JP2663840B2 - 半導体装置の加工のためのシミュレーションシステム - Google Patents
半導体装置の加工のためのシミュレーションシステムInfo
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- JP2663840B2 JP2663840B2 JP18472093A JP18472093A JP2663840B2 JP 2663840 B2 JP2663840 B2 JP 2663840B2 JP 18472093 A JP18472093 A JP 18472093A JP 18472093 A JP18472093 A JP 18472093A JP 2663840 B2 JP2663840 B2 JP 2663840B2
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- simulation
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シミュレーション技術
に関し、特に半導体装置の加工のシミュレーションに関
する。
に関し、特に半導体装置の加工のシミュレーションに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、特開昭６３−３１
２０５０号公報のように、生産現場に個々の生産工程の
生産状況を入力するための入力装置を設置し、ローカル
エリアネットワークを用いて生産状況をリアルタイムに
収集し、そのデータを用いてシミュレーションを行い将
来の生産状況を予測し、各工程の作業手順を記憶して、
その結果を満て問題なければ生産現場へフィードバック
して作業手順指示を行っていた。
２０５０号公報のように、生産現場に個々の生産工程の
生産状況を入力するための入力装置を設置し、ローカル
エリアネットワークを用いて生産状況をリアルタイムに
収集し、そのデータを用いてシミュレーションを行い将
来の生産状況を予測し、各工程の作業手順を記憶して、
その結果を満て問題なければ生産現場へフィードバック
して作業手順指示を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の方法のよう
なシミュレーションモデル内に生産現場の状況をリアル
タイムに取込んで将来を予測する方式では以下のような
問題がある。すなわち、シミュレーションモデル内に生
産状況データを取込むだけで将来の予測を行うためシミ
ュレーション内のモデルが実際状況とかけはなれた状態
でシミュレーションされ間違った将来予測を行う可能性
が大である。また、シミュレーション結果に問題があり
シミュレーションモデルの調整を行う場合、人が調整を
行うと個人差や主観が介入して正確な将来予測が出来な
い可能性が大である。
なシミュレーションモデル内に生産現場の状況をリアル
タイムに取込んで将来を予測する方式では以下のような
問題がある。すなわち、シミュレーションモデル内に生
産状況データを取込むだけで将来の予測を行うためシミ
ュレーション内のモデルが実際状況とかけはなれた状態
でシミュレーションされ間違った将来予測を行う可能性
が大である。また、シミュレーション結果に問題があり
シミュレーションモデルの調整を行う場合、人が調整を
行うと個人差や主観が介入して正確な将来予測が出来な
い可能性が大である。
【０００４】本発明は上記問題に鑑み、実際の生産状況
に合い、個人差に影響されないシミュレーションシステ
ムを提供することを目的とする。
に合い、個人差に影響されないシミュレーションシステ
ムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明のシミュレーションシステムは、半導体装置
を加工するとともに稼働状態を出力する半導体加工設備
と、半導体加工設備の稼働内容についての情報を送る加
工設備端末と、半導体加工設備および加工設備端末にロ
ーカルエリアネットワークを介して接続され、加工設備
の作業履歴を記憶する履歴記憶部、半導体装置の加工フ
ローを記憶する作業工程フロー記憶部、生産計画を記憶
する生産計画記憶部、シミュレートされた作業手順を記
憶する作業計画記憶部を具備するホストコンピュータ
と、ホストコンピュータに接続され、記憶媒体、シミュ
レーション端末を具備するシミュレータとからなるシミ
ュレーションシステムであって、前記ホストコンピュー
タは、前記シミュレータよりシミュレーション用のデー
タ要求があると、前記の履歴記憶部、作業工程フロー記
憶部、生産計画記憶部、作業計画記憶部の各データを前
記シミュレータの記憶媒体に転送し、前記シミュレータ
は、記憶媒体に転送されたデータから、過去における作
業工程をシミュレートするシミュレーションモデルを作
成し、シミュレーションモデルを経た作業結果であるシ
ミュレーション結果と、転送されたデータから集計され
た実際の作業結果である実結果とを比較し、両結果が所
定の条件内に入るようにシミュレーションモデルの構成
要件となっている各種のパラメータを調整することによ
り、所望のシミュレーションモデルを構成し、構成した
所望のシミュレーションモデルを用いて前記半導体加工
設備における将来の作業状態をシミュレートし、その結
果を前記ホストコンピュータを介して加工設備端末に作
業手順指示としてフィードバックさせる。
めの本発明のシミュレーションシステムは、半導体装置
を加工するとともに稼働状態を出力する半導体加工設備
と、半導体加工設備の稼働内容についての情報を送る加
工設備端末と、半導体加工設備および加工設備端末にロ
ーカルエリアネットワークを介して接続され、加工設備
の作業履歴を記憶する履歴記憶部、半導体装置の加工フ
ローを記憶する作業工程フロー記憶部、生産計画を記憶
する生産計画記憶部、シミュレートされた作業手順を記
憶する作業計画記憶部を具備するホストコンピュータ
と、ホストコンピュータに接続され、記憶媒体、シミュ
レーション端末を具備するシミュレータとからなるシミ
ュレーションシステムであって、前記ホストコンピュー
タは、前記シミュレータよりシミュレーション用のデー
タ要求があると、前記の履歴記憶部、作業工程フロー記
憶部、生産計画記憶部、作業計画記憶部の各データを前
記シミュレータの記憶媒体に転送し、前記シミュレータ
は、記憶媒体に転送されたデータから、過去における作
業工程をシミュレートするシミュレーションモデルを作
成し、シミュレーションモデルを経た作業結果であるシ
ミュレーション結果と、転送されたデータから集計され
た実際の作業結果である実結果とを比較し、両結果が所
定の条件内に入るようにシミュレーションモデルの構成
要件となっている各種のパラメータを調整することによ
り、所望のシミュレーションモデルを構成し、構成した
所望のシミュレーションモデルを用いて前記半導体加工
設備における将来の作業状態をシミュレートし、その結
果を前記ホストコンピュータを介して加工設備端末に作
業手順指示としてフィードバックさせる。
【０００６】また、前記ホストコンピュータは、前記シ
ミュレータが構成した所望のシミュレーションモデルを
新しい作業手順として前記作業計画記憶部に記憶するの
が好ましい。
ミュレータが構成した所望のシミュレーションモデルを
新しい作業手順として前記作業計画記憶部に記憶するの
が好ましい。
【０００７】
【作用】シミュレータは、ホストコンピュータから与え
られた過去のデータに基づき、シミュレーションモデル
を作成し、作成したシミュレーションモデルを経た結果
であるシミュレーション結果と、与えられた過去のデー
タの集計結果、すなわち生産現場の作業状況のデータ集
計結果である実結果とを比較して、シミュレーション結
果と実際の結果に問題がないか検討を行う。もし問題が
ある場合はシミュレーションモデル内のパラメータを調
整して、再度シミュレーションを行う。そして過去の実
結果とシミュレーション結果とを比較し問題がなくなる
まで調整を行ったあとで、そのシミュレーションモデル
を用いて将来予測を行い、その結果を生産現場にフィー
ドバックさせる。これにより正確かつ人の主観等が介入
しない将来予測が可能になる。
られた過去のデータに基づき、シミュレーションモデル
を作成し、作成したシミュレーションモデルを経た結果
であるシミュレーション結果と、与えられた過去のデー
タの集計結果、すなわち生産現場の作業状況のデータ集
計結果である実結果とを比較して、シミュレーション結
果と実際の結果に問題がないか検討を行う。もし問題が
ある場合はシミュレーションモデル内のパラメータを調
整して、再度シミュレーションを行う。そして過去の実
結果とシミュレーション結果とを比較し問題がなくなる
まで調整を行ったあとで、そのシミュレーションモデル
を用いて将来予測を行い、その結果を生産現場にフィー
ドバックさせる。これにより正確かつ人の主観等が介入
しない将来予測が可能になる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は、本発明のシミュレーションシステ
ムの構成を示すブロック図、図２は図１の実施例の動作
を示すフローチャートである。半導体装置加工ライン１
０１内に、半導体装置加工設備１０２と端末１０３とが
設置されている。これらはローカルエリアネットワーク
１０４を介してホストコンピュータ１０５に接続されて
いる。ホストコンピュータ１０５には、半導体装置加工
ライン１０１内での半導体装置加工設備１０２の状態や
半導体装置の加工状況を記憶するための履歴記憶部１０
６、各種の半導体装置の加工フローを記憶した作業工程
フロー記憶部１０７、日々の投入計画等を記憶した生産
計画記憶部１０８、シミュレーションにより構築された
作業手順を記憶する作業計画記憶部１０９が接続されて
いる。また、ホストコンピュータ１０５には、記憶媒体
１１１と端末１１２とを具備するシミュレータ１１０が
接続されている。
て説明する。図１は、本発明のシミュレーションシステ
ムの構成を示すブロック図、図２は図１の実施例の動作
を示すフローチャートである。半導体装置加工ライン１
０１内に、半導体装置加工設備１０２と端末１０３とが
設置されている。これらはローカルエリアネットワーク
１０４を介してホストコンピュータ１０５に接続されて
いる。ホストコンピュータ１０５には、半導体装置加工
ライン１０１内での半導体装置加工設備１０２の状態や
半導体装置の加工状況を記憶するための履歴記憶部１０
６、各種の半導体装置の加工フローを記憶した作業工程
フロー記憶部１０７、日々の投入計画等を記憶した生産
計画記憶部１０８、シミュレーションにより構築された
作業手順を記憶する作業計画記憶部１０９が接続されて
いる。また、ホストコンピュータ１０５には、記憶媒体
１１１と端末１１２とを具備するシミュレータ１１０が
接続されている。
【０００９】次に図１の実施例の動作について図２を参
照して説明する。半導体装置加工ライン１０１内の半導
体装置加工設備１０２は、設備の状態に関する情報を随
時に、ローカルエリアネットワーク１０４を介してホス
トコンピュータ１０５に報告する。報告された情報をホ
ストコンピュータ１０５は、履歴記憶部１０６に記憶す
る。また、端末１０３より入力された作業報告を同様な
方法で履歴記憶部１０６に記憶する。次に、作業者が端
末１１２よりシミュレーション実行指示を行うと（ステ
ップ２０１）、シミュレータ１１０は、データの転送を
ホストコンピュータ１０５に要求する（ステップ２０
２）。要求されたホストコンピュータ１０５は、履歴記
憶部１０６、作業工程フロー記憶部１０７、作業計画記
憶部１０９のデータをシミュレータ１１０を介して記憶
媒体１１１に転送する。シミュレータ１１０は、転送さ
れたデータを基に、過去の実績を集計して記憶媒体１１
１に記憶する（ステップ２０３）。次に、記憶媒体１１
１に転送されているデータを基にシミュレータ１１０で
過去シミュレーションを行い結果を記憶媒体１１１に記
憶する（ステップ２０４）。この結果と事前に集計して
おいた実結果の比較を行う（ステップ２０５）。比較の
結果、規格内のシミュレーション結果が得られない場合
は、パラメータを変更して再度、過去シミュレーション
を行う（ステップ２０６）。規格内のシミュレーション
結果が得られた時は、そのパラメータと生産計画記憶部
１０８に記憶されている生産計画データを使用して将来
予測を行い（ステップ２０７）、得られた結果を記憶媒
体１１１に記憶した後に、ホストコンピュータ１０５を
介して、作業計画記憶部１０９に転送する（ステップ２
０８）。そして、作業計画記憶部１０９に記憶されたデ
ータを利用して、ホストコンピュータ１０５は、ローカ
ルエリアネットワーク１０４を介して、端末１０３に指
示内容を表示して、作業者に必要な作業を実行させる。
照して説明する。半導体装置加工ライン１０１内の半導
体装置加工設備１０２は、設備の状態に関する情報を随
時に、ローカルエリアネットワーク１０４を介してホス
トコンピュータ１０５に報告する。報告された情報をホ
ストコンピュータ１０５は、履歴記憶部１０６に記憶す
る。また、端末１０３より入力された作業報告を同様な
方法で履歴記憶部１０６に記憶する。次に、作業者が端
末１１２よりシミュレーション実行指示を行うと（ステ
ップ２０１）、シミュレータ１１０は、データの転送を
ホストコンピュータ１０５に要求する（ステップ２０
２）。要求されたホストコンピュータ１０５は、履歴記
憶部１０６、作業工程フロー記憶部１０７、作業計画記
憶部１０９のデータをシミュレータ１１０を介して記憶
媒体１１１に転送する。シミュレータ１１０は、転送さ
れたデータを基に、過去の実績を集計して記憶媒体１１
１に記憶する（ステップ２０３）。次に、記憶媒体１１
１に転送されているデータを基にシミュレータ１１０で
過去シミュレーションを行い結果を記憶媒体１１１に記
憶する（ステップ２０４）。この結果と事前に集計して
おいた実結果の比較を行う（ステップ２０５）。比較の
結果、規格内のシミュレーション結果が得られない場合
は、パラメータを変更して再度、過去シミュレーション
を行う（ステップ２０６）。規格内のシミュレーション
結果が得られた時は、そのパラメータと生産計画記憶部
１０８に記憶されている生産計画データを使用して将来
予測を行い（ステップ２０７）、得られた結果を記憶媒
体１１１に記憶した後に、ホストコンピュータ１０５を
介して、作業計画記憶部１０９に転送する（ステップ２
０８）。そして、作業計画記憶部１０９に記憶されたデ
ータを利用して、ホストコンピュータ１０５は、ローカ
ルエリアネットワーク１０４を介して、端末１０３に指
示内容を表示して、作業者に必要な作業を実行させる。
【００１０】次に、パラメータ調整工程（ステップ２０
６）について説明する。図３は、シミュレーション内の
パラメータデーブルであり、図４は、そのパラメータの
調整を説明するフローチャートである。パラメータデー
ブル内では、パラメータ単位に過去の実データ３０２を
記憶し、その実データのばらつき度３０３と平均値３０
４計算してテーブル内に記憶している。
６）について説明する。図３は、シミュレーション内の
パラメータデーブルであり、図４は、そのパラメータの
調整を説明するフローチャートである。パラメータデー
ブル内では、パラメータ単位に過去の実データ３０２を
記憶し、その実データのばらつき度３０３と平均値３０
４計算してテーブル内に記憶している。
【００１１】過去シミュレーションとの比較結果が規格
外の場合は、このパラメータデーブルのばらつき度３０
３をキーにソートを行う（ステップ４０１）。ソート
後、ばらつき度３０３の最大のパラメータ３０１に関す
る実データ３０２から最大値と最小値を削除する（ステ
ップ４０２）。削除が終了したら改めて、削除した実デ
ータから平均値３０４を計算しなおして、新しいパラメ
ータ値を求める（ステップ４０３）。この新しいパラメ
ータ値で過去シミュレーションを行い、シミュレーショ
ン結果と実結果を比較して規格内に収まるまで上記処理
を繰り返す。
外の場合は、このパラメータデーブルのばらつき度３０
３をキーにソートを行う（ステップ４０１）。ソート
後、ばらつき度３０３の最大のパラメータ３０１に関す
る実データ３０２から最大値と最小値を削除する（ステ
ップ４０２）。削除が終了したら改めて、削除した実デ
ータから平均値３０４を計算しなおして、新しいパラメ
ータ値を求める（ステップ４０３）。この新しいパラメ
ータ値で過去シミュレーションを行い、シミュレーショ
ン結果と実結果を比較して規格内に収まるまで上記処理
を繰り返す。
【００１２】さらに、上記のパラメータ調整工程（ステ
ップ２０６）とは異なるの他の事例について説明する。
図５は、本事例のシミュレーションのパラメータテーブ
ルであり、図６は、そのパラメータの調整を説明するフ
ローチャートである。各パラメータ５０１のパラメータ
値５０４を設定範囲値５０２の中央値を初期値として使
用する。この状態でシミュレーション結果が規格外の場
合は、設定範囲値５０２の範囲で個々に変化させてシミ
ュレーションの出力結果の変化率５０３を求める（ステ
ップ６０１）。変化率５０３をキーとしてソートを行う
（ステップ６０２）。ソート後、変化率５０３の最大の
パラメータ５０１を微小変化させてシミュレーションを
行い、もっとも実結果と近似する値をパラメータ値５０
４とする（ステップ６０３）。これでシミュレーション
を行い結果が規格外の場合は、次に変化率５０３の大き
いパラメータ５０１を上記処理で調整する。この処理方
法を繰り返す事でシミュレーション結果を規格内に収ま
る様に調整する。
ップ２０６）とは異なるの他の事例について説明する。
図５は、本事例のシミュレーションのパラメータテーブ
ルであり、図６は、そのパラメータの調整を説明するフ
ローチャートである。各パラメータ５０１のパラメータ
値５０４を設定範囲値５０２の中央値を初期値として使
用する。この状態でシミュレーション結果が規格外の場
合は、設定範囲値５０２の範囲で個々に変化させてシミ
ュレーションの出力結果の変化率５０３を求める（ステ
ップ６０１）。変化率５０３をキーとしてソートを行う
（ステップ６０２）。ソート後、変化率５０３の最大の
パラメータ５０１を微小変化させてシミュレーションを
行い、もっとも実結果と近似する値をパラメータ値５０
４とする（ステップ６０３）。これでシミュレーション
を行い結果が規格外の場合は、次に変化率５０３の大き
いパラメータ５０１を上記処理で調整する。この処理方
法を繰り返す事でシミュレーション結果を規格内に収ま
る様に調整する。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、過去のシ
ミュレーションを行った結果と実際の生産ラインの結果
を比較してシミュレーションに係わるパラメータを自動
的に調整し、最良値を得て実工程に指示することによ
り、人の主観等が介入しない、そして人の調整工数を削
減しながらも、正確な将来予測を可能にさせるシミュレ
ーションシステムを実現できる。
ミュレーションを行った結果と実際の生産ラインの結果
を比較してシミュレーションに係わるパラメータを自動
的に調整し、最良値を得て実工程に指示することによ
り、人の主観等が介入しない、そして人の調整工数を削
減しながらも、正確な将来予測を可能にさせるシミュレ
ーションシステムを実現できる。
【図１】本発明のシミュレーションシステムの構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】図１の実施例の動作を示すフローチャートであ
る。
る。
【図３】図１の実施例のシミュレーションパラメータテ
ーブルの第１の例の内容を示す構成図である。
ーブルの第１の例の内容を示す構成図である。
【図４】図１の実施例により図３のシミュレーションパ
ラメータテーブルが調整されるのを示すフローチャート
である。
ラメータテーブルが調整されるのを示すフローチャート
である。
【図５】図１の実施例のシミュレーションパラメータテ
ーブルの第２の例の内容を示す構成図である。
ーブルの第２の例の内容を示す構成図である。
【図６】図１の実施例により図５のシミュレーションパ
ラメータテーブルが調整されるのを示すフローチャート
である。
ラメータテーブルが調整されるのを示すフローチャート
である。
１０１ 半導体装置加工ライン １０２ 半導体装置加工設備 １０３，１１２ 端末 １０４ ローカルエリアネットワーク １０５ ホストコンピュータ １０６ 履歴記憶部 １０７ 作業工程フロー記憶部 １０８ 生産計画記憶部 １０９ 作業計画記憶部 １１０ シミュレータ １１１ 記憶媒体 ２０１〜２０８，４０１〜４０３，６０１〜６０３
ステップ
ステップ
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体装置を加工するとともに稼働状態
を出力する半導体加工設備と、半導体加工設備の稼働内
容についての情報を送る加工設備端末と、半導体加工設
備および加工設備端末にローカルエリアネットワークを
介して接続され、加工設備の作業履歴を記憶する履歴記
憶部、半導体装置の加工フローを記憶する作業工程フロ
ー記憶部、生産計画を記憶する生産計画記憶部、シミュ
レートされた作業手順を記憶する作業計画記憶部を具備
するホストコンピュータと、ホストコンピュータに接続
され、記憶媒体、シミュレーション端末を具備するシミ
ュレータとからなるシミュレーションシステムにおい
て、 前記ホストコンピュータは、前記シミュレータよりシミ
ュレーション用のデータ要求があると、前記の履歴記憶
部、作業工程フロー記憶部、生産計画記憶部、作業計画
記憶部の各データを前記シミュレータの記憶媒体に転送
し、 前記シミュレータは、記憶媒体に転送されたデータか
ら、過去における作業工程をシミュレートするシミュレ
ーションモデルを作成し、シミュレーションモデルを経
た作業結果であるシミュレーション結果と、転送された
データから集計された実際の作業結果である実結果とを
比較し、両結果が所定の条件内に入るようにシミュレー
ションモデルの構成要件となっている各種のパラメータ
を調整することにより、所望のシミュレーションモデル
を構成し、構成した所望のシミュレーションモデルを用
いて前記半導体加工設備における将来の作業状態をシミ
ュレートし、その結果を前記ホストコンピュータを介し
て加工設備端末に作業手順指示としてフィードバックさ
せることを特徴とするシミュレーションシステム。 - 【請求項２】 前記ホストコンピュータは、前記シミュ
レータが構成した所望のシミュレーションモデルを新し
い作業手順として前記作業計画記憶部に記憶する請求項
１記載のシミュレーションシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18472093A JP2663840B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 半導体装置の加工のためのシミュレーションシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18472093A JP2663840B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 半導体装置の加工のためのシミュレーションシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745490A JPH0745490A (ja) | 1995-02-14 |
| JP2663840B2 true JP2663840B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=16158190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18472093A Expired - Lifetime JP2663840B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 半導体装置の加工のためのシミュレーションシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2663840B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2010064281A1 (ja) * | 2008-12-05 | 2012-04-26 | 株式会社日立製作所 | 生産計画作成システムおよび生産計画作成方法 |
| CN114800556B (zh) * | 2022-04-26 | 2023-10-24 | 广州东焊智能装备有限公司 | 一种基于工业机器人的自动化加工生产线 |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP18472093A patent/JP2663840B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0745490A (ja) | 1995-02-14 |
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