JP2621950B2 - Flexible metal and plastic laminates - Google Patents

Flexible metal and plastic laminates

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JP2621950B2
JP2621950B2 JP63238912A JP23891288A JP2621950B2 JP 2621950 B2 JP2621950 B2 JP 2621950B2 JP 63238912 A JP63238912 A JP 63238912A JP 23891288 A JP23891288 A JP 23891288A JP 2621950 B2 JP2621950 B2 JP 2621950B2
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metal layer
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metal
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拓志 佐藤
守次 森田
秀介 山中
重之 宍戸
光幸 内藤
俊爾 芳田
健二 田辺
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三井東圧化学株式会社
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【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、寸法安定性に優れたフレキシブル金属プ
ラスチック積層板(略称FMCL=Flexible Metal Clad La
minate)に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flexible metal plastic laminate (FMCL = Flexible Metal Clad La) having excellent dimensional stability.
minate).

〔従来の技術〕[Conventional technology]

金属層とプラスチックフィルムを積層して構成される
FMCLは、包装用材料、フレキシブルプリント回路基板
(フレキシブルプリント配線板)、電磁波シールド導線
被覆材、電磁波シールドフィルムその他などに、金属と
プラスチックの両材料の特徴が総合活用された素材とし
て大量に使用されている。
It is composed by laminating a metal layer and a plastic film
FMCL is widely used in packaging materials, flexible printed circuit boards (flexible printed wiring boards), electromagnetic wave shielding conductor coating materials, electromagnetic wave shielding films, and other materials that make full use of the characteristics of both metals and plastics. ing.

これらFMCLは、その加工手段と用途のために金属層と
プラスチック層の両方の寸法が相互に適当する関係にあ
ることが必要である。
These FMCLs require that the dimensions of both the metal layer and the plastic layer be in an appropriate relationship to one another for their processing means and applications.

しかしながら、金属とプラスチックの熱膨張率の相
違、あるいは引張強度、圧縮強度、弾性率の相違などに
起因して、両者の寸法は所望の適正な範囲外となってお
り、当業界の関係者はこのことによる不具合の対策に苦
慮している。
However, due to the difference in the coefficient of thermal expansion between metal and plastic, or the difference in tensile strength, compressive strength, elastic modulus, etc., the dimensions of both are out of the desired and appropriate range. We are struggling to deal with the problems caused by this.

寸法が相違に存在する場合は、例えば、後で詳述する
ようにFMCLがプラスチック層を内側として大きくカール
したり、金属層をエッチングして部分的に除去した場
合、表面に全面的に多数の皺が発生して、裁断、パター
ン賦与、貼付、重積、素子実装、パターン接続などの後
続の加工処理が非常に困難になる。
If the dimensions are different, for example, as described in detail below, if the FMCL curls greatly with the plastic layer inside, or if the metal layer is partially removed by etching, a large number of Wrinkles occur, making subsequent processing such as cutting, pattern application, sticking, stacking, element mounting, pattern connection, etc. very difficult.

しかして、これらの寸法の相違(寸法差)は、FMCL積
層板の状態では正確に測定できないが、その構成要素の
金属層、あるいはプラスチック層のそれぞれを、仮に応
力が発生しない方法により分離し単独化した場合には、
精密正確に測定され得る。
Thus, these dimensional differences (dimensional differences) cannot be measured accurately in the state of the FMCL laminate, but each of the constituent metal layers or plastic layers is separated by a method that does not generate stress, and is used alone. If
Can be measured precisely.

多くの場合、プラスチック層の寸法は、金属層のそれ
に比較して適正限界以下にあり、通常一般に金属層より
も短い。
In many cases, the dimensions of the plastic layer are below a reasonable limit compared to that of the metal layer and are generally shorter than the metal layer.

これらの寸法差の測定は、応力が改めて発生しない方
法を以て各構成要素を完全に分離単独化することが通常
は困難であるため、実質的に応力が発生しないとみなさ
れる近似の単独化の方法として以下のような方法が採用
される。
Since it is usually difficult to completely separate and singly separate each component by a method in which stress is not newly generated, an approximation method of approximation in which it is considered that substantially no stress is generated is used for measuring these dimensional differences. The following method is adopted.

即ち、FMCLの状態において積層板としての寸法を測定
し、その測定値を金属層寸法(即ち、エッチング前のプ
ラスチック層の寸法に等しい)とみなし、次いで、プラ
スチック層に何ら影響を与えない薬剤によりエッチング
を行って金属層を除去してプラスチック層を単独化して
寸法を測定し、この測定値をプラスチック層寸法とみな
す。
That is, the dimensions of the laminate are measured in the FMCL state, and the measured values are regarded as the dimensions of the metal layer (that is, equal to the dimensions of the plastic layer before etching). The plastic layer is singulated by etching to remove the metal layer and the dimensions are measured, and the measured value is regarded as the plastic layer dimension.

これから両者の寸法差(これはエッチング前のプラス
チック層長さ−エッチング後プラスチック層長さに等し
い)を求めている。
From this, the dimensional difference between the two is determined (this is equal to the length of the plastic layer before etching minus the length of the plastic layer after etching).

即ち、この発明における寸法差はエッチング前のプラ
スチック層の長さ−エッチング後のプラスチック層の長
さを以て表現される。
That is, the dimensional difference in the present invention is expressed by the length of the plastic layer before etching minus the length of the plastic layer after etching.

なお、この発明においては、上記した通りに、金属層
よりプラスチック層が短いことが一般的であるが、この
寸法差を使用すれば、 と定義される。
In the present invention, as described above, it is general that the plastic layer is shorter than the metal layer, but if this dimensional difference is used, Is defined as

プラスチック層の収縮率が大きいことによる悪影響は
大別して次の二項目である。
The adverse effects caused by the high shrinkage of the plastic layer are roughly classified into the following two items.

a)FMCLがプラスチック層を内側にしてカールしてお
り、このカールを抑制してFMCLを展開して行う打抜き、
裁断、パターン賦与、貼付、重積、その他の処理が極め
て困難なものとなっている。
a) The FMCL is curled with the plastic layer inside.
Cutting, patterning, pasting, piling, and other processes are extremely difficult.

b)フレキシブルプリント配線板(以下、FPCと略称。
=Flexible Printed Circuit)が代表するように精密な
回路用のパターンをエッチングレジストインクで描き、
次いでエッチングし、金属層が部分的に残存させられる
場合に、金属層がある部分とない部分では、寸法変化が
生じるために全面的な皺が形成される。
b) Flexible printed wiring board (hereinafter abbreviated as FPC).
= Flexible Printed Circuit) as a representative, drawing a precise circuit pattern with etching resist ink,
Next, when the metal layer is partially left after the etching, the entire surface is wrinkled due to a dimensional change in a part where the metal layer is present and a part where the metal layer is not present.

そのために、パターン上の各点の間の相対的な位置関
係は変化し部品装着あるいは他のパターンとの接続のた
めに必要な精度が欠如し、またその外観も見苦しいもの
となる。
Therefore, the relative positional relationship between the points on the pattern changes, and the precision required for component mounting or connection with another pattern is lacking, and its appearance is unsightly.

プラスチック層の寸法が、金属層のそれに比較して一
定の寸法以上短小である場合には、実用上の有用性は殆
どないと云える。
If the dimensions of the plastic layer are smaller than the dimensions of the metal layer by more than a certain size, it can be said that there is little practical utility.

場合によっては製品として、致命的と云うべき上記の
欠点を除去するために従来から種々の対策が採られてい
るが、満足すべき性状のFMCLは未だ完成されていない。
In some cases, various measures have conventionally been taken to eliminate the above-mentioned fatal drawbacks as products, but FMCL with satisfactory properties has not yet been completed.

既知の技術の例として、カールの単純な除去法として
は、特開昭59−22388号、同59−22389号などに示される
ように、金属層にカールとは逆の「曲げ塑性変形」を与
えること、即ち、カールしている金属層をカールに対し
て逆に曲げて、金属層とプラスチックとの寸法差に基い
てカール形成の原因となっている応力に均衡させること
によってカールの程度を軽減させようとする方法があ
る。
As an example of a known technique, as a simple method for removing curl, as shown in JP-A-59-22388 and JP-A-59-22389, a `` bending plastic deformation '' opposite to curl is applied to a metal layer. Giving, i.e., bending the curled metal layer back against the curl and balancing the degree of curl by balancing the stress causing the curl formation based on the dimensional difference between the metal layer and the plastic. There are ways to reduce it.

この場合においては当然のことながら、金属層自体の
寸法に処理の前後において何ら実質的変化がないことに
注意しなければならない。
In this case, it should be noted that, of course, there is no substantial change in the dimensions of the metal layer itself before and after processing.

即ち、このような方法によって処理されたFMCLはプラ
スチック層の寸法が短小であることによる悪影響の中の
前記a)のカールのみが一時的に見掛け上、消去された
ように見えるに過ぎないのである。しかしながら、その
カールは熱履歴を経ると直ちに原状に復帰してしまう。
また、b)のエッチング時の皺の形成についてはプラス
チック層と金属層の寸法差が処理前と同様であるためで
あり、根本的な性状改善が全く加えられていないことに
よっている本質的欠点である。
That is, in the FMCL treated by such a method, only the curl of the above a), which is an adverse effect due to the small size of the plastic layer, is only seemingly erased temporarily. . However, the curl returns to its original state immediately after the heat history.
The formation of wrinkles at the time of etching in b) is because the dimensional difference between the plastic layer and the metal layer is the same as before the treatment, and is an essential drawback due to no fundamental improvement in properties. is there.

一方、プラスチック層のみ選択的に延伸させて金属層
の寸法に接近させようとする試みがいくつか行われてい
る。
On the other hand, some attempts have been made to selectively stretch only the plastic layer to approach the dimensions of the metal layer.

特開昭56−27391号においては、プラスチック層に溶
剤を吸収させて膨張させて延伸させることにより、その
寸法を金属層の寸法に接近させようとしている。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-27391, the size of a plastic layer is made to approach the size of a metal layer by absorbing a solvent, expanding the plastic layer and stretching the plastic layer.

しかしながら、この方法ではFMCLが高温、例えば、10
0℃以上の雰囲気に暴露されること、または長時間、大
気中に放置されることなどによって吸収されている溶剤
は、不可避的にプラスチック層から逸散するために、プ
ラスチック層は再度収縮する欠点があり、更に、この処
理により金属層との寸法差を所要の一定範囲内にまで減
少させることは甚だ困難であるという欠点もある。
However, in this method, the FMCL is heated to a high temperature, for example, 10
Solvent absorbed by exposure to an atmosphere of 0 ° C or higher or being left in the air for a long time inevitably escapes from the plastic layer, so the plastic layer contracts again. In addition, there is a disadvantage that it is extremely difficult to reduce the dimensional difference between the metal layer and the metal layer to a required predetermined range by this treatment.

また、プラスチック層を外方側として巻き、長時間高
温に保持しプラスチック層が延伸されている状態を継続
してアニーリングすることにより寸法差を縮小する方法
が、特開昭54−108272号、同54−111673号などによって
提案されているが、常温への冷却時に金属とプラスチッ
クの熱膨張率の相違により再度プラスチック層が収縮す
るため殆ど寸法差が軽減されないという欠点がある。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-108272 discloses a method of reducing the dimensional difference by winding the plastic layer outward, holding the plastic layer at a high temperature for a long time, and continuously annealing the plastic layer in a stretched state. No. 54-111163, but has the disadvantage that the plastic layer contracts again due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal and the plastic when cooled to room temperature, so that the dimensional difference is hardly reduced.

更に、特開昭62−299338号においては、支持体上に金
属薄層を設け、これにポリイミドの溶液かまたはポリイ
ミド前駆体の溶液を塗布して、加熱乾燥後に支持体を除
去する方法が提案されているが、この方法はポリイミド
層と金属層の熱膨張率の差により、冷却時にポリイミド
層の寸法が金属層に比較して短くなってポリイミド層を
内方側にしてカールする。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-299338 proposes a method in which a thin metal layer is provided on a support, a polyimide solution or a polyimide precursor solution is applied thereto, and the support is removed after heating and drying. However, in this method, the dimensions of the polyimide layer become shorter than the metal layer during cooling due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the polyimide layer and the metal layer, and the polyimide layer curls inward.

また、金属層の一部分がエッチングにより除去される
とき、金属層を失い裸になったポリイミド層が収縮して
寸法変化を起こし皺を発生させる。
In addition, when a part of the metal layer is removed by etching, the polyimide layer which has lost the metal layer and becomes naked shrinks, causing dimensional change and wrinkles.

〔発明の開示〕[Disclosure of the Invention]

発明者らはかかる点に鑑み鋭意検討した結果、従来の
ごとくプラスチック層を延伸させるのではなく、これと
全く逆に、金属層の方を「圧縮」させるという着想に基
く手段をとることにより、驚くべきことに、前述の欠点
の全てが、抜本的に消去された積層板が得られることを
見出し、この発明を完成し得た。
As a result of intensive studies in view of such points, the inventors did not stretch the plastic layer as in the past, but rather, on the contrary, took a measure based on the idea of `` compressing '' the metal layer, Surprisingly, they have found that a laminate can be obtained in which all of the aforementioned disadvantages are drastically eliminated and have completed the invention.

即ち、この発明のFMCLは、従来技術により得られるも
のとは、本質的に明確に相違するものであり、プラスチ
ック層と金属層を積層させてなるフレキシブル積層板に
おいて、金属層が圧縮塑性変形させられたものであるこ
とに、顕著な特徴がある。
That is, the FMCL of the present invention is essentially clearly different from that obtained by the prior art, and in a flexible laminated plate in which a plastic layer and a metal layer are laminated, the metal layer is subjected to compression plastic deformation. There is a remarkable feature in what has been done.

更に具体的に云えば、プラスチックフィルムと金属層
が直接、またはカップリング層か接着剤層を介して積層
状態にされたフレキシブル積層板において、積層状態の
まま金属層の長手方向および/または幅方向の寸法が0.
001〜5%、好ましくは0.01〜5%の範囲内にて、その
用途に応じて、塑性変形により圧縮されてプラスチック
層の寸法に接近、乃至、合致、更にはプラスチック層よ
りも収縮させられて、前述の収縮率が好ましくは±0.3
%以下にされているものである。
More specifically, in a flexible laminated plate in which a plastic film and a metal layer are laminated directly or via a coupling layer or an adhesive layer, the longitudinal direction and / or width direction of the metal layer remain laminated. Is 0.
In the range of 001 to 5%, preferably 0.01 to 5%, depending on the application, it is compressed by plastic deformation to approach or conform to the dimensions of the plastic layer, and even shrink more than the plastic layer. The aforementioned shrinkage is preferably ± 0.3
% Or less.

この発明にいう圧縮塑性変形とは材料力学的には、例
えば金属層が圧縮荷重を加えられ圧縮応力を受けた結
果、変形が生じ、荷重が除かれた後も残存する変形を云
う。
The term “compression plastic deformation” as used in the present invention means, in terms of material mechanics, for example, a deformation that occurs as a result of a compressive load applied to a metal layer and undergoes a compressive stress, and remains after the load is removed.

これは変形した金属層を主体に云えば、収縮を起こし
ているため、収縮塑性変形とも云えるのであって、圧縮
も収縮も技術的な意味内容においては全く同一である。
ただ、この発明の技術的特徴をより適切明確に表現して
いると考えられ、また、圧縮(収縮)塑性変形と常時記
載することは煩雑であるため、この明細書中では圧縮塑
性変形なる用語を使用して説明することにする。
This is mainly referred to as shrinkage plastic deformation because the deformed metal layer mainly causes shrinkage, and both compression and shrinkage are exactly the same in technical meaning.
However, it is considered that the technical features of the present invention are more appropriately and clearly expressed, and it is troublesome to always describe compression (shrinkage) plastic deformation. Therefore, in this specification, the term compression plastic deformation is used. Will be described.

この発明のフレキシブル金属プラスチック積層板の最
大の特徴は、その金属層が圧縮されて塑性変形を生じて
いること、即ち、圧縮塑性変形させられていることであ
るが、その程度、即ち、圧縮塑性変形率は0.001〜5
%、好ましくは0.01〜5%、より好ましくは0.01〜1%
である。
The most significant feature of the flexible metal plastic laminate of the present invention is that the metal layer is compressed and undergoes plastic deformation, that is, is subjected to compression plastic deformation. Deformation rate is 0.001-5
%, Preferably 0.01 to 5%, more preferably 0.01 to 1%
It is.

この範囲の最小限未満であっては発明の効果の具現が
困難であり、一方、この範囲の最大限値をあまり大幅に
越えさせることは技術的に好ましくないが、後記実施例
4に示すように8.2%まで圧縮塑性変形させることが可
能であることは確認した。
If it is less than the minimum of this range, it is difficult to realize the effect of the present invention. On the other hand, it is not technically preferable to greatly exceed the maximum value of this range. It was confirmed that it was possible to perform plastic deformation up to 8.2%.

なお、ここに云う金属層の圧縮塑性変形率は次頁の式
で定義されるものである。
The compression plastic deformation rate of the metal layer is defined by the following equation.

この発明の金属層は、所謂、金属箔であって、これに
使用される金属としては、塑性変形応力が小さいもの
程、圧縮塑性変形が容易であり、この発明の寸法差解消
法に適合する。
The metal layer of the present invention is a so-called metal foil. As the metal used for the metal layer, the smaller the plastic deformation stress is, the easier the compression plastic deformation is, and the metal layer conforms to the method of eliminating the dimensional difference of the present invention. .

例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、金、銀および
これらを含む合金は塑性変形応力が小であって、電気的
特性も良好であるのであり、この発明のFMCLとして使用
するに好ましい。
For example, copper, aluminum, nickel, gold, silver and alloys containing these have low plastic deformation stress and good electrical properties, and are therefore preferably used as the FMCL of the present invention.

なお、この発明のFMCLの金属層は複数種類金属層(多
数の金属層)とし使用されてもよい。
The metal layer of the FMCL of the present invention may be used as a plurality of types of metal layers (a large number of metal layers).

この発明の積層板の金属層の厚さは、一般的にはおよ
そ0.05〜100μmである。即ち、従来一般的に入手可能
であった10〜100μm程度の、所謂、厚物と称されるも
のは勿論、0.05〜10μm程度、好ましくは、0.05〜4程
度の所謂、極薄金属箔と称されるものもこの発明の積層
板は、良好な製品として提供することができる。ただ
し、本発明の最大の技術的特徴は、金属層が「圧縮塑性
変形させられて」いる点にこそつきるのであり、この金
属層が圧縮塑性せられうる程度の厚みのものであれば、
上記一般的に入手しうる厚みの金属箔のほか、これより
厚いものであっても、はたまた薄いものであっても本発
明が好適に適用できることは、当業者に見易い道理であ
ろう。
The thickness of the metal layer of the laminate of the present invention is generally about 0.05 to 100 μm. That is, a so-called ultrathin metal foil having a thickness of about 0.05 to 10 μm, preferably about 0.05 to 4 as well as a so-called thick material having a thickness of about 10 to 100 μm which has conventionally been generally available. The laminated plate of the present invention can be provided as a good product. However, the greatest technical feature of the present invention is that the metal layer is `` compressed and plastically deformed '' because it has a thickness that allows the metal layer to be compressed and plasticized.
It will be easy for a person skilled in the art to understand that the present invention can be suitably applied to a metal foil having a generally available thickness as well as a thicker or even thinner metal foil.

なお、かかる極薄金属層のFMCLは、微細パターン付き
のフレキシブルプリント回路基板として製作が容易であ
ること、パターンエッチングが低コストとなること、屈
曲性に富み狭い空間に挿入可能なものとなること、微力
による精密な屈曲が可能であることなど有利な特徴を備
えているために近年急速にその需要が増大している。
The FMCL of such an ultra-thin metal layer should be easy to manufacture as a flexible printed circuit board with a fine pattern, be low-cost in pattern etching, and be flexible and insertable into a narrow space. In recent years, its demand has rapidly increased because of its advantageous features such as being capable of precise bending by a small force.

一方、この発明の積層板におけるプラスチック層の厚
さは、1〜200μm、好ましくは、3〜100μm、更に好
ましくは5〜50μmの範囲内であり、薄過ぎれば、支持
体としてその作用を果すことができないのであり、また
厚過ぎれば、取扱い、加工などが困難になる。
On the other hand, the thickness of the plastic layer in the laminate of the present invention is in the range of 1 to 200 μm, preferably 3 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, and if it is too thin, it can act as a support. If it is too thick, handling and processing become difficult.

この発明に使用されるプラスチックとしては、例え
ば、ポリイミド、ポリアラミド、ポリアミドイミド、ポ
リエステル、ポリアリレート、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサル
ファイト、ポリパラバン酸、ポリプロピレン、ポリエチ
レン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ四弗化エチ
レン、ポリ三弗化塩化エチレン、ポリ四弗化エチレン・
六弗化プロピレン共重合体、ポリ弗化ビニリデンなどが
あるが勿論、これらのみに限定されるものではない。
Examples of the plastic used in the present invention include, for example, polyimide, polyaramid, polyamideimide, polyester, polyarylate, polyethersulfone, polyetheretherketone, polyphenylene sulfite, polyparabanic acid, polypropylene, polyethylene, polystyrene, and polyvinyl chloride. , Polytetrafluoroethylene, polytetrafluoroethylene chloride, polytetrafluoroethylene.
There are propylene hexafluoride copolymer, polyvinylidene fluoride and the like, but of course, it is not limited to these.

なお、この発明においては、プラスチック層は複数の
異なった種類の層からなるものであってもよく、これら
の混合物または共重合体であってもよい。例えば、ポリ
イミド−ポリアミド、ポリイミド−ポリアミド・イミド
の如きものである。この発明においては、通常の場合、
これらプラスチックの薄層と金属層との積層は接着剤に
より行われてもよく、プラスチックの薄層と金属層を直
接的に固着させて積層される方法でもよい。
In the present invention, the plastic layer may be composed of a plurality of different types of layers, or may be a mixture or a copolymer thereof. For example, polyimide-polyamide and polyimide-polyamide-imide. In the present invention, usually,
The lamination of the plastic thin layer and the metal layer may be performed with an adhesive, or a method in which the plastic thin layer and the metal layer are directly fixed and laminated.

この場合、ポリマーワニスを塗布し、加熱乾燥させ硬
化させるか、溶融ポリマーを金属箔上に押出成型する方
法などが使用される。この発明では上記のいずれの手段
も利用可能である。
In this case, a method in which a polymer varnish is applied and dried by heating and cured, or a method in which a molten polymer is extruded on a metal foil is used. In the present invention, any of the above means can be used.

なお、金属層が厚さ0.05〜10μmである所謂、極薄金
属箔の場合、金属箔単独では取扱いが困難であり、下記
のような方法が採用される。
In the case of a so-called ultra-thin metal foil having a thickness of 0.05 to 10 μm, it is difficult to handle the metal foil by itself, and the following method is employed.

その第一は金属層がスパッタリング、あるいは真空蒸
着によりプラスチック層上に形成され積層されるもので
ある。
First, a metal layer is formed and laminated on a plastic layer by sputtering or vacuum evaporation.

スパッタリング法の場合、金属層厚さは、0.05〜4μ
m程度の極薄箔が好適に製作される。
In the case of the sputtering method, the metal layer thickness is 0.05 to 4 μm.
An extremely thin foil of about m is suitably manufactured.

このようなスパッタリングなどによる極薄金属は、こ
れの上に必要に応じて電解メッキ層を形成して、その厚
さを所望の厚さまで増加させることが行われる。なお、
メッキ層は無電解メッキにより形成されてもよい。
Such an ultra-thin metal by sputtering or the like is formed by forming an electrolytic plating layer on the ultra-thin metal as necessary and increasing the thickness to a desired thickness. In addition,
The plating layer may be formed by electroless plating.

上記のスパッタリングは減圧下、アルゴンガスなどの
雰囲気中で、金属箔を陰極とし陽極の金属との間に電圧
を印加して、低圧気体放電、即ち、グロー放電を生起さ
せてイオンを陰極金属に衝突させ、分散した該金属をプ
ラスチック層の表面に析出させるフレキシブル金属プラ
スチック積層板の製造方法である。
In the above-mentioned sputtering, a voltage is applied between the anode and the metal using the metal foil as a cathode in an atmosphere of argon gas or the like under reduced pressure, and a low-pressure gas discharge, that is, a glow discharge is caused to generate ions into the cathode metal. This is a method for producing a flexible metal-plastic laminate in which the metal is caused to collide and precipitate on the surface of a plastic layer.

また、真空蒸着は、真空中にて金属を加熱して蒸発さ
せ、プラスチック層表面に凝固、堆積させフレキシブル
金属プラスチック積層板を作る方法である。
Vacuum evaporation is a method in which a metal is heated and evaporated in a vacuum to solidify and deposit on the surface of a plastic layer to produce a flexible metal-plastic laminate.

プラスチック層上に極薄の金属層を形成する方法の第
二はメッキ法である。プラスチック層上に無電解メッキ
により薄い金属層を形成させたものが使用される。この
無電解メッキ層は必要に応じて、その上に電解メッキを
施して金属層の厚さが増大させられてもよい。
The second method of forming an extremely thin metal layer on a plastic layer is a plating method. A thin metal layer formed by electroless plating on a plastic layer is used. The electroless plating layer may be electrolytically plated thereon to increase the thickness of the metal layer, if necessary.

一方、比較的に厚いアルミニウムなどの導電性支持体
上に電気メッキ、あるいは真空蒸着により金属層を形成
した金属箔シートは、該金属層が極薄であるにも拘ら
ず、支持体のアルミニウムなどの剛性によってシート全
体としてある程度の剛性があり、単独での取扱いが容易
となり、この発明の積層板用に好適に使用される。
On the other hand, a metal foil sheet in which a metal layer is formed by electroplating or vacuum evaporation on a conductive support made of relatively thick aluminum or the like, despite the fact that the metal layer is extremely thin, the aluminum foil of the support, etc. Due to the rigidity of the sheet, the sheet as a whole has a certain degree of rigidity and can be easily handled alone, and is suitably used for the laminate of the present invention.

例えば、厚さ40μm程度のアルミニウムの上に銅を5
〜9μm程度の厚さに、電解メッキにより形成させた金
属箔シートは安価に製造されており好適に使用される。
For example, 5 copper on aluminum with a thickness of about 40 μm
Metal foil sheets formed to a thickness of about 9 μm by electrolytic plating are manufactured at low cost and are preferably used.

このような金属箔シート、例えばアルミニウム銅箔シ
ートの銅層上にプラスチックの溶媒溶液を公知の方法に
よって直接塗布し、加熱乾燥した後に、上記の導電性支
持体たるアルミニウムを除去することによって、この発
明が対象とするプラスチック積層板の素材となる。
Such a metal foil sheet, for example, by directly applying a solvent solution of a plastic on a copper layer of an aluminum copper foil sheet by a known method, and after heating and drying, by removing the aluminum serving as the conductive support, It is the material of the plastic laminate that is the subject of the invention.

なお、支持体の除去方法はエッチングか、外力を加え
て剥離させるか、いずれの方法によってもよい。
Note that the support may be removed by etching or peeling off by applying an external force.

金属層上にプラスチックの溶媒溶液を塗布するに際し
て、接着性向上のためにはカップリング剤の薄層を金属
層とプラスチック層間に介在させることが効果的であ
る。
When a plastic solvent solution is applied on the metal layer, it is effective to interpose a thin layer of the coupling agent between the metal layer and the plastic layer in order to improve the adhesiveness.

カップリング層は必ずしも全面に亙ってプラスチック
層に接している必要はなく、カップリング層とプラスチ
ック層の間に部分的に防錆メッキ膜など金属薄層が介在
していてもよい。
The coupling layer does not necessarily need to be in contact with the plastic layer over the entire surface, and a thin metal layer such as a rust-proof plating film may be partially interposed between the coupling layer and the plastic layer.

上記の接着性向上のためには、窒素含有シランカップ
リング剤が最も効果的である。圧縮塑性変形させたと
き、金属層とプラスチック層の接着力が強く、寸法安定
性が良好なフレキシブル金属プラスチック積層板を与え
る。
In order to improve the adhesiveness, a nitrogen-containing silane coupling agent is most effective. When subjected to compression plastic deformation, a flexible metal-plastic laminate having good adhesion between the metal layer and the plastic layer and excellent dimensional stability is provided.

この発明にかかるFMCLの主要な用途は、FPCであっ
て、その基板となるプラスチック層の引張強度は10kg/m
m2以上、引張弾性率は、100kg/mm2以上、引張伸長率は1
0%以上、ガラス転移点は100℃以上、絶縁性は体積抵抗
率が1010Ωcm以上であることが好ましい。
The main use of the FMCL according to the present invention is FPC, and the tensile strength of the plastic layer serving as the substrate is 10 kg / m.
m 2 or more, tensile modulus is 100 kg / mm 2 or more, tensile elongation is 1
Preferably, the glass transition point is 0% or more, the glass transition point is 100 ° C. or more, and the insulating property is a volume resistivity of 10 10 Ωcm or more.

この発明にかかるFMCLは、溶剤を含有せずまた、金属
箔の軽度の曲げ塑性変形による見掛けのカール除去によ
るものではないために、層間の寸法差に基くカールが発
生しない特性、即ち、その平面性が経時的に低下消失す
ることがなく、その形状は極めて安定しており、FMCLを
構成する金属箔とプラスチック層のそれぞれの寸法が安
定させられている。
The FMCL according to the present invention does not contain a solvent, and is not due to apparent curl removal due to mild bending plastic deformation of the metal foil. The shape does not decrease and disappear over time, the shape is extremely stable, and the dimensions of the metal foil and the plastic layer constituting the FMCL are stabilized.

このFMCLが、FPC用に応用される場合、金属箔上のパ
ターン中の各点間の相互位置関係が安定し、部品の実
装、および他の基板との接続が高精度を以て遂行され
る。
When this FMCL is applied for FPC, the mutual positional relationship between points in a pattern on a metal foil is stabilized, and mounting of components and connection with another substrate are performed with high precision.

また、一般的用途のFMCLとしても、苛酷な熱履歴を経
ても安定した平面性を保有するためにその取扱い、また
加工時の作業性が優れている。
In addition, as an FMCL for general use, it has a stable flatness even after a severe heat history, and thus has excellent handling and workability during processing.

従来、U.S.P.3179634号、特開昭49−51559号、同52−
115888号、同57−80049号、同57−181857号、同59−162
044号、特願昭61−66049号などが提供する積層用接着剤
を使用しないA−FMCL(Adhesiveless FMCL)は耐熱
性、屈曲性、誘電特性などにおいて優れた性能を有する
が、プラスチック薄層の寸法収縮が主要原因となって実
用化に至っていなかったが、この発明が適用されたA−
FMCLは、金属箔のエッチング後のプラスチック層のエッ
チング前に対する寸法収縮率が一定値以下、即ち、±0.
3%以下、好ましくは±0.2%以下、更に好ましくは±0.
1%以下、最も好ましいものは±0.05%以下となってい
る。
Conventionally, USP3179634, JP-A-49-51559, JP-A-52
115888, 57-80049, 57-181857, 59-162
A-FMCL (Adhesiveless FMCL) which does not use a laminating adhesive provided by No. 044, Japanese Patent Application No. 61-66049, etc. has excellent performance in heat resistance, flexibility, dielectric properties, etc. Although dimensional shrinkage was not the main reason for practical use, the present invention was applied to A-
FMCL has a dimensional shrinkage ratio of a predetermined value or less, that is, ± 0.
3% or less, preferably ± 0.2% or less, more preferably ± 0.
1% or less, most preferably ± 0.05% or less.

従って、FMCLそれ自体にカールがないことは勿論、エ
ッチングされて、金属パターンが形成された後も、皺発
生は見られないのであり、理想的なA−FMCLとなり、多
くの用途に応用されることが期待される。
Therefore, the FMCL itself has no curl, and, of course, no wrinkles are observed even after being etched and the metal pattern is formed, so that it becomes an ideal A-FMCL and is applied to many uses. It is expected.

また、プラスチック層と金属箔が接着剤を介し積層さ
れる場合、頻繁に生じるプラスチック層の寸法が短く積
層される場合に対しても、この発明のFMCLにおいては、
金属層が圧縮塑性変形させられていることによって、プ
ラスチック層の寸法に近接、乃至は合致させられるか、
更には、相対的に短小化させることさえも可能となるの
である。
In addition, when the plastic layer and the metal foil are laminated via an adhesive, the FMCL of the present invention also applies to the case where the frequently occurring plastic layer is laminated with a short dimension.
Whether the dimensions of the plastic layer are close to or matched by the compression-deformation of the metal layer,
Furthermore, it is even possible to make them relatively short.

寸法収縮率が極めて小さい、即ち±0.05%以下好まし
くは±0.03%以下のFMCLが、FPCに利用される場合、上
記の効果以外に更に寸法精度が格段に厳しいパターンの
形成が可能であるために、最近、需要が大きいファイン
パターンなどに好適であり、その利用範囲は一層拡大さ
れるのである。
When FMCL having an extremely small dimensional shrinkage ratio, that is, ± 0.05% or less, preferably ± 0.03% or less, is used for FPC, it is possible to form a pattern with much more severe dimensional accuracy in addition to the above effects. It is suitable for fine patterns and the like which have been in great demand recently, and the range of use is further expanded.

特に、金属箔の厚さが薄いFMCLは、金属層をエッチン
グしてFPCにするときにエッチングに伴うアンダーカッ
トが小さく、これに従い大巾な線路/間隔の密度増大が
可能となる。
In particular, an FMCL having a thin metal foil has a small undercut due to the etching when the metal layer is etched into the FPC, and accordingly, a large line / interval density can be increased.

現在のものよりも一層緻密なファィンパターン回路に
対する需要は急激に増えているのであり、特に、コンピ
ュータ分野では信号の伝達速度を上げ、機能を高密度化
することが求められておりますますファィンパターン回
路の需要が増大すると推測される。
The demand for finer pattern circuits that are more precise than the current ones is increasing rapidly.In particular, in the computer field, it is required to increase the signal transmission speed and increase the function density. It is assumed that the demand for fine pattern circuits will increase.

また、金属層の薄いFMCLでは、エッチングの所要時間
が短縮され、また薬品消費量ならびに排水処理費も節減
されるのである。
In addition, FMCL with a thin metal layer reduces the time required for etching, and also reduces chemical consumption and wastewater treatment costs.

なお、極薄金属層FMCLは柔軟であり屈曲性に富むので
あり、これを以て製作されるFPCは狭い空間にも断線の
危惧はなく、挿入可能であって製品の小型化を助け、更
に、許容屈曲回数が多いため繰り返し屈曲を受ける個所
に使用されて耐用回数が増大すること、微力を以て屈曲
させられることなどを理由として、近年、急速に需要が
増加中であることは前述の通りである。
In addition, the ultra-thin metal layer FMCL is flexible and highly flexible, and the FPC manufactured by using it can be inserted in a narrow space without fear of disconnection, and can be inserted, helping to reduce the size of the product, As described above, the demand is rapidly increasing in recent years due to the fact that it is used in a place where it is repeatedly bent due to a large number of times of bending and the number of times of use increases, and that it can be bent with a small force.

金属層が薄く接着剤不使用のFMCLは全体として、更に
屈曲性がよいFPCを与えることが可能であって、需要は
急速に増大するものと推測される。
FMCL with a thin metal layer and no use of an adhesive can provide an FPC with better flexibility as a whole, and it is assumed that the demand will increase rapidly.

以上の種々の方法を以て得られるフレキシブル金属プ
ラスチック積層板において、その金属層に圧縮塑性変形
を生起させ、その圧縮塑性変形率を好ましくは0.01〜5
%の範囲としたものが、この発明のフレキシブル金属プ
ラスチック積層板である。しかし本発明に従えば、後記
実施例4に示すように金属層を8.2%まで圧縮塑性変形
させることも可能なのである。
In the flexible metal plastic laminate obtained by the above various methods, compression plastic deformation is caused in the metal layer, and the compression plastic deformation rate is preferably 0.01 to 5
% Is the flexible metal plastic laminate of the present invention. However, according to the present invention, the metal layer can be plastically deformed to 8.2% as shown in Example 4 described later.

通常、当業者にとり、そもそもこのような薄い金属
層、即ち金属箔を圧縮塑性変形させてみようなどと考え
ること自体に必然性がないのであり、ましてや、そのた
めの手段を案出することは当然のことながら、自明であ
り得ぬことは勿論であり具体化極めて困難な技術的課題
であることが容易に理解されると考えるが、この発明に
おいては例えば、次のような極めて巧妙な手段により金
属層の圧縮塑性変形が行われる。しかし、手段はこれに
限定されるものでないことは勿論である。
Usually, it is not necessary for a person skilled in the art to consider compressing and deforming such a thin metal layer, that is, a metal foil, in the first place, and it is natural to devise means for that purpose. However, it is easily understood that this is a technical problem that is extremely difficult to realize, as a matter of course, which cannot be obvious, but in the present invention, for example, the metal layer is formed by the following very clever means. Is subjected to compression plastic deformation. However, it goes without saying that the means is not limited to this.

まず、連続シートの場合によって、製造方法の一例を
説明する。
First, an example of a manufacturing method will be described depending on the case of a continuous sheet.

長尺のFMCLを、その横巾方向、以下、TD方向と略記、
に対して0〜80度の範囲内の角度として設けられ、端縁
の機能曲面部の曲率半径が0.5mmよりも小さい第一のブ
レードの端縁上にFMCLを屈曲させ、金属層側の面を接触
させて相当の緊張状態を保ちつつ通過させる第一の処理
と、次いで、FMCLのTD方向に対して、0〜−80度の範囲
内の角度として設けられ、同様に、端縁の機能曲面部の
曲率半径が0.5mmより小さい第二のブレードの曲面上にF
MCLを屈曲させて金属層側を接触させて相当の緊張状態
を保ちつつ通過させる第二の処理を任意の順序に前後さ
せた工程を1回以上行う。
The long FMCL is abbreviated as its width direction, hereinafter TD direction,
The FMCL is bent over the edge of the first blade, which is provided as an angle within the range of 0 to 80 degrees and the radius of curvature of the functional curved surface portion of the edge is smaller than 0.5 mm, and the surface of the metal layer side The first process is to pass through while maintaining a considerable tension state by contacting the FMCL, and then provided as an angle in the range of 0 to -80 degrees with respect to the TD direction of the FMCL, and similarly, the function of the edge F on the curved surface of the second blade with a radius of curvature smaller than 0.5 mm
One or more steps are performed in which the MCL is bent and brought into contact with the metal layer side to pass through while maintaining a considerable tension state in any order.

また、金属層のエッチング前後のプラスチック層の収
縮が、FMCLの長手方向、以下ではMD方向と略称、のみで
ある場合は、FMCLをそのTD方向に対して±5度以下にし
て、上記の第一または第二の処理のいずれかを1回以上
行う。
If the plastic layer shrinks before and after etching the metal layer only in the longitudinal direction of the FMCL, hereinafter abbreviated as the MD direction, the FMCL is set to ± 5 degrees or less with respect to the TD direction, and Either the first or second processing is performed one or more times.

以上の処理により驚くべきことに金属層が圧縮塑性変
形させられ、この発明が目的とする新規なFMCLが得られ
るのである。
Surprisingly, the metal layer is compression-plastically deformed by the above processing, and the novel FMCL aimed at by the present invention is obtained.

この処理の技術的根拠は次に述べるようなことであろ
うと考えられる。
It is considered that the technical basis of this processing is as follows.

理解の便宜のために、MD方向にのみプラスチック薄層
の寸法が金属箔の寸法よりも仮に0.5%短小である場合
を想定して説明する。
For convenience of understanding, the description will be made on the assumption that the dimension of the plastic thin layer is only 0.5% shorter than the dimension of the metal foil only in the MD direction.

第1図に示されるように、FMCLがTD方向について0
度、即ち、FMCLが進行させられる方向に対して直角に設
けられ、曲率半径が0.5mmよりも小さい端縁曲面の第一
のブレードの端縁にFMCLの金属層側が、屈曲し接触して
通過すれば、第2図に示されるように、プラスチック層
には引張応力が作用して、金属層には均衡的に収縮応
力、即ち、圧縮応力が作用する。
As shown in FIG. 1, FMCL is 0 in the TD direction.
Degree, that is, the metal layer side of the FMCL bends and contacts the edge of the first blade of the edge curved surface provided at a right angle to the direction in which the FMCL is advanced and having a radius of curvature smaller than 0.5 mm. Then, as shown in FIG. 2, a tensile stress acts on the plastic layer, and a contractive stress, that is, a compressive stress acts on the metal layer in a balanced manner.

その結果として金属層は収縮応力(圧縮応力)により
0.4%程度、一般的には、0.01〜5%程度の収縮(圧
縮)塑性変形が生じる。
As a result, the metal layer is shrunk by compressive stress.
Shrinkage (compression) plastic deformation of about 0.4%, generally about 0.01 to 5% occurs.

即ち、プラスチック層と金属層とを積層させてなるフ
レキシブル積層板において、金属層が圧縮塑性変形させ
られたものが得られるのである。
That is, in a flexible laminated plate obtained by laminating a plastic layer and a metal layer, a flexible layer obtained by compressing and deforming the metal layer can be obtained.

一方、プラスチック層には、上記のごとく引張応力が
作用するが、その作用は殆ど全て弾性変形を行わせるこ
とに留まるため、その寸法には実質的に変化がない。こ
れらの結果が総合されて、金属層の塑性変形のみが、0.
01〜5%程度の収縮(圧縮)として残留することとなっ
て、プラスチック層と金属層の寸法差は減少して、プラ
スチック層収縮率は0.1%程度、一般的には±0.3%以
下、減少してカールが本質的に除去される。
On the other hand, although the tensile stress acts on the plastic layer as described above, the effect is almost entirely limited to the elastic deformation, and the dimensions are not substantially changed. These results are combined, and only plastic deformation of the metal layer is 0.
It remains as shrinkage (compression) of about 01 to 5%, and the dimensional difference between the plastic layer and the metal layer decreases, and the shrinkage rate of the plastic layer decreases by about 0.1%, generally ± 0.3% or less. The curl is essentially removed.

これは、後記の実施例で述べるように金属層の圧縮塑
性変形処理を行ったFMCLの寸法を実測すれば、MD方向に
のみ金属層と同様に、0.01〜5%程度の収縮があること
により確認される。
This is because, when the dimensions of the FMCL that has been subjected to the compression plastic deformation treatment of the metal layer as described in the examples below are actually measured, there is a shrinkage of about 0.01 to 5% in the MD direction as in the case of the metal layer. It is confirmed.

プラスチック薄層は常にMD方向に収縮する傾向を有し
ているため、および金属層の弾性率がプラスチック層の
それよりも大きいために、金属層の寸法にプラスチック
層の寸法が追従するからであろう。
The dimensions of the plastic layer follow the dimensions of the metal layer because the plastic layer always has a tendency to shrink in the MD and because the elastic modulus of the metal layer is greater than that of the plastic layer. Would.

なお、極薄金属層FMCLの場合は、第2図に示す通り、
先端の厚さが0.01mm〜0.7mm程度、好ましくは0.1mm〜0.
5mm程度の厚手ブレードを使用して上記同様の処理を行
うことが好ましい。
In the case of an extremely thin metal layer FMCL, as shown in FIG.
The thickness of the tip is about 0.01 mm to 0.7 mm, preferably 0.1 mm to 0.
It is preferable to perform the same treatment as above using a thick blade of about 5 mm.

非連続定形シート状のFMCLの場合は、平行する二枚の
平板の間にFMCLを挟み込み、接触圧程度の微弱圧力を以
てFMCLを保持する。
In the case of an FMCL in the form of a discontinuous sheet, the FMCL is sandwiched between two parallel flat plates, and the FMCL is held at a weak pressure of about the contact pressure.

その後、FMCLの端面に圧力を加える。 Thereafter, pressure is applied to the end face of the FMCL.

その圧力は金属箔が圧縮塑性変形するに足りる大きさ
が必要であり、この圧力の大きさで圧縮量が制御され
る。
The pressure must be large enough for the metal foil to undergo compression plastic deformation, and the amount of compression is controlled by the magnitude of this pressure.

また、FMCLのプラスチック薄層の寸法がMD方向、およ
びTD方向の両方ともに金属層よりも短い場合は、その短
小の程度にも依存するが一般的には第3図に示されるよ
うにFMCLがそのTD方向に対して5〜80度の角度を有する
ブレードの端縁の小曲面に金属層側が緊張状態下にMD方
向に通過すれ、a−b方向にFMCLの金属層が圧縮され、
次に、FMCLのTD方向に、−5〜−80度の角度を有するブ
レードの端縁の小曲面上を同様にして通過すれば、c−
d方向に金属層が圧縮される。
When the dimension of the plastic thin layer of the FMCL is shorter than the metal layer in both the MD direction and the TD direction, the FMCL generally depends on the degree of the length, as shown in FIG. The metal layer side passes through the small curved surface of the edge of the blade having an angle of 5 to 80 degrees with respect to the TD direction in the MD direction under tension, and the metal layer of FMCL is compressed in the a-b direction,
Next, in the TD direction of the FMCL, similarly passing on the small curved surface of the edge of the blade having an angle of -5 to -80 degrees, c-
The metal layer is compressed in the d direction.

結果的に金属層は全方向について圧縮されることとな
る。
As a result, the metal layer is compressed in all directions.

この処理における重要事項は金属層が通過するブレー
ド端縁の曲率半径、換言すれば先端厚さ、FMCLのTD方向
に対するブレードの角度、ブレードの端縁を通過時のFM
CLに作用している張力の大きさ、通過速度、通過回数、
第4図図示の導入角(α)誘出角(β)などである。
Important points in this process are the radius of curvature of the blade edge through which the metal layer passes, in other words, the tip thickness, the angle of the blade with respect to the TD direction of the FMCL, and the FM when passing through the blade edge.
The magnitude of the tension acting on CL, the passing speed, the number of passes,
These are the introduction angle (α) and the exit angle (β) shown in FIG.

これらは金属層とプラスチック薄層の寸法差、MD・TD
方向についての寸法差分布状況、金属層とプラスチック
層それぞれの弾性率、弾性限界変位量などの要因が考慮
されて制御される。
These are the dimensional difference between metal layer and plastic thin layer, MD / TD
Control is performed in consideration of factors such as the size difference distribution state in the direction, the elastic modulus of each of the metal layer and the plastic layer, and the elastic limit displacement.

処理を行う環境の温度と湿度ともに低いことがプラス
チック層の弾性率が高くなるため、金属層を収縮変形さ
せる応力が大きくなるのであり、寸法差の消去に有利で
ある。
Since the elastic modulus of the plastic layer increases when the temperature and the humidity of the environment in which the processing is performed are low, the stress for shrinking and deforming the metal layer increases, which is advantageous for eliminating the dimensional difference.

この発明においてブレード端縁の曲率半径を好ましく
は0.5mm以下とする理由は薄いFMCLが端縁の曲面を通過
するときに、金属層に作用する圧縮応力を大きくし金属
の圧縮塑性変形領域まで屈曲程度を大きくして強度の屈
曲により収縮させるためである。第5図参照。
In the present invention, the reason why the radius of curvature of the blade edge is preferably 0.5 mm or less is that when the thin FMCL passes through the curved surface of the edge, the compressive stress acting on the metal layer is increased to bend to the compression plastic deformation region of the metal. This is for increasing the degree and contracting due to strong bending. See FIG.

曲率半径が0.5mmを超える場合、金属層に作用する圧
縮応力は金属層を圧縮塑性変形領域まで到達させ得ない
か、到達させ得ても、微小時間内に僅小の変形が与えら
れるのみであって寸法差の解消には全く無効である。
If the radius of curvature exceeds 0.5 mm, the compressive stress acting on the metal layer can not reach the metal layer to the compression plastic deformation area, or even if it can reach it, only a small deformation is given within a minute time This is completely ineffective in eliminating the dimensional difference.

また、金属層厚さ0.05μm〜10μm程度の極薄金属層
FMCLの場合、第2図に示されるような0.01mm〜0.7mm程
度の先端厚さを有するブレードが好ましい理由は下記の
通りである。
In addition, an extremely thin metal layer with a metal layer thickness of about 0.05 to 10 μm
In the case of FMCL, the reason why a blade having a tip thickness of about 0.01 mm to 0.7 mm as shown in FIG. 2 is preferable is as follows.

極薄金属層FMCLにおいては、通常、プラスチック層も
ほぼ同程度の厚さであるために、FMCL全体としての総厚
も極薄となる。
In the case of the ultrathin metal layer FMCL, the plastic layer generally has almost the same thickness, so that the total thickness of the FMCL as a whole is also extremely thin.

これがブレード端縁上面を通過するときにFMCLに与え
る屈曲の曲率半径を小さくして、極薄金属層に作用する
圧縮応力を大きくして、上記と同様金属の圧縮塑性変形
領域まで屈曲の程度を大きくして強度の屈曲により収縮
させるためである。同様に第5図参照。
This reduces the radius of curvature of the bending applied to the FMCL when it passes over the blade edge upper surface, increases the compressive stress acting on the ultra-thin metal layer, and reduces the degree of bending to the compression plastic deformation region of the metal as described above. This is because it is made large and contracted by strong bending. See also FIG.

しかして、この場合はブレード端縁に厚さ方向に曲率
がなくてもよい。その理由は張力を以て押し当てられた
FMCL自体が、ブレード端縁上で小さい曲率の円弧を形成
するからである。
However, in this case, the blade edge may not have a curvature in the thickness direction. The reason was pressed with tension
This is because the FMCL itself forms an arc of small curvature on the blade edge.

ブレード端縁に厚さ方向に曲率を与える工作を加える
場合には、ブレード長手方向の直線性を正確に保持した
ものとして製作することが困難になる。ブレード端縁に
厚さ方向に曲率がない場合は金属層を傷つけないために
ブレード端縁角部に30μm程度の面取りを行うことが好
ましい。
In the case where a work for giving a curvature to the blade edge in the thickness direction is applied, it is difficult to manufacture the blade as maintaining the linearity in the longitudinal direction of the blade accurately. When the edge of the blade has no curvature in the thickness direction, it is preferable to chamfer the edge of the blade to about 30 μm so as not to damage the metal layer.

以上のごとき接触通過処理によって、FMCLのプラスチ
ック層と金属層の寸法差が確実に0.3%以下となり、金
属層に各種のパターンが賦与された後もFMCLに凹凸、あ
るいは皺が生じることが実質的にないのであり、多くの
用途、就中FPC用としての使用が可能となる。
The contact passage treatment as described above ensures that the dimensional difference between the plastic layer and the metal layer of the FMCL is 0.3% or less, and that even after various patterns are imparted to the metal layer, irregularities or wrinkles may occur on the FMCL. It can be used for many purposes, especially for FPC.

以下に、この発明の具体的態様を実施例により説明す
る。
Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to examples.

〔実施例1〕 攪拌器、還流冷却器、および窒素導入管装備の密閉容
器に、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル421g(2.1モ
ル)をN−メチルピロリドン4000mlに溶解させた。
Example 1 421 g (2.1 mol) of 4,4'-diaminodiphenyl ether was dissolved in 4000 ml of N-methylpyrrolidone in a closed vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube.

この溶液に、窒素雰囲気下、ピロメリット酸二無水物
458g(2.1モル)を加えて、室温において24時間反応さ
せた。反応後に得られたポリイミド酸溶液の対数粘度は
1.8dl/gであった。
In a nitrogen atmosphere, add pyromellitic dianhydride to this solution.
458 g (2.1 mol) was added and reacted at room temperature for 24 hours. The logarithmic viscosity of the polyimide acid solution obtained after the reaction is
It was 1.8 dl / g.

このポリイミド酸溶液をN−メチルピロリドンで18%
まで稀釈して回転粘度を110,000cpsに調節した。
18% of this polyimide acid solution with N-methylpyrrolidone
And the rotational viscosity was adjusted to 110,000 cps.

こうして得られた溶液を厚さ35μmのハイダクタイル
電解銅箔(三井金属鉱業製HTE銅箔)に均一に流延塗布
して130℃にて5分間、更に180℃にて5分間、加熱し乾
燥した後、酸素濃度2%の360℃の窒素雰囲気中にて5
分間加熱して、ポリイミドがコーティングされた厚さ60
μmのFMCLを得た。
The solution thus obtained is uniformly cast on a 35 μm-thick electrolytic copper foil (HTE copper foil manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co.), heated at 130 ° C. for 5 minutes, and further heated at 180 ° C. for 5 minutes and dried. After that, in a nitrogen atmosphere at 360 ° C with an oxygen concentration of 2%,
Heat for 60 minutes, polyimide coated thickness 60
A μm FMCL was obtained.

このようにして得たA−FMCLを24×24cmの正方形の基
板に裁断した場合にはTD方向とMD方向ともにポリイミド
薄層を内側とする曲率半径1.5cmのカールが発生してい
た。ポリイミド薄層の寸法収縮率は、0.55%であった。
When the A-FMCL thus obtained was cut into a square substrate of 24 × 24 cm, curls having a radius of curvature of 1.5 cm with the polyimide thin layer inside were generated in both the TD direction and the MD direction. The dimensional shrinkage of the polyimide thin layer was 0.55%.

また、ポリイミド薄層中の残存ピロリドン量は0.01%
であった。
The amount of residual pyrrolidone in the polyimide thin layer was 0.01%
Met.

このA−FMCLの長尺物を24cm巾スリッターにてスリッ
トしてロールに巻き取った。
This long product of A-FMCL was slit with a slitter of 24 cm width and wound up on a roll.

このロールに巻き取ったA−FMCLの一部に第6図に示
されるように、A、B、CおよびDの各点に印を付して
各点間の距離を測定記録した。A−B、B−D、D−C
およびC−Aは等長であり、各々23.000cmであった。
As shown in FIG. 6, a part of the A-FMCL wound on the roll was marked with points A, B, C and D, and the distance between the points was measured and recorded. AB, BD, DC
And CA were isometric and 23.000 cm each.

その後、このロールに巻き取ったA−FMCLを、TD方向
に対し40度の角度として固定されており、その横断面が
巾0.6mm・長さ50mmであり、機能する端縁の曲率半径が
0.05mmのジルコニア製の第一のブレードに金属層たる銅
箔の表面を接触させつつ導入角60度、誘出角60度で通過
させた。
Thereafter, the A-FMCL wound on this roll is fixed at an angle of 40 degrees with respect to the TD direction, the cross section is 0.6 mm in width and 50 mm in length, and the radius of curvature of the functioning edge is
The first blade made of zirconia having a thickness of 0.05 mm was passed through at an introduction angle of 60 degrees and an extraction angle of 60 degrees while contacting the surface of the copper foil as the metal layer.

このとき、A−FMCLには進行方向に12kg、即ち、0.5k
g/cm巾の張力が加えられていた。
At this time, the A-FMCL has 12 kg in the traveling direction, that is, 0.5 k
A g / cm width tension was applied.

この第一のブレード通過後に、TD方向に対し−40度の
角度として固定されたジルコニア製同一形状の第二のブ
レードに金属層たる銅箔層の表面を接触させつつ第一の
ブレードにおけると同様の条件下に通過させた。
After passing through the first blade, the same as in the first blade while contacting the surface of the copper foil layer as a metal layer with a second blade of the same shape made of zirconia fixed as an angle of −40 degrees with respect to the TD direction. Under the following conditions.

この二つのブレード端縁を擦過させる処理を20℃、湿
度50%の環境において3回繰返して再びロールに巻き取
った。
The process of rubbing the edges of the two blades was repeated three times in an environment of 20 ° C. and 50% humidity, and the roll was wound again.

予め測定記録済の各点間の距離を、再測定したとこ
ろ、22.873cmとなっており、0.55%づつ圧縮塑性変形さ
れており、金属層が圧縮塑性変形している本発明のフレ
キシブル金属プラスチック積層板が得られたことが確認
された。
When the distance between each point, which was measured and recorded in advance, was measured again, it was 22.873 cm, and the plastic layer was deformed by 0.55% by compression plastic deformation, and the metal layer was subjected to compression plastic deformation. It was confirmed that a plate was obtained.

その後、印が付けられたこのA−FMCLの銅箔をエッチ
ングにより除去してポリイミド薄層の寸法収縮率を測定
したところ、0.02%であった。
Thereafter, the marked copper foil of the A-FMCL was removed by etching, and the dimensional shrinkage of the polyimide thin layer was measured to be 0.02%.

このA−FMCLを1年間、50℃にて保存したが、寸法の
変化は全く認められなかった。
This A-FMCL was stored at 50 ° C. for one year, but no dimensional change was observed.

また、エッチング前後におけるポリイミド薄層の寸法
収縮率は0.03%であった。
The dimensional shrinkage of the polyimide thin layer before and after etching was 0.03%.

このA−FMCLに、常法により配線パターンを描いてFP
Cを製作したが、このFPCは全体的にも、機能表面につい
ても凹凸が非常に少なく平面性が極めてよいものであっ
た。
Draw a wiring pattern on this A-FMCL by the usual method
C was manufactured, but this FPC had very little unevenness on the whole and on the functional surface, and had extremely good flatness.

このFPCを260℃の溶融半田の表面に10秒間浮遊させた
後、常温に戻したが、依然、全面的に非常に凹凸が少な
く良好な平面を保持していた。
After this FPC was floated on the surface of the molten solder at 260 ° C. for 10 seconds, the temperature was returned to normal temperature. However, the entire surface still had very little unevenness and maintained a good flat surface.

〔比較例1〕 第一と第二のブレードの機能端縁の曲率半径を5mmに
変更したこと以外は、全て実施例1と同様とした。
Comparative Example 1 The procedure was the same as in Example 1 except that the radius of curvature of the functional edges of the first and second blades was changed to 5 mm.

得られたA−FMCLはカールの曲率半径が15cmとなりカ
ールは大いに減衰した。
In the obtained A-FMCL, the radius of curvature of the curl was 15 cm, and the curl was greatly attenuated.

しかし、実施例と同様の四点の間の距離変化の測定値
は、ブレード擦過処理前が23.050cm、処理後が23.050cm
であった。
However, the measured value of the change in distance between the four points similar to the example, 23.050 cm before blade rubbing treatment, 23.050 cm after treatment
Met.

即ち、処理の前後の寸法変化は、実質的に認められ
ず、金属層に全く圧縮塑性変形がなかった。
That is, the dimensional change before and after the treatment was not substantially recognized, and there was no compression plastic deformation in the metal layer.

従って、カールの減衰は銅箔の圧縮塑性変形ではな
く、その曲げ塑性変形によって生じたものと推定され
る。
Therefore, it is presumed that the damping of the curl is caused not by the compression plastic deformation of the copper foil but by the bending plastic deformation thereof.

このA−FMCLのエッチングの前後におけるポリイミド
薄層収縮率は0.55%であり、ブレードによる処理前と同
一であり、収縮率の改善は全くなされていなかった。ま
た、実施例同様に配線パターンを描きFPCとしたが、非
常に大きい凹凸があったため、部品の実装と配線パター
ンの接続に重大な支障が生じて使用不能であった。
The polyimide thin layer shrinkage before and after the etching of the A-FMCL was 0.55%, which was the same as before the treatment with the blade, and the shrinkage was not improved at all. In addition, the wiring pattern was drawn and FPC was performed in the same manner as in the example. However, since there were very large irregularities, the mounting of components and the connection of the wiring pattern were seriously hindered, and were unusable.

〔比較例2〕 実施例1と同様にポリイミド薄層・銅箔のA−FMCLを
作成した。
[Comparative Example 2] An A-FMCL of a polyimide thin layer / copper foil was prepared in the same manner as in Example 1.

このA−FMCLを外径55mmのSUS製管の管壁外面にポリ
イミド薄層を外側として巻き付けて、オートクレープ中
に挿入し、A−FMCLの1m2当り6gのN−メチルピロリド
ンを注入し、150℃にて72時間の熱処理を行った。
The A-FMCL a polyimide thin layer on the tube wall outer surface of a SUS tube having an outer diameter of 55mm is wound as an outer, inserted into the autoclave by injecting N- methylpyrrolidone 1 m 2 per 6g of A-FMCL, Heat treatment was performed at 150 ° C. for 72 hours.

得られたA−FMCLのカールの曲率半径は、7cmとなっ
ていた。
The curl radius of curvature of the obtained A-FMCL was 7 cm.

また、熱処理後のプラスチック薄層に残存したN−メ
チルピロリドン量は1.3%であった。
Further, the amount of N-methylpyrrolidone remaining in the plastic thin layer after the heat treatment was 1.3%.

実施例と同様に四点間の寸法を測定して、高温溶剤処
理の前後の変化を検査したが、全く変化がなかった。
The dimensions between the four points were measured in the same manner as in the example, and the change before and after the high-temperature solvent treatment was examined, but there was no change at all.

また、エッチング前後のポリイミドの収縮率は0.32%
であった。
The shrinkage of polyimide before and after etching is 0.32%
Met.

更に、実施例同様に配線パターンを描きFPCとした
が、非常に大きい凹凸があるために実用性はないことが
確認された。
Furthermore, a wiring pattern was drawn in the same manner as in the example, and the FPC was used. However, it was confirmed that the method was not practical because of very large irregularities.

この比較例のA−FMCLを260℃の溶融半田に30秒間浮
遊させた後に、常温に戻したところ、カールの曲率半径
は2cmと小さくなり、カールがより強くなった。N−メ
チルピロリドン残存量を測定したところ、0.5%に減少
していた。
After the A-FMCL of this comparative example was floated on the molten solder at 260 ° C. for 30 seconds and then returned to room temperature, the radius of curvature of the curl was reduced to 2 cm, and the curl became stronger. When the residual amount of N-methylpyrrolidone was measured, it was reduced to 0.5%.

〔実施例2〕 実施例1と同様にして得られたポリイミド酸溶液を厚
さ40μmのアルミニウム支持体付の厚さ9μmの極薄銅
箔(三井金属鉱業製UTC銅箔総厚49μm)に均一に流延
塗布し、130℃にて5分間、更に180℃にて5分間、加熱
し乾燥した後、酸素濃度2%の360℃窒素雰囲気中にお
いて5分間加熱し、ポリイミドがコーティングされた厚
さ55μmのFMCLを得た。次に、10%苛性ソーダを使用
し、アルミニウムをエッチング除去して極薄A−FMCLを
得た。
[Example 2] The polyimide acid solution obtained in the same manner as in Example 1 was uniformly applied to an ultra-thin copper foil having a thickness of 9 µm and a total thickness of 49 µm UTC copper foil manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd. with an aluminum support having a thickness of 40 µm. After heating and drying at 130 ° C. for 5 minutes and further at 180 ° C. for 5 minutes, it was heated in a nitrogen atmosphere at 360 ° C. with an oxygen concentration of 2% for 5 minutes to obtain a polyimide coated thickness. 55 μm FMCL was obtained. Next, using 10% caustic soda, aluminum was removed by etching to obtain an ultra-thin A-FMCL.

このようにして得たA−FMCLを24×24cmの正方形の基
板に裁断した場合は、TD方向とMD方向ともにポリイミド
層を内側とする曲率半径1.0cmのカールが発生してい
た。
When the A-FMCL thus obtained was cut into a square substrate of 24 × 24 cm, curls having a radius of curvature of 1.0 cm with the polyimide layer inside in both the TD direction and the MD direction were generated.

ポリイミド層の寸法収縮率は0.6%であった。 The dimensional shrinkage of the polyimide layer was 0.6%.

また、ポリイミド層中のピロリドン残存量は0.001%
以下であった。
The residual amount of pyrrolidone in the polyimide layer is 0.001%
It was below.

このA−FMCLの長尺物を24cm巾スリッターにしてスリ
ットしてロールに巻き取った。
This long product of A-FMCL was slit into a slitter of 24 cm width and wound on a roll.

このロールに巻き取ったA−FMCLの一部に第6図に示
されるように、A、B、CおよびDの各点に印を付し、
各点間の距離を測定記録した。
As shown in FIG. 6, a part of the A-FMCL wound on this roll is marked with points A, B, C and D,
The distance between each point was measured and recorded.

A−B、B−D、D−CおよびC−Aは等長であり、
各々23.000cmであった。
AB, BD, DC and CA are isometric;
Each was 23.000 cm.

その後、このロールに巻き取ったA−FMCLを、TD方向
に対し40度の角度として固定されており、断面が厚さ0.
2mm高さ50mmの矩形であり、角部に半径30μmの面取り
が施された工具鋼製の第一のブレードに、銅箔の表面を
接触させつつ導入角30度、誘出角30度にて通過させた。
Thereafter, the A-FMCL wound on this roll is fixed at an angle of 40 degrees with respect to the TD direction, and has a cross section of 0.
It is a rectangle with a height of 2 mm and a height of 50 mm, and the first blade made of tool steel with a chamfer of 30 μm radius at the corner is brought into contact with the surface of the copper foil at an introduction angle of 30 degrees and an extraction angle of 30 degrees Let it pass.

このとき、A−FMCLには進行方向に3kg、即ち、0.125
kg/cm巾の張力が加えられていた。
At this time, the A-FMCL has 3 kg in the traveling direction, that is, 0.125.
A tension of kg / cm width was applied.

この第一のブレード通過後に、TD方向に対し−40度の
角度として固定された高速度鋼製の同一形状の第二のブ
レードに金属層たる銅箔の表面を接触させつつ第一のブ
レードにおけると同様条件下に通過させた。
After passing the first blade, in the first blade while contacting the surface of the copper foil as a metal layer to a second blade of the same shape made of high-speed steel fixed as an angle of -40 degrees with respect to the TD direction And passed under the same conditions.

この二つのブレードの端縁を擦過させる処理を20℃・
湿度50%の環境において3回繰返して再びロールに巻き
取った。
The process of scraping the edges of these two blades is performed at 20 ° C.
The film was repeatedly wound three times in a 50% humidity environment and wound up again.

予め測定記録済の各印間の距離を、再測定したとこ
ろ、22.862cmとなっており、0.6%づつ収縮塑性変形し
ていた。
When the distance between the marks, which had been measured and recorded in advance, was measured again, it was 22.862 cm, and shrinkage plastic deformation by 0.6% was observed.

その後、この印を付されたA−FMCLの銅箔をエッチン
グにより除去して、ポリイミド薄層の寸法収縮率を測定
したところ、0.03%であった。
Then, the copper foil of A-FMCL with this mark was removed by etching, and the dimensional shrinkage of the polyimide thin layer was measured to be 0.03%.

このA−FMCLを1年間、50℃にて保存したが、寸法変
化は全く認められなかった。
This A-FMCL was stored at 50 ° C. for one year, but no dimensional change was observed.

また、保存したA−FMCLのエッチング前後におけるポ
リイミド薄層の寸法収縮率は、0.03%であった。
The dimensional shrinkage of the thin polyimide layer before and after the etching of the stored A-FMCL was 0.03%.

このA−FMCLに常法により配線パターンを描いて薄物
FPCを製作したが、このFPCは全体的にも、機能表面につ
いても、凹凸が非常に少なく、平面性がよいものであっ
た。
Draw a wiring pattern on this A-FMCL by the usual method
The FPC was manufactured, and this FPC had very little unevenness and good flatness both on the whole and on the functional surface.

このFPCを260℃の溶融半田の表面に10秒間浮遊させた
後、常温に戻したが、依然、全面的に非常に凹凸が少な
く良好な平面を保持していた。
After this FPC was floated on the surface of the molten solder at 260 ° C. for 10 seconds, the temperature was returned to normal temperature. However, the entire surface still had very little unevenness and maintained a good flat surface.

〔比較例3〕 第一と第二のブレードの厚さを10mmとし、機能端縁の
曲率半径を5mmとした以外の事項は、全て実施例と同様
とした。
Comparative Example 3 Except that the thicknesses of the first and second blades were 10 mm and the radius of curvature of the functional edge was 5 mm, all items were the same as in the example.

得られたA−FMCLはカールの曲率半径が、15cmとなっ
てカールは大巾に減衰した。
The obtained A-FMCL had a curl with a radius of curvature of 15 cm, and the curl was greatly attenuated.

しかし、実施例2と同様の四点間の距離変化の測定値
は、ブレード擦過処理前が23.040cm、処理後が23.040cm
であった。
However, the measured value of the distance change between the four points as in Example 2 was 23.040 cm before the blade rubbing treatment and 23.040 cm after the treatment.
Met.

即ち、処理の前後の寸法の変化は、実質的に認められ
ず、金属層は全く圧縮塑性変形していなかった。従っ
て、カールの減衰は銅箔の圧縮性変形ではなく、その曲
げ塑性変形により生じたものと推定される。
That is, a change in dimensions before and after the treatment was not substantially observed, and the metal layer was not compression-plastically deformed at all. Therefore, it is presumed that the curl attenuation was not caused by the compressive deformation of the copper foil but caused by its bending plastic deformation.

このA−FMCLのエッチングの前後におけるポリイミド
薄層収縮率は0.6%であり、ブレードによる処理前と同
一であり、収縮率の改善は全くなされていなかった。ま
た、実施例2と同様に配線パターンを描いてFPCとした
が、非常に大きい凹凸があったために、部品の実装と配
線パタンの接続に重大な支障を生じて使用不能であっ
た。
The polyimide thin layer shrinkage ratio before and after the etching of the A-FMCL was 0.6%, which was the same as before the treatment with the blade, and the shrinkage ratio was not improved at all. The wiring pattern was drawn in the same manner as in Example 2 to form an FPC. However, since there were very large irregularities, the mounting of components and the connection of the wiring pattern were seriously hindered, and the FPC could not be used.

〔実施例3〕 市販の厚さ25μmポリイミドフィルム「KAPTON」(商
標)を使用し、スパッタリング法により銅層厚さ4.2μ
mのフレキシブルプラスチック銅張り積層板を得た。
Example 3 A commercially available 25 μm thick polyimide film “KAPTON” (trademark) was used, and the copper layer thickness was 4.2 μm by a sputtering method.
m of a flexible plastic copper-clad laminate.

これを20×20cmの正方形に裁断し放置したところ、MD
方向に銅層を外側としてカールが生じて直径50mmの筒状
物になった。
When this was cut into a square of 20 x 20 cm and left to stand, MD
Curling occurred in the direction with the copper layer as the outer side, resulting in a cylinder having a diameter of 50 mm.

これの銅層をエッチングすることによりポリイミドフ
ィルムとの寸法差を測定したところ、MD方向0.14%、TD
方向0.09%であり、いずれも銅層の方が長かった。
The dimensional difference from the polyimide film was measured by etching this copper layer.
The direction was 0.09%, and the copper layer was longer in each case.

この極薄A−FMCLの長尺物を、25cm巾にスリットして
ロール状に巻き取った。
The long object of this ultra-thin A-FMCL was slit into a width of 25 cm and wound into a roll.

実施例2と同一装置を使用して、張力1.5kgを付加し
つつ、二つのブレードを通過させた。
Using the same apparatus as in Example 2, it was passed through two blades while applying a tension of 1.5 kg.

銅層側で寸法を測定したところ、MD方向に0.13%、TD
方向に0.08%、圧縮塑性変形していた。
When the dimensions were measured on the copper layer side, 0.13% in the MD direction, TD
The compression plastic deformation was 0.08% in the direction.

銅箔をエッチングにより除去して、ポリイミド層の寸
法収縮を測定した。
The copper foil was removed by etching, and the dimensional shrinkage of the polyimide layer was measured.

エッチング前の積層板寸法を基準としてMD、TDいずれ
も0.01%であった。
Both MD and TD were 0.01% based on the dimensions of the laminate before etching.

このA−FMCLに配線パターンを常法により描いて薄物
FPCを製作したが、このFPCは全体的にも、機能表面につ
いても、凹凸が非常に少なく、平面性がよいものであっ
た。
Draw a wiring pattern on this A-FMCL by the usual method
The FPC was manufactured, and this FPC had very little unevenness and good flatness both on the whole and on the functional surface.

〔実施例4〕 厚さ25μmの市販ポリイミドフィルム「KAPTON」に、
まず無電解メッキにより、厚さ0.3μmの銅層を付着さ
せ、更にその上に電解メッキにより銅層を析出させて、
銅層の総厚を8μmにした。このA−FMCLを放置したと
ころ銅層を外側にしてカールした。
Example 4 Commercially available polyimide film “KAPTON” having a thickness of 25 μm
First, a 0.3μm thick copper layer is deposited by electroless plating, and then a copper layer is deposited by electrolytic plating on it,
The total thickness of the copper layer was 8 μm. When this A-FMCL was left, it was curled with the copper layer facing outward.

これをエッチングすることにより、銅層を除去したと
ころ、MD方向の寸法収縮は6.7%、TD方向の寸法収縮率
は8.2%であった。いずれも銅層の方が長かった。この
A−FMCLを実施例2と同様にして二つのブレードを通過
させた。
When the copper layer was removed by etching this, the dimensional shrinkage in the MD direction was 6.7%, and the dimensional shrinkage ratio in the TD direction was 8.2%. In each case, the copper layer was longer. This A-FMCL was passed through two blades in the same manner as in Example 2.

擦過中に付加された張力は3kgであった。 The tension applied during rubbing was 3 kg.

銅層側で寸法を測定したところ、MD方向に6.7%TD方
向に8.2%圧縮塑性変形させられていた。銅箔をエッチ
ングにより除去して、ポリイミド層の寸法収縮を測定し
た。
When the dimensions were measured on the copper layer side, it was found to be 6.7% in the MD direction and 8.2% compression plastic deformation in the TD direction. The copper foil was removed by etching, and the dimensional shrinkage of the polyimide layer was measured.

エッチング前の積層板寸法を基準としてMD、TDともに
0.02%であった。
Both MD and TD based on the dimensions of the laminate before etching
0.02%.

このA−FMCLに配線パターンを常法により描いて薄物
FPCを製作したが、このFPCは全体的にも、機能表面につ
いても、凹凸が非常に少なく、平面性がよいものであっ
た。
Draw a wiring pattern on this A-FMCL by the usual method
The FPC was manufactured, and this FPC had very little unevenness and good flatness both on the whole and on the functional surface.

〔比較例4〕 実施例4同様にポリイミド層・銅箔のA−FMCLを製作
した。このA−FMCLを外径55mmのSUS製管の管壁外面に
ポリイミド薄層を外側として巻き付けてオートクレーブ
中に挿入し、A−FMCLの1m2当り6gのN−メチルピロリ
ドンを注入して、150℃にて72時間の熱処理を行った。
Comparative Example 4 An A-FMCL of a polyimide layer / copper foil was produced in the same manner as in Example 4. The A-FMCL by winding a thin polyimide layer as an outer insert into the autoclave in the tube wall outer surface of a SUS tube having an outer diameter of 55 mm, by implanting N- methylpyrrolidone 1 m 2 per 6g of A-FMCL, 0.99 Heat treatment was performed at 72 ° C. for 72 hours.

得られたA−FMCLのカールの曲率半径は、7cmとなっ
ていた。
The curl radius of curvature of the obtained A-FMCL was 7 cm.

また、熱処理後のプラスチック薄層に残存したN−メ
チルピロリドン量は1.2%であった。
The amount of N-methylpyrrolidone remaining in the plastic thin layer after the heat treatment was 1.2%.

実施例2と同様に、四点間の寸法を測定して、高温溶
剤処理前の変化を検査したが、全く変化がなかった。
As in Example 2, the dimension between the four points was measured and the change before the high-temperature solvent treatment was examined, but no change was observed.

また、エッチング前後のポリイミドの収縮率は0.3%
であった。
The shrinkage of polyimide before and after etching is 0.3%
Met.

更に、実施例2と同様に配線パターンを描いてFPCと
したが、非常に大きい凹凸があるために実用性はないこ
とが確認された。
Further, a wiring pattern was drawn as in Example 2 to form an FPC. However, it was confirmed that the FPC was not practical because of very large irregularities.

この比較例のA−FMCLを260℃の溶融半田に30秒間浮
遊させた後、常温に戻したところ、カールの曲率半径は
1.8cmまで小さくなり、カールがより強くなった。
When the A-FMCL of this comparative example was floated on molten solder at 260 ° C. for 30 seconds and then returned to room temperature, the radius of curvature of the curl was
It became smaller to 1.8cm and the curl became stronger.

残存N−メチルピロリドン量を測定したところ0.4%
に減少していた。
When the amount of residual N-methylpyrrolidone was measured, it was 0.4%.
Was decreasing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は発明の積層体を製作する処理の一方法の原理を
説明する平面図であり、第2図,第3図は第1図の処理
に当ってFMCLに発生する応力を示す縦断面模式図であ
り、第4図は第一と第二の処理において機能するブレー
ドの配置角度の説明用の平面図であり、第5図、第6図
は機能ブレードへの導入角度と誘出角度を示す端面略図
であり、第7図は収縮応力と収縮量の関係を示すグラフ
であり、第8図は試験のための距離測定基準点の配置説
明図である。
FIG. 1 is a plan view for explaining the principle of one method of manufacturing a laminate according to the present invention. FIGS. 2 and 3 are longitudinal sectional views showing stresses generated in FMCL in the process of FIG. FIG. 4 is a schematic view, FIG. 4 is a plan view for explaining an arrangement angle of a blade functioning in the first and second processes, and FIGS. 5 and 6 are an introduction angle and an extraction angle to a functional blade. 7 is a graph showing the relationship between the shrinkage stress and the amount of shrinkage, and FIG. 8 is an explanatory view of the arrangement of distance measurement reference points for a test.

フロントページの続き (72)発明者 芳田 俊爾 神奈川県横浜市栄区飯島町2882―3―29 (72)発明者 田辺 健二 神奈川県横浜市南区永田東1―15―38 (56)参考文献 特開 昭57−66690(JP,A) 特開 昭54−111673(JP,A) 特開 昭55−160489(JP,A)Continued on the front page (72) Inventor Shunji Yoshida 2882-3-29 Iijimacho, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (72) Inventor Kenji Tanabe 1-1-15-38, Nagatahigashi, Minami-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture (56) References Special JP-A-57-66690 (JP, A) JP-A-54-111673 (JP, A) JP-A-55-160489 (JP, A)

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属層とプラスチック層が、積層されてい
るフレキシブル積層板において、該金属層が曲率半径が
0.5mmより小さい端縁曲面を有するブレードの端縁に該
金属層を接触させ緊張下に通過させて、0.01〜8.2%圧
縮塑性変形させられたものであることを特徴とするフレ
キシブル金属プラスチック積層板。
1. A flexible laminate in which a metal layer and a plastic layer are laminated, wherein the metal layer has a radius of curvature.
Flexible metal plastic laminate characterized in that the metal layer is brought into contact with the edge of a blade having an edge curved surface of less than 0.5 mm under tension and subjected to compression plastic deformation of 0.01 to 8.2%. .
【請求項2】積層板の金属層部が全面的にエッチングさ
れたとき、金属層部が圧縮塑性変形させられていること
によりプラスチック層の収縮率がエッチング前の該積層
板の寸法を基準として、±0.3%以下となっている請求
項1記載の積層板。
2. When the metal layer portion of the laminate is entirely etched, the metal layer portion is subjected to compression plastic deformation, so that the shrinkage of the plastic layer is based on the dimensions of the laminate before etching. The laminate according to claim 1, wherein the thickness is ± 0.3% or less.
【請求項3】金属層が、銅、アルミニウム、ニッケル、
金、銀、あるいはこれらを含む合金製である請求項1記
載の積層板。
3. The method according to claim 1, wherein the metal layer is made of copper, aluminum, nickel,
The laminate according to claim 1, wherein the laminate is made of gold, silver, or an alloy containing these.
【請求項4】金属層の厚さが0.05μm〜100μmの範囲
内にある請求項1記載の積層板。
4. The laminate according to claim 1, wherein the thickness of the metal layer is in the range of 0.05 μm to 100 μm.
【請求項5】プラスチック層の厚さが1μm〜200μm
の範囲内にある請求項1記載の積層板。
5. The plastic layer has a thickness of 1 μm to 200 μm.
The laminate according to claim 1, wherein
【請求項6】プラスチック層が複数種類の層からなる請
求項1記載の積層板。
6. The laminate according to claim 1, wherein the plastic layer comprises a plurality of types of layers.
【請求項7】プラスチック層がポリイミド、ポリアラミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエステル、ポリ四弗化エチ
レンまたはそれら複数種類の層からなる請求項1記載の
積層板。
7. The laminate according to claim 1, wherein the plastic layer comprises a layer of polyimide, polyaramid, polyamideimide, polyester, polytetrafluoroethylene or a plurality of these layers.
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