JP2652905B2 - ディスクチャック機構の載置面形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスクなどの
検査装置のディスクチャック機構において、ディスクを
載置する載置面の形成方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】アルミニュームなどの素材ディスクや、
これに磁気膜を塗布した磁気ディスク（以下単にディス
クという）の欠陥は磁気ディスク検査装置により検査さ
れる。検査においてはディスクは検査装置のチャック機
構（クランプ機構というも同じ）にチャックされ、駆動
モータにより回転して行われる。ディスクの大きさには
各種があり、これに対するチャック機構にも各種のもの
が考案されている。図２(a) 〜(c) は小型ディスクに対
するチャック機構の例を示す。図(a) において、２はデ
ィスク載置部を示し、ステンレススチール（ＳＵＳ）よ
りシリンダ21を切削し、その上端に段差23を有する載置
面22を設け、これに被検査のディスク１を載置する。ま
た、シリンダの内部に、取り付け具24により複数（３
個）の押圧爪25を取り付ける。載置部２に対して押圧部
３を設け、シリンダを貫通する中心軸31がスプリング32
により下降すると、中心軸の上端に設けられたチャック
ヘッド33が押圧爪を矢印の方向に回転させ、ディスクの
エッジを下向きに押圧してチャックする。図(b) の例で
は、シリンダ21と載置面22は図(a) と同一とし、シリン
ダの内部に斜面を有するアクチュエータ輪24を設け、中
心軸31に嵌挿する。この場合は押圧爪35はチャックヘッ
ド側に、取り付け具34により取り付けられる。中心軸が
下降すると押圧爪が外方に移動してディスク１のエッジ
を斜め下方に押圧してチャックする。なお、図(c) はシ
リンダ21の外観を示す。

【０００３】

【解決しようとする課題】検査においてはチャックされ
たディスク１は駆動モータにより高速回転するので、押
圧爪25または35の押圧力はかなり強いことが必要であ
る。一方、シリンダ21の載置面22はＳＵＳを切削したも
ので、その面には切削縞の跡が残っており、強い押圧力
でチャックされると、アルミニュームや磁気膜の硬度が
ＳＵＳより小さいためにディスク面に切削縞が転写され
る。図３はこれを示すもので、ディスク１の中心孔11の
周辺の押圧爪とその近傍に切削縞12が転写されている。

【０００４】磁気ディスクにおいては中心孔11の周辺の
適当な範囲は記録用に使用されず、上記の切削縞が転写
されてもある程度は支障がないが、ディスクの品質（と
いうより品位）のランク付けでは転写された切削縞が欠
点となってランクが低く評価される。この対策として
は、載置面を可能な限り平滑に仕上げて切削縞の跡が残
らないようにすればよい。

【０００５】この発明は以上に鑑みてなされたもので、
チャック機構のディスクに対する載置面を極めて平滑に
形成する方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、上端に載置
面を有し、ステンレススチールを切削して形成されたシ
リンダと、載置面に載置された被検査のディスクを押圧
するチャックヘッドとよりなるディスクチャック機構に
おける、シリンダの載置面の形成方法であって、シリン
ダの表面を化学ニッケルメッキ法により析出硬化処理し
てニッケルメッキ層を形成し、載置面のニッケルメッキ
層をダイヤモンドバイトでラッピングする。さらに、ラ
ッピングにより生じたラッピング縞を電解研磨法により
平滑とするものである。

【０００７】

【作用】以上の形成方法によれば、化学ニッケルメッキ
法の析出硬化処理により、シリンダの表面にニッケルメ
ッキ層が形成されるが、その表面にはニッケルの結晶が
析出されて粗面である。これに対して、載置面のメッキ
層がダイヤモンドバイトでラッピングされると、ある程
度の平滑となるが、未だラッピング縞があるので、さら
に電解研磨法を行って載置面がほぼ完璧な平滑面に仕上
げられる。これにより、押圧爪により強く押圧されても
ディスクには縞跡などのなにものも転写されず、ディス
クの品位を低下させることがない。なお、上記において
ニッケルメッキ層を設ける理由は、載置面のＳＵＳに対
して直接、ダイヤモンドバイトでラッピングできないこ
とと、ニッケルメッキ層はこれが可能で、しかも電解研
磨法が適用できるからである。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明を図２(c) に示した載置面22
と段差23を有するシリンダ21に適用した一実施例を示
し、〜はその手順である。先ずにおいて，ＳＵＳ
（３０３）を素材として規定寸法のシリンダ21を切削加
工により製作する。においてシリンダの表面に化学ニ
ッケルメッキ法により、２６０°〜２８０°で析出硬化
処理を行い、例えば厚さ６０μｍ±６μｍのニッケルメ
ッキ層（図示Ｎｉ）を形成する。形成されたメッキ層に
は図示(イ),(ロ) のようなニッケルの結晶が析出されて、
かなりの凹凸がある。においては、載置面22と段差23
に対して半径Ｒが０．２ｍｍのダイヤモンドバイトによ
り、切り込み深さｄを〜５μｍ、ピッチｐを１２μｍと
してラッピングを行う。このラッピングにより(ハ) のよ
うなラッピング縞が残るが、その波高値ｒを０．１μｍ
以下に形成する。最後ににおいて、硝酸の塩基性化合
物による電解研磨を行ってラッピング縞の突起を溶解す
ると、載置面22と段差23の表面が極めて平滑に形成され
る。

【０００９】以上の化学ニッケルメッキ法を行うとき
は、取り付け孔など必要な部分にはマスキングを施し、
また電解研磨においてはシリンダの中心孔に適当なブッ
シュを嵌挿してその部分が不必要に電解されないように
配慮することは当然である。なお、上記の処理寸法は１
例でこれに限定されるものでなく、またシリンダとして
は上記以外で、例えば段差23のないものでも、ディスク
に対する載置面を有するシリンダに対して上記の形成方
法が適用できることは言うまでもない。

【００１０】

【発明の効果】以上の形成方法によれば、シリンダの載
置面は高度に平滑とされ、押圧爪により強く押圧されて
もディスクには縞跡などのなにものも転写されず、検査
のためにディスクの品位を低下させる欠点が回避される
効果には大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例における載置面の形成手
順の説明図である。

【図２】 磁気ディスク検査装置に使用されているディ
スクチャック機構の２例を示す構造図である。

【図３】 ディスクに転写された切削縞の例を示す説明
図である。

【符号の説明】

１…磁気ディスク（単にディスク）、11…中心孔、12…
転写された切削縞、２…載置部、21…シリンダ、22…載
置面、23…段差、24…取り付け具、25…押圧爪、３…押
圧部、31…中心軸、32…スプリング、33…チャックヘッ
ド、34…取り付け具、35…押圧爪、〜…形成手順の
番号。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上端に載置面を有し、ステンレススチー
   ルを切削して形成されたシリンダと、該載置面に載置さ
   れた被検査のディスクを押圧するチャックヘッドとより
   なるディスクチャック機構において、該シリンダの表面
   を化学ニッケルメッキ法により析出硬化処理してニッケ
   ルメッキ層を形成し、前記載置面の該ニッケルメッキ層
   をダイヤモンドバイトでラッピングした後、該ラッピン
   グにより生じた縞を電解研磨法により平滑とすることを
   特徴とする、ディスクチャック機構の載置面形成方法。