JP2669909B2 - 振動波アクチュエータ装置 - Google Patents
振動波アクチュエータ装置Info
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- JP2669909B2 JP2669909B2 JP1268717A JP26871789A JP2669909B2 JP 2669909 B2 JP2669909 B2 JP 2669909B2 JP 1268717 A JP1268717 A JP 1268717A JP 26871789 A JP26871789 A JP 26871789A JP 2669909 B2 JP2669909 B2 JP 2669909B2
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- actuator device
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、進行波の形成される弾性体の進行波形成面
側にスリットを設けた構造の振動波アクチュエータ装置
に関する。
側にスリットを設けた構造の振動波アクチュエータ装置
に関する。
［従来の技術］ 振動波アクチュエータ装置は、例えば円環状又は長円
状に形成された金属製の弾性体に圧電素子等により進行
波を形成し、該圧電素子の固着面とは反対面を相対移動
部材に圧接し、該弾性体と相対移動部材とを進行波によ
り摩擦駆動して相対移動させるようになっている。弾性
体に形成される進行波の振幅は小さいので、弾性体の進
行波形成面側にスリットを周方向に多数設けることによ
り、振動の中立軸を下げてトルクの増加等を行なってい
ることが多い。
状に形成された金属製の弾性体に圧電素子等により進行
波を形成し、該圧電素子の固着面とは反対面を相対移動
部材に圧接し、該弾性体と相対移動部材とを進行波によ
り摩擦駆動して相対移動させるようになっている。弾性
体に形成される進行波の振幅は小さいので、弾性体の進
行波形成面側にスリットを周方向に多数設けることによ
り、振動の中立軸を下げてトルクの増加等を行なってい
ることが多い。
このような振動波アクチュエータ装置の用途は種々あ
るが、例えばプリンターの印字ヘッドを往復駆動する駆
動源として用いることが提案されている。
るが、例えばプリンターの印字ヘッドを往復駆動する駆
動源として用いることが提案されている。
また、このような振動波アクチュエータ装置は、相対
移動部材側の弾性体との接触面側に、摩擦部材を固着し
ているのが普通である。
移動部材側の弾性体との接触面側に、摩擦部材を固着し
ているのが普通である。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、このような振動波アクチュエータ装置を、
例えば上記したようなプリンターの印字ヘッドを駆動す
る駆動源に用いた場合、印字ヘッドの往復ストロークは
一定であり、又印字ヘッドを等ピッチで送ることから、
振動波アクチュエータ装置の起動時と、停止時におい
て、弾性体のスリット間に形成される突起と摩擦部材と
の相対的な位置関係が同じになる場合が一周にスリット
の数だけ存在し、少しずれた場合も含めると略同じ位置
関係になる確立が高い。
例えば上記したようなプリンターの印字ヘッドを駆動す
る駆動源に用いた場合、印字ヘッドの往復ストロークは
一定であり、又印字ヘッドを等ピッチで送ることから、
振動波アクチュエータ装置の起動時と、停止時におい
て、弾性体のスリット間に形成される突起と摩擦部材と
の相対的な位置関係が同じになる場合が一周にスリット
の数だけ存在し、少しずれた場合も含めると略同じ位置
関係になる確立が高い。
そのため、摩擦部材は、同じ個所で弾性体の突起によ
る傷跡が付き、ワウフラッターやトルク性能を下げると
いう問題があった。
る傷跡が付き、ワウフラッターやトルク性能を下げると
いう問題があった。
本発明の目的は、上記した問題点を解決し、摩擦部材
の偏摩耗をなくして安定した性能での駆動を可能とする
振動波アクチュエータ装置を提供することにある。
の偏摩耗をなくして安定した性能での駆動を可能とする
振動波アクチュエータ装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明の目的を達成するための第１の構成は、弾性体
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、停止指示信号
或は正逆転の反転指示信号により指示された停止位置、
或は反転位置に対してランダムに位置をずらして停止或
は反転を行わせる制御手段を設け、停止或は正逆転時に
おける停止位置或は反転位置を規制したものである。
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、停止指示信号
或は正逆転の反転指示信号により指示された停止位置、
或は反転位置に対してランダムに位置をずらして停止或
は反転を行わせる制御手段を設け、停止或は正逆転時に
おける停止位置或は反転位置を規制したものである。
本発明の目的を達成するための第２の構成は、弾性体
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、停止指示信号
或は正逆転の反転指示信号により指示された停止位置、
或は反転位置に対して所定量ずらした位置で停止或は反
転を行わせる制御手段と、前記所定量のずらし量を一定
の規則で変化させる補正量設定手段を設け、停止或は正
逆転時における停止位置或は反転位置を規制したもので
ある。
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、停止指示信号
或は正逆転の反転指示信号により指示された停止位置、
或は反転位置に対して所定量ずらした位置で停止或は反
転を行わせる制御手段と、前記所定量のずらし量を一定
の規則で変化させる補正量設定手段を設け、停止或は正
逆転時における停止位置或は反転位置を規制したもので
ある。
本発明の目的を達成するための第３の構成は、弾性体
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、前記相対移動
量を単位移動量の整数倍で制御するとともに、前記単位
移動量とスリット間隔の関係を単位移動量がスリット間
隔整数倍からはずれる関係に設定したものである。
に形成される複数のスリットの形成面に摩擦部材を介し
て圧接部材を圧接し、該弾性体に配された電気−機械エ
ネルギー変換手段へ駆動制御手段により周波電圧を印加
することで該弾性体に振動を励起し、該弾性体に形成さ
れる振動により、該弾性体と該圧接部材とを相対移動さ
せる振動波アクチュエータ装置において、前記相対移動
量を単位移動量の整数倍で制御するとともに、前記単位
移動量とスリット間隔の関係を単位移動量がスリット間
隔整数倍からはずれる関係に設定したものである。
［作用］ 上記した構成の振動波アクチュエータ装置は、スリッ
ト部と摩擦部材の相対位置関係が一致する頻度が少なく
なり、摩擦部材にスリット跡が残るといった偏摩耗が防
止される。
ト部と摩擦部材の相対位置関係が一致する頻度が少なく
なり、摩擦部材にスリット跡が残るといった偏摩耗が防
止される。
［実施例］ （実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示し、回転型振動波アク
チュエータ装置を用いたプリンタの印字ヘッドキャリッ
ジの制御回路のブロック図、第８図はCPU11の動作のフ
ローチャートである。１は弾性材料性の円環状の弾性
体、２は弾性体１に進行性振動波を発生させるための圧
電体等で構成される電気−機械エネルギー変換素子、３
はロータ４に接着又は接合されている摩擦部材で、弾性
体１のスリット構造に加圧接触されており、該進行性振
動波の進行方向と逆方向のトルクをロータ４に伝達して
いる。５はロータの回転をベルト６に伝えている伝達部
材である。ベルト６は印字ヘッド（不図示）を移動させ
ている。７はロータリーエンコーダで、印字ヘッドの移
動速度及び停止位置等の制御に用いている。８はカウン
タによってロータリーエンコーダのパルスをカウントし
て印字ヘッドの位置を検出し、CPU11からの位置指令と
印字ヘッドの位置を比較して印字ヘッドの位置が位置指
令の位置を越した時に第１停止指令信号を発生する位置
比較器で、CPU11からのリセット指令でカウンタをイニ
シャライズする。又第１停止指令信号は位置指令が変更
されると解除される。９はCPU11からのディレイ時間指
令に応じて、第１停止指令信号を遅延させて第２停止指
令信号を発生するプログラマブルディレイ回路で、第１
停止指令信号が入力されると、ディレイ時間指令で与え
られたパルス数だけ、ロータリーエンコーダ７のパルス
をカウントしてから第２停止指令信号を発生する。又、
第１停止指令信号が解除された場合は即座に第２停止指
令信号を解除する。10はCPU11からの速度指令の速度で
印字ヘッドが移動するようにロータリーエンコーダ７の
パルス信号の周波数が該速度に対応するように圧電体２
に印加する交流電圧の振幅、パルス幅、周波数、Ａ相−
Ｂ相間位相差等を制御しているプログラマブル速度制御
装置で、第２停止指令信号が入力されたなら即座に停止
させ停止検出信号がCPU11に出力され、CPU11は停止検出
信号を確認次第速度指令をゼロにしてから次の動作に移
る。CPU11は印字ヘッドの移動の指令や印字データの出
力（不図示）等を行なうことの他にディレイ時間指令を
ランダムに又は一定の規則で変化させるか、あるいは、
いくつかの所定の時間の中からランダムに又は所定の順
番で選択している。第２図に実際の印字例を示す。12は
紙送り用ロータ、13は記録紙である。記録紙13にA,B,C
と印字してあるが、通常この文字間隔はほぼ一定である
ため、文字を印字し終った場所で停止させたり反転させ
たりする場合、停止又は反転する場所の数は、１行の文
字の数で決まってしまう。又、文字間隔がほぼ一定間隔
ｌであるため、弾性体１上のスリット１つ分の中心角を
θS、伝達部材５の回転を直線運動に変換する変換係数
をRLとした時に、もし、ｌ＝Ａ・RL・θS（Ａ＝1,2,3
…）の関係を満たすと、停止又は反転する位置での該ス
リットと摩擦部材３との相対位置関係が常に変わらない
ため、摩擦部材３にスリットの跡が付いてしまい、速度
のムラが多くなってしまう。本実施例は第１停止指令信
号を遅延させ、且つこの遅延時間を適当な時間範囲（ス
リット１つ分、あるいはＮ個分、あるいはｌだけ移動す
る時間の範囲等）でばらつくようにすることで、スリッ
トの跡が付かないようにしたものである。
チュエータ装置を用いたプリンタの印字ヘッドキャリッ
ジの制御回路のブロック図、第８図はCPU11の動作のフ
ローチャートである。１は弾性材料性の円環状の弾性
体、２は弾性体１に進行性振動波を発生させるための圧
電体等で構成される電気−機械エネルギー変換素子、３
はロータ４に接着又は接合されている摩擦部材で、弾性
体１のスリット構造に加圧接触されており、該進行性振
動波の進行方向と逆方向のトルクをロータ４に伝達して
いる。５はロータの回転をベルト６に伝えている伝達部
材である。ベルト６は印字ヘッド（不図示）を移動させ
ている。７はロータリーエンコーダで、印字ヘッドの移
動速度及び停止位置等の制御に用いている。８はカウン
タによってロータリーエンコーダのパルスをカウントし
て印字ヘッドの位置を検出し、CPU11からの位置指令と
印字ヘッドの位置を比較して印字ヘッドの位置が位置指
令の位置を越した時に第１停止指令信号を発生する位置
比較器で、CPU11からのリセット指令でカウンタをイニ
シャライズする。又第１停止指令信号は位置指令が変更
されると解除される。９はCPU11からのディレイ時間指
令に応じて、第１停止指令信号を遅延させて第２停止指
令信号を発生するプログラマブルディレイ回路で、第１
停止指令信号が入力されると、ディレイ時間指令で与え
られたパルス数だけ、ロータリーエンコーダ７のパルス
をカウントしてから第２停止指令信号を発生する。又、
第１停止指令信号が解除された場合は即座に第２停止指
令信号を解除する。10はCPU11からの速度指令の速度で
印字ヘッドが移動するようにロータリーエンコーダ７の
パルス信号の周波数が該速度に対応するように圧電体２
に印加する交流電圧の振幅、パルス幅、周波数、Ａ相−
Ｂ相間位相差等を制御しているプログラマブル速度制御
装置で、第２停止指令信号が入力されたなら即座に停止
させ停止検出信号がCPU11に出力され、CPU11は停止検出
信号を確認次第速度指令をゼロにしてから次の動作に移
る。CPU11は印字ヘッドの移動の指令や印字データの出
力（不図示）等を行なうことの他にディレイ時間指令を
ランダムに又は一定の規則で変化させるか、あるいは、
いくつかの所定の時間の中からランダムに又は所定の順
番で選択している。第２図に実際の印字例を示す。12は
紙送り用ロータ、13は記録紙である。記録紙13にA,B,C
と印字してあるが、通常この文字間隔はほぼ一定である
ため、文字を印字し終った場所で停止させたり反転させ
たりする場合、停止又は反転する場所の数は、１行の文
字の数で決まってしまう。又、文字間隔がほぼ一定間隔
ｌであるため、弾性体１上のスリット１つ分の中心角を
θS、伝達部材５の回転を直線運動に変換する変換係数
をRLとした時に、もし、ｌ＝Ａ・RL・θS（Ａ＝1,2,3
…）の関係を満たすと、停止又は反転する位置での該ス
リットと摩擦部材３との相対位置関係が常に変わらない
ため、摩擦部材３にスリットの跡が付いてしまい、速度
のムラが多くなってしまう。本実施例は第１停止指令信
号を遅延させ、且つこの遅延時間を適当な時間範囲（ス
リット１つ分、あるいはＮ個分、あるいはｌだけ移動す
る時間の範囲等）でばらつくようにすることで、スリッ
トの跡が付かないようにしたものである。
又、停止位置や、反転位置をずらせない場合には、RL
（回転−直線変換係数）やθS（スリット１つ分の中心
角）を、ｌ＝Ａ・RL・θS（Ａ＝1,2,3…）とならないよ
うに選べば、スリット跡の影響は少なくなる。
（回転−直線変換係数）やθS（スリット１つ分の中心
角）を、ｌ＝Ａ・RL・θS（Ａ＝1,2,3…）とならないよ
うに選べば、スリット跡の影響は少なくなる。
（実施例２） 第３図は実施例２を示し、リニア型振動波アクチュエ
ータ装置を用いたプリンタ用印字ヘットのキャリッジの
構成図である。14は長円形の弾性体で、スリット構造を
持ち、スリット形成面とは反対面に圧電体15が接着され
ており、該弾性体14の直線部のスリット構造部が、基台
17に接着された摩擦部材16に適度な加圧力で接触され、
該弾性体14に進行性振動波を発生させることで印字ヘッ
ド部18を軸棒19にそってリニアに往復運動させるように
なっている。第４図は弾性体14のスリット構造部の一部
に着目して単位移動距離ｌだけ移動した時の摩擦部材16
との位置関係を表わした図で、斜線部がスリット跡が付
いてしまう場所である。同図（ａ），（ｂ）は弾性体14
のスリット間隔がｌのもので、（ｃ），（ｄ），（ｅ）
は弾性体14のスリット間隔が1.5lの場合である。同図か
ら明らかなように、該スリット間隔がｌの場合、同じ場
所に該スリット跡を残してしまうため、摩擦部材16の表
面に凹凸ができ、弾性体14がスリットしたり突き当った
りするために性能が悪化してしまう。一方、該スリット
間隔が1.5lの場合は該スリット跡の位置がずれてゆくの
で、比較的一様に摩擦部材16の表面が摩耗するため性能
を長期間安定に保つことができる。又、突起間隔をＳ、
突起幅をS1とすると、単位移動距離ｌの起動停止を繰り
返した時に弾性体14の突起部と摩擦部材16との相対位置
関係がほぼ一致するまでの起動停止回数がS/S1以上とな
るようにS1を設定する。又、本実施例は該スリット間隔
がｌより長い場合を示したがl/1.5等のように短くして
も良い。なお、スリット間隔とは第４図の（ｃ）で示さ
れるＳである。
ータ装置を用いたプリンタ用印字ヘットのキャリッジの
構成図である。14は長円形の弾性体で、スリット構造を
持ち、スリット形成面とは反対面に圧電体15が接着され
ており、該弾性体14の直線部のスリット構造部が、基台
17に接着された摩擦部材16に適度な加圧力で接触され、
該弾性体14に進行性振動波を発生させることで印字ヘッ
ド部18を軸棒19にそってリニアに往復運動させるように
なっている。第４図は弾性体14のスリット構造部の一部
に着目して単位移動距離ｌだけ移動した時の摩擦部材16
との位置関係を表わした図で、斜線部がスリット跡が付
いてしまう場所である。同図（ａ），（ｂ）は弾性体14
のスリット間隔がｌのもので、（ｃ），（ｄ），（ｅ）
は弾性体14のスリット間隔が1.5lの場合である。同図か
ら明らかなように、該スリット間隔がｌの場合、同じ場
所に該スリット跡を残してしまうため、摩擦部材16の表
面に凹凸ができ、弾性体14がスリットしたり突き当った
りするために性能が悪化してしまう。一方、該スリット
間隔が1.5lの場合は該スリット跡の位置がずれてゆくの
で、比較的一様に摩擦部材16の表面が摩耗するため性能
を長期間安定に保つことができる。又、突起間隔をＳ、
突起幅をS1とすると、単位移動距離ｌの起動停止を繰り
返した時に弾性体14の突起部と摩擦部材16との相対位置
関係がほぼ一致するまでの起動停止回数がS/S1以上とな
るようにS1を設定する。又、本実施例は該スリット間隔
がｌより長い場合を示したがl/1.5等のように短くして
も良い。なお、スリット間隔とは第４図の（ｃ）で示さ
れるＳである。
尚、リニアタイプの振動波アクチュエータ装置におい
て、第３図のような用途では印字範囲で高精度なワウフ
ラッター性能が要求されるため、移動可能範囲の両端の
みで起動停止又は正逆転するように構成してもよい。
て、第３図のような用途では印字範囲で高精度なワウフ
ラッター性能が要求されるため、移動可能範囲の両端の
みで起動停止又は正逆転するように構成してもよい。
（実施例３） 上記実施例２は直線運動の一例を示したが、第５図の
ような紙送り機構や、ステッパー（半導体露光装置）の
ステージ等のように、単位移動量、単位回転角の整数倍
の移動、回転を繰り返す用途にも同様の効果がある。
ような紙送り機構や、ステッパー（半導体露光装置）の
ステージ等のように、単位移動量、単位回転角の整数倍
の移動、回転を繰り返す用途にも同様の効果がある。
（実施例４） 上記実施例は進行波を利用した振動波アクチュエータ
装置について述べたが定在波を利用した振動波アクチュ
エータ装置でも同様である。第６図に定在波を利用した
振動波アクチュエータ装置の例を示す。同図（ａ）はロ
ータ部、（ｂ），（ｃ）は夫々異なる振動子である。
装置について述べたが定在波を利用した振動波アクチュ
エータ装置でも同様である。第６図に定在波を利用した
振動波アクチュエータ装置の例を示す。同図（ａ）はロ
ータ部、（ｂ），（ｃ）は夫々異なる振動子である。
第６図（ｂ）に示す振動子20は弾性体20−a,20−ｃで
積層PZT等の圧電体20−ｂをはさんだもので、厚さ方向
に振動させ、上部の突起部20−ｄが斜めになっているこ
とにより、該突起部20−ｄの先端の振動方向を回転方向
に変えるようになっている。第６図（ｃ）に示す振動子
19は弾性体19−a,19−ｄで積層PZT等の２つの圧電体19
−b,19−ｃをはさんだもので、ねじれ方向の振動と厚さ
方向の振動の合成で上部の突起部19−ｅの表面が楕円運
動するようになっている。これによってロータを振動子
19,20の上部突起部20−d,19−ｅに加圧接触させること
で、回転型のモータを構成している。第７図は振動子1
9,20の突起部20−d,19−ｅの平面図である。ここで、振
動子20は、ロータの１回転に１回、振動子19はロータの
１回転に２回該振動子の突起部と摩擦部材３との相対位
置関係が一致するため、一定回転角の起動停止を繰り返
す時に、該相対位置関係が次にほぼ同じ位置関係になる
までの起動停止回数を振動子20を用いた場合は少なくと
も360/θ回以上（θ：突起部の中心角）、振動子19を用
いた場合は少なくとも180/θ回以上とすれば摩擦部材３
に振動子19,20の突起部19−e,20−ｄが均等に接触する
ことになる。すなわち、該突起部の間隔が一定とし該突
起部の数をＮとし、該突起部の中心角をθとすれば、次
にほぼ同じ位置関係になるまでの起動停止回数を360/
（Ｎ・θ）回以上とすれば良い。
積層PZT等の圧電体20−ｂをはさんだもので、厚さ方向
に振動させ、上部の突起部20−ｄが斜めになっているこ
とにより、該突起部20−ｄの先端の振動方向を回転方向
に変えるようになっている。第６図（ｃ）に示す振動子
19は弾性体19−a,19−ｄで積層PZT等の２つの圧電体19
−b,19−ｃをはさんだもので、ねじれ方向の振動と厚さ
方向の振動の合成で上部の突起部19−ｅの表面が楕円運
動するようになっている。これによってロータを振動子
19,20の上部突起部20−d,19−ｅに加圧接触させること
で、回転型のモータを構成している。第７図は振動子1
9,20の突起部20−d,19−ｅの平面図である。ここで、振
動子20は、ロータの１回転に１回、振動子19はロータの
１回転に２回該振動子の突起部と摩擦部材３との相対位
置関係が一致するため、一定回転角の起動停止を繰り返
す時に、該相対位置関係が次にほぼ同じ位置関係になる
までの起動停止回数を振動子20を用いた場合は少なくと
も360/θ回以上（θ：突起部の中心角）、振動子19を用
いた場合は少なくとも180/θ回以上とすれば摩擦部材３
に振動子19,20の突起部19−e,20−ｄが均等に接触する
ことになる。すなわち、該突起部の間隔が一定とし該突
起部の数をＮとし、該突起部の中心角をθとすれば、次
にほぼ同じ位置関係になるまでの起動停止回数を360/
（Ｎ・θ）回以上とすれば良い。
尚、上記実施例は突起部の間隔が一定の場合について
述べたが、突起部の間隔を正弦的に変える等の方法を用
いれば、スリット跡を残さないようにすることができ
る。
述べたが、突起部の間隔を正弦的に変える等の方法を用
いれば、スリット跡を残さないようにすることができ
る。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、弾性体の突起
部と圧接部材の摩擦部材との相対位置関係がずれながら
起動、停止又は正逆転するので、摩擦部材にスリット跡
が偏在するのを防げ、スリップや突き当りによる音の発
生や、速度変動又は停止位置精度の低下を防ぐことがで
き、長期にわたって安定な動作を保つことができる。
部と圧接部材の摩擦部材との相対位置関係がずれながら
起動、停止又は正逆転するので、摩擦部材にスリット跡
が偏在するのを防げ、スリップや突き当りによる音の発
生や、速度変動又は停止位置精度の低下を防ぐことがで
き、長期にわたって安定な動作を保つことができる。
第１図は本発明の実施例１を示すブロック図、第２図は
その印字ヘッドキャリッジ部の単位移動距離を示す図、
第３図は第２図の斜視図、第４図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ），（ｅ）は第３図における弾性体の突起
部と摩擦部材との位置関係を示す図、第５図は実施例３
の斜視図、第６図（ａ），（ｂ），（ｃ）は実施例４の
斜視図、第７図（ａ），（ｂ）は夫々その平面図、第８
図は実施例１のCPU11の動作を示すフローチャート図で
ある。 1,14…弾性体、2,15…圧電体 3,16…摩擦部材、４…ロータ ７…ロータリーエンコーダ 12…ローラ、13…記録紙 18…印字ヘッド、19,20…振動子
その印字ヘッドキャリッジ部の単位移動距離を示す図、
第３図は第２図の斜視図、第４図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ），（ｅ）は第３図における弾性体の突起
部と摩擦部材との位置関係を示す図、第５図は実施例３
の斜視図、第６図（ａ），（ｂ），（ｃ）は実施例４の
斜視図、第７図（ａ），（ｂ）は夫々その平面図、第８
図は実施例１のCPU11の動作を示すフローチャート図で
ある。 1,14…弾性体、2,15…圧電体 3,16…摩擦部材、４…ロータ ７…ロータリーエンコーダ 12…ローラ、13…記録紙 18…印字ヘッド、19,20…振動子
Claims (3)
- 【請求項１】弾性体に形成される複数のスリットの形成
面に摩擦部材を介して圧接部材を圧接し、該弾性体に配
された電気−機械エネルギー変換手段へ駆動制御手段に
より周波電圧を印加することで該弾性体に振動を励起
し、該弾性体に形成される振動により、該弾性体と該圧
接部材とを相対移動させる振動波アクチュエータ装置に
おいて、 停止指示信号或は正逆転の反転指示信号により指示され
た停止位置、或は反転位置に対してランダムに位置をず
らして停止或は反転を行わせる制御手段を設け、停止或
は正逆転時における停止位置或は反転位置を規制したこ
とを特徴とする振動波アクチュエータ装置。 - 【請求項２】弾性体に形成される複数のスリットの形成
面に摩擦部材を介して圧接部材を圧接し、該弾性体に配
された電気−機械エネルギー変換手段へ駆動制御手段に
より周波電圧を印加することで該弾性体に振動を励起
し、該弾性体に形成される振動により、該弾性体と該圧
接部材とを相対移動させる振動波アクチュエータ装置に
おいて、 停止指示信号或は正逆転の反転指示信号により指示され
た停止位置、或は反転位置に対して所定量ずらした位置
で停止或は反転を行わせる制御手段と、前記所定量のず
らし量を一定の規則で変化させる補正量設定手段を設
け、停止或は正逆転時における停止位置或は反転位置を
規制したことを特徴とする振動波アクチュエータ装置。 - 【請求項３】弾性体に形成される複数のスリットの形成
面に摩擦部材を介して圧接部材を圧接し、該弾性体に配
された電気−機械エネルギー変換手段へ駆動制御手段に
より周波電圧を印加することで該弾性体に振動を励起
し、該弾性体に形成される振動により、該弾性体と該圧
接部材とを相対移動させる振動波アクチュエータ装置に
おいて、 前記相対移動量を単位移動量の整数倍で制御するととも
に、前記単位移動量とスリット間隔の関係を単位移動量
がスリット間隔の整数倍からはずれる関係に設定した制
御手段を有することを特徴とする振動波アクチュエータ
装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268717A JP2669909B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 振動波アクチュエータ装置 |
| US07/794,834 US5155418A (en) | 1989-10-16 | 1991-11-21 | Actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268717A JP2669909B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 振動波アクチュエータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03135383A JPH03135383A (ja) | 1991-06-10 |
| JP2669909B2 true JP2669909B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=17462376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1268717A Expired - Fee Related JP2669909B2 (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 振動波アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2669909B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4688245B2 (ja) * | 1998-06-02 | 2011-05-25 | セイコーインスツル株式会社 | 位置決めシステム及び超音波モータ付電子機器 |
| JP4902130B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2012-03-21 | 京セラ株式会社 | 案内装置及びその駆動制御方法 |
| JP5229098B2 (ja) * | 2009-05-13 | 2013-07-03 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 超音波アクチュエータ |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP1268717A patent/JP2669909B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03135383A (ja) | 1991-06-10 |
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