JP2667520B2 - スライシングマシンの誤差補正方法 - Google Patents
スライシングマシンの誤差補正方法Info
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- JP2667520B2 JP2667520B2 JP1168329A JP16832989A JP2667520B2 JP 2667520 B2 JP2667520 B2 JP 2667520B2 JP 1168329 A JP1168329 A JP 1168329A JP 16832989 A JP16832989 A JP 16832989A JP 2667520 B2 JP2667520 B2 JP 2667520B2
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- Japan
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- slicing machine
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- ingot
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はスライシングマシンの誤差補正方法に係り、
特にスライシングマシンを使用して柱状体材料から薄片
状のウエハを製造するスライシングマシンの誤差補正方
法に関する。
特にスライシングマシンを使用して柱状体材料から薄片
状のウエハを製造するスライシングマシンの誤差補正方
法に関する。
半導体ウエハの製造に使用されるスライシングマシン
は、柱状体に形成されたシリコンインゴットを回転して
いる内周刃の軸線に直交する方向に移動することによ
り、薄片状の半導体ウエハに切断する。最近のウエハの
高精度化の要求に伴ってスライシングマシンに要求され
る性能も向上し、特にインゴットを内周刃の軸線に直交
する方向に移動させる送りテーブルの真直度並びに内周
刃のスピンドル軸心と送りテーブルとの直角度は加工後
のウエハの精度、平面度に大きな影響を及ぼす。そこ
で、従来、送りテーブルや、その駆動装置の機械的寸法
精度を高めることにより、送りテーブル自体の真直度を
高め、又は、内周刃のスピンドル軸心との真直度を向上
させて加工後のウエハの精度や平面度を確保するように
している。
は、柱状体に形成されたシリコンインゴットを回転して
いる内周刃の軸線に直交する方向に移動することによ
り、薄片状の半導体ウエハに切断する。最近のウエハの
高精度化の要求に伴ってスライシングマシンに要求され
る性能も向上し、特にインゴットを内周刃の軸線に直交
する方向に移動させる送りテーブルの真直度並びに内周
刃のスピンドル軸心と送りテーブルとの直角度は加工後
のウエハの精度、平面度に大きな影響を及ぼす。そこ
で、従来、送りテーブルや、その駆動装置の機械的寸法
精度を高めることにより、送りテーブル自体の真直度を
高め、又は、内周刃のスピンドル軸心との真直度を向上
させて加工後のウエハの精度や平面度を確保するように
している。
しかしながら、送りテーブルの機械的精度を高めるに
は工作精度の面から限界がある。
は工作精度の面から限界がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、切
断中の送りテーブルの真直度及び直角度の誤差を補正す
ることにより、切断されるウェハの精度を向上すること
のできるスライシングマシンの誤差補正方法を提供する
ことを目的とする。
断中の送りテーブルの真直度及び直角度の誤差を補正す
ることにより、切断されるウェハの精度を向上すること
のできるスライシングマシンの誤差補正方法を提供する
ことを目的とする。
本発明は前記目的を達成するために、装置本体に摺動
自在に支持された送りテーブルに直交して割出し送りす
るようにして柱状体材料が取り付けられ、送りテーブル
の摺動方向と直交する方向の軸線を有するスピンドルに
設けられた切断刃で柱状体材料を薄片状のウエハに切断
するスライシングマシンに於いて、前記切断刃のスピン
ドル軸線に直交する基準面に対して、前記送りテーブル
の送り量に応じて連続的に変化する前記柱状体材料の傾
きを予め測定し、この連続的に変化する傾きを相殺する
ように切断中の柱状体材料の傾きを制御して切断を行う
ことを特徴としている。
自在に支持された送りテーブルに直交して割出し送りす
るようにして柱状体材料が取り付けられ、送りテーブル
の摺動方向と直交する方向の軸線を有するスピンドルに
設けられた切断刃で柱状体材料を薄片状のウエハに切断
するスライシングマシンに於いて、前記切断刃のスピン
ドル軸線に直交する基準面に対して、前記送りテーブル
の送り量に応じて連続的に変化する前記柱状体材料の傾
きを予め測定し、この連続的に変化する傾きを相殺する
ように切断中の柱状体材料の傾きを制御して切断を行う
ことを特徴としている。
本発明によれば、予め測定した切断刃のスピンドル軸
線に直交する基準面に対して、送りテーブルの送り量に
応じて連続的に変化する前記柱状体材料の傾きに基づい
て、そのズレ量を相殺するよう柱状体材料の傾きをコン
トロールする。これにより、柱状体材料を切断する場
合、送りテーブルの誤差は強制的に補正され、加工後の
ウエハの精度を向上させることができる。
線に直交する基準面に対して、送りテーブルの送り量に
応じて連続的に変化する前記柱状体材料の傾きに基づい
て、そのズレ量を相殺するよう柱状体材料の傾きをコン
トロールする。これにより、柱状体材料を切断する場
合、送りテーブルの誤差は強制的に補正され、加工後の
ウエハの精度を向上させることができる。
以下、添付図面に従って本発明に係るスライシングマ
シンの誤差補正方法の好ましい実施例を詳説する。
シンの誤差補正方法の好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係るスライシングマシンの誤差補正
方法に使用されるスライシングマシンの概略を示した斜
視図である。第１図のスライシングマシンは本体10、送
りテーブル12、支柱14、割り出し部16等を主な構成とし
ている。本体10には送りテーブル12が矢印Ａ又はＢ方向
に摺動自在に設けられている。また、テーブル12には支
柱14が立設され、支柱14には割り出し部16が設けられて
いる。割り出し部16はインゴット18を上下動自在に支持
すると共に、インゴット18の位置を制御する図示しない
圧電素子（後述）が内蔵されており、切断時のインゴッ
ト18を駆動して送りテーブル12の真直度及び直角度を補
正しながらインゴット18の切断を行う。本体10中央部に
はインゴット18の切断を行う内周刃（切断刃）20が配設
されている。
方法に使用されるスライシングマシンの概略を示した斜
視図である。第１図のスライシングマシンは本体10、送
りテーブル12、支柱14、割り出し部16等を主な構成とし
ている。本体10には送りテーブル12が矢印Ａ又はＢ方向
に摺動自在に設けられている。また、テーブル12には支
柱14が立設され、支柱14には割り出し部16が設けられて
いる。割り出し部16はインゴット18を上下動自在に支持
すると共に、インゴット18の位置を制御する図示しない
圧電素子（後述）が内蔵されており、切断時のインゴッ
ト18を駆動して送りテーブル12の真直度及び直角度を補
正しながらインゴット18の切断を行う。本体10中央部に
はインゴット18の切断を行う内周刃（切断刃）20が配設
されている。
第２図はインゴット保持部の構造を示す略断面図、第
３図は第１図のインゴットの位置制御系を示した説明
図、第４図は送りテーブル12の真直度データを示した図
である。第２図に示すように、割り出し部16の下部には
インゴット18を保持する保持具26が設けられており、保
持具26には第４図に示すように90゜間隔で４個の圧電素
子28A、28B、28C、28Dが内蔵されている（第２図では２
個のみ図示）。圧電素子28A〜28Dには例えばピエゾ素子
等が用いられる。
３図は第１図のインゴットの位置制御系を示した説明
図、第４図は送りテーブル12の真直度データを示した図
である。第２図に示すように、割り出し部16の下部には
インゴット18を保持する保持具26が設けられており、保
持具26には第４図に示すように90゜間隔で４個の圧電素
子28A、28B、28C、28Dが内蔵されている（第２図では２
個のみ図示）。圧電素子28A〜28Dには例えばピエゾ素子
等が用いられる。
圧電素子28A〜28Dは第３図に示すように、スライシン
グマシンの制御部30と接続され、制御部30には第４図に
示される送りテーブル12の直角度データ及び真直度デー
タが予め入力される。
グマシンの制御部30と接続され、制御部30には第４図に
示される送りテーブル12の直角度データ及び真直度デー
タが予め入力される。
前記の如く構成した本発明に係るスライシングマシン
の誤差補正方法を第３図及び第４図を中心に説明する。
の誤差補正方法を第３図及び第４図を中心に説明する。
先ず、送りテーブル12の送り量に対する真直度のデー
タ（第４図の実線で示す真直度データであり、即ち、内
周刃20のスピンドル軸線に直交する基準面に対して、送
りテーブル12の送り量に応じて連続的に変化する変位
量）を予め測定しておき、この真直度データを制御部30
に入力する。そして、制御部30は入力された前記真直度
データから、送りテーブル12の送り量に応じて連続的に
変化するインゴット18の傾斜角度を算出すると共に、こ
の傾斜角度を相殺する傾斜角度を予め算出する。次い
で、切断時には、第３図に示される制御部30から該算出
値と対応する駆動信号を各圧電素子28A、28B、28C、28D
に出力し、各圧電素子28A、28B、28C、28Dを各々同時に
駆動し、保持具に保持されたインゴット18の傾きを前述
したように相殺しながら切断する。これにより、インゴ
ット18は第４図に示す基準面に沿って切断される。
タ（第４図の実線で示す真直度データであり、即ち、内
周刃20のスピンドル軸線に直交する基準面に対して、送
りテーブル12の送り量に応じて連続的に変化する変位
量）を予め測定しておき、この真直度データを制御部30
に入力する。そして、制御部30は入力された前記真直度
データから、送りテーブル12の送り量に応じて連続的に
変化するインゴット18の傾斜角度を算出すると共に、こ
の傾斜角度を相殺する傾斜角度を予め算出する。次い
で、切断時には、第３図に示される制御部30から該算出
値と対応する駆動信号を各圧電素子28A、28B、28C、28D
に出力し、各圧電素子28A、28B、28C、28Dを各々同時に
駆動し、保持具に保持されたインゴット18の傾きを前述
したように相殺しながら切断する。これにより、インゴ
ット18は第４図に示す基準面に沿って切断される。
前記送りテーブル12は面上を移動するので、インゴッ
ト18の傾きは、送りテーブル12の移動方向（Ａ又は
Ｂ）、及びそれに直交する方向の２方向に生じる。第４
図に示した送りテーブルの真直度データは、送りテーブ
ル12の移動方向（Ａ又はＢ方向）に対するデータであ
る。それに直交する方向の送りテーブル12の真直度デー
タについても予め測定されており、その方向におけるイ
ンゴット18の傾きを相殺するインゴット18の傾斜角度を
算出して各圧電素子を制御している。
ト18の傾きは、送りテーブル12の移動方向（Ａ又は
Ｂ）、及びそれに直交する方向の２方向に生じる。第４
図に示した送りテーブルの真直度データは、送りテーブ
ル12の移動方向（Ａ又はＢ方向）に対するデータであ
る。それに直交する方向の送りテーブル12の真直度デー
タについても予め測定されており、その方向におけるイ
ンゴット18の傾きを相殺するインゴット18の傾斜角度を
算出して各圧電素子を制御している。
即ち、第４図において、送りテーブルの移動方向（Ａ
又はＢ方向）に対応する圧電素子を28A、28Dとし、そし
て、この方向（Ａ又はＢ方向）に直交する方向に対応す
る圧電素子を28A、28Cとすると、送りテーブルの移動方
向（Ａ又はＢ方向）の傾きの補正は、２個の圧電素子28
A、28Dに印加する電圧を制御することで行い、その方向
（Ａ又はＢ方向）に直交する方向の傾きの補正は、２個
の圧電素子28B、28Cに印加する電圧を制御することで行
う。
又はＢ方向）に対応する圧電素子を28A、28Dとし、そし
て、この方向（Ａ又はＢ方向）に直交する方向に対応す
る圧電素子を28A、28Cとすると、送りテーブルの移動方
向（Ａ又はＢ方向）の傾きの補正は、２個の圧電素子28
A、28Dに印加する電圧を制御することで行い、その方向
（Ａ又はＢ方向）に直交する方向の傾きの補正は、２個
の圧電素子28B、28Cに印加する電圧を制御することで行
う。
たとえば、第３図において、圧電素子28Aに電圧を印
加して圧電素子28Dに電圧を印加しない場合には、イン
ゴットは図３中右方向に傾斜する。また、これとは逆
に、圧電素子28Dに電圧を印加して圧電素子28Aに電圧を
印加しない場合には、インゴットは図３中左方向に傾斜
する。
加して圧電素子28Dに電圧を印加しない場合には、イン
ゴットは図３中右方向に傾斜する。また、これとは逆
に、圧電素子28Dに電圧を印加して圧電素子28Aに電圧を
印加しない場合には、インゴットは図３中左方向に傾斜
する。
これと同様に、送りテーブルの移動方向（Ａ又はＢ方
向）に直交する方向の傾きの補正は、２個の圧電素子28
B、28Cに印加する電圧を制御することで行う。したがっ
て、４個の圧電素子28A〜28Dに印加する電圧をそれぞれ
制御してインゴットの傾きを制御すれば、送りテーブル
12の移動方向（Ａ又はＢ）と、それに直交する方向とに
生じる傾きを同時に補正することができる。
向）に直交する方向の傾きの補正は、２個の圧電素子28
B、28Cに印加する電圧を制御することで行う。したがっ
て、４個の圧電素子28A〜28Dに印加する電圧をそれぞれ
制御してインゴットの傾きを制御すれば、送りテーブル
12の移動方向（Ａ又はＢ）と、それに直交する方向とに
生じる傾きを同時に補正することができる。
このように、切断中の送りテーブル12の真直度の誤差
はインゴット18の傾きを制御することによって補正さ
れ、加工後のウエハの精度を向上させることができる。
はインゴット18の傾きを制御することによって補正さ
れ、加工後のウエハの精度を向上させることができる。
次に、本発明に係るスライシングマシンの誤差補正方
法の他の実施例について説明する。第５図は内周刃20と
研削砥石32との関係を示した説明図である。第５図に示
すように、本発明に係るスライシングマシンには、イン
ゴットの端面を研削する研削砥石32が内周刃20と同軸上
に配設され、インゴット18の切断中に研削砥石32が矢印
Ｃ方向に回転することにより、インゴットの端面研削を
行う。また、本実施例では研削砥石32の下部に砥石32を
上下動させる砥石駆動装置34が設置されている。砥石駆
動装置34はねじ棒34A、ねじ棒34Aに螺合するギア34B、
ギア34Bと噛合う出力ギア34C、駆動モータ35等から構成
され、ギア34A、34Bが駆動モータ35によって回転駆動さ
れることにより、研削砥石32を上下動させる。駆動モー
タ35は第３図の制御部30と接続され、制御部30から出力
される駆動信号により正転及び逆転される。
法の他の実施例について説明する。第５図は内周刃20と
研削砥石32との関係を示した説明図である。第５図に示
すように、本発明に係るスライシングマシンには、イン
ゴットの端面を研削する研削砥石32が内周刃20と同軸上
に配設され、インゴット18の切断中に研削砥石32が矢印
Ｃ方向に回転することにより、インゴットの端面研削を
行う。また、本実施例では研削砥石32の下部に砥石32を
上下動させる砥石駆動装置34が設置されている。砥石駆
動装置34はねじ棒34A、ねじ棒34Aに螺合するギア34B、
ギア34Bと噛合う出力ギア34C、駆動モータ35等から構成
され、ギア34A、34Bが駆動モータ35によって回転駆動さ
れることにより、研削砥石32を上下動させる。駆動モー
タ35は第３図の制御部30と接続され、制御部30から出力
される駆動信号により正転及び逆転される。
以上説明したように、本発明に係るスライシングマシ
ンの誤差補正方法によれば、インゴットの傾きを制御し
ながら切断を行うことにより、送りテーブルの真直度を
補正するようにしたので、送りテーブルの誤差に影響さ
れず精度の高いウエハを製造することができる。
ンの誤差補正方法によれば、インゴットの傾きを制御し
ながら切断を行うことにより、送りテーブルの真直度を
補正するようにしたので、送りテーブルの誤差に影響さ
れず精度の高いウエハを製造することができる。
第１図は本発明に係るスライシングマシンの誤差補正方
法に使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視
図、第２図は保持部の構造を示す略断面図、第３図は第
１図のスライシングマシンの制御系を示した説明図、第
４図は送りテーブルの真直度を示したグラフ、第５図は
内周刃と研削砥石との関係を示した説明図である。 12……送りテーブル、18……インゴット（柱状体材
料）、20……内周刃（切断刃）、32……研削砥石、34…
…砥石駆動装置。
法に使用されるスライシングマシンの概略を示した斜視
図、第２図は保持部の構造を示す略断面図、第３図は第
１図のスライシングマシンの制御系を示した説明図、第
４図は送りテーブルの真直度を示したグラフ、第５図は
内周刃と研削砥石との関係を示した説明図である。 12……送りテーブル、18……インゴット（柱状体材
料）、20……内周刃（切断刃）、32……研削砥石、34…
…砥石駆動装置。
Claims (2)
- 【請求項１】装置本体に摺動自在に支持された送りテー
ブルに直交して割出し送りするようにして柱状体材料が
取り付けられ、送りテーブルの摺動方向と直交する方向
の軸線を有するスピンドルに設けられた切断刃で柱状体
材料を薄片状のウエハに切断するスライシングマシンに
於いて、 前記切断刃のスピンドル軸線に直交する基準面に対し
て、前記送りテーブルの送り量に応じて連続的に変化す
る前記柱状体材料の傾きを予め測定し、この連続的に変
化する傾きを相殺するように切断中の柱状体材料の傾き
を制御して切断を行うことを特徴とするスライシングマ
シンの誤差補正方法。 - 【請求項２】前記柱状体材料の端面を砥石で研削しなが
ら、柱状体材料を切断するようにしたことを特徴とする
請求項（１）記載のスライシングマシンの誤差補正方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1168329A JP2667520B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スライシングマシンの誤差補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1168329A JP2667520B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スライシングマシンの誤差補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332805A JPH0332805A (ja) | 1991-02-13 |
| JP2667520B2 true JP2667520B2 (ja) | 1997-10-27 |
Family
ID=15866028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1168329A Expired - Fee Related JP2667520B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | スライシングマシンの誤差補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2667520B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002367930A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Ｚ補正付ダイシング装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418606A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Kyushu Electron Metal | Manufacture of semi-conductor wafer |
| DE3737540C1 (de) * | 1987-11-05 | 1989-06-22 | Mueller Georg Nuernberg | Verfahren und Maschine zum Herstellen von Ronden mit zumindest einer planen Oberflaeche |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1168329A patent/JP2667520B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002367930A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Ｚ補正付ダイシング装置 |
| JP4517269B2 (ja) * | 2001-06-04 | 2010-08-04 | 株式会社東京精密 | Ｚ補正付ダイシング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332805A (ja) | 1991-02-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |