JP2649643B2 - 研磨テープ回転研磨装置 - Google Patents
研磨テープ回転研磨装置Info
- Publication number
- JP2649643B2 JP2649643B2 JP19524893A JP19524893A JP2649643B2 JP 2649643 B2 JP2649643 B2 JP 2649643B2 JP 19524893 A JP19524893 A JP 19524893A JP 19524893 A JP19524893 A JP 19524893A JP 2649643 B2 JP2649643 B2 JP 2649643B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- polishing
- polishing tape
- shaft
- hollow body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属、セラミック、電
子材料などを研磨テープにより研磨する研磨装置に関す
る。
子材料などを研磨テープにより研磨する研磨装置に関す
る。
【０００２】
【従来技術】従来、半導体ウェーハ、金属プレート、セ
ラミックなどの表面を研磨、あるいはテクスチャー加工
するために、走行する研磨テープをこのような被研磨体
に押し付ける研磨装置が利用されていた。
ラミックなどの表面を研磨、あるいはテクスチャー加工
するために、走行する研磨テープをこのような被研磨体
に押し付ける研磨装置が利用されていた。
【０００３】また、磁気ヘッドなどのような小さな金属
部品の表面を研磨するために、研磨テープを支持テーブ
ルの上で走行させ、そのテーブルを走行する研磨テープ
ごと回転させる研磨装置が利用されていた（実開平５−
１６１２７号）。
部品の表面を研磨するために、研磨テープを支持テーブ
ルの上で走行させ、そのテーブルを走行する研磨テープ
ごと回転させる研磨装置が利用されていた（実開平５−
１６１２７号）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、走行する研磨
テープを被研磨体に押し付けて研磨する装置では、研磨
テープの一部と被研磨体とが接触し、他の部分の研磨テ
ープは研磨に供することがなく、研磨テープの無駄が生
じていた。この無駄をなくすため、被研磨体を研磨テー
プの走行方向と垂直方向に往復移動させる研磨装置もあ
るが、かかる移動装置をさらに設置する必要があり、装
置全体が複雑化することになった。
テープを被研磨体に押し付けて研磨する装置では、研磨
テープの一部と被研磨体とが接触し、他の部分の研磨テ
ープは研磨に供することがなく、研磨テープの無駄が生
じていた。この無駄をなくすため、被研磨体を研磨テー
プの走行方向と垂直方向に往復移動させる研磨装置もあ
るが、かかる移動装置をさらに設置する必要があり、装
置全体が複雑化することになった。
【０００５】また、走行する研磨テープをテーブルごと
回転させる装置で大きな被研磨体を研磨すると、研磨テ
ープがテーブルと大きな被研磨体とに挟まれることか
ら、円滑な研磨テープの走行ができない。
回転させる装置で大きな被研磨体を研磨すると、研磨テ
ープがテーブルと大きな被研磨体とに挟まれることか
ら、円滑な研磨テープの走行ができない。
【０００６】そこで、本発明の目的は、研磨テープが安
定して走行する研磨テープ回転研磨装置を提供すること
である。
定して走行する研磨テープ回転研磨装置を提供すること
である。
【０００７】本発明の他の目的は、少なくとも１つの動
力手段により研磨テープの回転および走行を行う研磨テ
ープ回転研磨装置を提供することである。
力手段により研磨テープの回転および走行を行う研磨テ
ープ回転研磨装置を提供することである。
【０００８】さらに、本発明の他の目的は、比較的大き
な被研磨物を均一に研磨することのできる上記研磨テー
プ回転研磨装置に関する。
な被研磨物を均一に研磨することのできる上記研磨テー
プ回転研磨装置に関する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の研磨テープが走行し、かつ回転する研磨テ
ープ回転研磨装置は、鉛直に伸びる鉛直軸と、鉛直軸を
中心に回転自在な中空体と、鉛直軸の上方を固定支持
し、中空体を鉛直軸に関して回転自在に支持する固定体
と、中空体の下端に、軸線が水平になるように回転自在
に取り付けられる押付けローラーであって、ローラーの
中央部の直径がその両側部分の直径より小さいところの
押付けローラーと、それぞれの軸線がローラーの軸線よ
り上でかつ平行になるように中空体に回転自在に取り付
けられる研磨テープ供給および巻き取りローラーであっ
て、研磨テープが供給ローラーから供給され、押付けロ
ーラーを経て巻き取りローラーへと巻かれる、ところの
供給ローラーおよび巻き取りローラーと、中空体を固定
体に対して回転させるための動力手段と、供給ローラー
および巻き取りローラーと平行に中空体に回転自在に取
り付けられ、回転を伝える連結手段により鉛直軸に連結
される水平軸とから成る。ここで、水平軸の回転は研磨
テープを巻き取るために巻き取りローラーに伝えられ
る。
に、本発明の研磨テープが走行し、かつ回転する研磨テ
ープ回転研磨装置は、鉛直に伸びる鉛直軸と、鉛直軸を
中心に回転自在な中空体と、鉛直軸の上方を固定支持
し、中空体を鉛直軸に関して回転自在に支持する固定体
と、中空体の下端に、軸線が水平になるように回転自在
に取り付けられる押付けローラーであって、ローラーの
中央部の直径がその両側部分の直径より小さいところの
押付けローラーと、それぞれの軸線がローラーの軸線よ
り上でかつ平行になるように中空体に回転自在に取り付
けられる研磨テープ供給および巻き取りローラーであっ
て、研磨テープが供給ローラーから供給され、押付けロ
ーラーを経て巻き取りローラーへと巻かれる、ところの
供給ローラーおよび巻き取りローラーと、中空体を固定
体に対して回転させるための動力手段と、供給ローラー
および巻き取りローラーと平行に中空体に回転自在に取
り付けられ、回転を伝える連結手段により鉛直軸に連結
される水平軸とから成る。ここで、水平軸の回転は研磨
テープを巻き取るために巻き取りローラーに伝えられ
る。
【００１０】動力手段としてはモーターが適しており、
そのモーターを固定体に水平に取り付け、モーターの回
転軸に設けられたウォームと、中空体の外周に設けられ
たウォームホイールとの係合により、モーターの回転を
中空体に伝えることができる。連結手段としては水平軸
および鉛直軸のうちの一方に設けられたウォームホイー
ルおよび水平軸および鉛直軸のうちの他方に設けられた
ウォームから成るものが適している。
そのモーターを固定体に水平に取り付け、モーターの回
転軸に設けられたウォームと、中空体の外周に設けられ
たウォームホイールとの係合により、モーターの回転を
中空体に伝えることができる。連結手段としては水平軸
および鉛直軸のうちの一方に設けられたウォームホイー
ルおよび水平軸および鉛直軸のうちの他方に設けられた
ウォームから成るものが適している。
【００１１】研磨テープを押し付けるための押付けロー
ラーの中央部およびその両側部分の各長さは全長の１／
３であることが望ましい。
ラーの中央部およびその両側部分の各長さは全長の１／
３であることが望ましい。
【００１２】
【作用】研磨テープは押付けローラーにより被研磨物に
押し付けられるが、押付けローラーの中央部の直径はそ
の両側部分の直径よりも小さいため、中央部での被研磨
物と研磨テープとの接触が弱くなり、研磨テープが円滑
に回転し、走行する。
押し付けられるが、押付けローラーの中央部の直径はそ
の両側部分の直径よりも小さいため、中央部での被研磨
物と研磨テープとの接触が弱くなり、研磨テープが円滑
に回転し、走行する。
【００１３】研磨テープ回転装置を構成する中空体およ
び水平軸は１つの動力手段であるモータにより回転し、
中空体は研磨テープを回転させ、水平軸は研磨テープを
走行させる。
び水平軸は１つの動力手段であるモータにより回転し、
中空体は研磨テープを回転させ、水平軸は研磨テープを
走行させる。
【００１４】
【実施例】本発明の研磨テープ回転研磨装置１を図１に
示す。研磨テープ回転研磨装置１は、基本的にモータが
内蔵された駆動部１０、モータの回転を鉛直軸に伝える
回転ギア部２０、および研磨テープを回転させるための
スピンドル４０から構成される。
示す。研磨テープ回転研磨装置１は、基本的にモータが
内蔵された駆動部１０、モータの回転を鉛直軸に伝える
回転ギア部２０、および研磨テープを回転させるための
スピンドル４０から構成される。
【００１５】この研磨テープ回転研磨装置１は、一つの
使用態様として図１に破線に示すようなキャスタ４、５
を有する設置フレーム２、支持フレーム３により移動可
能にし、大きくて移動が適切でない被研磨物（図示せ
ず）上に配置できるようにする。他の使用態様として、
たとえば被研磨物が直立している場合、高所にある場合
などでは本発明の研磨テープ回転研磨装置１をロボット
アーム（図示せず）に取り付けて使用することもでき
る。このように、研磨テープ回転研磨装置を移動させる
手段は、特に限定されず任意のものでよい。
使用態様として図１に破線に示すようなキャスタ４、５
を有する設置フレーム２、支持フレーム３により移動可
能にし、大きくて移動が適切でない被研磨物（図示せ
ず）上に配置できるようにする。他の使用態様として、
たとえば被研磨物が直立している場合、高所にある場合
などでは本発明の研磨テープ回転研磨装置１をロボット
アーム（図示せず）に取り付けて使用することもでき
る。このように、研磨テープ回転研磨装置を移動させる
手段は、特に限定されず任意のものでよい。
【００１６】図２は、図１に示す装置の部分断面図であ
るが、図３の線２−２に沿った装置の部分断面図であ
る。図２に示すように駆動部１０内にはモータが収納さ
れ、モータ軸１１がカップリング１２を介して回転ギア
部２０へと伸びている。
るが、図３の線２−２に沿った装置の部分断面図であ
る。図２に示すように駆動部１０内にはモータが収納さ
れ、モータ軸１１がカップリング１２を介して回転ギア
部２０へと伸びている。
【００１７】駆動部１０が連結されている回転ギヤ部２
０は、上下が解放されたハウジング２１と、その上方解
放部を閉じ、ネジ２３により留め付けられるカバー２２
を有する。
０は、上下が解放されたハウジング２１と、その上方解
放部を閉じ、ネジ２３により留め付けられるカバー２２
を有する。
【００１８】図３は図２の線３−３にそった装置の部分
断面図（または図４の線３ー３に沿った部分断面図）
で、図３に示されているようにカバー２２にはその下に
固定ネジ２５により固定される固定軸２４が取り付けれ
ら、ハウジング２１の下方解放端を通過して伸びてい
る。このカバー２２は、組み立て、保守の便のためのも
のでハウジングと一体でもよい。
断面図（または図４の線３ー３に沿った部分断面図）
で、図３に示されているようにカバー２２にはその下に
固定ネジ２５により固定される固定軸２４が取り付けれ
ら、ハウジング２１の下方解放端を通過して伸びてい
る。このカバー２２は、組み立て、保守の便のためのも
のでハウジングと一体でもよい。
【００１９】中空のスピンドル４０が、固定軸２４が中
心となるように配置され、その下方部がハウジング２１
の下方解放部から外に伸びている。
心となるように配置され、その下方部がハウジング２１
の下方解放部から外に伸びている。
【００２０】スピンドル４０の上端は内側ベアリング２
２Ａおよび外側ベアリング２２Ｂによりカバー２２に対
して回転自在に取り付けられている。さらに、ハウジン
グ２１の下方解放部では、スピンドル４０はベアリング
２１Ａによりハウジング２１に対して回転可能に支承さ
れている。このスピンドル４０には大径部４１が形成さ
れ、その大径部４１の肩がベアリング２１Ａと摺動可能
に当接している。したがって、スピンドル４０は、ハウ
ジング２１から脱落することなくハウジング２１に対し
回転可能に支持されている。スピンドル４０の底蓋４０
Ａは、固定軸２４の下端をベアリング４０Ｂにより回転
可能に支持している。
２Ａおよび外側ベアリング２２Ｂによりカバー２２に対
して回転自在に取り付けられている。さらに、ハウジン
グ２１の下方解放部では、スピンドル４０はベアリング
２１Ａによりハウジング２１に対して回転可能に支承さ
れている。このスピンドル４０には大径部４１が形成さ
れ、その大径部４１の肩がベアリング２１Ａと摺動可能
に当接している。したがって、スピンドル４０は、ハウ
ジング２１から脱落することなくハウジング２１に対し
回転可能に支持されている。スピンドル４０の底蓋４０
Ａは、固定軸２４の下端をベアリング４０Ｂにより回転
可能に支持している。
【００２１】スピンドル４０の大径部４１上にウォーム
ホイール４２が固着されている。このウォームホイール
４２と噛み合うウォーム４３を有するウォーム軸４４が
ハウジング２１に水平に回転可能に取り付けられている
（図２を参照）。この軸４４は、駆動部１０から伸張し
てきたモータ軸１１とカップリング１２により連結され
ている。かくして、モータが回転すると、回転がモータ
軸１１、ウォーム軸４４に伝えられ、ウォーム４３を回
転させる。ウォームホイール４２はウォーム４３とかみ
合っていることから、スピンドル４０がハウジング２１
に対して、固定軸２４を中心に回転する。回転は、ウォ
ームホイール４２の歯数、ウォームのピッチにより決定
されるので、これらを適宜決定してスピンドルのハウジ
ングに対する回転を所望のものにすることができる。
ホイール４２が固着されている。このウォームホイール
４２と噛み合うウォーム４３を有するウォーム軸４４が
ハウジング２１に水平に回転可能に取り付けられている
（図２を参照）。この軸４４は、駆動部１０から伸張し
てきたモータ軸１１とカップリング１２により連結され
ている。かくして、モータが回転すると、回転がモータ
軸１１、ウォーム軸４４に伝えられ、ウォーム４３を回
転させる。ウォームホイール４２はウォーム４３とかみ
合っていることから、スピンドル４０がハウジング２１
に対して、固定軸２４を中心に回転する。回転は、ウォ
ームホイール４２の歯数、ウォームのピッチにより決定
されるので、これらを適宜決定してスピンドルのハウジ
ングに対する回転を所望のものにすることができる。
【００２２】この実施例ではモータを水平に取り付けた
ものであるが、垂直に取り付けることもできる。このと
きは、ウォームホイールとウォームとの係合による回転
の伝動ではなく、歯車、ベルト等によりモータ軸とスピ
ンドルとを係合させる。また、この実施例ではウォーム
軸とスピンドルとの連結はウォームとウォームホイール
との係合によるものであるが、これに限定されず、たと
えばベルトによる連結も可能である。
ものであるが、垂直に取り付けることもできる。このと
きは、ウォームホイールとウォームとの係合による回転
の伝動ではなく、歯車、ベルト等によりモータ軸とスピ
ンドルとを係合させる。また、この実施例ではウォーム
軸とスピンドルとの連結はウォームとウォームホイール
との係合によるものであるが、これに限定されず、たと
えばベルトによる連結も可能である。
【００２３】スピンドル４０の中間には、ギヤ室４５が
設けられ（図４）。そのギヤ室４５は、ウォームホイー
ル４６を有する軸４７が、ベアリング４８および４９に
より水平でかつ回転自在に取り付けられ、その軸４７の
一方がギヤ室４５より外へ突き出て、先端にプーリー６
０が取り付けられている。
設けられ（図４）。そのギヤ室４５は、ウォームホイー
ル４６を有する軸４７が、ベアリング４８および４９に
より水平でかつ回転自在に取り付けられ、その軸４７の
一方がギヤ室４５より外へ突き出て、先端にプーリー６
０が取り付けられている。
【００２４】固定軸２４には、ウォームホイール４６と
噛み合うウォーム２６が設けられている（図３を参
照）。したがって、固定軸２４を中心としてスピンドル
４０がモータ駆動により回転すると、軸４７はスピンド
ル４０と一体に固定軸２４のまわりを回動し、軸４７の
ウォームホイール４６と固定軸のウォーム２６との噛み
合いにより軸４７が回転する。この場合の回転もウォー
ムホイールの歯数、ウォームのピッチにより決定される
ので、これらを適宜選択することで、所望の回転を得る
ことができる。
噛み合うウォーム２６が設けられている（図３を参
照）。したがって、固定軸２４を中心としてスピンドル
４０がモータ駆動により回転すると、軸４７はスピンド
ル４０と一体に固定軸２４のまわりを回動し、軸４７の
ウォームホイール４６と固定軸のウォーム２６との噛み
合いにより軸４７が回転する。この場合の回転もウォー
ムホイールの歯数、ウォームのピッチにより決定される
ので、これらを適宜選択することで、所望の回転を得る
ことができる。
【００２５】さらに、スピンドル４０の中間には、軸４
７と平行でかつ水平に伸びる腕５０を有する。腕５０の
先端には水平でかつ腕５０に垂直に伸びる水平プレート
５１がネジ５２により取り付けられている。プレート５
１の両端には、研磨テープを供給する供給ローラー５２
および巻き取りローラー５４のそれぞれの軸５３および
５５が軸４７と平行に回転自在に取り付けられている。
軸５５の先端にはプーリー６０と整合するようにプーリ
ー５６が固着され、それぞれのプーリーを連結するベル
ト５７がプーリーに渡されている。したがって、軸４７
が回転すると、その回転は軸５５に伝えられる。この実
施例では、ベルト５７により回転を伝えているが、この
外に歯車を介して回転を伝えてもよい。
７と平行でかつ水平に伸びる腕５０を有する。腕５０の
先端には水平でかつ腕５０に垂直に伸びる水平プレート
５１がネジ５２により取り付けられている。プレート５
１の両端には、研磨テープを供給する供給ローラー５２
および巻き取りローラー５４のそれぞれの軸５３および
５５が軸４７と平行に回転自在に取り付けられている。
軸５５の先端にはプーリー６０と整合するようにプーリ
ー５６が固着され、それぞれのプーリーを連結するベル
ト５７がプーリーに渡されている。したがって、軸４７
が回転すると、その回転は軸５５に伝えられる。この実
施例では、ベルト５７により回転を伝えているが、この
外に歯車を介して回転を伝えてもよい。
【００２６】スピンドル４０の底蓋には、段付きローラ
ー７２の軸７１を水平かつプレート５１に対し垂直に回
転自在にするローラー支持具７０がネジにより取り付け
られている（図３）。この段付きローラー７２は、３つ
の長さが等しいローラー部分７３、７４および７５から
成り、ローラー部分７３とローラー部分７５の直径は同
じであり、ローラー部分７４の直径は他のローラー部分
より小さい。
ー７２の軸７１を水平かつプレート５１に対し垂直に回
転自在にするローラー支持具７０がネジにより取り付け
られている（図３）。この段付きローラー７２は、３つ
の長さが等しいローラー部分７３、７４および７５から
成り、ローラー部分７３とローラー部分７５の直径は同
じであり、ローラー部分７４の直径は他のローラー部分
より小さい。
【００２７】研磨テープ供給ローラー５２からの研磨テ
ープ８０は、段付きローラーを経て巻き取りローラー５
４に至る。上述したように、研磨テープは巻き取りロー
ラーの回転によるため、各ローラーで研磨テープが緩む
場合があるので、途中に案内ローラーを配置し、この緩
みを防止してもよい。また、段付きローラー上を通過す
る研磨テープの走行速度は、巻き取りローラーに巻かれ
る研磨テープの量により決定されるので、研磨テープの
走行速度を一定にしたいときは、案内ローラーの代わり
に、または一緒にピンチローラーを配置し、軸４７の回
転をこのピンチローラーに伝えるようにしてもよい。
ープ８０は、段付きローラーを経て巻き取りローラー５
４に至る。上述したように、研磨テープは巻き取りロー
ラーの回転によるため、各ローラーで研磨テープが緩む
場合があるので、途中に案内ローラーを配置し、この緩
みを防止してもよい。また、段付きローラー上を通過す
る研磨テープの走行速度は、巻き取りローラーに巻かれ
る研磨テープの量により決定されるので、研磨テープの
走行速度を一定にしたいときは、案内ローラーの代わり
に、または一緒にピンチローラーを配置し、軸４７の回
転をこのピンチローラーに伝えるようにしてもよい。
【００２８】本発明の研磨テープ回転研磨装置を用い
て、被研磨物の研磨を次のように行う。
て、被研磨物の研磨を次のように行う。
【００２９】まず、段付きローラー７２が被研磨物上に
くるように装置１を配置して、ハウジング２１を固定し
て、モータを起動させる。モータが起動すると、回転が
カップリング１２を介してウォーム軸４４に伝わり、ウ
ォーム４３が回転して、ウォームホイール４２を介して
スピンドル４０がハウジング２１に関して固定軸２４を
中心に回転する。同時に、軸４７がスピンドル４０と一
緒に回転することから、固定軸２４のまわりを回転し、
ウォーム２６とウォームホイール４６とのかみ合いか
ら、軸４７が回転する。その回転はベルト５７を介して
巻き取りローラー５４に伝えられ、研磨テープは供給ロ
ーラー５２から段付きローラー７２を経て巻き取りロー
ラー５４に巻き取られる。
くるように装置１を配置して、ハウジング２１を固定し
て、モータを起動させる。モータが起動すると、回転が
カップリング１２を介してウォーム軸４４に伝わり、ウ
ォーム４３が回転して、ウォームホイール４２を介して
スピンドル４０がハウジング２１に関して固定軸２４を
中心に回転する。同時に、軸４７がスピンドル４０と一
緒に回転することから、固定軸２４のまわりを回転し、
ウォーム２６とウォームホイール４６とのかみ合いか
ら、軸４７が回転する。その回転はベルト５７を介して
巻き取りローラー５４に伝えられ、研磨テープは供給ロ
ーラー５２から段付きローラー７２を経て巻き取りロー
ラー５４に巻き取られる。
【００３０】このように、スピンドルが回転することに
より、段付きローラー７２が固定軸２４を中心として回
転することから、研磨テープが回転し、被研磨物の表面
を回転研磨する。一方、軸４７が回転することにより巻
き取りローラー５４が回転し、研磨テープが段付きロー
ラー７２上を走行し、常に新しい研磨テープが供給され
る。ここで、前述したように、段付きローラー７０の左
右のローラー部分７３および７５の径は中央のローラー
部分７４の径より大きく、したがって、段付きローラー
７２を介して研磨テープを被研磨物に押し付けても、中
央のローラー部分７４上の研磨テープは被研磨物に押し
付けられない。
より、段付きローラー７２が固定軸２４を中心として回
転することから、研磨テープが回転し、被研磨物の表面
を回転研磨する。一方、軸４７が回転することにより巻
き取りローラー５４が回転し、研磨テープが段付きロー
ラー７２上を走行し、常に新しい研磨テープが供給され
る。ここで、前述したように、段付きローラー７０の左
右のローラー部分７３および７５の径は中央のローラー
部分７４の径より大きく、したがって、段付きローラー
７２を介して研磨テープを被研磨物に押し付けても、中
央のローラー部分７４上の研磨テープは被研磨物に押し
付けられない。
【００３１】もし、中央のローラー部分７４も他のロー
ラー部分と同じ径をもっていると、ローラー全体が研磨
テープを押し付けるため、ローラーを固定軸に関して回
転させたときの回転方向とは反対方向の摩擦力が、ロー
ラーの軸線に沿って等しく研磨テープに作用する。一
方、ローラーを回転させるときの回転力は中心からの距
離に比例する。したがって、ローラーの両端側では回転
力が摩擦力よりも大きいのでローラーの両端付近の研磨
テープは回転できる一方で、ローラーの中心部の研磨テ
ープは回転力と摩擦力が均衡し回転しにくくなり、その
ため研磨テープに皺やよじれを生じさせる力が作用し、
円滑な研磨テープの回転が困難となる。
ラー部分と同じ径をもっていると、ローラー全体が研磨
テープを押し付けるため、ローラーを固定軸に関して回
転させたときの回転方向とは反対方向の摩擦力が、ロー
ラーの軸線に沿って等しく研磨テープに作用する。一
方、ローラーを回転させるときの回転力は中心からの距
離に比例する。したがって、ローラーの両端側では回転
力が摩擦力よりも大きいのでローラーの両端付近の研磨
テープは回転できる一方で、ローラーの中心部の研磨テ
ープは回転力と摩擦力が均衡し回転しにくくなり、その
ため研磨テープに皺やよじれを生じさせる力が作用し、
円滑な研磨テープの回転が困難となる。
【００３２】本発明に従い、このようなローラーを段付
きローラーとすることで、すなわちローラーの中央部の
径を両側部分の径よりも小さくすることで、ローラーに
よる研磨テープの押し付けがなくなり、したがって研磨
テープを円滑に回転させることができる。ローラー７２
の中央のローラー部分７４とその両側のローラー部分７
３および７５の長さは、これら回転力と摩擦力の大きさ
により決定されるもので、摩擦力が小さいとき、すなわ
ち研磨テープに使用される研磨材が細かいとき、あるい
はローラーを押し付ける力が弱いときは、中央のローラ
ー部分の長さは短くてもよい。逆に、研磨力が大きいと
きは中央のローラー部分の長さは長くしなければならな
い。通常は中央のローラー部分および両側のローラー部
分は全長の１／３程度とすることで、円滑な研磨テープ
の回転が得られる。
きローラーとすることで、すなわちローラーの中央部の
径を両側部分の径よりも小さくすることで、ローラーに
よる研磨テープの押し付けがなくなり、したがって研磨
テープを円滑に回転させることができる。ローラー７２
の中央のローラー部分７４とその両側のローラー部分７
３および７５の長さは、これら回転力と摩擦力の大きさ
により決定されるもので、摩擦力が小さいとき、すなわ
ち研磨テープに使用される研磨材が細かいとき、あるい
はローラーを押し付ける力が弱いときは、中央のローラ
ー部分の長さは短くてもよい。逆に、研磨力が大きいと
きは中央のローラー部分の長さは長くしなければならな
い。通常は中央のローラー部分および両側のローラー部
分は全長の１／３程度とすることで、円滑な研磨テープ
の回転が得られる。
【００３３】中央のローラー部分の径が小さいのは上記
理由からであり、したがって、中央のローラー部分を省
略した両側のローラー部分だけでもよい。また、ローラ
ー径を中央に向かって徐々に減少するものでもよい。
理由からであり、したがって、中央のローラー部分を省
略した両側のローラー部分だけでもよい。また、ローラ
ー径を中央に向かって徐々に減少するものでもよい。
【００３４】上記のように段付きローラー７２を用いて
研磨すると、ローラーの中央ではほとんど研磨に寄与し
ないことから、被研磨物をドーナツ状に研磨することに
なるが、装置１全体と移動させることにより、未研磨の
部分も一様に研磨される。
研磨すると、ローラーの中央ではほとんど研磨に寄与し
ないことから、被研磨物をドーナツ状に研磨することに
なるが、装置１全体と移動させることにより、未研磨の
部分も一様に研磨される。
【００３５】スピンドル４０の回転と、軸４７の回転と
の関係は、被研磨物の種類、研磨テープの種類、研磨の
程度により決定されるが、スピンドルの回転を遅く、軸
４７の回転を速くすると、ローラー７２も研磨テープと
ともに速く回転し、そのためローラー７２の片側はロー
ラー７２の固定軸を中心とする回転を助長し、他の片側
はその回転を妨げるとから、装置の動作が不安定とな
る。したがって、幅が１０ｃｍ程度の研磨テープの場
合、スピンドルの回転は３００ｒｐｍで、軸４７の回転
は１０ｒｐｍ程度が好適である。
の関係は、被研磨物の種類、研磨テープの種類、研磨の
程度により決定されるが、スピンドルの回転を遅く、軸
４７の回転を速くすると、ローラー７２も研磨テープと
ともに速く回転し、そのためローラー７２の片側はロー
ラー７２の固定軸を中心とする回転を助長し、他の片側
はその回転を妨げるとから、装置の動作が不安定とな
る。したがって、幅が１０ｃｍ程度の研磨テープの場
合、スピンドルの回転は３００ｒｐｍで、軸４７の回転
は１０ｒｐｍ程度が好適である。
【００３６】
【発明の効果】本発明の研磨テープ回転装置は、研磨テ
ープを走行させると同時に回転させるために、常時供給
される新しい研磨テープによる研磨のみならず、回転す
る研磨テープによる研磨が行われる。したがって、優れ
た研磨力が得られる。
ープを走行させると同時に回転させるために、常時供給
される新しい研磨テープによる研磨のみならず、回転す
る研磨テープによる研磨が行われる。したがって、優れ
た研磨力が得られる。
【００３７】さらに、本発明の研磨テープ回転装置は、
研磨テープを段付きローラーにより被研磨物に押し付け
るため、研磨力と摩擦力の不均衡が緩和され、研磨テー
プの安定した走行および回転を行うことができる。この
とき、研磨テープ回転装置を被研磨物上で移動させるこ
とで、一様な研磨を実施できる。
研磨テープを段付きローラーにより被研磨物に押し付け
るため、研磨力と摩擦力の不均衡が緩和され、研磨テー
プの安定した走行および回転を行うことができる。この
とき、研磨テープ回転装置を被研磨物上で移動させるこ
とで、一様な研磨を実施できる。
【００３８】さらにまた、本発明の研磨テープ回転装置
は、１つの動力により研磨テープの回転と走行を行うこ
とができるので、装置全体がコンパクトになり、取り扱
いが容易になり、さらに汎用性が高まる。
は、１つの動力により研磨テープの回転と走行を行うこ
とができるので、装置全体がコンパクトになり、取り扱
いが容易になり、さらに汎用性が高まる。
【図１】本発明の研磨テープ回転装置の側面図である。
【図２】本発明の研磨テープ回転装置の側面図部分断面
図（図３の線２ー２にそった側面図部分断面図）であ
る。
図（図３の線２ー２にそった側面図部分断面図）であ
る。
【図３】図１の線３ー３にそった部分断面図（図４の線
３ー３にそった部分断面図）である。
３ー３にそった部分断面図）である。
【図４】図２の線４ー４にそった部分断面図である。
２０ 回転ギア部 ２１ ハウジング ２２ カバー ２２Ａ ベアリング ２２Ｂ ベアリング ２４ 固定軸 ２５ 固定ネジ ２６ ウォーム ４０ スピンドル ４０Ａ 底蓋 ４０Ｂ ベアリング ４１ 大径部 ４２ ウォームホイール ４３ ウォーム ４４ 軸 ５０ 腕 ５１ プレート ５５ 軸 ５６ プーリー ７０ ローラー支持具 ７１ 軸 ７２ 段付きローラー
Claims (4)
- 【請求項１】 研磨テープが走行し、かつ回転する研磨
テープ回転研磨装置であって、 鉛直に伸びる鉛直軸と、 該鉛直軸を中心に回転自在な中空体と、 前記鉛直軸の上方を固定支持し、前記中空体を前記鉛直
軸に関して回転自在に支持する固定体と、 前記中空体の下端に、軸線が水平になるように回転自在
に取り付けられる押付けローラーであって、ローラーの
中央部の直径がその両側部分の直径より小さいところの
押付けローラーと、 それぞれの軸線が前記ローラーの軸線より上でかつ平行
になるように前記中空体に回転自在に取り付けられる研
磨テープ供給および巻き取りローラーであって、研磨テ
ープが前記供給ローラーから供給され、前記押付けロー
ラーを経て前記巻き取りローラーへと巻かれる、ところ
の供給ローラーおよび巻き取りローラーと、 前記中空体を前記固定体に対して回転させるための動力
手段と、 前記供給ローラーおよび巻き取りローラーと平行に前記
中空体に回転自在に取り付けられ、回転を伝える連結手
段により前記鉛直軸に連結される水平軸と、から成り、 前記水平軸の回転は前記巻き取りローラーに伝えられ
る、ところの装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記動力手段がモーターであり、 前記連結手段が、前記水平軸および前記鉛直軸のうちの
一方に設けられたウォームホイール、ならびに前記水平
軸および前記鉛直軸のうちの他方に設けられたウォーム
であり、 前記水平軸の回転は、第２の連結手段により前記巻き取
りローラーに伝えれられる、ところの研磨装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の研磨装置であって、 前記モーターが前記固定体に水平に取り付けられ、 前記モーターの回転軸に設けられたウォームと、前記中
空体の外周に設けられたウォームホイールとの係合によ
り、前記モーターの回転が前記中空体に伝えられる、と
ころの研磨装置。 - 【請求項４】 請求項１の研磨装置であって、 前記押付けローラーの中央部および両側部分の各長さが
全長の１／３である、ところの研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19524893A JP2649643B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 研磨テープ回転研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19524893A JP2649643B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 研磨テープ回転研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724722A JPH0724722A (ja) | 1995-01-27 |
| JP2649643B2 true JP2649643B2 (ja) | 1997-09-03 |
Family
ID=16337972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19524893A Expired - Fee Related JP2649643B2 (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 研磨テープ回転研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2649643B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220076695A (ko) * | 2020-12-01 | 2022-06-08 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 연마용 테이프 케이스 |
-
1993
- 1993-07-13 JP JP19524893A patent/JP2649643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220076695A (ko) * | 2020-12-01 | 2022-06-08 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 연마용 테이프 케이스 |
| KR102455686B1 (ko) | 2020-12-01 | 2022-10-18 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 연마용 테이프 케이스 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0724722A (ja) | 1995-01-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08168953A (ja) | ドレッシング装置 | |
| JPH0847847A (ja) | 研磨装置 | |
| JP2649643B2 (ja) | 研磨テープ回転研磨装置 | |
| JPH1133888A (ja) | ウェーハの鏡面面取り装置 | |
| KR100453139B1 (ko) | 연마장치 | |
| JP2001038603A (ja) | ドレッサ，ドレッサ付き研磨装置及びドレッシング方法 | |
| JPH0639052B2 (ja) | 超精密研削装置 | |
| JP3888618B2 (ja) | ロッド端面加工装置 | |
| JP2003071687A (ja) | 平面研削方法及び平面研削盤 | |
| JP4387347B2 (ja) | フイルム研磨材を用いた研磨装置 | |
| JP2575821Y2 (ja) | ゴム、プラスチックケーブルの研磨機 | |
| JP2518188Y2 (ja) | 歯付きベルトによる携帯用電動工具の回転伝達機構 | |
| JPH0413076Y2 (ja) | ||
| CN219684957U (zh) | 一种可调节的打磨机 | |
| JPH1110505A (ja) | 研磨機 | |
| CN217800809U (zh) | 一种双极离心风机加工打磨装置 | |
| JPH0592377A (ja) | スカラ型ロボツトの構造 | |
| JP3193989B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| JPH0653030U (ja) | 雌ねじ状部材の内面研磨装置 | |
| JP2001219370A (ja) | ポリッシング装置 | |
| JPH08229800A (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPS5828759Y2 (ja) | ケンマバンノ ジ コウテンウンドウソウチ | |
| JPS6343015Y2 (ja) | ||
| JPH04193471A (ja) | 極薄ステンレスコイルの鏡面研磨装置および方法 | |
| JP2023178694A (ja) | Ｃｍｐ研磨装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970401 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090516 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100516 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 16 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |