるのを防止する。
このような構造のガスレーザ発振装置において、陰極
２と陽極３との間隔をたとえば30mmとすると、放電開始
電圧はTEACO2レーザの場合30KVであり、また３気圧のエ
キシマレーザでもほぼ30KVである。しかしながら、レー
ザ管１内に大気が混入したりすると、放電開始電圧が50
KV程度まで上昇し、その異常電圧が陰極２とトリガ電極
７との間に印加されることになる。すると、異常電圧は
トリガワイヤ９から絶縁管18の開放した先端を通って陰
極２へ流れ、陰極２との間で沿面放電を発生させること
になるから、上記絶縁管18が破壊されるのが防止され
る。
２と陽極３との間隔をたとえば30mmとすると、放電開始
電圧はTEACO2レーザの場合30KVであり、また３気圧のエ
キシマレーザでもほぼ30KVである。しかしながら、レー
ザ管１内に大気が混入したりすると、放電開始電圧が50
KV程度まで上昇し、その異常電圧が陰極２とトリガ電極
７との間に印加されることになる。すると、異常電圧は
トリガワイヤ９から絶縁管18の開放した先端を通って陰
極２へ流れ、陰極２との間で沿面放電を発生させること
になるから、上記絶縁管18が破壊されるのが防止され
る。
また、トリガワイヤ９の他端には高耐圧被覆ケーブル
11を接続し、この高耐圧被覆ケーブル11を絶縁管18の他
端開口から導出した。そのため、絶縁管18の他端側では
絶縁破壊や沿面放電が発生することがないから、上記ト
リガワイヤ９に電荷を有効に供給することができる。
11を接続し、この高耐圧被覆ケーブル11を絶縁管18の他
端開口から導出した。そのため、絶縁管18の他端側では
絶縁破壊や沿面放電が発生することがないから、上記ト
リガワイヤ９に電荷を有効に供給することができる。
さらに、絶縁管18はその両端部に熱加工歪みが残留す
ることのないストレート状とした。したがって、絶縁管
18の破壊電圧を向上させることができるから、それによ
っても絶縁管18が破壊しずらい。
ることのないストレート状とした。したがって、絶縁管
18の破壊電圧を向上させることができるから、それによ
っても絶縁管18が破壊しずらい。
なお、上記一実施例ではトリガワイヤの他端に、トリ
ガワイヤの一部をなす高電圧被覆ケーブルを、接続し、
このケーブルを絶縁管の他端から導出したが、トリガワ
イヤを１本のワイヤで形成し、その他端側に高耐圧絶縁
材を被覆し、その高耐圧絶縁材が被覆された部分を絶縁
管の他端開口から導出するようにしてもよい。
ガワイヤの一部をなす高電圧被覆ケーブルを、接続し、
このケーブルを絶縁管の他端から導出したが、トリガワ
イヤを１本のワイヤで形成し、その他端側に高耐圧絶縁
材を被覆し、その高耐圧絶縁材が被覆された部分を絶縁
管の他端開口から導出するようにしてもよい。
また、トリガ電極は陽極の電極面あるいは陰極と陽極
の電極面の両方に設けるようにしてもよい。
の電極面の両方に設けるようにしてもよい。
［発明の効果］ 以上述べたようなこの発明は、放電空間を予備電離す
るためのトリガ電極の絶縁管を、両端面が開放したスト
レート状とし、ここに挿通されるトリガワイヤの一端を
上記絶縁管の一端開口よりも所定寸法内方に位置させ、
他端から導出される他端側は絶縁材で被覆するようにし
た。したがって、トリガ電極に必要以上に大きな電圧が
加わっても、その電圧はトリガワイヤから絶縁管の開放
した一端を通って電極に流れるから、上記絶縁管が破壊
されるのが防止される。さらに、絶縁管は従来のように
熱加工されて熱歪みが残留しているということがないか
ら、そのことによっても破壊されずらいなどの利点を有
する。
るためのトリガ電極の絶縁管を、両端面が開放したスト
レート状とし、ここに挿通されるトリガワイヤの一端を
上記絶縁管の一端開口よりも所定寸法内方に位置させ、
他端から導出される他端側は絶縁材で被覆するようにし
た。したがって、トリガ電極に必要以上に大きな電圧が
加わっても、その電圧はトリガワイヤから絶縁管の開放
した一端を通って電極に流れるから、上記絶縁管が破壊
されるのが防止される。さらに、絶縁管は従来のように
熱加工されて熱歪みが残留しているということがないか
ら、そのことによっても破壊されずらいなどの利点を有
する。
第１図はこの発明の一実施例を示すトリガ電極の配置状
態の斜視図、第２図は同じく断面図、第３図はガスレー
ザ発振装置の一般的な構造の断面図、第４図は従来のト
リガ電極の側面図である。 １……レーザ管、２……陰極、３……陽極、７……トリ
ガ電極、９……トリガワイヤ、18……絶縁管。
態の斜視図、第２図は同じく断面図、第３図はガスレー
ザ発振装置の一般的な構造の断面図、第４図は従来のト
リガ電極の側面図である。 １……レーザ管、２……陰極、３……陽極、７……トリ
ガ電極、９……トリガワイヤ、18……絶縁管。
Claims (1)
- 【請求項１】気密容器と、この気密容器内に離間対向し
て配置された少なくとも一対の主電極と、これら主電極
にパルス電圧を印加するパルス電源と、上記主電極の一
方あるいは両方の電極面上に配置された予備放電用のト
リガ電極とを具備し、 上記トリガ電極は、両端が開口したストレート状の絶縁
管と、この絶縁管に挿通され一端が上記絶縁管の一方の
開口端から所定寸法内側に位置し他端が上記絶縁管の他
端開口から導出されたトリガワイヤとから構成されてい
ることを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035601A JP2670285B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035601A JP2670285B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01209774A JPH01209774A (ja) | 1989-08-23 |
| JP2670285B2 true JP2670285B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=12446342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035601A Expired - Fee Related JP2670285B2 (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2670285B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5680190A (en) * | 1979-12-05 | 1981-07-01 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPS62163381A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-20 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPS63237587A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-04 | Toshiba Corp | レ−ザ装置 |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP63035601A patent/JP2670285B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01209774A (ja) | 1989-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |