JP2629485B2 - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JP2629485B2
JP2629485B2 JP3119650A JP11965091A JP2629485B2 JP 2629485 B2 JP2629485 B2 JP 2629485B2 JP 3119650 A JP3119650 A JP 3119650A JP 11965091 A JP11965091 A JP 11965091A JP 2629485 B2 JP2629485 B2 JP 2629485B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体メモリ装置に関
し、特に画像処理等において、ビットシリアルに入力さ
れたデータを一時記憶した後、これをビットシリアルに
読出すように構成され、かつリダンダンシ回路を備えた
半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】画像処理等においては、処理対象のデー
タをDRAM等の半導体メモリ装置に一時記憶し、これ
を所定のタイミングで読出して使用する技術が多く用い
られる。
【0003】このような技術で取扱うデータは、ビット
シリアルでありしかも所定の単位、例えば画面1ライン
ごとに同期させる構成となっているので、使用される半
導体メモリ装置の入力段回路には、順次入力される1ラ
イン分のデータを保持するに必要な段数をもつシフトレ
ジスタが設けられている。
【0004】またこの半導体メモリ装置から出力される
データは、1ラインずつビットシリアルに出力されるた
め、その出力段回路には、1ライン分のデータを保持す
るに必要な段数をもつデータレジスタ又はシフトレジス
タが設けられている。
【0005】そして入力段回路のシフトレジスタ(以
下、書込用シフトレジスタという)と出力段回路のデー
タレジスタ(以下、読出用データレジスタという)又は
シフトレジスタ(以下、読出用シフトレジスタという)
との間には、1ライン分のデータを記憶するメモリセル
群を1単位としてこれを複数ライン分備えたメモリセル
アレイが設けられている。各ラインのメモリセル群はワ
ード線によって選択される。
【0006】次に、この半導体メモリ装置の動作を、出
力段回路がデータレジスタ4で構成されている場合につ
いて説明する。
【0007】処理対象のデータは、まず書込用シフトレ
ジスタにビットシリアルに順次入力され、1ライン分の
データがこの書込用シフトレジスタの各段に保持される
と、この1ライン分のデータが同時にメモリセルアレイ
に転送される。メモリセルアレイはこの1ライン分のデ
ータをワード線で選択されたメモリセル群に記憶する。
メモリセルアレイに記憶されたデータは、ワード線で選
択された1ライン分が同時に、所定のタイミングで読出
用データレジスタに転送され、この読出用データレジス
タの各段に保持される。この読出用データレジスタの各
段に保持されたデータは、出力制御回路からの制御信号
により、順次ビットシリアルに出力バスに転送され外部
に出力される。
【0008】出力段回路がシフトレジスタで構成されて
いる場合は、メモリセルアレイからの1ライン分のデー
タが読出用シフトレジスタの各段が転送されて保持さ
れ、この読出用シフトレジスタの最後段から順次ビット
シリアルに出力バスへ出力される。
【0009】この半導体メモリ装置にあっては、通常、
上述のメモリセルアレイに不良のメモリセルが混在した
場合に、この不良のメモリセルを、別に設けられた正常
なメモリセルに置換えてこのメモリチップを救済するリ
ダンダンシ回路が設けられている。
【0010】このリダンダンシ回路は、各部回路の段数
は別として上述した回路構成と同様の回路構成となって
いる。すなわち、上述した書込用シフトレジスタ,メモ
リセルアレイ,読出用データレジスタとその出力制御回
路又は読出用シフトレジスタ(以下、正規の書込用シフ
トレジスタ等という)とそれぞれ対応するリダンダンシ
・書込用シフトレジスタ,リダンダンシ・メモリセルア
レイ,リダンダンシ・読出用データレジスタとその出力
制御回路又はリダンダンシ・読出用シフトレジスタを備
えている。従来の半導体メモリ装置のリダンダンシ・回
路の例を図9,図10に示す。
【0011】なお、リダンダンシ回路の各部回路の段数
は、正規のメモリセルアレイに発生する不良のメモリセ
ルの数を予測し、メモリチップのサイズや経済性等を勘
案して決定され、図9,図10では4段となっている。
【0012】次に、このリダンダンシ回路の動作を、出
力段回路がデータレジスタで構成されている図9の場合
について説明する。
【0013】まず、処理対象のデータは、正規の書込用
シフトレジスタにビットシリアルに順次入力され、その
各段に保持される。このとき、正規のメモリセルアレイ
に不良のメモリセルが存在すると、この不良のメモリセ
ルに書込まれるデータDTIが同時にリダンダンシ・書
込用シフトレジスタ1にも入力され保持される。1ライ
ン中に複数の不良のメモリセルが存在する場合は、リダ
ンダンシ・書込用シフトレジスタ1は、すでに保持して
いるデータを順次後段側へシフトして新たに入力された
データを最前段に保持する。
【0014】1ライン分のデータが全て正規の書込用シ
フトレジスタに保持されると、この1ライン分のデータ
が正規のメモリセルアレイへ転送され記憶される。これ
と同期してリダンダンシ・書込用シフトレジスタ1のデ
ータもリダンダンシ・メモリセルアレイ3へ転送され記
憶される。
【0015】読出し動作時には、まず正規のメモリセル
アレイ及びリダンダンシ・メモリセルアレイ3から1ラ
イン分のデータが同時に正規の読出用データレジスタ及
びリダンダンシ・読出用データレジスタ(5)へ転送さ
れ保持される。そして正規の読出用データレジスタの各
段に保持されているデータは、正規の出力制御回路から
の出力制御信号によって順次出力バスへ転送される。転
送順は最後段から順次前段側へと移って行く。正規の読
出用データレジスタから出力バスへのデータの転送が、
不良のメモリセルと対応する段に来たときは、正規の読
出用データレジスタからのデータの転送を停止し、リダ
ンダンシ・読出用データレジスタ(5)から出力バス7
へデータの転送を行う。このリダンダンシ・読出用デー
タレジスタ(5)からのデータの転送は、リダンダンシ
・出力制御信号発生回路(8)からの出力制御信号OC
1〜OC4により、入力順に出力される。こうして、正
規のメモリセルアレイに不良のメモリセルが存在して
も、入力された全てのデータに対し、正常に書込み,記
憶,読出しが行なわれ出力される。
【0016】不良のメモリセルと対応するデータは、リ
ダンダンシ・書込用シフトレジスタ1の前段側に保持さ
れるので、リダンダンシ・メモリセルアレイ3に転送さ
れ、記憶された後読出されたときも、リダンダンシ・読
出用データレジスタ(5)の前段側に保持される。
【0017】不良のメモリセルの数はメモリチップによ
り異なり、しかもこれらデータがリダンダンシ回路の各
段を全てうめることはまずないので、読出し動作時、リ
ダンダンシ・読出用データレジスタ(5)から最初に読
出されるデータの段の位置がメモリチップごとに異な
る。このリダンダンシ・読出用データレジスタ(5)か
らデータを読出す段の位置は、リダンダンシ・読出用デ
ータレジスタ(5)の各段をそれぞれ対応して設けられ
たリダンダンシ・出力制御信号発生回路(8)内の複数
のデコーダ81〜84の内容によって決定される。従っ
て、メモリチップごとにリダンダンシ・出力制御信号発
生回路(8)内の各デコーダ81〜84の内容を変更す
る必要があるが、この変更作業は複雑であり、しかもこ
れらデコーダの内容の変更間違いが発生しやすい。
【0018】一方、出力段回路がシフトレジスタで構成
されている図10の場合は、リダンダンシ・メモリセル
アレイ3からのデータは上述の場合と同様にリダンダン
シ・読出用シフトレジスタ9の前段側に保持され、最後
段(94)から出力される。従って、正規の読出用シフ
トレジスタデータの読出し位置が不良のメモリセルと対
応する位置に来たとき直ちにリダンダンシ・読出用シフ
トレジスタ9のデータが読出される必要があるので、そ
のデータはリダンダンシ・読出用シフトレジスタ9の最
後段(94)までシフトされていなければならない。1
ライン中の不良のメモリセルの位置は特定できないの
で、このシフト動作は、データの出力開始前に予め行っ
ておく必要がある。すなわち、この場合、デコーダの内
容変更という煩雑な作業はなくなるが、データの出力開
始前にデータのシフトという動作が入り、データの読出
し速度が低下する。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
メモリ装置は、出力段回路がデータレジスタとその制御
回路で構成されている図9の例では、メモリチップごと
にリダンダンシ・出力制御信号発生回路(8)内のデコ
ーダ81〜84の内容を変更するという複雑な切換作業
が必要となるので、その切換作業において作業ミスが発
生しやすいという欠点があり、また、出力段回路がシフ
トレジスタで構成されている図10の例では、複雑な切
換作業はなくなるが、データの読出し速度が低下すると
いう欠点があった。また、これらの例は、不良のメモリ
セルが1つのラインにのみ発生した場合、又は複数のラ
インに発生しているが各ラインの不良のメモリセルの数
が等しい場合について適用可能である。しかし複数のラ
インに不良のメモリセルが存在ししかもその数が異なる
場合には、出力段回路がデータレジスタの例では、出力
制御回路のデコーダの数が増加する上、これらの内容を
変える必要があるので間違いは更に増加する。また、出
力段回路がシフトレジスタの例では、前述のデータの読
出し速度の低下に加え、データの出力開始前に予めデー
タをシフトする段数をラインごとに切換える必要があ
り、このシフト用の信号を発生する回路が複雑になる。
【0020】本発明の第1の目的は、不良メモリセルに
対応したリダンダンシ回路の修正を単純化することがで
きる半導体メモリ装置を提供することである。
【0021】本発明の第2の目的は、データの読出し速
度を速くすることができるリダンダンシ回路付きの半導
体メモリ装置を提供することである。
【0022】本発明の第3の目的は、正規のメモリセル
アレイの複数の行に異なる数の不良のメモリセルが存在
する場合でも、これら不良のメモリセルに対応したリダ
ンダンシ回路の修正を容易に行うことができる半導体メ
モリ装置を提供することである。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体メモリ装
置は、そのリダンダンシ回路に、複数のメモリセル列を
備えたリダンダンシ・メモリセルアレイが設けられ、こ
のリダンダンシ・メモリセルアレイの入力側(書込側)
には、入力端に供給されたデータを順次取込み後段側へ
シフトする、メモリセル列と同数の段数をもつリダンダ
ンシ・書込用シフトレジスタと、このリダンダンシ・書
込用シフトレジスタの各段からのデータをリダンダンシ
・メモリセルアレイの対応するメモリセル列へ転送する
書込用データ転送回路が設けられている。リダンダンシ
・メモリセルアレイの出力側には、このリダンダンシ・
メモリセルアレイの各メモリセル列からのデータをそれ
ぞれ対応する段に取込み順次ビットシリアルに出力する
リダンダンシ・データ出力回路と、リダンダンシ・メモ
リセルアレイからのデータをリダンダンシ・データ出力
回路へ転送する読出用データ転送回路とが設けられてい
る。そして、リダンダンシ・書込用シフトレジスタとリ
ダンダンシ・メモリセルアレイとの間、又はリダンダン
シ・メモリセルアレイとリダンダンシ・データ出力回路
との間に、リダンダンシ・書込用シフトレジスタの各段
からのデータがリダンダンシ・データ出力回路の各段に
伝達されるまでの径路を径路切換信号により切換えて、
これらデータが転送されるリダンダンシ・データ出力回
路の段の位置を切換えるデータ転送径路変更手段が設け
られている。また、径路切換信号発生回路が設けられて
いる。
【0024】好ましくは、リダンダンシ・データ出力回
路が、リダンダンシ・メモリセルアレイの各メモリセル
列からのデータをそれぞれ対応する各段に同時に取込
み、順次シフトしてビットシリアルに出力するリダンダ
ンシ・読出用シフトレジスタで構成される。好ましく
は、リダンダンシ・データ出力回路が、リダンダンシ・
メモリセルアレイの各メモリセル列からのデータをそれ
ぞれ対応するレジスタに取込み保持する読出用データレ
ジスタと、出力バスと、出力制御信号に従って読出用デ
ータレジスタの各レジスタのデータを順次出力バスへ転
送するデータ転送回路と、出力信号を発生する出力制御
信号発生回路とを含んで構成される。
【0025】好ましくは、データ転送径路変更手段は、
各入力端及び各出力端に一方の端から順次増加するj
(1からNまでの整数)なる番号を付し、径路切換信号
にk(1からNまでの整数でかつk≧j)なる番号を付
したとき、j番の入力端と〔j+(N−k)〕番の出力
端との間に、k番の径路切換信号がアクティブレベルの
ときオンとなるスイッチ素子を設けた回路であり、径路
切換信号発生回路は、リダンダンシ・書込用シフトレジ
スタに入力されるデータの数がkであるときk番の径路
切換信号をアクティブレベルとする回路である。
【0026】好ましくは、径路切換信号発生回路は、各
径路切換信号とそれぞれ対応するヒューズ素子を備えこ
れらヒューズ素子を切断して対応する径路切換信号をア
クセスレベルにする回路である。
【0027】好ましくは、データ転送径路変更手段の第
1の入力端と第1の出力端とが導電体で接続される。
【0028】好ましくは、リダンダンシ・書込用シフト
レジスタとリダンダンシ・メモリセルアレイとの間、又
はリダンダンシ・メモリセルアレイとリダンダンシ・デ
ータ出力回路との間はデータ転送径路変更手段のみで構
成され、径路切換信号発生回路は、書込データ転送信号
又は読出しデータ転送信号がアクティブレベルのときの
みアクティブレベルの径路切換信号を発生する回路であ
る。
【0029】好ましくは、径路切換信号発生回路とデー
タ転送径路変更手段との間に、リダンダンシ・メモリセ
ルアレイのメモリセルを選択するワード線により、径路
切換信号発生回路からの複数の径路切換信号のうちの1
つを選択してデータ転送径路変更手段へ供給する径路切
換信号選択回路が設けられる。データ転送径路変更手段
を、リダンダンシ・データ転送回路内の出力制御信号発
生回路と出力データ転送回路との間に設けて、出力制御
信号の径路を切換信号により切換えて出力データ転送回
路へ供給するようにしてもよい。
【0030】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
【0031】まず図1を参照して本発明の第1の実施例
による半導体メモリ装置のリダンダンシ回路について説
明する。
【0032】リダンダンシ・書込用シフトレジスタ1
は、レジスタ11〜14を備えた4段構成となってお
り、正規の書込用データレジスタの不良のメモリセルと
対応する段にデータを入力するタイミングになったと
き、入力端にそのデータDTIを受け、このデータDT
Iと同期して入力される書込クロック信号WCKに従っ
てこのデータDTIを最前段のレジスタ11に取込み保
持する。すでにデータが取込まれているときは、その段
のデータを後段側へシフトした後前段側(最前段の場合
は入力端)のデータを取込み保持する。保持されたデー
タは各段のレジスタ11〜14の出力端から出力され
る。
【0033】書込用データ転送回路2は、書込データ転
送信号WDTがアクティブレベルになると導通するトラ
ンジスタQ21〜Q24によって、リダンダンシ・書込
用シフトレジスタ1の各レジスタ11〜14の出力端か
らのデータをそれぞれリダンダンシ・メモリセルアレイ
3の対応するメモリセル列31〜34へ同時に転送す
る。
【0034】リダンダンシ・メモリセルアレイ3は、正
規のメモリセルアレイ(図示せず)と共通のn本のワー
ド線WL1〜WLnによってそれぞれ行が選択されるメ
モリセルを配列したn行4列のメモリセルである。この
リダンダンシ・メモリセルアレイ3の各列31〜34に
は各行につき1個、合計n個のリダンダンシ・メモリセ
ルが含まれている。ワード線WL1〜WLnのうちの1
本により選択された各メモリセル列31〜34のメモリ
セルに、リダンダンシ・書込用シフトレジスタ1の対応
する出力端からのデータをそれぞれ書込み記憶する。読
出しの際には、ワード線WL1〜WLnのうちの1本に
より選択された各メモリセル列31〜34のメモリセル
に記憶されている合計4ビットのデータが読出される。
読み出されたデータは後に述べる本発明による転送径路
変更回路200に入力される。転送径路変更回路200
から出力された4ビットのデータは読出用データ転送回
路4に入力される。この読出用データ転送回路4は、読
出データ転送信号RDTがアクティブレベルになると導
通するトランジスタQ41〜Q44によって、入力され
たデータをそれぞれリダンダンシ・データ出力回路の読
出用データレジスタ5の対応する段へ転送する。リダン
ダンシ・データ出力回路は、読出用データレジスタ5,
出力データ転送回路6,出力バス7,出力制御信号発生
回路8で構成される。読出用データレジスタ5は、レジ
スタ51〜54を備えた4段構成となっており、読出用
データ転送回路4のトランジスタQ41〜Q44からの
データをそれぞれ対応するレジスタ51〜54に取込み
保持する。出力データ転送回路6は、対応する出力制御
信号OC1〜OC4がアクティブレベルのときそれぞれ
導通するトランジスタQ61〜Q64を備え、出力制御
信号OC1〜OC4に従って読出用データレジスタ5の
各レジスタに保持されているデータを順次出力バス7へ
転送し、出力データDTOとして出力する。出力制御信
号発生回路8は、デコーダ81〜84を備え、正規のメ
モリセルアレイの不良のメモリセルの読出しタイミング
に同期した読出クロック信号RCKに従って順次アクテ
ィブレベルとなる出力制御信号OC1〜OC4を出力す
る。
【0035】本実施例においては、リダンダンシ・メモ
リセルアレイ3と読出用データ転送回路4との間に、リ
ダンダンシ・メモリセルアレイ3の各メモリセル列31
〜34からのデータが読出用データ転送回路4の各トラ
ンジスタQ41〜Q44に伝達されるまでの径路を、径
路切換信号RC1〜RC4により切換えるデータ転送径
路変更回路200を設け、径路切換信号RC1〜RC4
を発生する径路切換信号発生回路100を設けた構成と
なっている。
【0036】データ転送径路変更回路200は、その4
入力端と4出力端との間にスイッチングトランジスタQ
1〜Q10のソース・ドレイン路が接続された構成を有
している。これら4入力端及び4出力端に、リダンダン
シ・メモリセルアレイ3のメモリセル列31及び読出用
データ転送回路4のトランジスタQ41と対応する入力
端及び出力端から順次増加するj(jは1からN=4ま
での整数)なる番号を付し、径路切換信号にk(kは1
からN=4までの整数でかつk≧j)なる番号を付して
RCkとしたとき、スイッチ素子のトランジスタQ1〜
Q10はj番の入力端(j=1,2,3,4)と〔j+
(4−k)〕番の出力端(k=1,2,3,4)との間
に接続され、径路切換信号RCkがアクティブレベルの
ときオンとなる。すなわち、j=1(1番)の入力端と
j=1(1番)の出力端との間にはk=4の径路切換信
号RC4によりオン,オフするトランジスタQ7が、j
=1の入力端とj=2の出力端との間にはk=3の径路
切換信号RC3によりオン,オフするトランジスタQ4
が、j=1の入力端とj=3の出力端との間にはk=2
の径路切換信号RC2によりオン,オフするトランジス
タQ2が、j=1の入力端とj=4の出力端との間には
k=1の径路切換信号RC1によりオン,オフするトラ
ンジスタQ1がそれぞれ接続される。j=2の入力端と
j=2の出力端との間にはk=4の径路切換信号RC4
によりオン,オフするトランジスタQ8が、j=2の入
力端とj=3の出力端との間にはk=3の径路切換信号
RC3によりオン,オフするトランジスタQ5が、j=
2の入力端とj=4の出力端ての間にはk=2の径路切
換信号RC2によりオン,オフするトランジスタQ3が
それぞれ接続される。j=2の入力端とj=1の出力端
の間にはトランジスタ4は接続されない。j=3の入力
端とj=3の出力端との間にはk=4の径路切換信号R
C4によりオン,オフするトランジスタQ9が、j=3
の入力端とj=4の出力端との間にはk=3の径路切換
信号RC3によりオン,オフするトランジスタQ6が接
続される。j=4の入力端とj=4の出力端との間には
k=4の径路切換信号RC4によりオン,オフするトラ
ンジスタQ10がそれぞれ接続されている。j=3,j
=4の入力端とj<3,j<4の出力端との間にはトラ
ンジスタが接続されない。
【0037】径路切換信号発生回路100は、一端にそ
れぞれ電源電圧Vccが印加された抵抗R1〜R4と、
一端をそれぞれ対応する抵抗R1〜R4の他端に接続し
他端を共に接地電位点と接続するヒューズ素子F1〜F
4とを含んで構成され、これら抵抗及びヒューズ素子の
各接続点から径路切換信号RC1〜RC4を発生する構
成となっている。
【0038】次に、この半導体メモリ装置の正規のメモ
リセルアレイ(図示せず)の1つのワードライン(行)
に2つの不良のメモリセル(図示せず)が存在するとき
の、このリダンダンシ回路の動作について説明する。
【0039】まず書込み動作時には、正規のメモリセル
アレイの最初の不良のメモリセルと対応する正規の書込
用シフトレジスタ(図示せず)の段にデータを入力する
タイミングになると、リダンダンシ・書込用シフトレジ
スタ1に最初の書込み用のデータDTI(DTI−1と
する)と書込クロック信号WCKとが入力され、最初の
書込み用のデータDTI−1が最前段のレジスタ11に
取込まれ保持される。
【0040】次に、2番目の不良のメモリセルと対応す
る正規の書込用シフトレジスタの段へのデータの入力タ
イミングになると、リダンダンシ・書込用シフトレジス
タ1に2番目の書込み用のデータDTI(DTI−2と
する)と書込クロック信号WCKとが入力される。この
とき、最初のデータDTI−1は2段目のレジスタ12
にシフトされて保持され、最前段のレジスタ11に2番
目のデータDTI−2が取込まれ保持される。
【0041】正規の書込用シフトレジスタに1ライン分
のデータが保持されると、書込データ転送信号WDTが
アクティブレベルになり、レジスタ11,12のデータ
DTI−2,DTI−1がメモリセル列31,32に転
送され、ワード線WL1〜WLnの1本で選択された行
のメモリセルに記憶される。
【0042】読出し動作時には、例えば前述のデータD
TI−1,DTI−2が読出されるものとすると、書込
み動作時と同一のワード線によりメモリセル列31,3
2のメモリセルが選択され、これらメモリセルに記憶さ
れているデータDTI−2,DTI−1が読出される。
【0043】本例の場合のように、正規のメモリセルア
レイの1つの行に2つの不良のメモリセルが存在するこ
とがメモリ装置造後の検査で判明したときは、外部から
の公知の操作でメモリ装置内のヒューズ素子F2を切断
する。すると径路切換信号RC2によりトランジスタQ
2,Q3が導通し、リダンダンシ・メモリセルアレイ3
のメモリセル列32のデータが読出用データレジスタ5
の最終段のレジスタ54に、メモリセル列31のデータ
がレジスタ53にそれぞれ転送される。
【0044】なお、正規のメモリセルアレイの1つの行
に1つの不良のメモリセルが存在する場合には、径路切
換信号発生回路100のヒューズ素子F1を切断する。
すると径路切換信号RC1は電源電圧Vccレベルとな
り、トランジスタQ1が導通(オン)してリダンダンシ
・メモリセルアレイ3のメモリセル列31のデータが読
出用データ転送回路4のトランジスタQ44を介して読
出用データレジスタ5の最後段のレジスタ54に転送さ
れるようになる。他の径路切換信号RC2〜RC4はヒ
ューズ素子F2〜F4により接地されているので接地電
位レベルであり、従ってトランジスタQ2〜Q10は非
導通(オフ)のままである。同様にして、1つの行中に
3つの不良のメモリセルが存在する場合は、ヒューズ素
子F3を切断することにより、メモリセル列33のデー
タがレジスタ54に、メモリセル列32のデータがレジ
スタ53に、メモリセル列31のデータがレジスタ52
にそれぞれ転送される。また4つの不良のメモリセルが
存在する場合は、ヒューズ素子F4を切断することによ
り、メモリセル列34のデータがレジスタ54に、メモ
リセル列33のデータがレジスタ53に、メモリセル列
32のデータがレジスタ52に、メモリセル列31のデ
ータがレジスタ51にそれぞれ転送される。
【0045】すなわち、1番最初に読出されるデータが
常に読出用データレジスタ5の最後段のレジスタ54に
転送され保持され、以下読出し順に順次前段側へと配置
される。従って、出力制御信号発生回路8は、常に出力
制御信号OC4からOC3,OC2,OC1と順次アク
ティブレベルとなるようにデコーダ84,83,82,
81を設定すればよい。すなわち、不良のメモリセルの
数に応じてデコーダ81〜84の内容を切換えるという
煩雑な作業がなくなる。しかも不良のメモリセルの数に
応じて行う切換作業は、この数と対応した番号のヒュー
ズ素子を切断するという極めて単純な作業で済むので、
切換作業における作業ミスを回避することができる。
【0046】上記のように、出力制御信号発生回路8
は、データDTI−1を読出すタイミング、すなわち、
正規のメモリセルアレイの最初の不良のメモリセルのデ
ータを読出すタイミングになると、読出クロック信号R
CKに従ってデコーダ84からアクティブレベルの出力
制御信号OC4を発生し、この出力制御信号OC4によ
り出力データ転送回路6のトランジスタQ64が導通し
読出用データレジスタ5のレジスタ54に保持されてい
るデータDTI−1が出力バス7に転送され出力データ
DTOとして出力される。
【0047】データDTI−2を読出すタイミングにな
ると、同様にしてデコーダ83からアクティブレベルの
出力制御信号OC3が出力されてトランジスタQ63が
導通し、レジスタ53に保持されているデータDTI−
2が出力バス7に転送される。
【0048】図2は本発明の第2の実施例のリダンダン
シ回路の回路図である。この第2の実施例が図1に示さ
れた第1の実施例と相違する点は、データ転送径路変更
回路200のj=1の入力端とj=1の出力端とを導電
体で直結し、トランジスタQ7を不要にした点にある。
【0049】この第2の実施例においては、リダンダン
シ・メモリセルアレイ3のメモリセル列31のデータが
常に読出用データレジスタ5のレジスタ51に転送され
る。従って、不良のメモリセルの数が1つの場合には、
メモリセル列31のデータがレジスタ54とレジスタ5
1とに転送され保持される。しかしながら、読出クロッ
ク信号RCKによって読出されるデータは1個だけであ
るので、レジスタ54に保持されたデータのみが読出さ
れ、レジスタ51に保持されているデータは読出されな
い。同様に、不良のメモリセルの数が2つの場合はレジ
スタ54,53に保持されたデータのみが読出され、3
つの場合はレジスタ54,53,52に保持されたデー
タのみが読出され、共にレジスタ51に保持されている
データは読出されない。また、不良のメモリセルの数が
4つの場合にはメモリセル列31,32,33,34の
それぞれのデータが対応するレジスタ51,52,5
3,54に転送され、これら4つのデータがレジスタ5
4からレジスタ51まで順次出力される。このように、
この第2の実施例は、データ転送径路変更回路200a
のj=1の入力端とj=1の出力端とが導電体で直結さ
れているために、不良のメモリセルの数が1〜3の場
合、余分なデータがレジスタ51にも転送,保持され
る、という点を除き、動作上第1の実施例と同様であ
る。また効果上は、第1の実施例と同様の効果を有する
ほか、トランジスタの数が1個少なくなるという利点が
ある。
【0050】図3は本発明の第3の実施例のリダンダン
シ回路の回路図である。
【0051】この第3の実施例が図1に示された第1の
実施例と相違する点は、径路切換信号発生回路100a
の各抵抗R1toR4の一端に、電源電圧Vccに代え
て読出データ転送信号RDTを印加して径路切換信号R
C1〜RC4のアクティブレベルになるタイミングを読
出データ転送信号RDTにより制御することにより、デ
ータ転送径路変更回路200に読出用データ転送回路5
の機能を持たせ、読出用データ転送回路(図1の4)を
なくした点にある。
【0052】例えば、不良のメモリセルの数が1つの場
合、ヒューズ素子F1が切断される。ここで、第1の実
施例においては、径路切換信号RC1が常時電源電圧V
ccレベルとなるためトランジスタQ1は常時導通状態
となっている。そして読出データ転送信号RDTがアク
ティブレベルとなったときメモリセル列31のデータト
ランジスタQ1,Q44を介してレジスタ54に転送さ
れる。これに対し第3の実施例では、読出データ転送信
号RDTがアクティブレベルとなったとき径路切換信号
RC1がアクティブレベル(電源電圧Vccレベル)と
なり、このときトランジスタQ1が導通状態となり、メ
モリセル列31のデータがトランジスタQ1を介してレ
ジスタ54に転送される。
【0053】この第3の実施例においては、第1の実施
例と同様の効果を有するほか、トランジスタの数が4個
少なくなるという利点がある。
【0054】図4は本発明の第4の実施例のリダンダン
シ回路の回路図である。
【0055】この第4の実施例は、データ転送径路変更
回路200をリダンダンシ・書込用シフトレジスタ1と
リダンダンシ・メモリセルアレイ3との間に設けたもの
で、基本的な動作及び効果は第1の実施例と同様である
ので詳しい説明は省略する。
【0056】なお、データ転送径路変更回路200をリ
ダンダンシ・書込用シフトレジスタ1とリダンダンシ・
メモリセルアレイ3との間に設けた場合にも、第2実施
例と同様にデータ転送径路変更回路200のj=1の入
力端とj=1の出力端とを導電体で直結することができ
るし、また、第3の実施例と同様にデータ転送径路変更
回路200に書込用データ転送回路2の機能を持たせる
ことができる。
【0057】図5は本発明の第5の実施例のリダンダン
シ回路の回路図である。
【0058】第5の実施例のリダンダンシ回路は、その
出力段回路がリダンダンシ・読出用シフトレジスタ9に
より構成されている。出力段回路以外は図1と同様の構
成であるので、この出力段回路を中心に説明する。
【0059】リダンダンシ・読出用シフトレジスタ9
は、レジスタ91〜94を備えた4段構成となってお
り、読出データ転送信号RDTがアクティブレベルにな
ると読出用データ転送回路4により転送されたリダンダ
ンシ・メモリセルアレイ3の各メモリセル列31〜34
からのデータをデータ転送径路変更回路200を介して
それぞれ対応するレジスタ91〜94に取込み保持す
る。そして読出クロック信号RCKがアクティブレベル
になるごとに、これらレジスタ91〜94に保持してい
るデータを順次後段側へシフトし、最後段のレジスタ9
4の出力端から順次ビットシリアルに出力データDTO
として出力する構成となっている。この第5の実施例に
おいても、リダンダンシ・読出用シフトレジスタ9の最
後段のレジスタ94に最初に出力されるデータが転送さ
れ保持される。以下出力順に、入力されたデータの数に
応じて、レジスタ93,92,91にデータが転送され
保持される。
【0060】正規のメモリセルアレイからのデータの出
力が開始され、不良のメモリセルと対応するデータを出
力するタイミングになると読出クロック信号RCKがア
クティブレベルになり、リダンダンシ・読出用シフトレ
ジスタ9の最後段のレジスタ94からこのレジスタ94
に保持されていたデータが出力される。このレジスタ9
4のデータが出力されると同時にレジスタ93,92,
91に保持されていたデータが順次後段側へシフトしレ
ジスタ94には2番目に出するデータが保持される。こ
うしてレジスタ94から順次ビットシリアルにデータD
TOが出力される。
【0061】この第5の実施例においては、データを入
出力する前に径路切換信号発生回路100の所定のヒュ
ーズ素子が切断され、データ転送径路変更回路200に
よってリダンダンシ・メモリセルアレイ3からリダンダ
ンシ・読出用シフトレジスタ9までのデータの転送径路
が決定され、最初に出力されるデータがレジスタ94
に、以下出力順にレジスタ93,92,91に保持され
る。
【0062】従って、リダンダンシ回路に入力されるデ
ータの数(正規のメモリセルアレイの1つの行中の不良
のメモリセルの数)が、各部の段数より小さい場合で
も、従来例で行っていたようなデータを外部へ出力する
前にリダンダンシ・読出用シフトレジスタ9のデータを
予め最後段のレジスタ94までシフトさせておく、とい
う動作がなくなり、外部へのデータの読出し速度を早く
することができる。この第5の実施例は、リダンダンシ
・データ出力回路がリダンダンシ・読出用シフトレジス
タ9で構成された場合の例であるが、この場合にも、図
2及び図3に示されたものを同様の各実施態様、並びに
データ転送径路変更回路200,200aをリダンダン
シ・書込用シフトレジスタ1とリダンダンシ・メモリセ
ルアレイ3との間に設けた図4と同様の各実施態様があ
ることは言うまでもない。
【0063】次に、本発明の第6の実施例のリダンダン
シ回路について図6を参照して説明する。
【0064】図6を参照すると、このリダンダンシ回路
は、図1に示されたリダンダンシ回路の出力制御信号発
生回路8と出力データ転送回路6との間に、出力制御信
号発生回路8からの出力制御信号OC1〜OC4の伝達
径路を径路切換信号RC1〜RC4により切換えて出力
データ転送回路6の各トランジスタQ61〜Q64に供
給する出力制御信号径路変更回路400を設け、径路切
換信号RC1〜RC4を発生する径路切換信号発生回路
300を設けた構成となっている。その代り、リダンダ
ンシ・メモリセルアレイ3と読出用データ転送回路4と
の間にはデータ転送径路変更回路は設けず、直接接続し
ている。出力制御信号径路変更回路400は、入力端と
出力端とが入換っているほかは第1の実施例のデータ転
送径路変更回路200と全く同一の回路となっている。
また径路切換信号変更回路300も径路切換信号発生回
路100と全く同一の回路となっている。出力制御信号
発生回路8は、常に出力制御信号OC4からOC3,O
C2,OC1の順に順次アクティブレベルとなるよう
に、デコーダ84,83,82,81の内容が固定され
ている。正規のメモリセルアレイの1行の不良のメモリ
セルの数に応じてヒューズ素子F1〜F4を切断し、出
力制御信号OC1〜C4の径路を設定する方法は第1の
実施例等と同様である。
【0065】第1の実施例がリダンダンシ・書込用シフ
トレジスタ1からリダンダンシ・データ出力回路までの
データの転送径路を変更しているのに対し、この実施例
は、データの転送径路は従来のままとし、リダンダンシ
・データ出力回路が読出用データレジスタ5等で構成さ
れている場合に、出力データ転送回路6の最初にオンと
なるトランジスタに供給される出力制御信号がOC4と
なるように出力制御信号OC1〜OC4の径路を切換え
ている。
【0066】この際、出力制御信号発生回路8の各デコ
ーダ81〜84の内容は固定しておき、出力制御信号O
C1〜OC4の径路を、ヒューズ素子を切断するという
極めて単純な作業で切換えるので、この切換作業での作
業ミスをなくすことができる。
【0067】図1〜図6に示された各実施例は、正規の
メモリセルアレイに1つの行にのみ不良のメモリセルが
存在する場合、及び複数行に不良のメモリセルが存在し
ていてもその各行の不良のメモリセルの数が等しい場合
にはこのまま適用できる。しかし複数行に異なる数の不
良のメモリセルが存在する場合には、このままこれを適
用するのは困難となる。また、従来例においてもこの場
合の切換回路が複雑であった。そこでこれら問題を解決
するために考えられたものが、図7に示された第7の実
施例と図8に示された第8の実施例である。
【0068】図7を参照すると、本発明の第7の実施例
のリダンダンシ回路は、径路切換信号発生回路100と
データ転送径路変更回路200との間に、ワード線WL
1〜WLnが選択レベルのとき径路切換信号RC1〜R
C4のうちの1つを選択してデータ転送径路変更回路2
00へ供給する径路切換信号選択回路500を設けた構
成となっている。
【0069】径路切換信号選択回路500は、径路切換
信号RC1〜RC4をそれぞれデータ転送径路変更回路
200の対応するトランジスタへ伝達制御するプラグラ
マブルスイッチ素子を備えており、これらスイッチ素子
をワード線WL1〜WLnのレベルでオン,オフ制御す
る構成となっている。
【0070】例えば、ワード線WLjと対応する行に1
つの不良のメモリセルが存在し、ワード線WLkと対応
する行には3つの不良のメモリセルが存在する場合に
は、ワード線WLjのアクティブレベルにより径路切換
信号RC1をトランジスタQ1へ伝達制御するスイッチ
素子がオンになるようにプログラムし、ワード線WLk
のアクティブレベルにより径路切換信号RC3をトラン
ジスタQ4〜Q6へ伝達制御するスイッチ素子がオンに
なるようにプログラムする。
【0071】また、図8を参照すると、本発明の第8の
実施例のリダンダンシ回路は、図6のリダンダンシ回路
の径路切換信号発生回路300と出力制御信号径路変更
回路400との間に、ワード線WL1〜WLnのレベル
に応じて径路切換信号RC1〜RC4のうちの1つを選
択して出力制御信号径路変更回路400へ供給する径路
切換信号選択回路500を設けた構成となっている。こ
の径路切換信号選択回路500は図7のものと同一であ
る。
【0072】このように、径路切換信号発生回路100
とデータ転送径路変更回路200との間、径路切換信号
発生回路300と出力制御信号径路変更回路400との
間にそれぞれ簡単な回路構成の径路切換信号選択回路5
00を設けることにより、複数の行に異なる数の不良の
メモリセルが存在する場合でも容易に適用できる。
【0073】これら実施例において、径路切換信号発生
回路100,300を抵抗R1〜R4及びヒューズ素子
F1〜F4から成る構成としたが、データ転送径路変更
回路200,200a及び出力制御信号径路変更回路4
00のアクティブレベルのとき対応するトランジスタQ
1〜Q10を導通させる径路切換信号RC1〜RC4を
発生する回路であれば、上述した回路構成に限定される
ものではない。
【0074】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、リダンダ
ンシ・書込用シフトレジスタの各段からのデータがリダ
ンダンシ・データ出力回路の各段に転送されるまでの径
路、又は出力制御信号の径路を径路切換信号により変更
する手段と径路切換信号発生回路とを設けた構成とする
ことにより、入力されるデータの数に対する切換作業
が、この数と対応したヒューズ素子の切断等という極め
て単純な作業だけで済むので、リダンダンシ・データ出
力回路がデータレジスタで構成されている場合にはその
切換作業時の作業ミスがなくなり、また、シフトレジス
タで構成されている場合には、シフトレジスタの最後段
に最初に読出すデータが保持されるので、読出し開始前
に予めデータをシフトするという動作がなくなり、読出
し速度が速くなるという効果がある。
【0075】また、複数のラインに異なる数の不良のメ
モリセルが存在する場合でも、不良のメモリセルが存在
するワード線により複数の径路切換信号又は切換信号の
うちの1つを選択する回路が付加されるだけで済むの
で、切換え回路が簡単となるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図2】本発明の第2の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図3】本発明の第3の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図4】本発明の第4の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図5】本発明の第5の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図6】本発明の第6の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図7】本発明の第7の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図8】本発明の第8の実施例の半導体メモリ装置のリ
ダンダンシ回路の回路図である。
【図9】従来の半導体メモリ装置のリダンダンシ回路の
第1の例の回路図である。
【図10】従来の半導体メモリ装置のリダンダンシ回路
の第2の例の回路図である。
【符号の説明】
1 リダンダンシ・書込用シフトレジスタ 2 書込用データ転送回路 3 リダンダンシ・メモリセルアレイ 4 読出用データ転送回路 5 読出用データレジスタ 6 出力データ転送回路 7 出力バス 8 出力制御信号発生回路 9 リダンダンシ・読出用シフトレジスタ 11〜14 レジスタ 31〜34 メモリセル列 51〜54 レジスタ 81〜84 デコーダ 91〜94 レジスタ 100,100a 径路切換信号発生回路 200,200a データ転送径路変更回路 300 径路切換信号発生回路 400 出力制御信号径路変更回路 500 径路切換信号選択回路 F1〜F4 ヒューズ素子 Q1〜Q10,Q21〜Q24,Q41〜Q44,Q6
1〜Q64 トランジスタ WL1〜WLn ワード線

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端に供給されるデータを順次取込み
    後段側へシフトし各段の出力端から出力する複数段構成
    のリダンダンシ・書込用シフトレジスタと、書込データ
    転送信号に従って前記リダンダンシ・書込用シフトレジ
    スタの各段からのデータをそれぞれ対応する出力端へ同
    時に転送する書込用データ転送回路と、前記リダンダン
    シ・書込用シフトレジスタの各段とそれぞれ対応する複
    数のメモリセル列を備えこれらメモリセル列の選択され
    たメモリセルに前記書込用データ転送回路の対応する出
    力端からのデータを同時に書込み記憶し、前記メモリセ
    ル列の選択されたメモリセルから記憶しているデータを
    同時に読出すリダンダンシ・メモリセルアレイと、読出
    データ転送信号に従って前記リダンダンシ・メモリセル
    アレイの各メモリセル列から読出されたデータをそれぞ
    れ対応する出力端へ同時に転送する読出用データ転送回
    路と、この読出用データ転送回路の各出力端からのデー
    タをそれぞれ対応する各段に同時に取込み順次ビットシ
    リアルに出力するリダンダンシ・データ出力回路と、前
    記リダンダンシ・書込用シフトレジスタの各段からのデ
    ータが前記リダンダンシ・データ出力回路の各段に伝達
    されるまでの径路を径路切換信号により切換えてこれら
    データが転送される前記リダンダンシ・データ出力回路
    の位置を切換えるデータ転送径路変更手段と、前記径路
    切換信号を発生する径路切換信号発生回路とを有するこ
    とを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 前記データ転送径路変更手段が、前記リ
    ダンダンシ・書込用シフトレジスタと前記リダンダンシ
    ・メモリセルアレイとの間に設けられた請求項1記載の
    半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 前記データ転送径路変更手段が、前記リ
    ダンダンシ・メモリセルアレイと前記リダンダンシ・デ
    ータ出力回路との間に設けられた請求項1記載の半導体
    メモリ装置。
  4. 【請求項4】 前記リダンダンシ・データ出力回路が、
    前記リダンダンシ・メモリセルアレイの各メモリセル列
    とそれぞれ対応するレジスタを備え前記読出用データ転
    送回路の各出力端からのデータを取込み保持する読出用
    データレジスタと、出力バスと、出力制御信号に従って
    前記読出用データレジスタの各レジスタに保持されてい
    るデータを順次前記出力バスへ転送するデータ転送回路
    と、前記出力制御信号を発生する出力制御信号発生回路
    とを含む請求項1記載の半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】 前記リダンダンシ・データ出力回路が、
    前記読出用データ転送回路の各出力段からのデータを同
    時に取込み順次後段側へシフトして最後段からビットシ
    リアルに出力するリダンダンシ・読出用シフトレジスタ
    を含む請求項1記載の半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 前記データ転送径路変更手段の各入力端
    及び各出力端に一方の端から順次増加するj(jは1か
    らNまでの整数)なる番号を付し、前記径路切換信号に
    k(kは1からNまでの整数でかつk≧j)なる番号は
    付したとき、前記データ転送径路変更手段が、j番の入
    力端と〔j+(N−k)〕番の出力端との間にk番の前
    記径路切換信号がアクティブレベルのときオンとなるス
    イッチ素子を設けた回路であり、前記径路切換信号発生
    回路が、前記リダンダンシ・書込用シフトレジスタに入
    力されるデータの数がkであるときk番の前記径路切換
    信号をアクティブレベルとする回路である請求項1記載
    の半導体メモリ装置。
  7. 【請求項7】 前記データ転送径路変更手段のスイッチ
    素子がトランジスタで形成され、前記径路切換信号発生
    回路が、一端をそれぞれ第1の電位点と接続するN個の
    抵抗と、一端をそれぞれ対応する前記抵抗の他端と接続
    し他端を第2の電位点と接続するN個のヒューズ素子と
    を備え、これら抵抗及びヒューズ素子の接続点からそれ
    ぞれ対応する径路切換信号を出力する回路である請求項
    6記載の半導体メモリ装置。
  8. 【請求項8】 前記データ転送径路変更手段の第1の入
    力端と第1の出力端との間が、導電体で接続された請求
    項6記載の半導体メモリ装置。
  9. 【請求項9】 前記リダンダンシ・書込用シフトレジス
    タの各出力端及び前記リダンダンシ・メモリセルアレイ
    の各メモリセル列の入力端に一方の端から順次増加する
    j(jは1からNまでの整数)なる番号を付し、前記径
    路切換信号にk(kは1からNまでの整数でかつk≧
    j)なる番号を付したとき、前記データ転送径路変更手
    段及び書込用データ転送回路が、前記リダンダンシ・書
    込用シフトレジスタのj番の出力端と前記リダンダンシ
    ・メモリセルアレイの〔j+(N−k)〕番のメモリセ
    ル列の入力端との間にk番の前記径路切換信号がアクテ
    ィブレベルのときオンとなるスイッチ素子を設けた回路
    であり、前記径路切換信号発生回路が、一端からそれぞ
    れ前記書込データ転送信号を入力するN個の抵抗と、一
    端をそれぞれ対応する前記抵抗の他端と接続し他端を前
    記第2の電位点と接続するN個のヒューズ素子とを備
    え、これら抵抗及びヒューズ素子の接続点からそれぞれ
    対応する径路切換信号を出力する回路である請求項2記
    載の半導体メモリ装置。
  10. 【請求項10】 前記リダンダンシ・メモリセルアレイ
    の各メモリセル列の出力端及び前記リダンダンシ・デー
    タ出力回路の各入力端に一方の端から順次増加するj
    (jは1からNまでの整数)なる番号を付し、前記径路
    切換信号にk(kは1からNまでの整数でかつk≧j)
    なる番号を付したとき、前記データ転送径路変更手段及
    び読出用データ転送回路が、前記リダンダンシ・メモリ
    セルアレイのj番のメモリセル列の出力端と前記読出用
    データ転送回路の〔j+(N−k)〕番の入力端との間
    にk番の前記径路切換信号がアクティブレベルのときオ
    ンとなるスイッチ素子を設けた回路であり、前記径路切
    換信号発生回路が、一端からそれぞれ前記読出データ転
    送信号を入力するN個の抵抗と、一端をそれぞれ対応す
    る前記抵抗の他端と接続し他端を前記第2の電位点と接
    続するN個のヒューズ素子とを備え、これら抵抗及びヒ
    ューズ素子の接続点からそれぞれ対応する径路切換信号
    を出力する回路である請求項3記載の半導体メモリ装
    置。
  11. 【請求項11】 入力端に供給されるデータを順次取込
    み後段側へシフトし各段の出力他から出力する複数段構
    成のリダンダンシ・書込用シフトレジスタと、書込用デ
    ータ転送信号に従って前記リダンダンシ・書込用シフト
    レジスタの各段からのデータをそれぞれ対応する出力端
    へ同時に転送する書込用データ転送回路と、前記リダン
    ダンシ・書込用シフトレジスタの各段とそれぞれ対応す
    る複数のメモリセル列を備えこれらメモリセル列の選択
    されたメモリセルに前記書込用データ転送回路の対応す
    る出力端からのデータを同時に書込み記憶し、前記メモ
    リセル列の選択されたメモリセルから記憶しているデー
    タを同時に読出すリダンダンシ・メモリセルアレイと、
    読出データ転送信号に従って前記リダンダンシ・メモリ
    セルアレイの各メモリセル列から読出されたデータをそ
    れぞれ対応する出力端へ同時に転送する読出用データ転
    送回路と、前記リダンダンシ・メモリセルアレイの各メ
    モリセル列とそれぞれ対応するレジスタを備え前記読出
    用データ転送回路の各出力端からのデータを取込み保持
    する読出用データレジスタと、出力バスと、供給された
    出力制御信号に従って前記読出用データレジスタの各レ
    ジスタに保持されているデータを順次前記出力バスへ転
    送する複数のデータ転送素子を備えた出力データ転送回
    路と、前記出力制御信号を発生する出力制御信号発生回
    路と、この出力制御信号発生回路からの出力制御信号の
    径路を切換信号により切換えて前記出力データ転送回路
    の各データ転送素子に供給する出力制御信号径路変更回
    路と、前記切換信号を発生する切換信号発生回路とを有
    することを特徴とする半導体メモリ装置。
  12. 【請求項12】 前記出力制御信号径路変更回路の各出
    力制御信号の各入力端置及び各出力端に一方の端から順
    次増加するj(jは1からNまでの整数)なる番号を付
    し、前記切換信号にk(kは1からNまでの整数でかつ
    k≧j)なる番号を付したとき、前記出力制御信号径路
    変更回路が、j番の入力端と〔j+(N−k)〕番の出
    力端との間にk番の径路切換信号がアクティブレベルの
    ときオンとなるスイッチ素子を設けた回路であり、前記
    切換信号発生回路が一端をそれぞれ前記第1の電位点と
    接続するN個の抵抗と、一端をそれぞれ対応する前記抵
    抗の他端と接続し他端を前記第2の電位点と接続するN
    個のヒューズ素子とを備え、これら抵抗及びヒューズ素
    子の接続点からそれぞれ対応する切換信号を出力する回
    路である請求項11記載の半導体メモリ装置。
  13. 【請求項13】 前記リダンダンシ・メモリセルアレイ
    のメモリセルが複数のワード線のうち1つで選択され、
    前記データ転送径路変更手段と前記径路切換信号発生回
    路との間に、前記複数のワード線のうちの特定のワード
    線により、前記径路切換信号発生回路から出力される複
    数の径路切換信号のうちの1つを選択して前記データ転
    送径路変更手段へ供給する径路切換信号選択回路を設け
    た請求項1記載の半導体メモリ装置。
  14. 【請求項14】 前記リダンダンシ・メモリセルアレイ
    のメモリセルが複数のワード線のうちの1つで選択さ
    れ、前記出力制御信号径路変更回路と前記切換信号発生
    回路との間に、前記複数のワード線のうちの特定のワー
    ド線により、前記切換信号発生回路から出力される複数
    の切換信号のうちの1つを選択して前記出力制御信号径
    路変更回路へ供給する切換信号選択回路を設けた請求項
    12記載の半導体メモリ装置。
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