JP2668482B2 - リニアモーターシステムのステータ - Google Patents

リニアモーターシステムのステータ

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JP2668482B2
JP2668482B2 JP4160096A JP16009692A JP2668482B2 JP 2668482 B2 JP2668482 B2 JP 2668482B2 JP 4160096 A JP4160096 A JP 4160096A JP 16009692 A JP16009692 A JP 16009692A JP 2668482 B2 JP2668482 B2 JP 2668482B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、リニアモーターシス
テムのステータの改良、特に、熱的に安定したステータ
の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】リニアモーターシステムのよく知られて
いる技術の一つとして、１９８９年４月１４日に特許の
米国特許第4,823,062 号の特許明細書に開示されたＸ−
Ｙ方向の二方向へ移動するリニアモーターを備えたリニ
アモーターシステムがある。このリニアモーターシステ
ムは、強磁性素材からなるステータ（固定板または固定
部材）またはプラテンの面にそってＸ−Ｙ方向へ移動す
るリニアモーターを備えており、該モーターの移動は、
前記ステータまたはプラテンの面（ワーク面）に形成さ
れた所定の間隔をおいて配列された垂直の縦列と平行の
横列の直交する格子状の線または溝により囲まれる複数
の平面スクエアー形状のティース（駒）ごとに移動する
もので、このような構成のリニアモーターは、ジネティ
ックス・コーポレーションにより製造されている。この
リニアモーターは、前記のような格子状に区画されたテ
ィース（駒）をもつプラテンのワーク面と共同して、互
いに垂直なＸ−Ｙ方向へ移動する電磁場を作り、これに
よってリニアモーターを少なくとも0.001 インチの精度
をもって前記強磁性プラテンワーク面にそい移動させ、
リニアモーターを所定の位置へ位置させる。そして、前
記プラテンの面上を移動する電磁場により、渦電流発熱
作用が前記電磁場の動く前記プラテンの面の部分に発生
する。このような発熱作用は、前記プラテンの面に局部
的に発生し、このように局部的に発熱し、温度が高くな
った部分（ホットスポット）の発生により、前記プラテ
ンの温度分布が平衡を失い、局部的な加熱により前記プ
ラテンの寸法精度に狂いが生じ、前記格子状の線または
溝、そしてティース部分に歪みや崩れが出て、極めて高
精度の動きのリニアモーターの作用に欠陥が生ずる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記したように、従来
の技術においては、前記プラテンの局部的な発熱による
寸法精度の崩壊が問題点となっており、これが、本発明
の解決課題である。
【０００４】
【課題を解決するための具体的手段】前記課題を解決す
るために、本発明は、リニアモーターシステムに使用さ
れる強磁性ステータまたはプラテンに、複数の小室に区
分された熱交換室を設け、これら小室にクーラントを循
環させて、前記ステータに発生したホットスポットを冷
却し、前記ステータの温度を均一なものにして、前記ス
テータの部分的な発熱現象による熱的作用の悪影響を防
ぐ構成によって、前記課題を解決するものである。
【０００５】この発明の第１の目的は、前記のように、
前記プラテンの温度分布を均一なものとするように、前
記プラテンの局部的発熱による温度分布のアンバランス
を平衡化する手段を提供することにある。
【０００６】この発明の他の目的は、前記のように、前
記プラテン、特に、ワーク面の温度分布を均一なものと
するように、前記プラテンのワーク面の局部的発熱によ
る温度分布のアンバランスを平衡化し、リニアモーター
の動きに高精度の的確性を付与する手段を提供すること
にある。
【０００７】この発明の他の目的は、前記のように、前
記プラテン、特に、ワーク面の温度分布を均一なものと
するように、前記プラテンのワーク面の局部的発熱によ
る温度分布のアンバランスを平衡化し、リニアモーター
の動きに高精度の的確性を付与するプラテンを提供する
ことにある。
【０００８】この発明の他の目的は、前記のように、前
記プラテン、特に、ワーク面の温度分布を均一なものと
するように、前記プラテンのワーク面の局部的発熱によ
る温度分布のアンバランスを平衡化するための冷却手段
を有し、リニアモーターの動きに高精度の的確性を付与
するプラテンを提供することにある。
【０００９】
【実施例】図１は、リニアモーターシステムの構成を簡
単に示す斜視図であり、リニアモーター１０は、プラテ
ン１２のワーク面にそって縦横の互いに直交する方向へ
移動可能になっている。プラテン１２の面には、互いに
直交する複数本の格子状の線１４，１６が形成されてい
てる。これらの線は、プラテンの面に研磨、研削などの
手段で形成され、各線の間に規則正しいマトリックステ
ィース１８（駒）が設けられ、これらティース１８は、
リニアモーター１０に設けられている互いに垂直なフォ
ーサー（駆動体）と共同してリニアモーター１０を所定
の態様でプラテン１２の面に沿って移動するようになっ
ている。
【００１０】リニアモーター１０に設けられている互い
に垂直なフォーサーの各々については、米国特許4,823,
062 号にその詳細が開示されており、前記フォーサー
は、電磁石から構成され、これら電磁石は、正弦波電流
により駆動され、正弦波電流は、互いに位相がずれてい
て、前記駆動電流が3600にわたって回転する度ごとに前
記フォーサーを一つのツースピッチ（駒ピッチ）（代表
的には0.040 インチ）づつ移動させる。各フォーサーへ
の電流は、”マイクロステップ”と称されている、それ
ぞれはっきりと分かれたステップで前進または後退され
る。例えば、１ピッチ当り400 マイクロステップとすれ
ば、フォーサーの動きは、かなり連続的になる。プラテ
ン１２のティース１８（駒）は、格子状の線または溝１
４，１６により区画されている。
【００１１】リニアモーター１０とプラテン１２のワー
ク面との間に空気膜または空気層を形成することで、リ
ニアモーター１０を前記ワーク面に対し無接触の状態
で、摩擦無しに移動させることができ、このような空気
膜または空気層の形成は、加圧空気移送ケーブル１０ａ
により加圧された空気をリニアモーターへ供給すること
によって行われる。空気膜または空気層の形成のため
に、リニアモーターの底面（プラテンのワーク面に対面
する面）に微細な開口が設けてあり、これら開口から加
圧された空気がプラテン１２のワーク面へ向けて噴出
し、リニアモーター１０を前記ワーク面上に浮上させ
る。また、このような空気膜または空気層の代わりに、
リニアベアリングを用いることもできる。
【００１２】リニアモーターフォーサーへのコマンドシ
グナルは、ＣＰＵから指令され、該シグナルは、位置、
速度ならびに加速データの形態で与えられ、該データ
は、前記シグナルをリニアモーター１０のフォーサーへ
カップリングするコントローラー２０によりインタープ
リートされるアナログ波形のものである。
【００１３】リニアモーターは、プラテンのワーク面の
上を所定の位置を占めるように移動する。リニアモータ
ーは、不規則なパターンで、例えば、本出願人に付与さ
れている１９８９年１２月２６日に特許された米国特許
第4,890,241 号に開示されているロボットシステムのよ
うなロボットシステムにおける動作のような動きをする
ので、動作サイクルの間、リニアモーター１０により発
生の電磁場が通過する強磁性素材のプラテン面の位置ま
たは場所部分にバラつきがあり、頻繁に電磁場が通過す
る位置または場所部分と殆ど通過しない位置または場所
部分があり、このようなリニアモーターの動きで、電磁
場が通過するプラテンのワーク面の部分には、”ホット
スポット”と称される発熱部分が発生し、このようなプ
ラテンのワーク面における不均一な加熱作用により、極
めて正確な高精度の格子状パターンのティースをもつプ
ラテンの格子状の面の寸法精度が崩れ、誤動作や位置誤
差が生じ、これによってリニアモーターが所望の動きを
しなくなったり、所定の正しい位置に到達しなくなった
りする。
【００１４】したがって、前記プラテンのワーク面の不
均一な加熱による部分的な発熱部分”ホットスポット”
の発生を防ぎ、”ホットスポット”の存在による寸法的
な崩れを防ぐことが必要であり、このために、プラテン
の冷却手段を講ずることが重要となる。
【００１５】図２は、本発明の実施例を示すもので、図
１のプラテンの内部が部分的に示されている。
【００１６】図２に示すように、プラテン１２には、中
空の熱交換作用室が設けられていて、この熱交換室は、
隔壁Ｂによって仕切られた複数の独立したコンパートメ
ント（小室）Ｃ１〜Ｃｎから構成され、各コンパートメ
ントを仕切る隔壁部分には、クーラントを通す上位通路
Ｕと下位通路Ｌとがそれぞれ形成されている。クーラン
トは、一方のコンパートメントから隣り合うコンパート
メントへ自然流通または図３に示す強制ポンプ手段によ
る強制流通の状態で前記通路Ｕ，Ｌを介して流れる。
【００１７】例えば、前記米国特許第4,890,241 号の特
許明細書に開示された例では、プラテン１２のワーク面
１２ａは、図２に示すように、下向きになっているが、
上向きの物でも浴、この場合には、符号１２ａで示され
ている面は、プラテンの底面となり、ワーク面は、図２
において開放さている側の面である。そして、前記コン
パートメントそれぞれには、例えば、水と不凍クーラン
トとの混合液である適当なクーラントが充満されてい
る。この混合液は、水が２０〜８０％で、不凍性クーラ
ントが８０〜２０％の組成になっているが、好ましい比
率は、水５０％、クーラント５０％である。また、他の
適当な冷媒液体も使用できる。
【００１８】リニアモーターの動きによって、プラテン
のワーク面が部分的に加熱され、”ホットスポット”が
発生すると、ワーク面の温度差によりクーラントが熱交
換室の各コンパートメントを循環しだし、熱的平衡を求
める。クーラントの循環は、前記上位通路、下位通路を
介して行われ、温度の高いクーラントは、上位通路を、
温度の低いクーラントは、下位通路を介して各コンパー
トメントを循環し、且つ、各コンパートメント内を対流
する。
【００１９】プラテンの均一な加熱は、十分な時間をか
けての周囲空気冷却作用を許す。
【００２０】必要に応じて、図３に示すように、外部ポ
ンプＰと冷却ラジエータまたは適当な熱交換器２２をプ
ラテン１２の左右側に接続の導管２０を介して連結し、
クーラントを符号Ａ１からＡ２の方向に強制循環させな
がら、クーラントの放熱を行って、プラテンの冷却を促
進させてもよい。
【００２１】前記した実施例は、この発明を限定するも
のではなく、他の変形も十分に本発明の技術的範囲に含
まれるものである。
【００２２】
【発明の効果】前記したように、この発明によれば、プ
ラテンのワーク面がクーラントにより冷却されるので、
該ワーク面に部分的に発生する発熱部分が冷却されて、
ワーク面全体が均一な温度帯域となり、リニアモーター
の動きを規制する格子状の線または溝の位置精度が確実
に保たれ、リニアモーターの動きの精度を維持すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明を実施するに適したリニアモーター
システムの一例を示す斜視図である。
【図２】 この発明の一実施例におけるプラテンの要部
切断斜視図である。
【図３】 この発明の他の実施例の斜視図である。
【符号の説明】
１０ リニアモーター １２ プラテン １４，１６ 格子状の線または溝 １０ａ ケーブル １８ ツース（駒） ２０ 導管 ２２ 熱交換器 Ｃ１〜Ｃｎ コンパートメント Ｐ 外部ポンプ Ｕ 上位通路 Ｌ 下位通路

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくともＸ−Ｙの二方向へ移動するリ
    ニアモーターを備えたリニアモーターシステムのステー
    タであって、このステータは、以下の構成を備えている
    ことを特徴とするもの：強磁性素材からなる部材であっ
    て、実質的に平坦な面を有し、この面に整然とした均一
    な格子状のパターンからなる複数のティースを備え、前
    記リニアモーターにより発生される電磁場と共同して前
    記平坦な面にそうように前記リニアモータを動かす部
    材；前記部材は、前記面に接する中空の領域部分を有
    し、前記中空の領域部分が隔壁によって複数の小室の区
    分されている前記部材；開口を備えた前記隔壁；前記中
    空の領域に供給されるクーラント；および、 前記クーラントが前記隔壁の開口を介して前記小室を循
    環し、前記部材の前記面を面全体が均一な温度になるよ
    うに冷却するための前記隔壁の開口。
  2. 【請求項２】 前記クーラントが流体クーラントである
    請求項１のステータ。
  3. 【請求項３】 前記流体クーラントが液体クーラントで
    ある請求項２のステータ。
  4. 【請求項４】 前記液体クーラントが水を含むものであ
    る請求項３のステータ。
  5. 【請求項５】 前記クーラントが水とアルコールからな
    る請求項３のステータ。
  6. 【請求項６】 前記クーラントが水と不凍性クーラント
    からなる請求項３のステータ。
  7. 【請求項７】 クーラント混合液が水２０乃至８０％、
    不凍性クーラント８０乃至２０％のものである請求項６
    のステータ。
  8. 【請求項８】 前記小室が複数の仕切り壁により仕切ら
    れ、各仕切り壁には、前記クーラントを循環させる少な
    くとも一つの開口が設けられている請求項１のステー
    タ。
  9. 【請求項９】 前記小室が複数の仕切壁により仕切ら
    れ、各仕切壁には、前記クーラントを循環させる二つの
    開口が高さ位置を変えて設けられていて、上位の開口を
    介し温度の高いクーラントを通し、下位の開口を介し温
    度の低いクーラントを通す請求項８のステータ。
  10. 【請求項１０】 前記開口の一つは、前記部材の前記面
    に近接し、他方の開口は、前記部材の前記面からさらに
    離れている請求項９のステータ。
  11. 【請求項１１】 前記ステータの外部に設けたポンプに
    より前記クーラントを前記複数の小室に強制循環させる
    構成の請求項１のステータ。
  12. 【請求項１２】 前記ステータと前記ポンプとの間に熱
    交換器が設けられ、前記循環のクーラントを強制冷却す
    る請求項１１のステータ。
JP4160096A 1991-06-04 1992-05-28 リニアモーターシステムのステータ Expired - Lifetime JP2668482B2 (ja)

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US7/709,899 1991-06-04
US07/709,899 1991-06-04
US07/709,899 US5138206A (en) 1991-06-04 1991-06-04 Method and apparatus for cooling hot spots in platen of linear motor system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06205575A JPH06205575A (ja) 1994-07-22
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US (1) US5138206A (ja)
EP (1) EP0517060B1 (ja)
JP (1) JP2668482B2 (ja)
AT (1) ATE127636T1 (ja)
DE (1) DE69204551D1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102624154A (zh) * 2012-04-13 2012-08-01 华域汽车电动系统有限公司 一种螺旋轴向循环式电机冷却水道结构

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5386621A (en) * 1993-08-16 1995-02-07 Ford Motor Company Flexible assembly cell
US5523640A (en) * 1994-04-22 1996-06-04 Cincinnati Milacron Inc. Liquid cooling for electrical components of a plastics processing machine
WO1999048192A1 (fr) 1998-03-19 1999-09-23 Nikon Corporation Moteur plat, etage, dispositif d'exposition et son procede de fabrication, et dispositif et procede permettant de fabriquer lesdits elements
US6114781A (en) * 1999-02-26 2000-09-05 Nikon Corporation Cooling system for a linear or planar motor
US6313550B1 (en) 2000-02-02 2001-11-06 Nikon Corporation Coil mounting and cooling system for an electric motor
US20040070938A1 (en) * 2001-01-04 2004-04-15 Hazelton Andrew J. Circulating system for a conductor
US20040252287A1 (en) * 2003-06-11 2004-12-16 Michael Binnard Reaction frame assembly that functions as a reaction mass
US6956308B2 (en) * 2003-07-15 2005-10-18 Nikon Corporation Dual flow circulation system for a mover
US7355308B2 (en) 2003-08-21 2008-04-08 Nikon Corporation Mover combination with two circulation flows
US7221433B2 (en) * 2004-01-28 2007-05-22 Nikon Corporation Stage assembly including a reaction assembly having a connector assembly
US6979920B2 (en) * 2004-01-30 2005-12-27 Nikon Corporation Circulation housing for a mover
CN100521468C (zh) * 2004-08-20 2009-07-29 清华大学 永磁同步平面电动机
US7548303B2 (en) 2004-09-04 2009-06-16 Nikon Corporation Cooling assembly for a stage
US20080073563A1 (en) * 2006-07-01 2008-03-27 Nikon Corporation Exposure apparatus that includes a phase change circulation system for movers
US7916267B2 (en) * 2006-08-29 2011-03-29 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus, and motor cooling device
DE102007035793A1 (de) 2007-07-04 2009-01-08 Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH Präzisionsplanarpositionieranordnung
US20150075751A1 (en) * 2013-09-16 2015-03-19 Nikon Corporation Fluid distribution network for large stator motor

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3273727A (en) * 1966-09-20 Load handling apparatus
US3704078A (en) * 1971-01-22 1972-11-28 Hydr O Matic Pump Co Deep well type pump
DE2202426B2 (de) * 1972-01-19 1975-11-06 Conz Elektricitaets-Gesellschaft Mbh, 2000 Hamburg Verfahren zur Kühlung des Sekundärteils eines Linearmotors großer Leistung bei Stillstand oder bei Betrieb mit relativ kleinen Geschwindigkeiten sowie Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
FR2330189A1 (fr) * 1975-10-30 1977-05-27 Guimbal Jean Moteur lineaire de grande puissance et a grande vitesse
JPS5431517A (en) * 1977-08-16 1979-03-08 Toshiba Corp Construction for linear motor secondary plate
JPS5948868B2 (ja) * 1982-09-24 1984-11-29 ビ−エイエスエフ・ワイアンドツト・コ−ポレイシヨン 有機シリコ−ンスルホネ−ト及びシリケ−トの共重合体を含有する内燃機関の冷却系統用不凍濃縮液及び冷却剤
JPS60118039A (ja) * 1983-11-26 1985-06-25 Sumitomo Electric Ind Ltd 冷却装置付きリニアモ−タ
US4654571A (en) * 1985-09-16 1987-03-31 Hinds Walter E Single plane orthogonally movable drive system
JPS62100161A (ja) * 1985-10-23 1987-05-09 Shin Etsu Chem Co Ltd 平面モ−タ
US4749921A (en) * 1986-07-21 1988-06-07 Anwar Chitayat Linear motor with non-magnetic armature
US4906878A (en) * 1986-10-08 1990-03-06 Fanamation, Inc. Fluid circulated linear motor for robotic systems
JPS63157643A (ja) * 1986-12-18 1988-06-30 Canon Inc リニアモ−タ
US4823062A (en) * 1987-07-23 1989-04-18 Megamation, Incorporated Method and apparatus for precision control of linear motors and the like employing a closed loop technique
US4839545A (en) * 1987-10-16 1989-06-13 Anwar Chitayat Cooling system for linear motor
US4916340A (en) * 1988-01-22 1990-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Movement guiding mechanism
FR2627913B1 (fr) * 1988-02-25 1992-02-07 Labavia Ralentisseur electromagnetique, moyens d'alimentation associes et application a un vehicule
JPH0315249A (ja) * 1989-02-13 1991-01-23 Canon Electron Inc ダブルロータ型モータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102624154A (zh) * 2012-04-13 2012-08-01 华域汽车电动系统有限公司 一种螺旋轴向循环式电机冷却水道结构

Also Published As

Publication number Publication date
US5138206A (en) 1992-08-11
ATE127636T1 (de) 1995-09-15
EP0517060A1 (en) 1992-12-09
DE69204551D1 (de) 1995-10-12
EP0517060B1 (en) 1995-09-06
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