JP2007118143A - ツルーイング装置及びツルーイング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ軸、Ｚ軸及びＢ軸以外の新たな移動軸が不要で且つ形直し後の工具砥石の縁部
の高さ調整が不要で斜軸工具砥石を高精度な円柱形状に形直しするツルーイング装置及びツルーイング方法を提供する。
【解決手段】超精密加工旋盤装置の主軸先端に台金２５を介してツルア２４を固定する。ツルア２４は４５度の斜面２４−１からなる研削砥面を備え、１８０度回転して斜面２４−１が下向きと上向きの２つの態様をとることができる。ツルア２４に対向して４５度傾斜した回転軸２１の先端に円筒状の工具砥石２２が取り付けられる。ツルア２４の斜面２４−１が下向きのときは工具砥石２２の周面を形直しし、斜面２４−１が上向きのときは工具砥石２２の前端面を形直しする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、光学機器に使用されるレンズやプリズムなどの高精度光学素子又はそれらを成形するための光学素子成形用金型等の研削加工に用いる砥石をツルーイング（truing：形直し）するツルーイング装置及びツルーイング方法に関する。

軸対称のレンズ、プリズムなどの光学部品などを成形加工する成形用金型は、非常に高い精度の形状および表面粗さが必要とされている。
このような高い精度の形状及び表面仕上げを要求される光学部品を加工する方法として、例えば以下のような加工法が存在する。

先ず、加工機のＸ軸とＺ軸とからなる平面に対して、扁平円柱形状の工具砥石を先端に取付けられたスピンドルを、その回転軸を４５度に傾けて取り付ける。
そして、工具砥石の前端面（スピンドル取り付け面とは反対側の面）と円周との境界となるエッジ部を加工点とし、そのエッジ部を加工機のＢ軸（スピンドル駆動部を保持する回転テーブルの回転軸）の回転中心位置になるように調整する。

また、加工を高精度に行うために、上記工具砥石のエッジ部の高さと、被加工物回転軸の高さを予め調整しておく。
そして、被加工物及び工具砥石を各軸回りに回転させ、被加工物が所定の加工形状になるように、加工機でＸ軸、Ｚ軸、Ｂ軸の３軸を同時移動走査させて加工する研削加工方法がある。

被加工物を研削加工する前段の処理として、工具砥石がスピンドルの回転軸に対して回転振れがないようにするために工具砥石を形直しするツルーイング工程が必要となる。
図７は、上記のツルーイング方法の従来技術としてのツルーイング装置の主要部の構成及びツルーイング方法を示す図である。

図７に示すツルーイング方法は、先ず、スピンドル１の先端に取り付けられて回転する円筒状の工具砥石２と、この工具砥石２の回転軸線３と交差する回転軸線４を有するツルア軸５に支持されて回転軸線４回りに回転する算盤球状のツルア６とが所定の位置関係で設定される。

工具砥石２とツルア６を、Ｚ軸とＢ軸に同期制御して、先ず図７の上に矢印ａで示すように相対移動させ、工具砥石２の前端面２ａをツルア６の後部円錐面６ａで成形し二点鎖線で示す形直し前端面２ｂに形直しする。

次に、同じく工具砥石２とツルア６を、Ｚ軸とＢ軸に同期制御して、図７の下に矢印ｂで示すように相対移動させ、工具砥石２の周面２ｄをツルア６の前部円錐面６ｂで成形し二点鎖線で示す形直し周面２ｅに形直しする、というような、工具砥石２をツルーイングする方法が提案されている。（例えば、特許文献１参照。）
特開２００５−１７７９４６号公報（［要約］、図３）

ところで、上記特許文献１のツルーイング装置及び方法では、主軸回転軸と工具回転軸の他に、新たにツルアを回転させる回転駆動装置が必要となる。
また、研削加工では、Ｘ軸、Ｚ軸、Ｂ軸の３軸の同期制御で行うことができるが、上記
の方法でツルーイングを行うためには、新たにＹ軸方向の移動を制御するための装置を取付ける必要がある。

結果として、新たにＹ軸方向に移動制御させる装置の追加により加工機自体の価格が上昇するという問題がある。
また、ツルーイング終了時における工具砥石のエッジ部の高さが制御されていないため、ツルーイング後に工具砥石のエッジ部の高さと被加工物回転軸の高さを一致させる必要がある。その調整を行うためには時間が掛かるという問題もあった。

本発明は、上記の中の一つの課題を解決するために、Ｘ軸、Ｚ軸、Ｂ軸の３軸以外に新たな軸方向の移動軸を設けることなく、工具砥石を高精度にツルーイングするツルーイング装置及びツルーイング方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、上記の中の一つの課題を解決するために、ツルーイング後に工具砥石のエッジ部の高さの調整を必要とすることなく、工具砥石を高精度にツルーイングするツルーイング装置及びツルーイング方法を提供することを目的とする。

先ず、第１の発明のツルーイング装置は、Ｘ軸とこの軸と交差するＺ軸からなる平面に対し工具砥石の回転軸を斜軸に設定し、上記工具砥石をツルーイングするツルーイング装置であって、上記Ｚ軸に対し斜面を持つようにツルアを取付ける台金と、上記ツルアの斜面に対し上記工具砥石の回転軸が平行又は垂直になるように上記台金を位置させる主軸と、回転する上記工具砥石に対し上記ツルアをＺ軸方向に一定量の切込みを与えて、上記ツルアと上記工具砥石とを相対的にＸ軸方向に移動させる移動部と、を備えて構成される。

このツルーイング装置は、例えば、工具砥石の回転軸および上記ツルアの斜面は、Ｘ軸とＺ軸からなる平面に対して４５度であるように構成される。
また、ツルーイング装置は、例えば、上記工具砥石の周面がツルーイングされるとき上記ツルアの斜面は下向きに設定され、上記工具砥石の端面がツルーイングされるとき上記ツルアの斜面は上向きに設定されるように構成される。

また、このツルーイング装置は、例えば、上記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、上記斜面には該斜面に非垂直方向に溝形状の切込みが形成されて構成される。
また、このツルーイング装置は、例えば、上記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、複数枚の薄い板を斜面の高さを揃え上記薄い板の間隔を空けて台金に取り付けられて構成される。

また、このツルーイング装置は、例えば、上記工具砥石の側面のツルーイング終了時の上記工具砥石と上記ツルアのＺ軸方向の相対位置に、上記工具砥石の端面のツルーイング終了時の上記工具砥石と上記ツルアのＺ軸方向の相対位置を一致させるように構成される。

次に、第２の発明のツルーイング方法は、Ｘ軸とこの軸と交差するＺ軸からなる平面に対し工具砥石の回転軸を斜軸に設定し、上記工具砥石をツルーイングするツルーイング方法であって、上記Ｚ軸に対し斜面を持つようにツルアを台金に取付ける工程と、上記ツルアの斜面に対し上記工具砥石の回転軸が平行又は垂直になるように上記台金を位置させる工程と、回転する上記工具砥石に対し上記ツルアをＺ軸方向に一定量の切込みを与えて、上記ツルアと上記工具砥石とを相対的にＸ軸方向に移動させる工程と、を含んで成るように構成される。

このツルーイング方法は、例えば、工具砥石の回転軸および上記ツルアの斜面は、Ｘ軸とＺ軸からなる平面に対して４５度であるように構成される。
また、ツルーイング方法において、例えば、上記工具砥石の周面をツルーイングするときは上記ツルアの斜面を下向きに設定し、上記工具砥石の端面をツルーイングするときは上記ツルアの斜面を上向きに設定するように構成される。

また、このツルーイング方法において、例えば、上記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、上記斜面部には斜面とは垂直方向に溝形状の切込みが形成されるように構成される。

また、このツルーイング方法において、例えば、上記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、複数枚の薄い板を斜面の高さを揃え上記薄い板の間隔を空けて台金に取り付けられて構成される。

また、このツルーイング方法において、例えば、上記工具砥石の側面のツルーイング終了時の上記工具砥石と上記ツルアのＺ軸方向の相対位置と、上記工具砥石の端面のツルーイング終了時の上記工具砥石と上記ツルアのＺ軸方向の相対位置とを一致させるように構成される。

本発明によれば、回転軸がＸＺ面に傾斜する工具砥石を回転させながら、主軸に保持される斜面を持つツルアで工具砥石を削り込みするので、工具砥石の回転軸に対し振れがなく、したがって、高精度な形状に工具砥石を形直しすることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

＜構成＞
図１は、本発明に係わる超精密加工旋盤装置を示す図である。図１に示すように、本例の超精密加工旋盤装置１０は、長方形の基台１１を備えている。

この基台１１上には、基台１１の中央よりも一方の端部側（図では左側）に、図の両方向矢印ａで示すＺ軸方向への移動を制御されるＺ軸ステージ１２と、このＺ軸ステージ１２上に配置され、図の両方矢印ｂで示すＸ軸方向への移動を制御されるＸ軸ステージ１３
とが配設されている。これら、Ｚ軸ステージ１２とＸ軸ステージ１３によって移動部を構成している。

更に、Ｘ軸ステージ１３上には、Ｚ軸方向と平行な向きに回転中心軸１４を有する主軸
駆動装置１５と、この主軸駆動装置１５により回転駆動される主軸１６が備えられている。

また、上記基台１１の中央よりも他方の端部側（図では右側）には、Ｙ軸方向を回転軸として図の両方向矢印ｃで示すように基台１１の面に平行な面に沿って回転するＢ軸テーブル１７が配設されている。

そして、このＢ軸テーブル１７に、Ｘ軸とＺ軸からなる平面に対して４５度の傾きを有
する回転中心軸１８を有する工具軸駆動装置１９と、この工具軸駆動装置１９により回転駆動される工具回転軸２１と、この工具回転軸２１の先端に取り付けられた円柱形状をした工具砥石２２が着脱自在に固定されている。

この工具砥石２２は、ダイヤモンド砥粒を含んだレジンボンド素材やビトリファイドボンド素材からなる工具用の砥石である。
また、上記の工具軸駆動装置１９は、例えばＡＣサーボモータ又はエアータービン等から成り、支持部２３を介してＢ軸テーブル１７に配置されている。

この支持部２３には、特には図示しないが、工具軸駆動装置１９をＹ軸方向へ移動させて工具軸駆動装置１９のＹ軸方向の位置を調整できるＹ軸方向位置調整機構が備え付けられている。

上記のＺ軸ステージ１２、Ｘ軸ステージ１３、及びＢ軸テーブル１７の３軸のテーブル
の移動は、相互に同期させながら制御することができる。

図２は、本例の超精密加工旋盤装置１０に取り付けられて用いられるツルアの状態を工具回転軸２１及び工具砥石２２と共に示す斜視図である。
図２に示すように、ツルア２４は、円盤形状を成す台金２５の外側面に、台金２５の中心軸２６（図３及び図４参照）に対して４５度傾いた斜面２４−１を有する三角柱の形状を成している。

このツルア２４は、自己の中心位置が台金２５の中心軸２６と一致するようにして台金２５に接着又はネジにより固定されている。また、このツルア２４の斜面２４−１の材質は、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒が電着された砥石、もしくはダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒が含まれたメタルボンド砥石となっている。ここで、砥粒は、少なくともツルア２４の斜面２４−１に塗布きれていれば良い。

上記の台金２５は、その中心軸２６と主軸１６の回転軸中心１４とが一致するように主軸１６の先端に取り付けられる。
これにより、ツルア２４は、その中心位置が主軸１６の回転中心軸１５と一致する状態で台金２５を介して図１に示した主軸１６の先端に配置される。

主軸１６の先端には、ツルア２４の回転中心のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置及び回転中心の軸の傾きを調整する主軸調整機構を備えている。
また、主軸駆動装置１５には、主軸１６の回転角の割り出しと、回転後の位置を所望の位置で固定するＣ軸装置を備えている。

図３の左上は、主軸１６の先端の主軸調整機構とその主軸調整機構を介して主軸１６に配置されたツルア２４の側面図であり、右上はその正面図、左下及び右下は、主軸１６の先端に正しく位置決めされたツルア２４の斜面２４−１の上向きの状態と下向きの状態を示す図である。

図３の右上に示すように、主軸１６の先端は中空になっており、図３の左上に示すように、その中空部に台金２５が挿入され、根元側にある４個の根元ネジ２９ａと先端側にある４個の先端ネジ２９ｂで固定される。

上記それぞれ４個の根元ネジ２９ａ及び先端ネジ２９ｂは、主軸１６の先端の根元部及び先端部で、それぞれ９０度の間隔で配置されている。
図３の左上及び右上に示すツルア２４の主軸１６先端への初期取り付け状態において、台金２５のツルア２４取り付け面にマイクロメータやダイヤルゲージを当接させて主軸１６を回転させる。

そして、マイクロメータやダイヤルゲージの振れが大きいところに近い角度方向の根元ネジ２９ａを締め、先端ネジ２９ｂを緩めることで、ツルア２４の回転中心軸２８のＸ軸方向及びＹ軸方向の傾きを調整することができる。

また、台金２５の側面（周面）にマイクロメータやダイヤルゲージを当接させて主軸１６を回転させ、マイクロメータやダイヤルゲージの振れが大きいところに近い角度方向の根元ネジ２９ａと先端ネジ２９ｂを締め、マイクロメータやダイヤルゲージの振れが小さいところに近い角度方向の根元ネジ２９ａと先端ネジ２９ｂを緩めることで、ツルア２４の回転中心軸２８のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を調整することができる。

このようにツルア２４の回転中心軸２８のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置と傾きを調整することにより、図３の左下及び右下に示すように、主軸駆動装置１５のＣ軸装置により、ツルア２４の斜面２４−１が上向き又は下向きに設定されたとき、いずれの場合もツルア２４の回転中心軸２８が主軸１６の回転中心軸１４に一致するように維持される。

これにより、ツルア２４は、工具回転軸２１及び工具回転軸２１の先端に保持されている工具砥石２２に対する相対位置を、所定の位置に正しく維持することができる。
＜動作＞
図４は、本例の超精密加工旋盤装置１０により工具砥石２２の周面を形直しする場合の動作を説明する側面図である。

先ず、上述した工具軸駆動装置１９のＹ軸方向の位置を調整するＹ軸方向位置調整機構を用いて、図４に示す工具砥石２２の先端部の縁高さ２２−１と主軸１６の回転中心軸１５の高さの差が、３０μｍ以内になるように予め調整を行っておく。

次に、ツルア２４を台金２５を介して主軸１６に取り付け、ツルア２４の回転中心軸２８の、主軸１６の回転中心軸１５に対する位置と傾きを図３の上に示した主軸調整機構にて修正する。

続いて、Ｃ軸装置により、図４に示すように、ツルア２４の斜面２４−１が下向きになるようにＣ軸回転させる。
そして、ツルア２４の斜面２４−１に対向する面２４−２に、電気マイクロメータを当てた状態で、ツルア２４の端から端までＸ軸方向に移動させ電気マイクロメータの検出値
に両端の差が出ないように、Ｃ軸回転で調整し、ツルア２４が水平になるようにする。そして、その角度位置をＣ軸角度の原点とする。

更に、Ｂ軸テーブル１７を回転させて、工具回転軸２１を含む面とＺ軸を含む面が平行になるようにして、工具砥石２２を位置決めする。
次に、Ｘ軸ステージ１３を移動させ、ツルア２４のＸ軸方向の幅内に工具回転軸２１が
入るようにする。

その状態で、Ｚ軸ステージ１２を移動させ、工具砥石２２の側面とツルア２４の斜面２４−１が接触する位置まで移動させる。この接触点をＺ軸座標の原点とする。
続いて、Ｘ軸ステージ１３をプラス方向に移動させ、ツルア２４の幅外に工具回転軸２
１が出る位置へ移動させる。その位置をＸ軸座標の原点とする。

次に、工具軸駆動装置１９により工具回転軸２１を回転中心軸１８回りに毎分数百回転から数千回転に回転させ、工具砥石２２を回転させる。
先ず、Ｚ軸ステージ１２をツルア２４と工具砥石２２が数μｍ程度近づく方向に移動させて、最初の切り込み深さを設定する。

続いて、Ｘ軸ステージ１３をマイナス方向に移動させ、ツルア２４の反対側の幅外に工
具回転軸２１が出る位置まで移動させる。次に、Ｘ軸ステージ１３をプラス方向に移動さ
せ、Ｘ軸原点位置まで戻す。

そして、Ｚ軸ステージ１２をツルア２４と工具砥石２２が数μｍ程度近づく方向に移動させて、２回目の切り込み深さを設定する。
このように、ツルア２４と工具砥石２２が数μｍ程度近づく方向にＺ軸ステージ１２を移動させることで切り込みを設定しながら、Ｘ軸ステージ１３を往復移動させて、工具砥
石２２の側面部の削り込みを行う。

工具砥石２２の側面全面が所定の切り込み面まで削り込まれるまで、上記作業を繰り返し行うことで、工具砥石２２の側面部のツルーイングが終了する。そして、この時のＺ軸方向の終了位置座標を原点座標とする。

図５は、上記に続いて本例の超精密加工旋盤装置１０により工具砥石２２の前端面を形直しする場合の動作を説明する側面図である。
図５に示すように、Ｃ軸を１８０度回転させ、ツルア２４の斜面２４−１が上向きになるようにする。

次にＸ軸ステージ１３を移動させ、ツルア２４のＸ軸方向の幅内に工具回転軸２１が入
るようにする。

その状態で、Ｚ軸ステージ１２を移動させ、工具砥石２２の前端面２２−２とツルア２４の斜面２４−１が接触するまで近づける。
Ｘ軸ステージ１３をプラス方向に移動させ、ツルア２４の幅外に工具回転軸２１が出る
位置へ移動させる。その位置をＸ軸座標の原点とする。

次に工具軸駆動装置１９により工具回転軸２１を回転中心軸１８回りに毎分数百回転から数千回転に回転させ、工具砥石２２を回転させる。
Ｚ軸ステージ１２をツルア２４と工具砥石２２が数μｍ近づく方向に移動させて、最初の切り込み深さを設定する。

Ｘ軸ステージ１３をマイナス方向に移動させ、ツルア２４の反対側の幅外に工具回転軸
２１が出る位置へ移動させる。続いてＸ軸ステージ１３をプラス方向に移動させ、Ｘ軸の
原点位置まで戻す。

引き続き、上記同様に、Ｚ軸ステージ１２をツルア２４と工具砥石２２が数μｍ近づく方向に移動させることで次の切り込みを深さを設定し、Ｘ軸ステージ１３を往復移動させ
ることで、工具砥石２２の前端面の削り込みを行う。

そして、Ｚ軸座標が原点位置に来るまで、上記の切り込みと削り込みを繰り返し行い、工具砥石２２の前端面のツルーイングを終了させる。
この時、工具砥石２２の側面と前端面のツルーイング終了時のＺ軸方向の位置座標を一致させることで、工具砥石２２の先端の縁のＹ軸方向の高さが主軸１６の回転軸中心１４の高さと一致することになる。

このように、本実施例によれば、工具砥石の先端研削点を先鋭な縁状に形直しすることができる。
以上、実施例１の動作を具体的に説明したが、これらは本発明の作用・動作を限定するものではない。

＜構成＞
実施例２における超精密加工旋盤装置の構成は、主軸１６の先端部およびツルア固定具の構成を別にすれば図１に示した実施例１における超精密加工旋盤装置の構成と同一である。

図６は、実施例２に係わるツルアの状態を工具回転時軸及び工具砥石と共に示す斜視図である。
本例におけるツルア３１の形状は、台金３２の中心軸に対し４５度傾いた斜面を持つ三角柱形状とした点では、実施例１の場合と同様であるが、本例では、ツルア３１の斜面３１−１に、高さ方向に数本の溝３３の切り込みを入れた形状をしている。

なお、この溝３３の形成については、斜辺が４５度の三角形の薄板を、間隔を設けて台金２５に貼り付けた構成としてもよい。
また、本例の超精密加工旋盤装置の主軸１６には、実施例１の場合のようにツルアを所定の回転角で固定するＣ軸装置が無く、代わって、台金３２の対向する二箇所に、それぞれ２つのネジ穴３４を設け、主軸１６に取付けられた台金３２と、Ｘ軸ステージ１３から
伸びるアーム３５とを、上記のネジ穴３４にボルト３６をねじ込んで固定するといった機械的な取り付け締め具を使用する方法によって、ツルア３１の斜面３１−１を上向きと下向きに切り替えて、ツルア３１の回転を固定する。

＜動作＞
本例における工具砥石２２の周面および前端面を形直しする場合の研磨の動作は、実施例１の場合と同様である。

ただし、本例においては、ツルア３１に溝３３が形成されているので、ツルア３１の斜面３１−１の電着砥石やメタルボンド砥石の粗さに加え、溝３３のエッジでも工具砥石２２を削り込みができ、これにより、ツルア３１の目つぶれや目詰まりが少なくなり、ツルア３１寿命が長くなる。また、これにより、ツルア３１の目立ての回数を大幅に削減することが可能となる。

また、溝３３の存在により、Ｚ軸による切り込み深さを深くできたり、研磨時の切り込みが入りやすくなるので、ツルーイング時間の短縮にもつながる。
また、主軸１６に取付けられている台金３１と、Ｘ軸ステージ１３から伸びるアーム３
５とを、ボルト３６等で固定させることで、ツルア３１の回転角を位置決めしてツルア３１の回転を固定できるので、Ｃ軸方向の回転角度の調整が不要となり、ツルーイング時間の短縮に貢献できる。

また、その他の作用・効果は、実施例１の場合と同様である。
このように、本発明の超精密加工旋盤装置１０および実施例１または２の加工方法を用いることにより、主軸回転軸、工具回転軸以外に新たに回転軸を設けることなく且つＸ軸
、Ｚ軸、Ｂ軸の３軸以外に新たに移動軸を設けることなく、更にツルーイング後に工具砥石の縁部の高さ調整を必要とせず、斜軸工具砥石を高精度な円柱形状に形直しする装置および方法を提供することが可能となる。

本発明に係わる超精密加工旋盤装置を示す図である。 実施例１に係わるツルアの状態を工具回転軸及び工具砥石とともに示す斜視図である。 左上は主軸の先端の主軸調整機構とその主軸先端に配置されたツルアの側面図、右上はその正面図、左下及び右下は主軸の先端に位置決めされたツルアの斜面の上向きの状態と下向きの状態を示す図である。 実施例１において工具砥石の周面を形直しする動作を説明する側面図である。 実施例１において工具砥石の前端面を形直しする動作を説明する側面図である。 実施例２に係わるツルアの状態を工具回転軸及び工具砥石とともに示す斜視図である。 従来のツルーイング装置の主要部の構成及びツルーイング方法を示す図である。

符号の説明

１ スピンドル
２ 工具砥石
２ａ 前端面
２ｂ 形直し前端面
２ｄ 周面
２ｅ 形直し周面
３ スピンドル回転軸線
４ ツルア軸回転軸線
５ ツルア軸
６ ツルア
６ａ 後部円錐面
６ｂ 前部円錐面
１０ 超精密加工旋盤装置
１１ 基台
１２ Ｚ軸ステージ
１３ Ｘ軸ステージ
１４ 回転軸中心
１５ 主軸駆動装置
１６ 主軸
１７ Ｂ軸テーブル
１８ 回転中心軸
１９ 工具軸駆動装置
２１ 工具回転軸
２２ 工具砥石
２２−１ 先端部縁高さ
２２−２ 前端面
２３ 支持部
２４ ツルア
２４−１ 斜面
２４−２ 対向面
２５ 台金
２６ 中心軸
２８ ツルア回転中心軸
２９ａ 根元ネジ
２９ｂ 先端ネジ
３１ ツルア
３１−１ 斜面
３２ 台金
３３ 溝
３４ ネジ穴
３５ アーム
３６ ボルト

Claims (12)

1. Ｘ軸とこの軸と交差するＺ軸からなる平面に対し工具砥石の回転軸を斜軸に設定し、前記工具砥石をツルーイングするツルーイング装置であって、
   前記Ｚ軸に対し斜面を持つようにツルアを取付ける台金と、
   前記ツルアの斜面に対し前記工具砥石の回転軸が平行又は垂直になるように前記台金を位置させる主軸と、
   回転する前記工具砥石に対し前記ツルアをＺ軸方向に一定量の切込みを与えて、前記ツルアと前記工具砥石とを相対的にＸ軸方向に移動させる移動部と、
   を備えたことを特徴とするツルーイング装置。
2. 前記工具砥石の周面がツルーイングされるとき前記ツルアの斜面は下向きに設定され、前記工具砥石の端面がツルーイングされるとき前記ツルアの斜面は上向きに設定される
   ことを特徴とする請求項１記載のツルーイング装置。
3. 前記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、前記斜面には該斜面に非垂直方向に溝形状の切込みが形成される
   ことを特徴とする請求項１記載のツルーイング装置。
4. 前記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、複数枚の薄い板を斜面の高さを揃え前記薄い板の間隔を空けて台金に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１記載のツルーイング装置。
5. 前記工具砥石の側面のツルーイング終了時の前記工具砥石と前記ツルアのＺ軸方向の相対位置に、前記工具砥石の端面のツルーイング終了時の前記工具砥石と前記ツルアのＺ軸方向の相対位置を一致させる
   ことを特徴とする請求項１記載のツルーイング装置。
6. 前記工具砥石の回転軸および前記ツルアの斜面は、Ｘ軸とＺ軸からなる平面に対して４５度であることを特徴とする請求項１記載のツルーイング装置。
7. Ｘ軸とこの軸と交差するＺ軸からなる平面に対し工具砥石の回転軸を斜軸に設定し、前記工具砥石をツルーイングするツルーイング方法であって、
   前記Ｚ軸に対し斜面を持つようにツルアを台金に取付ける工程と、
   前記ツルアの斜面に対し前記工具砥石の回転軸が平行又は垂直になるように前記合金を位置させる工程と、
   回転する前記工具砥石に対し前記ツルアをＺ軸方向に一定量の切込みを与えて、前記ツルアと前記工具砥石とを相対的にＸ軸方向に移動きせる工程と、
   を含んで成ることを特徴とするツルーイング方法。
8. 前記工具砥石の周面をツルーイングするときは前記ツルアの斜面を下向きに設定し、前記工具砥石の端面をツルーイングするときは前記ツルアの斜面を上向きに設定する
   ことを特徴とする請求項７記載のツルーイング方法。
9. 前記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、前記斜面部には斜面とは垂直方向に溝形状の切込みが形成される
   ことを特徴とする請求項７記載のツルーイング方法。
10. 前記ツルアはメタルボンド砥石又は電着砥石からなり、複数枚の薄い板を斜面の高さを揃え前記薄い板の間隔を空けて台金に取り付けられている
    ことを特徴とする請求項７記載のツルーイング方法。
11. 前記工具砥石の側面のツルーイング終了時の前記工具砥石と前記ツルアのＺ軸方向の相対位置と、前記工具砥石の端面のツルーイング終了時の前記工具砥石と前記ツルアのＺ軸方向の相対位置とを一致させる
    ことを特徴とする請求項７記載のツルーイング方法。
12. 前記工具砥石の回転軸および前記ツルアの斜面は、Ｘ軸とＺ軸からなる平面に対して４５度であることを特徴とする請求項７記載のツルーイング方法。