JP2666787B2 - 樹脂塗布ノズル - Google Patents
樹脂塗布ノズルInfo
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- JP2666787B2 JP2666787B2 JP26692795A JP26692795A JP2666787B2 JP 2666787 B2 JP2666787 B2 JP 2666787B2 JP 26692795 A JP26692795 A JP 26692795A JP 26692795 A JP26692795 A JP 26692795A JP 2666787 B2 JP2666787 B2 JP 2666787B2
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- resin
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、常温で硬化する樹
脂を基板に滴下し塗布する樹脂塗布ノズルに関するもの
である。
脂を基板に滴下し塗布する樹脂塗布ノズルに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の樹脂塗布ノズルは、基板
に塗布すべきシリコーン樹脂を滴下する塗布ノズルと、
滴下しないときに硬化しないように窒素など不活性ガス
を塗布ノズルの先端ひ吹き付け先端に付着する樹脂を吹
き飛ばす圧力ガス吹き付けノズルとを備えていた。
に塗布すべきシリコーン樹脂を滴下する塗布ノズルと、
滴下しないときに硬化しないように窒素など不活性ガス
を塗布ノズルの先端ひ吹き付け先端に付着する樹脂を吹
き飛ばす圧力ガス吹き付けノズルとを備えていた。
【０００３】この樹脂塗布ノズルで液晶基板に樹脂を滴
下し塗布する場合は、まず、樹脂供給源から樹脂塗布ノ
ズルに送られその先端に留まるシリコーン樹脂溶液が固
まらないように、窒素ガスを吹き付け空気中の酸素から
遮断しながら位置決めされた液晶基板の所定の位置にシ
リコーン樹脂溶液を滴下する。滴下されたシリコーン樹
脂は空気中の酸素と結合し基板と接着するとともに硬化
する。
下し塗布する場合は、まず、樹脂供給源から樹脂塗布ノ
ズルに送られその先端に留まるシリコーン樹脂溶液が固
まらないように、窒素ガスを吹き付け空気中の酸素から
遮断しながら位置決めされた液晶基板の所定の位置にシ
リコーン樹脂溶液を滴下する。滴下されたシリコーン樹
脂は空気中の酸素と結合し基板と接着するとともに硬化
する。
【０００４】このように、シリコーン樹脂は、単に液状
の樹脂を滴下するだけで塗布ができ、しかも基板に強固
に接着できるとともに電気絶縁性を確保することができ
るから、価格が高いもののキュアリング処理が必要なエ
ポキシ樹脂に比べ工程時間を短縮できるという利点があ
った。
の樹脂を滴下するだけで塗布ができ、しかも基板に強固
に接着できるとともに電気絶縁性を確保することができ
るから、価格が高いもののキュアリング処理が必要なエ
ポキシ樹脂に比べ工程時間を短縮できるという利点があ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の樹脂塗
布ノズルでは、樹脂が空気中の酸素に触れないように窒
素ガスを吹き付けているものの、吹き付けノズルの向き
によっても死角が生じ、樹脂塗布ノズルの周囲全体に窒
素ガスが行渡らず、窒素ガスが行渡らない部分の樹脂が
硬化しノズルが片寄って詰り円滑に滴下できなくなると
いう問題がある。また、定量送液ポンプの送液圧力を上
げ強制的に滴下しても、既にノズル周囲に片寄って硬化
が進んだ樹脂は斜め方向に飛散し、所定の位置以外に滴
下され品質に重大な欠陥をもたらす。さらに、窒素ガス
を吹き付け不十分である、ノズル周囲の樹脂が硬化し、
ノズルが完全に詰りノズルを交換しなければならない。
その結果、装置の稼働率を著しく低下させるという問題
がある。
布ノズルでは、樹脂が空気中の酸素に触れないように窒
素ガスを吹き付けているものの、吹き付けノズルの向き
によっても死角が生じ、樹脂塗布ノズルの周囲全体に窒
素ガスが行渡らず、窒素ガスが行渡らない部分の樹脂が
硬化しノズルが片寄って詰り円滑に滴下できなくなると
いう問題がある。また、定量送液ポンプの送液圧力を上
げ強制的に滴下しても、既にノズル周囲に片寄って硬化
が進んだ樹脂は斜め方向に飛散し、所定の位置以外に滴
下され品質に重大な欠陥をもたらす。さらに、窒素ガス
を吹き付け不十分である、ノズル周囲の樹脂が硬化し、
ノズルが完全に詰りノズルを交換しなければならない。
その結果、装置の稼働率を著しく低下させるという問題
がある。
【０００６】また、この種の樹脂塗布ノズルは、半導体
装置の製造におけるレジスト塗布にも適用されている。
そして、このようなノズルの目詰りの問題の解消する方
法が多く提案されている。例えば、特開平５一３０９３
０９号公報に開示されているように、ノズルの先端部を
挿入する開口とノズルの先端部に洗浄液を散布する洗浄
液ノズルと乾燥窒素を吹き付ける乾燥ノズルを備える容
器を滴下位置より離れた位置に設け、ノズルでレジスト
を滴下し終ったとき、このノズルを移動させ容器の開口
に挿入させノズルの洗浄および乾燥を行なうものであ
る。
装置の製造におけるレジスト塗布にも適用されている。
そして、このようなノズルの目詰りの問題の解消する方
法が多く提案されている。例えば、特開平５一３０９３
０９号公報に開示されているように、ノズルの先端部を
挿入する開口とノズルの先端部に洗浄液を散布する洗浄
液ノズルと乾燥窒素を吹き付ける乾燥ノズルを備える容
器を滴下位置より離れた位置に設け、ノズルでレジスト
を滴下し終ったとき、このノズルを移動させ容器の開口
に挿入させノズルの洗浄および乾燥を行なうものであ
る。
【０００７】しかしながら、シリコーン樹脂を滴下する
樹脂塗布ノズルにこの技術に適用するにしても、ノズル
を容器に移動する僅な時間でも、ノズル先端部に停留す
る樹脂の表面が硬化する。この硬化された樹脂表面が一
様でなく送液ポンプの圧力が樹脂表面の柔かい部分に集
中し定まった位置への滴下ができなくなる。また、滴下
中は外気に晒さわれることになり、樹脂溶液の高架が進
むことになり円滑な樹脂の滴下ができないという懸念が
ある。
樹脂塗布ノズルにこの技術に適用するにしても、ノズル
を容器に移動する僅な時間でも、ノズル先端部に停留す
る樹脂の表面が硬化する。この硬化された樹脂表面が一
様でなく送液ポンプの圧力が樹脂表面の柔かい部分に集
中し定まった位置への滴下ができなくなる。また、滴下
中は外気に晒さわれることになり、樹脂溶液の高架が進
むことになり円滑な樹脂の滴下ができないという懸念が
ある。
【０００８】従って、本発明の目的は、常に樹脂を円滑
に吐出し基板に安定して接着塗布する樹脂塗布ノズルを
提供することにある。
に吐出し基板に安定して接着塗布する樹脂塗布ノズルを
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、樹脂溶
液を噴出するノズルを包む空間部と窒素ガスを該空間部
に導入するガス導入口とを有する収納容器と、この収納
容器の前記ノズルが出入りする開口を開閉する開閉弁
と、前記ノズルを取付け前記樹脂溶液を該ノズルに供給
するとともに前記ノズルを前記開口より出入りさせる機
構とを備える樹脂塗布ノズルである。
液を噴出するノズルを包む空間部と窒素ガスを該空間部
に導入するガス導入口とを有する収納容器と、この収納
容器の前記ノズルが出入りする開口を開閉する開閉弁
と、前記ノズルを取付け前記樹脂溶液を該ノズルに供給
するとともに前記ノズルを前記開口より出入りさせる機
構とを備える樹脂塗布ノズルである。
【００１０】また、前記ノズルの外形と前記開口の内形
がともに円形であるとともにその中心が同一に配置され
ていることが望ましい。
がともに円形であるとともにその中心が同一に配置され
ていることが望ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１２】図１（ａ）および（ｂ）は発明の一実施の
形態における樹脂塗布ノズルの動作順に示す部分破断断
面図である。この樹脂塗布ノズルは、図１に示すよう
に、ノズル１を包む空間部６と窒素ガスを空間部６に導
入するガス導入口９とを有する収納容器２と、この収納
容器２のノズル１が出入りする開口２ａを開閉する開閉
弁３と、ノズル１を取付け樹脂溶液をノズル１に供給す
る経路を有するスピンドル４と、このスピンドル４をノ
ズル１とともに収納容器２内に留ませるスプリング５
と、スプリング５の反発力を抗してノズル１を開閉弁３
の開口２ａより突出させる押出し機構７とを備えてい
る。
形態における樹脂塗布ノズルの動作順に示す部分破断断
面図である。この樹脂塗布ノズルは、図１に示すよう
に、ノズル１を包む空間部６と窒素ガスを空間部６に導
入するガス導入口９とを有する収納容器２と、この収納
容器２のノズル１が出入りする開口２ａを開閉する開閉
弁３と、ノズル１を取付け樹脂溶液をノズル１に供給す
る経路を有するスピンドル４と、このスピンドル４をノ
ズル１とともに収納容器２内に留ませるスプリング５
と、スプリング５の反発力を抗してノズル１を開閉弁３
の開口２ａより突出させる押出し機構７とを備えてい
る。
【００１３】ガス導入口９には継手およびフレキシブル
ホースを介して圧力レギュレータ付きの窒素ボンベが接
続されている。また、スピンドル４の上部のヘッドの樹
脂供給口は樹脂送液用ポンプの吐出口とフレキシブルホ
ースを介して接続されている。一方、スピンドル４を下
方に押し下げノズル１を収納容器２から突出させる押出
し機構７は、スピンドル４の後端に接続するアームを上
下させるスプリング５とエアシリンダとで構成されてい
る。このエアシリンダの代りにソレノイドを使用しても
良い。
ホースを介して圧力レギュレータ付きの窒素ボンベが接
続されている。また、スピンドル４の上部のヘッドの樹
脂供給口は樹脂送液用ポンプの吐出口とフレキシブルホ
ースを介して接続されている。一方、スピンドル４を下
方に押し下げノズル１を収納容器２から突出させる押出
し機構７は、スピンドル４の後端に接続するアームを上
下させるスプリング５とエアシリンダとで構成されてい
る。このエアシリンダの代りにソレノイドを使用しても
良い。
【００１４】空間部６を気密に閉鎖する開閉弁３は、ヒ
ンジ機構３のピンを中心に少なくとも９０度回転するよ
うになっており、この開閉弁３の開閉は図示していない
ロータリソレノイドあるいはロータリアクチュエータで
行なわれている。なお、図１（ａ）のように、空間部６
にノズルが収納されているときは、窒素ガスが空間部６
に充満されている。そして、空間部６内の圧力は外気に
対して常に陽圧である。これは、外気が容器内に侵入し
ないように図られている。この外気の圧力差は、例え
ば、０．０５気圧程度が望ましい。勿論、この圧力差の
設定は、配管途中に設けられたレリーフ弁でなされる。
ンジ機構３のピンを中心に少なくとも９０度回転するよ
うになっており、この開閉弁３の開閉は図示していない
ロータリソレノイドあるいはロータリアクチュエータで
行なわれている。なお、図１（ａ）のように、空間部６
にノズルが収納されているときは、窒素ガスが空間部６
に充満されている。そして、空間部６内の圧力は外気に
対して常に陽圧である。これは、外気が容器内に侵入し
ないように図られている。この外気の圧力差は、例え
ば、０．０５気圧程度が望ましい。勿論、この圧力差の
設定は、配管途中に設けられたレリーフ弁でなされる。
【００１５】次に、この樹脂塗布ノズルの動作を説明す
る。まず、図１（ａ）に示すように、スピンドル４およ
びノズル１内に樹脂溶液１０が停留した状態で開閉弁３
を閉じ空間部６に窒素ガスで充満させ完全に外気を遮断
する。この状態を保ちながら、基板１１を搬送装置で所
定の位置に位置決めし、図１（ｂ）に示すように開閉弁
３を開くと同時に押出し機構７を動作させノズル１を収
納容器２より突出させる。これにより、開口２ａとノズ
ル１との隙間から窒素ガスが噴出する。そして、送液用
ポンプを動作させ定量の樹脂溶液１０を基板１１に滴下
する。この滴下によって樹脂が塗布されば、図１（ａ）
に示すように、押出し機構７とスプリング５の反発力で
ノズル１を収納容器２内に収納しノズル１を窒素ガスの
雰囲気内に収納する。
る。まず、図１（ａ）に示すように、スピンドル４およ
びノズル１内に樹脂溶液１０が停留した状態で開閉弁３
を閉じ空間部６に窒素ガスで充満させ完全に外気を遮断
する。この状態を保ちながら、基板１１を搬送装置で所
定の位置に位置決めし、図１（ｂ）に示すように開閉弁
３を開くと同時に押出し機構７を動作させノズル１を収
納容器２より突出させる。これにより、開口２ａとノズ
ル１との隙間から窒素ガスが噴出する。そして、送液用
ポンプを動作させ定量の樹脂溶液１０を基板１１に滴下
する。この滴下によって樹脂が塗布されば、図１（ａ）
に示すように、押出し機構７とスプリング５の反発力で
ノズル１を収納容器２内に収納しノズル１を窒素ガスの
雰囲気内に収納する。
【００１６】なお、この樹脂溶液１０を滴下中には、開
口２ａとノズル１の外周部との隙間から乾燥窒素ガスが
矢印のように噴出されているので、滴下中の樹脂溶液１
０およびノズル１の噴出口に停留する樹脂溶液は、あた
かも窒素ガスのカーテンの中に置かれた状態となり外気
に含まれる酸素と接触することがない。言い換えれば、
樹脂塗布中にもノズル１の噴出口に停留する樹脂は硬化
することなく常に粘性が一定に保たれている。
口２ａとノズル１の外周部との隙間から乾燥窒素ガスが
矢印のように噴出されているので、滴下中の樹脂溶液１
０およびノズル１の噴出口に停留する樹脂溶液は、あた
かも窒素ガスのカーテンの中に置かれた状態となり外気
に含まれる酸素と接触することがない。言い換えれば、
樹脂塗布中にもノズル１の噴出口に停留する樹脂は硬化
することなく常に粘性が一定に保たれている。
【００１７】この開口２ａとノズル１の外形は円状に
し、ノズル１の周囲の隙間は一様にすることが望まし
い。そして、図１（ｂ）のように、窒素ガスの流れが乱
れないように、隙間により窒素ガスの供給圧を調整する
ことが望ましい。このために、ノズル１と開口２ａが同
心になるように、開口２ａとスピンドル４が摺動する穴
が同心になるように精密に加工し、前述のレリーフ弁へ
の配管を閉じるバルブを設け、窒素ボンベの圧力レギュ
レータにより外気より高く、例えば、その差圧を０．１
から０．５気圧程度に設定することが望ましい。
し、ノズル１の周囲の隙間は一様にすることが望まし
い。そして、図１（ｂ）のように、窒素ガスの流れが乱
れないように、隙間により窒素ガスの供給圧を調整する
ことが望ましい。このために、ノズル１と開口２ａが同
心になるように、開口２ａとスピンドル４が摺動する穴
が同心になるように精密に加工し、前述のレリーフ弁へ
の配管を閉じるバルブを設け、窒素ボンベの圧力レギュ
レータにより外気より高く、例えば、その差圧を０．１
から０．５気圧程度に設定することが望ましい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、樹脂塗布
ヘッドに直接取付けられノズルを窒素ガスが充満する空
間部に収納する容器と、この容器からノズルが出入りす
る開口部を開閉するバルブ機構と、この開口からノズル
を突出させたり引込ませたりする機構とを設け、常にノ
ズルの周囲を窒素ガスの雰囲気に包むことによって、外
気に含くまれる酸素とノズルに停留する樹脂溶液との接
触がなくなり、ノズルに付着する樹脂は硬化することな
く一定の粘度を保つことができる。従って、ノズルに樹
脂詰りを起させることないとともに一様の接着力でむら
なく基板に塗布できるという効果がある。
ヘッドに直接取付けられノズルを窒素ガスが充満する空
間部に収納する容器と、この容器からノズルが出入りす
る開口部を開閉するバルブ機構と、この開口からノズル
を突出させたり引込ませたりする機構とを設け、常にノ
ズルの周囲を窒素ガスの雰囲気に包むことによって、外
気に含くまれる酸素とノズルに停留する樹脂溶液との接
触がなくなり、ノズルに付着する樹脂は硬化することな
く一定の粘度を保つことができる。従って、ノズルに樹
脂詰りを起させることないとともに一様の接着力でむら
なく基板に塗布できるという効果がある。
【図１】発明の一実施の形態における樹脂塗布ノズルの
動作順に示す部分破断断面図である。
動作順に示す部分破断断面図である。
１ ノズル ２ 収納容器 ２ａ 開口 ３ 開閉弁 ４ スピンドル ５ スプリング ６ 空間部 ７ 押出し機構 ８ ヒンジ機構 ９ ガス導入口 １０ 樹脂溶液 １１ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 樹脂溶液を噴出するノズルを包む空間部
と窒素ガスを該空間部に導入するガス導入口とを有する
収納容器と、この収納容器の前記ノズルが出入りする開
口を開閉する開閉弁と、前記ノズルを取付け前記樹脂溶
液を該ノズルに供給するとともに前記ノズルを前記開口
より出入りさせる機構とを備えることを特徴とする樹脂
塗布ノズル。 - 【請求項２】 前記ノズルの外形と前記開口の内形がと
もに円形であるとともにその中心が同一に配置されてい
ることを特徴とする請求項１記載の樹脂塗布ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26692795A JP2666787B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 樹脂塗布ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26692795A JP2666787B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 樹脂塗布ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09108603A JPH09108603A (ja) | 1997-04-28 |
| JP2666787B2 true JP2666787B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=17437623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26692795A Expired - Fee Related JP2666787B2 (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 樹脂塗布ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2666787B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3904668B2 (ja) * | 1997-05-19 | 2007-04-11 | 松下電器産業株式会社 | 接着剤の塗布方法および装置 |
| JP6164005B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2017-07-19 | 日本電気株式会社 | ディスペンス装置及び制御方法 |
| JP2014056839A (ja) * | 2013-11-22 | 2014-03-27 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 装置 |
| JP2015173113A (ja) * | 2015-03-27 | 2015-10-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
| JP6459938B2 (ja) * | 2015-12-02 | 2019-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布液供給装置、塗布方法及び記憶媒体 |
-
1995
- 1995-10-16 JP JP26692795A patent/JP2666787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09108603A (ja) | 1997-04-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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