JP2621880B2 - Flexible metal plastic laminate - Google Patents

Flexible metal plastic laminate

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JP2621880B2
JP2621880B2 JP62238870A JP23887087A JP2621880B2 JP 2621880 B2 JP2621880 B2 JP 2621880B2 JP 62238870 A JP62238870 A JP 62238870A JP 23887087 A JP23887087 A JP 23887087A JP 2621880 B2 JP2621880 B2 JP 2621880B2
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plastic
thin film
metal foil
laminate
fmcl
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拓志 佐藤
守次 森田
秀介 山中
俊爾 芳田
健二 田辺
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三井東圧化学株式会社
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    • H05K3/381Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the substrate

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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は金属箔上に接着剤を介さずに直接形成した
プラスチック薄膜を有するフレキシブル金属プラスチッ
ク積層板において、層間寸法差が非常に小さく、有機重
合体薄膜中の溶剤含有量が非常に少なく、また、プラス
チック薄膜と金属薄膜との室温における90度ピール接着
強度が大きく柔軟性に富み、加工性に優れた積層板に関
する。
The present invention relates to a flexible metal-plastic laminate having a plastic thin film directly formed on a metal foil without using an adhesive, and has a very small interlayer dimensional difference and an organic The present invention relates to a laminate having a very low solvent content in a polymer thin film, a large 90 ° peel adhesive strength at room temperature between a plastic thin film and a metal thin film, high flexibility, and excellent workability.

[従来の技術] フレキシブル金属プラスチック積層板(FMCL=Flexib
le Metal Clad Laminate)は、包装材料、フレキシブル
プリント回路基板、電磁波シールド用被覆材その他、金
属とプラスチック両者の特徴が綜合的に活用された素材
として大量使用され、使用される金属、プラスチックも
種々のものが使用されている。
[Conventional technology] Flexible metal plastic laminate (FMCL = Flexib
le Metal Clad Laminate) is used in large quantities as a packaging material, flexible printed circuit board, covering material for electromagnetic wave shielding, and other materials that make full use of the characteristics of both metals and plastics. Things are used.

これらFMCLの中で接着材を介することなく積層された
FMCLは、プラスチック薄膜の優れた特性が生かされる筈
であるが、現実にはその特性が充分に活用されていな
い。この原因としては積層の接着強度が低く用途に不適
当であること、または加工性が不良であることなどであ
る。
Laminated in these FMCL without any intervening adhesive
FMCL should take advantage of the excellent properties of plastic thin films, but in reality their properties have not been fully utilized. This may be due to the low adhesive strength of the laminate, making it unsuitable for use, or poor workability.

プラスチック薄膜の優れた特性が活用されるために
は、これらFMCLは、その加工手段と用途のために金属箔
とプラスチック層各々の寸法が、相互に適当する範囲内
にあることが必要であり、更に、プラスチック中に含ま
れる溶剤量は、ある一定量以下であることが必要であ
り、加えて金属箔とプラスチック層の90度ピール接着強
度も一定値以上であるという三要件を併有することが必
要である。これらのことにつき以下に説明する。
In order to take advantage of the excellent properties of plastic thin films, these FMCLs require that the dimensions of the metal foil and the plastic layer be within the appropriate range for each other due to the processing means and application. Furthermore, the amount of the solvent contained in the plastic is required to be not more than a certain amount, and in addition to the three requirements that the 90-degree peel adhesion strength between the metal foil and the plastic layer is not less than a certain value. is necessary. These will be described below.

金属箔上に直接形成したプラスチック薄膜を有するFM
CLは金属とプラスチックの熱膨張率の相違あるいは引張
強度、圧縮強度、弾性率の相違などに起因し、両者間の
寸法差は適当範囲外となっており、しかも、その寸法差
を可能な限り緩和するために、しばしば、プラスチック
薄膜中に溶剤を残すか、後に含ませることなどを行うた
めに溶剤が、その後の工程において悪影響をおよぼす程
度に含まれている。そのために、これらのFMCLは加工
上、有害なカールを生じたり、金属箔のエッチング加工
によるパターン形成後に皺を生じたりするなど多くの問
題を抱えている。
FM with plastic thin film formed directly on metal foil
CL is caused by differences in the coefficient of thermal expansion between metals and plastics, or differences in tensile strength, compressive strength, and elastic modulus, etc., and the dimensional difference between the two is out of the appropriate range. In order to alleviate the problem, the solvent is often contained in the plastic thin film so that the solvent is adversely affected in the subsequent steps, for example, in order to leave or include the solvent later. For this reason, these FMCLs have many problems such as harmful curl in processing and wrinkling after pattern formation by etching of metal foil.

そのため種々の欠点を有する接着剤を省略してプラス
チックフィルムの特長を活用しているにも拘らず限られ
た用途にのみ使用されるか、使用された場合も当業者は
その加工に難渋している。
Therefore, despite the fact that adhesives having various disadvantages are omitted and the features of plastic films are utilized, they are used only for limited applications, or even if they are used, those skilled in the art will find it difficult to process them. I have.

プラスチック薄膜寸法は、特殊製法では長大である場
合もあるが、多くの場合、金属箔のそれに比較して短小
である。ここにいう寸法差はFMCLを構成している各層そ
れぞれに仮に応力が発生しない方法によって単独化され
る場合には測定され得る。
The plastic thin film size may be long in a special manufacturing method, but is often short in comparison with that of a metal foil. The dimensional difference referred to here can be measured when each layer constituting the FMCL is singulated by a method in which no stress is generated.

応力が新たに発生しない方法による各層全ての単独化
が通常困難であるために、実質的に応力が新たに発生し
ないと見てよく、極く良好な近似値の寸法差として、FM
CLである状態の寸法を測定して、その測定値を金属箔の
寸法(これはエッチング前のプラスチック薄膜の寸法に
等しい)とし、次いで、プラスチック薄膜に影響を与え
ない薬剤を使用するエッチングにより金属箔を除去し
て、プラスチック層を単独化して、寸法を測定してプラ
スチック薄膜寸法と見なすことにより両者間の寸法差
(これは、エッチング前後のプラスチックの寸法差に等
しい)を求めている。
Since it is usually difficult to singulate all the layers by a method in which no new stress is generated, it can be seen that substantially no new stress is generated.
Measure the dimensions while in the CL state, take the measurements as the dimensions of the metal foil (which is equal to the dimensions of the plastic film before etching), and then etch the metal using an agent that does not affect the plastic film. The foil is removed, the plastic layer is singulated, the dimensions are measured and taken as the plastic thin film dimensions to determine the dimensional difference between them (which is equal to the plastic dimensional difference before and after etching).

なお、エッチング前後のプラスチックの収縮率は次の
式で表わされる。
The shrinkage ratio of the plastic before and after the etching is represented by the following equation.

収縮率={(エッチング前プラスチック寸法−エッチン
グ後プラスチック寸法)/エッチング前プラスチック寸
法}×100 プラスチック薄膜の寸法収縮が大きいことによる悪影
響は大別して次の二つである。
Shrinkage = {(Plastic dimension before etching−Plastic dimension after etching) / Plastic dimension before etching} × 100 The adverse effects due to large dimensional contraction of the plastic thin film are roughly classified into the following two.

a)FMCLがプラスチック薄膜を内側あるいは外側にして
カールしており、このカールを抑制しFMCLを展開して行
う打抜き、裁断、金属箔へのパターン賦与、貼付、重
畳、その他の処理が甚だ困難となっている。
a) The FMCL is curled with the plastic thin film inside or outside, and it is extremely difficult to punch, cut, apply a pattern to metal foil, attach, superimpose, and perform other processing by developing this FMCL while suppressing this curl. Has become.

b)フレキシブルプリント配線板(FPC=Flexible Prin
ted Circuit)が代表的であるが、精密回路パターン
が、エッチングレジストインクを以て描かれ、次いでエ
ッチングされ、金属箔が部分的に残存させられる場合
に、金属箔が残る部分と残らない部分との間に寸法差が
生じて全面的な皺が生じる。そのためにパターン上の点
間の相対的位置関係は変化し、部品の装着または他のパ
ターンとの接続に必要な精度は欠如し、その外観は見苦
しいものとなっている。
b) Flexible printed wiring board (FPC = Flexible Prin
ted Circuit) is typical, but when a precise circuit pattern is drawn with an etching resist ink and then etched, and the metal foil is partially left, the portion between the portion where the metal foil remains and the portion where it does not remain is Causes a dimensional difference, which causes an overall wrinkle. As a result, the relative positional relationship between points on the pattern changes, the precision required for mounting components or connecting to other patterns is lacking, and the appearance is unsightly.

プラスチック薄膜寸法が金属箔のそれに比較して一定
の寸法以上、短小または長大である場合は、実用性は殆
どないとも云える。その限界は一般的には±0.3%より
小さいものであり、好ましくは±0.1%以下である。ま
た、プラスチック薄膜中に含まれる溶剤は、上記寸法を
減少させる方向にある場合が多いがFMCLの加工上は悪影
響が多い。
If the plastic thin film dimension is more than a certain dimension compared to that of the metal foil, shorter or longer, it can be said that there is little practicality. The limit is generally less than ± 0.3%, preferably less than ± 0.1%. In addition, the solvent contained in the plastic thin film often tends to reduce the above dimensions, but has a large adverse effect on the FMCL processing.

その悪影響は、溶剤がプラスチック薄膜中に固定され
ているのではないために、経時的に逃散する傾向にあっ
て、特に100℃以上の高温では、その速度が大きく、溶
剤の逃散がプラスチック層の寸法収縮を招くことであ
る。
The adverse effect is that the solvent tends to escape over time because the solvent is not fixed in the plastic thin film. This is to cause dimensional shrinkage.

特に、FPC(Flexible Printed Circuit)に応用さ
れ、260℃の半田槽に浮游させられる場合などは、多く
の場合、急速に溶剤が逃散して、プラスチック層の収縮
を招く。甚だしい場合にはプラスチックフィルム層に発
泡を生じることもあり、皺の発生もあるという欠点があ
る。
In particular, when applied to an FPC (Flexible Printed Circuit) and floated in a solder bath at 260 ° C., in many cases, the solvent rapidly escapes and the plastic layer shrinks. In severe cases, there is a disadvantage that foaming may occur in the plastic film layer and wrinkles may occur.

そのため、長期的な寸法の安定、または熱処理がある
加工時の寸法安定を考慮すれば、プラスチック層が含む
溶剤は0.2%未満か、好ましくは0.1%以下であり、より
好ましくは0.05%以下である。更に、金属箔とプラスチ
ック層との室温における90度ピール接着強度は、FMCLの
繰り返し折り曲げ時の層間剥離の防止、またはエッチン
グ加工によって形成された金属箔パターンのプラスチッ
ク層からの剥離の防止のために必要であり、強力であれ
ばある程、好ましい。その下限は当業界では0.7kg/cmと
されている。
Therefore, considering long-term dimensional stability or dimensional stability during processing with heat treatment, the solvent contained in the plastic layer is less than 0.2%, preferably 0.1% or less, more preferably 0.05% or less. . Furthermore, the 90-degree peel adhesive strength between the metal foil and the plastic layer at room temperature is used to prevent delamination during repeated bending of the FMCL or to prevent the metal foil pattern formed by etching from peeling from the plastic layer. Necessary and the stronger, the better. The lower limit is 0.7 kg / cm in the industry.

以上のことから、プラスチック薄膜の収縮率が±0.3
%より小さく、しかもプラスチック薄膜に含まれる溶剤
量は0.2%より小さく、金属箔とプラスチック薄膜との9
0度ピール接着強度が、0.7kg/cm以上であるという三要
件を併有することが必須であることが理解できるであろ
う。このようなFMCLは加工性が優れるために前記の多く
の用途において容易に加工されて使用され得る。
From the above, the shrinkage rate of the plastic thin film is ± 0.3
% And the amount of solvent contained in the plastic thin film is less than 0.2%.
It will be understood that it is essential to have the three requirements that the 0 degree peel adhesive strength is 0.7 kg / cm or more. Such FMCL can be easily processed and used in many of the above applications because of its excellent workability.

しかしながら、接着剤を介することなく直接形成した
FMCLでは、これら特性を全て充足すべく多くの試みがな
されているが、上記三要件を同時に充足することは極め
て困難であり、従来は実現されていない。金属箔とプラ
スチック薄膜の寸法差が±0.3%以上の場合は、FMCLに
とって前述のように好ましくなく、用途によっては致命
的な欠点であるため、従来から種々の対策が採られたFM
CLがある。その対策として特開昭56−23791では、プラ
スチック薄膜に溶剤を0.2〜2%吸収させて膨潤させる
ことにより、その寸法を金属箔の寸法に接近させてい
る。
However, it was formed directly without using an adhesive
Many attempts have been made in FMCL to satisfy all of these characteristics, but it is extremely difficult to satisfy the above three requirements at the same time, and it has not been realized conventionally. If the dimensional difference between the metal foil and the plastic thin film is ± 0.3% or more, it is not preferable for the FMCL as described above, and it is a fatal defect in some applications.
There is a CL. As a countermeasure, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-23791 discloses a method in which a plastic thin film is swollen by absorbing 0.2 to 2% of a solvent so that the size of the plastic thin film is close to that of a metal foil.

しかし、この方法は寸法差を減少させる効果はある
が、前述のように溶剤がプラスチックに含有されてしま
うことによる副作用のためにFMCLとして実用的とは言い
難い。しかも、その実施例にあるように、寸法差も0.3
%以上までのみの改善であり、この点からもFMCLとして
実用的とは言い難い。また、特開昭59−22388、同59−2
2389が示す通り、カールに逆向する曲げ塑性変形を金属
箔に与えることにより、金属箔とプラスチック薄膜の寸
法差に基くカール形成の原因の応力と均衡させてカール
を解消しようとする単純なカールの除去法がある。この
場合、金属箔の寸法は処理の前後において実質上変化が
ない。
However, although this method has an effect of reducing the dimensional difference, it is hardly practical as an FMCL because of the side effect caused by the inclusion of the solvent in the plastic as described above. Moreover, as in the embodiment, the dimensional difference is 0.3
%, Which is not practical for FMCL. In addition, JP-A-59-22388 and 59-2
As shown by 2389, by applying bending plastic deformation to the metal foil in the opposite direction to the curl, a simple curl that tries to eliminate the curl by balancing with the stress causing the curl formation based on the dimensional difference between the metal foil and the plastic thin film There is a removal method. In this case, the dimensions of the metal foil do not change substantially before and after the treatment.

この方法により処理されたFMCLはプラスチック薄膜寸
法が短小であることによる前記の悪影響のa)のみが、
外見的に一時的に解決されているに過ぎず、熱履歴を経
れば、現状に復帰する欠点があり、悪影響のb)につい
てはプラスチック薄膜と金属箔の寸法差が処理前同様で
あることにより改善は本質的に全く生じ得ていない欠点
がある。
FMCL treated by this method has only the above-mentioned adverse effects a) due to the small size of the plastic thin film,
It is only temporarily resolved in appearance, and has the disadvantage of returning to the current state after passing through the heat history. Regarding adverse effect b), the dimensional difference between the plastic thin film and the metal foil is the same as before the treatment Has the disadvantage that essentially no improvement can occur.

また、プラスチック薄膜を選択的に延伸させて金属箔
の寸法に接近させようとする試みが幾つか行われてい
る。例えば、プラスチック薄膜を外側として巻いて、高
温に長時間保持してプラスチック薄膜が延伸された状態
にしてアニーリングすることにより、寸法差を縮小する
方法が特開昭54−108272、同54−111673などにより提案
されているが、常温への冷却の際に金属とプラスチック
の熱膨張率の相違により再度プラスチック薄膜が収縮す
るために、殆ど寸法差は解消しないという欠点がある。
また、プラスチックと金属の熱膨張率の差異を小さく
し、高温でのプラスチック薄膜と金属箔の積層後、室温
に冷却する際の熱膨張率による寸法差を減少しようとす
る試みが、特開昭60−157286、同60−210894などに提案
されている。しかしながら、記載はないが、推定とし
て、寸法差が仮に達成できるとすれば、ポリアミド酸ワ
ニスからの溶剤揮散に伴う乾燥収縮、あるいはイミド化
反応に伴う硬化収縮の問題を考慮する必要があり、熱膨
張率の差異(プラスチックの熱膨張率−金属の熱膨張率
により表示)は−1.0〜0.4×10-5/℃が必要と考えられ
る。
Some attempts have been made to selectively stretch the plastic thin film to approximate the dimensions of the metal foil. For example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 54-108272 and 54-111673 disclose a method of reducing the dimensional difference by winding the plastic thin film on the outside and holding it at a high temperature for a long time and annealing the plastic thin film in a stretched state. However, since the plastic thin film contracts again due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal and the plastic during cooling to room temperature, there is a disadvantage that the dimensional difference hardly disappears.
Also, an attempt to reduce the difference in the coefficient of thermal expansion between plastic and metal and to reduce the dimensional difference due to the coefficient of thermal expansion when cooling to room temperature after laminating the plastic thin film and metal foil at a high temperature has been made. 60-157286 and 60-210894. However, although not described, it is presumed that if the dimensional difference can be achieved, it is necessary to consider the problem of drying shrinkage due to volatilization of the solvent from the polyamic acid varnish or curing shrinkage due to the imidization reaction. It is considered that the difference in the coefficient of expansion (expressed by the coefficient of thermal expansion of plastic minus the coefficient of thermal expansion of metal) is required to be -1.0 to 0.4 × 10 −5 / ° C.

この場合、プラスチック全体の熱膨張率が金属のそれ
に近付くかそれ以下になる結果、フィルムの剛性が高く
なり過ぎ(一般に400kg/mm2以上の引張弾性率とな
る)、FMCLとして好ましい柔軟性がなくなってしまう欠
点があり、更に、剛性が高くなった結果として、フィル
ムと金属箔との室温における90度ピール接着強度が低下
してFMCLとして一般に必要な0.7kg/cmよりも低くなって
しまうという欠点がある。そのために、金属箔とプラス
チック薄膜の寸法差を減少させるため、熱膨張率の低い
プラスチックのみを使用して得たFMCLは実用性に欠ける
と考えられる。
In this case, the coefficient of thermal expansion of the entire plastic is close to or lower than that of metal, resulting in a film having too high rigidity (generally having a tensile modulus of 400 kg / mm 2 or more), and loses the flexibility desirable for FMCL. In addition, as a result of the increased rigidity, the 90 ° peel adhesion strength between the film and the metal foil at room temperature is reduced, and it is lower than the 0.7 kg / cm generally required for FMCL. There is. To reduce the dimensional difference between the metal foil and the plastic thin film, it is considered that FMCL obtained by using only a plastic having a low coefficient of thermal expansion lacks practicality.

[発明が解決しようとする問題点] この発明の目的は、長尺の金属箔上に接着剤を介する
ことなく直接形成したプラスチック薄層を有するFMCLに
おいて、金属箔とプラスチック薄膜の寸法差が±0.3%
より小さく、薄膜中の溶剤含有量が0.2%より小さく、
しかも、金属箔とプラスチック薄膜との室温の90度ピー
ル接着強度が0.7kg/cm以上であり、柔軟性に富み加工性
に優れたFMCLを提供することにある。
[Problems to be Solved by the Invention] An object of the present invention is to provide a FMCL having a plastic thin layer directly formed on a long metal foil without using an adhesive, in which the dimensional difference between the metal foil and the plastic thin film is ± 0.3%
Smaller, the solvent content in the thin film is less than 0.2%,
In addition, it is an object of the present invention to provide an FMCL which has a 90 ° peel adhesive strength between a metal foil and a plastic thin film at room temperature of 0.7 kg / cm or more and is excellent in flexibility and processability.

[問題点を解決するための手段] この発明は、金属箔上に接着剤を介することなく直接
形成した一層以上からなり溶剤含有量が0.2%より小さ
いプラスチック薄膜を有するFMCLにおいて金属箔を圧縮
あるいは/および延伸塑性変形させることにより、プラ
スチック薄膜の収縮率を±0.3%より小さくする方法
(以下、方法の1という)、あるいはプラスチック薄膜
層全体の溶剤含有量が0.2%より小さく平均熱線膨張係
数が金属のそれよりも(−1.0〜+0.4)×10-5/℃の範
囲内において大きく、これに加えて、少なくとも金属箔
に接するプラスチックの室温における引張り弾性率が10
0〜400kg/mm2であり、かつ引張り伸び率が40〜200%で
ある二層以上からなるプラスチックフィルム層を与える
方法(以下方法の2という)により得られたFMCLなどに
より達成できる。なお。プラスチック中の溶剤含有量を
0.2%より小さくするためには、200℃以上の温度に必要
時間滞留させ溶剤を除去することにより得られる。ある
いは、溶剤を含まない熱可塑性樹脂を金属箔上に押出し
て成形することによって得られる。
[Means for Solving the Problems] The present invention relates to a method for compressing or compressing a metal foil in an FMCL having a plastic thin film composed of one or more layers directly formed on a metal foil without using an adhesive and having a solvent content of less than 0.2%. And / or stretching plastic deformation to reduce the shrinkage of the plastic thin film to less than ± 0.3% (hereinafter referred to as method 1), or the solvent content of the entire plastic thin film layer is less than 0.2% and the average linear thermal expansion coefficient is It is larger than that of metal in the range of (−1.0 to +0.4) × 10 −5 / ° C., and in addition, at least the tensile modulus at room temperature of the plastic in contact with the metal foil is 10%.
It can be achieved by FMCL obtained by a method of providing a plastic film layer comprising two or more layers having a tensile elongation of 0 to 400 kg / mm 2 and a tensile elongation of 40 to 200% (hereinafter referred to as method 2). In addition. Solvent content in plastic
In order to make it smaller than 0.2%, it is obtained by staying at a temperature of 200 ° C. or more for a necessary time and removing the solvent. Alternatively, it can be obtained by extruding and molding a thermoplastic resin containing no solvent onto a metal foil.

これらのFMCLに使用されるプラスチックと金属は種々
の材料の組合せが可能である。
Various materials can be used for the plastics and metals used in these FMCLs.

プラスチックとしては、特に限定はしないが、ポリイ
ミド、ポリアミドイミド、ポリエステル、ポリアミド、
ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケト
ン、ポリプロピレン、架橋型ポリエチレン、ポリパラバ
ン酸、ポリフロロエチレンなどが使用される。特にFPC
としては、耐熱性が必要なため、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、芳香族ポリエステル、ポリフロロエチレンポ
リパラバン酸が使用される。プラスチック薄膜厚さは好
ましくは5〜100μm程度である。
As the plastic, although not particularly limited, polyimide, polyamide imide, polyester, polyamide,
Polyether sulfone, polyether ether ketone, polypropylene, crosslinked polyethylene, polyparabanic acid, polyfluoroethylene, and the like are used. Especially FPC
Since heat resistance is required, polyimide, polyamide imide, aromatic polyester, and polyfluoroethylene polyparabanic acid are used. The thickness of the plastic thin film is preferably about 5 to 100 μm.

また、金属箔としては、好ましくは銅、アルミニウ
ム、金、銀、ニッケル、これらを含む合金、その他の合
金であり、特に好ましくは、銅およびまたはアルミニウ
ムからなる。
The metal foil is preferably copper, aluminum, gold, silver, nickel, alloys containing these, or other alloys, and particularly preferably made of copper and / or aluminum.

金属箔の厚さは、好ましくは5〜100μm程度であ
る。
The thickness of the metal foil is preferably about 5 to 100 μm.

好ましい機械的特性としては、プラスチックは引張り
弾性率が、室温において100kg/mm2以上であり、変形量1
0%以下にて、塑性変形を受け難いことが挙げられ、金
属は引張り弾性率が10,000kg/mm2以下、好ましくは5,00
0kg/mm2以下であり、変形量数%以下において塑性変形
が始まり、塑性変形領域における引張り弾性率がプラス
チックの5倍以下であることが挙げられる。
Preferred mechanical properties, plastics tensile modulus, and a 100 kg / mm 2 or more at room temperature, the amount of deformation 1
At 0% or less, it is difficult to undergo plastic deformation, and the metal has a tensile modulus of 10,000 kg / mm 2 or less, preferably 5,000 or less.
It is 0 kg / mm 2 or less, and plastic deformation starts when the amount of deformation is several percent or less, and the tensile elastic modulus in the plastic deformation region is 5 times or less that of plastic.

この発明における金属箔上に接着剤を介さずに直接形
成した一層以上からなるプラスチック薄膜を有するFMCL
は、一般に、以下のようにして製造されるが、これに特
に限定されるものではない。
FMCL having a plastic thin film composed of one or more layers directly formed on a metal foil without an adhesive in the present invention
Is generally produced as follows, but is not limited thereto.

ポリマーを溶剤中で合成するか、溶剤に溶解させる
か、あるいはポリマーの前駆体を溶剤中で合成するか、
溶剤に溶解させる。
Whether the polymer is synthesized in the solvent, dissolved in the solvent, or the precursor of the polymer is synthesized in the solvent,
Dissolve in solvent.

これらの方法で得たワニスを金属箔上に塗布し適当な
温度に保持して乾燥し、必要に応じて加熱硬化反応を行
うとともに溶剤含有量を0.2%より小さくする。ワニス
の塗布は、乾燥、硬化後の薄膜の厚さが、好ましくは5
〜100μm、更に好ましくは10〜50μm程度になるよう
に調節して行う。膜厚が大きい場合は、ワニスの塗布乾
燥硬化を繰り返してよい。
The varnish obtained by these methods is applied on a metal foil, dried at an appropriate temperature, and, if necessary, a heat-curing reaction is performed, and the solvent content is reduced to less than 0.2%. When the varnish is applied, the thickness of the thin film after drying and curing is preferably 5
100100 μm, more preferably about 10-50 μm. When the film thickness is large, the application and drying and curing of the varnish may be repeated.

このような方法以外に、プラスチックの溶融物を金属
箔の上に押出成形することによっても製造され得る。
In addition to such a method, it can also be produced by extruding a melt of plastic on a metal foil.

方法の2で所望のFMCLを得る場合は、第一層目として
引張り弾性率が100〜400kg/mm2であり、かつ引張り伸び
率が、40〜200%であるようなポリマーのワニス、また
はその前駆体のワニスをまず始めに金属箔に塗布し、直
ちに二層目以後のワニスを塗布するか、始めのワニスを
乾燥(溶剤含有量1%以上)させた後、二層目以後のワ
ニスを塗布するなどの方法で得られる。
When the desired FMCL is obtained by Method 2, a polymer varnish having a tensile modulus of 100 to 400 kg / mm 2 and a tensile elongation of 40 to 200% as a first layer, or a varnish thereof. First, apply the varnish of the precursor to the metal foil and immediately apply the varnish of the second layer or later, or dry the first varnish (solvent content is 1% or more). It is obtained by a method such as coating.

第一層目を塗布する理由は、第二層目以後のポリマー
は前述のように金属箔への接着力が低いために、直接金
属箔に塗布することが適切でないためであり、第一層の
目的は、接着剤のようにプラスチック層の特性を損なう
ことなく、金属と第二層目以後のポリマーの結着の橋渡
しをするためである。しかも、第二層目以降のポリマー
は、一般に剛性が高過ぎるため、FMCLとしては柔軟性に
欠ける傾向がある。第一層に引張り弾性率の低いポリマ
ーを使用することにより柔軟性を増長させることができ
る。
The reason for applying the first layer is that the polymer after the second layer has a low adhesive force to the metal foil as described above, so that it is not appropriate to apply the polymer directly to the metal foil. The purpose of is to bridge the bond between the metal and the polymer after the second layer without impairing the properties of the plastic layer like an adhesive. Moreover, the polymers in the second and subsequent layers generally have too high rigidity, and thus tend to lack flexibility as an FMCL. The flexibility can be increased by using a polymer having a low tensile modulus in the first layer.

溶剤乾燥後の第一層のポリマーの厚さは、溶剤乾燥後
の第二層以降のポリマーの厚さの合計の1/3以下が好ま
しく、特に好ましくは1/5以下である。その理由は、ポ
リマー層の間に厚さの方向において熱線膨張率に差異が
あれば、金属箔をエッチング除去後のプラスチック薄膜
にカールを生じてしまうためであり、1/3以下にするこ
とは、それを軽減するか、実質的に避けることのためで
ある。即ち、第二層以降はポリマーの剛性が高い、即
ち、引張り弾性率が400kg/mm2以上であり、多くは600kg
/mm2であり、第一層より厚いために、ポリマー剛性の低
い第一層、これは引張り弾性率が400kg/mm2以下であ
り、多くは300kg/mm2以下であり、第二層の厚さの1/3以
下であるが、この第一層の影響をあまり受けない。この
ため、プラスチック薄膜は実質的にカールを生じないの
である。
The thickness of the polymer of the first layer after the solvent is dried is preferably 1/3 or less, more preferably 1/5 or less, of the total thickness of the polymers of the second and subsequent layers after the solvent is dried. The reason is that if there is a difference in the coefficient of linear thermal expansion between the polymer layers in the thickness direction, curling will occur in the plastic thin film after the metal foil is removed by etching. For, to mitigate or substantially avoid it. That is, after the second layer, the rigidity of the polymer is high, that is, the tensile modulus is 400 kg / mm 2 or more, and in many cases, 600 kg
a / mm 2, the thicker than the first layer, the first layer of low polymer rigidity, which tensile elastic modulus is at 400 kg / mm 2 or less, most are at 300 kg / mm 2 or less, the second layer Although less than 1/3 of the thickness, it is not much affected by this first layer. For this reason, the plastic thin film does not substantially curl.

この際、前述のように最終的に金属上に生成するフィ
ルムの平均熱線膨張係数は、金属のそれよりも(−1.0
〜+0.4)×10-5/℃の範囲に相当分のみ大きいように
ポリマーの選択を行う必要があり、更に、最終加熱温度
はフィルムを構成するポリマーの中で最高のガラス転移
温度であるもののガラス転移温度以上になっている必要
がある。
At this time, as described above, the average coefficient of linear thermal expansion of the film finally formed on the metal is higher than that of the metal by (−1.0).
It is necessary to select the polymer so that it is only considerably large within the range of +0.4) × 10 -5 / ° C., and the final heating temperature is the highest glass transition temperature among the polymers constituting the film. It must be above the glass transition temperature.

方法の2で製造した場合以外のFMCLは、金属箔とプラ
スチックフィルムの寸法には相当に有害な寸法差が生じ
ており、一般には±0.3%以上であり、多くの場合±0.5
%以上となっている。
FMCLs other than those manufactured by method 2 have a considerable detrimental difference in dimensions between the metal foil and the plastic film, generally ± 0.3% or more, and often ± 0.5%.
% Or more.

この場合、所望のFMCLを得るためのには方法の1によ
り行うことができる。
In this case, the desired FMCL can be obtained by one of the methods.

方法の1では、FMCLにおいて積層状態のまま、金属箔
の長手方向およびまたは巾方向の寸法が0.001〜5%の
範囲内において、塑性変形により収縮および/または膨
張させられてプラスチック層寸法に接近、乃至、合致さ
せられることにより行われる。ここにおいて、収縮ある
いは膨張の方法は特に限定しないが、例えば、膨張の方
法として、 a)プラスチックフィルムの二軸延伸と同様にしてFMCL
全体を延伸し、その延伸の程度は、塑性変形を起こす金
属箔のみを、延伸量の一部であるが、延伸塑性変形さ
せ、プラスチックフィルムは実質的に延伸塑性変形が起
こらない範囲で行う。
In the first method, the metal foil is shrunk and / or expanded by plastic deformation to approach the size of the plastic layer within the range of 0.001 to 5% in the longitudinal direction and / or the width direction of the metal foil while being laminated in the FMCL. Or by being matched. Here, the method of shrinking or expanding is not particularly limited. For example, as the method of expanding, a) FMCL is performed in the same manner as in biaxial stretching of a plastic film.
The whole is stretched, and the extent of the stretching is only a part of the stretching amount of the metal foil that causes plastic deformation. However, the plastic film is stretched and plastically deformed.

そのため、延伸の程度は、FMCLを構成する金属とプラ
スチック材料により異なるが、一般には5%以内であ
る。金属箔の延伸塑性変形量が、元のFMCLにおける金属
箔とプラスチックフィルムの寸法差に等しいようになれ
ば、延伸変形後の寸法差は実質的になくなる。
Therefore, the degree of stretching varies depending on the metal and plastic material constituting the FMCL, but is generally within 5%. If the amount of stretch plastic deformation of the metal foil becomes equal to the dimensional difference between the metal foil and the plastic film in the original FMCL, the dimensional difference after the stretch deformation is substantially eliminated.

b)短い定尺シート、例えば、300mm角の場合、高圧の
精密プレスの間にFMCLを挟み、平面方向に均一に伸ばす
ことによっても行うことができる。
b) In the case of a short fixed-size sheet, for example, 300 mm square, it can be performed by sandwiching the FMCL between high-precision precision presses and stretching the FMCL uniformly in the plane direction.

c)長尺のFMCLを、第1図に示すように、その巾方向に
対して0〜80度の角度を以て設けられた第一のバーの曲
面上に、プラスチックフィルムを内側とし緊張状態下に
長手方向に滑らせる第一工程、FMCLの巾方向に対して0
〜−80度の角度を以て設けられた第二のバーの曲面上
に、重合体を内側にして前記の積層板を緊張状態下に長
手方向に滑らせる第二工程を、任意の順序を以て、かつ
工程を一回以上、実施する方法があり、この方法におい
ては、金属箔、プラスチックフィルムの引張り弾性率、
第一のバー、第二のバーの形状、特にプラスチックフィ
ルムが通過する曲面の曲率半径と、FMCLがバーを通過す
る際の導入角、誘出角(第2図参照)と緊張状態の程
度、FMCLがバーを通過する回数が寸法差の矯正の程度に
大きい影響を与える。金属を膨張させるためには、バー
のプラスチックフィルムが通過する曲面の曲率半径は0.
001〜0.5mmであり、FMCLにかかる張力は、FMCLの総圧、
構成する材料の厚さなどに依存するが、一般に50g/cm以
上、好ましくは200g/cm以上であり、導入角と誘出角の
合計が20〜140度、好ましくは90〜140度、バーを通過す
る回数が特に制限はないが、各バー5回以下が実用的で
ある。
c) As shown in FIG. 1, place a long FMCL on a curved surface of a first bar provided at an angle of 0 to 80 degrees with respect to the width direction thereof, with a plastic film inside and under tension. First step in the longitudinal direction, 0 in the FMCL width direction
A second step of longitudinally sliding the laminate under tension with the polymer inward on the curved surface of a second bar provided at an angle of -80 degrees, in any order, and One or more steps, there is a method to carry out, in this method, metal foil, tensile elastic modulus of the plastic film,
The shape of the first bar and the second bar, particularly the radius of curvature of the curved surface through which the plastic film passes, the angle of introduction, the angle of extraction (see FIG. 2) and the degree of tension when the FMCL passes through the bar, The number of times the FMCL passes through the bar has a large effect on the degree of dimensional difference correction. In order to expand the metal, the radius of curvature of the curved surface through which the plastic film of the bar passes is 0.
001-0.5mm, the tension applied to FMCL is the total pressure of FMCL,
Although it depends on the thickness of the constituent materials, it is generally 50 g / cm or more, preferably 200 g / cm or more, and the total of the introduction angle and the extraction angle is 20 to 140 degrees, preferably 90 to 140 degrees, and the bar is The number of passes is not particularly limited, but it is practical that each bar has 5 or less passes.

これらの方法では、一般的には、バーの曲面の曲率半
径が小さい程、FMCLに加わる張力が大きい程、導入角、
誘出角の合計が小さい程、プラスチックの弾性率が大き
い程、金属の弾性率が小であり塑性変形し易い程、金属
の延伸塑性変形が生じ易い。
In these methods, generally, the smaller the radius of curvature of the curved surface of the bar, the larger the tension applied to the FMCL, the larger the angle of introduction,
The smaller the sum of the induced angles, the larger the elastic modulus of the plastic, the smaller the elastic modulus of the metal and the easier it is to plastically deform, the more easily the metal is stretched and plastically deformed.

また、収縮の方法としては、 a)短い定尺シート、例えば、300mm角の場合、平行な
板の間にFMCLを挟み込み、接触圧程度の圧力を以て平行
な板の間に保持する。その後、FMCLの端面に圧力を加え
る。その圧力は金属箔が収縮塑性変形するに充分な大き
さが必要でありこの圧力の大きさにより収縮変形量を制
御することにより製造する方法。
The shrinking method is as follows: a) In the case of a short fixed-size sheet, for example, 300 mm square, an FMCL is sandwiched between parallel plates and held between the parallel plates with a pressure of about the contact pressure. Thereafter, pressure is applied to the end face of the FMCL. The pressure is required to be large enough to cause shrinkage plastic deformation of the metal foil, and a method of manufacturing by controlling the amount of shrinkage deformation by the magnitude of this pressure.

b)長尺のFMCLの場合は、装置的には膨張させる場合に
完全に同一でよく、方法的に異なる点は、バーの曲面上
にプラスチックフィルムではなく、銅箔を内側にして滑
らせることのみである。
b) In the case of a long FMCL, the device may be completely identical when it is inflated. The difference in method is that the copper foil is slipped on the curved surface of the bar, instead of the plastic film. Only.

このこと以外は同様な方法で実施される。 Other than this, it is implemented in a similar manner.

[実施例−1] 攪拌器、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器
に、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル2
21g(0.60モル)および4,4′−ジアミノジフェニルエー
テル280g(1.4モル)をN,N−ジメチルアセトアミド3500
mlに溶解し、0℃付近まで冷却し窒素雰囲気下において
ピロメリット酸二無水物436g(2.0モル)を加え0℃付
近で2時間攪拌した。
Example 1 A container equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube was charged with 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl 2
21 g (0.60 mol) and 280 g (1.4 mol) of 4,4'-diaminodiphenyl ether were mixed with N, N-dimethylacetamide 3500
The mixture was cooled to about 0 ° C., 436 g (2.0 mol) of pyromellitic dianhydride was added under a nitrogen atmosphere, and the mixture was stirred at about 0 ° C. for 2 hours.

次に上記の溶液を室温に戻し、窒素雰囲気下に約20時
間攪拌を行った。こうして得られたポリアミド酸溶液を
N,N−ジメチルアセトアミドを以て19%まで希釈し、回
転粘度を120,000cpsに調節した。こうして得られた溶液
をNi/Cu合金処理した圧延銅箔(日本鉱業(株)製、DN
−02、厚さ35μm)に均一に流延塗布し、130℃にて5
分間、更に180℃にて5分間、加熱乾燥した。
Next, the above solution was returned to room temperature, and stirred under a nitrogen atmosphere for about 20 hours. The polyamic acid solution thus obtained is
Diluted to 19% with N, N-dimethylacetamide and adjusted rotational viscosity to 120,000 cps. Rolled copper foil (Nihon Mining Co., Ltd., DN
−02, thickness 35μm) evenly and applied at 130 ℃
And dried at 180 ° C. for 5 minutes.

360℃の窒素雰囲気下(02 2vol.%)中にて20分間加
熱し、ポリイミドのコーティング膜を持った厚さ60μm
のFMCLを得た。この銅箔の室温から100℃までの平均の
熱線膨張係数は、1.7×10-5/℃であった。このように
して得たFMCLを24×24cmの正方形基板に裁断した場合、
横巾方向と長手方向ともにポリイミド薄層を内側とする
曲率半径15cmのカール発生していた。ポリイミド薄層の
寸法収縮は0.65%であり、ポリイミド薄層中の残存溶剤
であるN,N−ジメチルアセトアミド量が0.01%であっ
た。また、このポリイミドの室温から100℃までの平均
熱線膨張係数は、4.4×10-5/℃であった。このFMCLの
長尺物をスリッターにより巾24cmにスリットしてロール
に巻き取った。その後、このロールに巻き取ったFMCL
を、横巾方向に対して40度の角度として固定されてお
り、その横断面が巾0.6mm、長さ50mmであり、機能する
端縁、即ちFMCLに接触するエッジ部分の曲率半径が0.05
mmのジルコニア製の第一のバーに銅箔の表面を接触させ
つつ導入角60度、誘出角60度にて通過させた。このと
き、FMCLには進行方向に12kg、即ち、0.5kg/cm巾の張力
が加えらていた。この第一のバーの通過後に、横巾方向
に対して−40度の角度としてジルコニア製の同一形状の
第二のバーに銅箔の表面を接触させつつ第一のバーにお
けると同様条件下に通過させた。この二つのバーの端縁
を擦過させる処理を、20℃湿度50%の環境下に3回繰り
返して再びロールに巻き取った。このようにして得たFM
CLは、銅箔のエッチングの前後におけるポリイミド薄層
の寸法収縮は0.03%であった。
Under a nitrogen atmosphere at 360 ℃ (0 2 2vol.% ) Was heated for 20 minutes in a thickness 60μm with a coating film of polyimide
FMCL was obtained. The average coefficient of linear thermal expansion of the copper foil from room temperature to 100 ° C. was 1.7 × 10 −5 / ° C. When the FMCL thus obtained is cut into a square substrate of 24 × 24 cm,
In both the width direction and the longitudinal direction, a curl with a radius of curvature of 15 cm with the polyimide thin layer inside was observed. The dimensional shrinkage of the polyimide thin layer was 0.65%, and the amount of the remaining solvent, N, N-dimethylacetamide, in the polyimide thin layer was 0.01%. The average linear thermal expansion coefficient of this polyimide from room temperature to 100 ° C. was 4.4 × 10 −5 / ° C. This long product of FMCL was slit to a width of 24 cm by a slitter and wound up on a roll. After that, the FMCL wound on this roll
Is fixed at an angle of 40 degrees with respect to the width direction, the cross section thereof is 0.6 mm in width and 50 mm in length, and the functional edge, that is, the radius of curvature of the edge portion in contact with the FMCL is 0.05.
While passing the surface of the copper foil in contact with the first bar made of zirconia having a diameter of mm, the copper foil was passed at an introduction angle of 60 degrees and an extraction angle of 60 degrees. At this time, a tension of 12 kg, that is, 0.5 kg / cm width was applied to the FMCL in the traveling direction. After passing through the first bar, the surface of the copper foil is brought into contact with a second bar of the same shape made of zirconia at an angle of -40 degrees with respect to the width direction under the same conditions as in the first bar. Let it pass. The process of rubbing the edges of the two bars was repeated three times in an environment of 20 ° C. and 50% humidity, and wound up again on a roll. FM obtained in this way
As for CL, the dimensional shrinkage of the polyimide thin layer before and after the etching of the copper foil was 0.03%.

このFMCLを50℃にて1年間保存したが寸法収縮の変化
は認められなかった。このFMCLに常法により配線パター
ンを描いてFPCを製作したが、このFPCは全体的にも、機
能表面についても凹凸が非常に少なく、平面性がよいも
のであった。
This FMCL was stored at 50 ° C. for one year, but no change in dimensional shrinkage was observed. An FPC was manufactured by drawing a wiring pattern on the FMCL by a conventional method. This FPC had very little unevenness on the whole and on the functional surface, and had good flatness.

このFPCを260℃の溶融半田の表面に10秒間、浮游させ
た後、常温に戻したが、依然、全面的に凹凸が少なく良
好な平面を保持していた。
This FPC was floated on the surface of the molten solder at 260 ° C. for 10 seconds, and then returned to normal temperature. However, the entire surface still had a good flat surface with little unevenness.

また、上記のようにして得たFMCLの金属箔とプラスチ
ックフィルムの23℃における90度ピール接着強度は1.7k
g/cmであった。
The 90 ° peel adhesive strength at 23 ° C. of the metal foil and plastic film of FMCL obtained as described above was 1.7 k.
g / cm.

[実施例−2] 攪拌器、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器
に、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル2
21g(0.6モル)をN,N−ジメチルアセトアミド1400mlに
溶解し、窒素雰囲気下においてピロメリット酸二無水物
130g(0.6モル)を加え、室温下に約20時間攪拌を行っ
た。こうして得られたポリアミド酸溶液の回転粘度は8
3,000cpsであった。
Example 2 A container equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a nitrogen inlet tube was charged with 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl 2
Dissolve 21 g (0.6 mol) in N, N-dimethylacetamide (1400 ml) and pyromellitic dianhydride under nitrogen atmosphere
130 g (0.6 mol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for about 20 hours. The rotational viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is 8
It was 3,000 cps.

この溶液を溶液Aとする。 This solution is referred to as solution A.

次に、同様の容器に4,4′−ジアミノジフェニルエー
テル120g(0.6モル)を、N,N′−ジメチルアセトアミド
1000mlに溶解し、窒素雰囲気下にピロメリット酸二無水
物130g(0.6モル)を加え、室温下に約20時間攪拌を行
った。こうして得られたポリアミド酸溶液の回転粘度は
65,000cpsであった。
Next, 120 g (0.6 mol) of 4,4'-diaminodiphenyl ether was placed in a similar container with N, N'-dimethylacetamide.
The solution was dissolved in 1000 ml, and under a nitrogen atmosphere, 130 g (0.6 mol) of pyromellitic dianhydride was added, followed by stirring at room temperature for about 20 hours. The rotational viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is
It was 65,000 cps.

この溶液を溶液Bとする。 This solution is referred to as solution B.

溶液Aを実施例1に使用したものと同一ロットの圧延
銅箔(厚さ35μm)に均一にコーティングし130℃にて
3分間、更に160℃にて3分間、加熱乾燥した。乾燥し
たポリアミド酸皮膜の厚さは3μmであった。次に、こ
のポリアミド酸コート銅箔に、溶液Bを均一にコーティ
ングし130℃にて5分間、更に160℃にて5分間、加熱乾
燥した後、370℃の窒素雰囲気中にて10分間加熱して、
ポリイミドをコートした銅箔を得た。
The solution A was uniformly coated on a rolled copper foil (thickness: 35 μm) of the same lot as that used in Example 1, and dried by heating at 130 ° C. for 3 minutes and further at 160 ° C. for 3 minutes. The thickness of the dried polyamic acid film was 3 μm. Next, the polyamic acid-coated copper foil was uniformly coated with the solution B, heated and dried at 130 ° C. for 5 minutes, further at 160 ° C. for 5 minutes, and then heated in a 370 ° C. nitrogen atmosphere for 10 minutes. hand,
A copper foil coated with polyimide was obtained.

ポリイミド薄膜中の残存溶剤量は、0.03%であった。
膜厚は溶液Aからのフィルムと溶液Bからのフィルムの
膜厚の合計が、27μmであり、平均熱線膨張係数は、2.
5×10-5/℃であった。
The residual solvent amount in the polyimide thin film was 0.03%.
The total thickness of the film from the solution A and the film from the solution B was 27 μm, and the average coefficient of linear thermal expansion was 2.
5 × 10 −5 / ° C.

このFMCLは実施例1と同様にカールが発生し、寸法収
縮は0.45%であった。そこで実施例1と同様にカール矯
正と寸法矯正を行い、24×24cmの正方形のFMCLとしたと
ころ、目視によるカール状況は、銅箔を内側にした曲率
半径が20cm以上のものであった。また、寸法収縮は、横
巾方向、長手方向ともに0.02%であった。このFMCLはポ
リイミド複合フィルムと銅箔との密着性がよく90度ピー
ル接着強度は1.8kg/cmであった。
This FMCL was curled as in Example 1, and the dimensional shrinkage was 0.45%. Then, curl correction and dimensional correction were performed in the same manner as in Example 1 to obtain a square FMCL of 24 × 24 cm. The curl status visually observed was such that the copper foil was on the inside and the radius of curvature was 20 cm or more. The dimensional shrinkage was 0.02% in both the width direction and the length direction. This FMCL had good adhesion between the polyimide composite film and the copper foil, and the 90 ° peel adhesive strength was 1.8 kg / cm.

更に常法により、配線パターンを描いてFPCを製作し
たが、このFPCは全体的にも機能表面についても凹凸が
非常に少なく平面性のよいものであった。
Further, an FPC was manufactured by drawing a wiring pattern by a conventional method, and this FPC had very little unevenness on the whole and on the functional surface and had good flatness.

[実施例−3] 攪拌器、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器
に、1,4′−ジアミノ2−メチルベンゼン219g(1.8モ
ル)を、N−メチル−2ピロリドン4250gに溶解し、0
℃付近まで冷却し、窒素雰囲気下において3,3′,4,4′
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物530g(1.8モ
ル)を加え0℃付近で2時間攪拌した。
[Example 3] 219 g (1.8 mol) of 1,4'-diamino-2-methylbenzene was dissolved in 4250 g of N-methyl-2-pyrrolidone in a vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube, 0
Cool down to around ℃, and under nitrogen atmosphere 3,3 ', 4,4'
530 g (1.8 mol) of -biphenyltetracarboxylic dianhydride was added, and the mixture was stirred at about 0 ° C for 2 hours.

次に、上記溶液を室温に戻し、窒素雰囲気下で約20時
間攪拌を行った。こうして得られたポリアミド酸溶液の
回転粘度を50psになるまで、60℃に放置した。この溶液
を溶液Cとする。
Next, the solution was returned to room temperature and stirred under a nitrogen atmosphere for about 20 hours. The polyamic acid solution thus obtained was left at 60 ° C. until the rotational viscosity became 50 ps. This solution is referred to as solution C.

実施例2と同様にして、溶液Aを実施例1に使用した
ものと同一ロットの圧延銅箔に均一にコーティングし、
130℃で3分間、更に、160℃にて4分間加熱乾燥した。
乾燥したポリアミド酸皮膜の厚さは4μmであった。次
に溶液Cを均一にコーティングし、130℃にて5分間、
更に160℃にて5分間加熱乾燥した後、400℃の窒素雰囲
気中にて10分間加熱してポリイミドをコートした銅箔を
得た。ポリイミド全体の膜厚は30μmであった。ポリイ
ミド薄膜中の残存溶剤量は、0.02%であった。このFMCL
は、銅箔を内側にして、曲率半径20cmのカールをしてい
たが加工には支障がなかった。寸法収縮は−0.12%であ
った。また、ポリイミド複合フィルムと銅箔との接着力
は90度ピール強度にて1.3kg/cmであった。なお、溶液A
から作製したポリイミドフィルムの室温における引張り
弾性率は、240kg/mm2であり、かつ、引張り伸び率は、9
0%であった。また、ポリイミド複合フィルムの熱膨張
率は1.0×10-5℃であった。更に、常法により配線パタ
ーンを描いてFPCを製作したが、このFPCは全体的にも機
能表面についても凹凸が少なく平面性も実用上支障のな
いものであった。
In the same manner as in Example 2, solution A was uniformly coated on the same lot of rolled copper foil as used in Example 1,
It was dried by heating at 130 ° C. for 3 minutes and further at 160 ° C. for 4 minutes.
The thickness of the dried polyamic acid film was 4 μm. Next, coat the solution C uniformly, and at 130 ° C for 5 minutes,
After further heating and drying at 160 ° C. for 5 minutes, it was heated in a nitrogen atmosphere at 400 ° C. for 10 minutes to obtain a polyimide-coated copper foil. The film thickness of the entire polyimide was 30 μm. The residual solvent amount in the polyimide thin film was 0.02%. This FMCL
Had a curl with a radius of curvature of 20 cm with the copper foil inside, but this did not hinder processing. The dimensional shrinkage was -0.12%. The adhesive strength between the polyimide composite film and the copper foil was 1.3 kg / cm at a peel strength of 90 degrees. The solution A
Tensile modulus at room temperature of the polyimide film prepared from a 240 kg / mm 2, and the tensile elongation, 9
It was 0%. The coefficient of thermal expansion of the polyimide composite film was 1.0 × 10 −5 ° C. Furthermore, an FPC was manufactured by drawing a wiring pattern by a conventional method, and this FPC had little unevenness on the entire surface and the functional surface, and had no problem in flatness in practical use.

[比較例−1] 実施例3で得た溶液Cを、実施例1と同様に、実施例
1に使用したものと同一ロットの圧延銅箔に均一にコー
ティングし130℃にて5分間、更に180℃にて5分間、加
熱乾燥した後、400℃の窒素雰囲気中にて10分間加熱し
てポリイミドのコーティング膜を持つ厚さ60μmのFMCL
を得た。
[Comparative Example-1] The solution C obtained in Example 3 was uniformly coated on a rolled copper foil of the same lot as that used in Example 1 in the same manner as in Example 1, and was further coated at 130 ° C for 5 minutes. After heating and drying at 180 ° C for 5 minutes, it is heated in a nitrogen atmosphere at 400 ° C for 10 minutes, and the FMCL having a polyimide coating film with a thickness of 60 µm
I got

このFMCLのポリイミド薄層の寸法収縮は−0.15%であ
った。ポリイミドフィルムの室温から100℃までの熱線
膨張係数は、6×10-6/℃であった。常法により配線パ
ターンを描いてFPCを製作したが、このFPCの平面性は実
用上支障のないものであった。しかし、肝心のポリイミ
ドフィルムと銅箔との接着力は90度ピール強度にて0.35
kg/cmと低く回路の剥離が起こり易くFMCLとしては実用
的でないと判断された。
The dimensional shrinkage of the thin polyimide layer of FMCL was -0.15%. The coefficient of linear thermal expansion from room temperature to 100 ° C. of the polyimide film was 6 × 10 −6 / ° C. An FPC was manufactured by drawing a wiring pattern by a conventional method, but the flatness of the FPC was not a problem in practical use. However, the adhesion between the important polyimide film and copper foil is 0.35 at 90 degree peel strength.
Since the circuit peeling was as low as kg / cm, it was judged that it was not practical for FMCL.

[比較例−2] 実施例1において、ポリイミド薄膜の寸法収縮が、0.
55%と大きいまま配線パターンを描こうと試みたが、そ
のカールのために作業が著しく困難であった。更に、描
くことができたパターンも全体的に凹凸が非常に多く平
面性に欠け、その後のカバーレイフィルム積層などの加
工作業性も甚だ悪かった。
Comparative Example 2 In Example 1, the dimensional shrinkage of the polyimide thin film was 0.
I tried to draw the wiring pattern while it was as large as 55%, but the work was extremely difficult due to the curl. Furthermore, the pattern that could be drawn also had a very large amount of unevenness as a whole and lacked planarity, and the workability of subsequent processing such as lamination of a coverlay film was extremely poor.

[比較例3] 実施例1において、ポリアミド酸溶液を圧延銅箔に均
一に流延塗布した後、130℃にて5分間、更に、180℃に
て5分間加熱乾燥した。その後02 2vol.%の280℃の窒
素雰囲気中にて5分間加熱しポリイミドのコーティング
膜を有する厚さ60μmのFMCLを得た。ポリイミド薄膜の
寸法収縮は、0.50%であり、ポリイミド薄膜中の残存溶
剤量であるN,N−ジメチルアセトアミド量は、1.0%であ
った。この長尺のFMCLを実施例1と同様にしてポリイミ
ド薄膜の寸法収縮を、0.10%に減少させた。このFMCLは
銅箔を内側にして曲率半径15cmの弱いカールをしてい
た。
Comparative Example 3 In Example 1, the polyamic acid solution was uniformly cast and applied to the rolled copper foil, and then heated and dried at 130 ° C. for 5 minutes and further at 180 ° C. for 5 minutes. Thereafter 0 2 2 vol at.% Of 280 ° C. in a nitrogen atmosphere and heated for 5 minutes to obtain a FMCL thickness 60μm with a coating film of polyimide. The dimensional shrinkage of the polyimide thin film was 0.50%, and the amount of N, N-dimethylacetamide, which was the amount of residual solvent in the polyimide thin film, was 1.0%. This long FMCL was used in the same manner as in Example 1 to reduce the dimensional shrinkage of the polyimide thin film to 0.10%. This FMCL had a weak curl with a radius of curvature of 15 cm with the copper foil inside.

このFMCLに、常法により配線パターンを描いてFPCを
製作したが、加工性は良好であった。
An FPC was manufactured by drawing a wiring pattern on this FMCL by a conventional method, but the workability was good.

このFPCは、全体的にも機能表面についても凹凸が非
常に少なく平面性がよいものであった。
This FPC had very little unevenness on the whole and on the functional surface, and had good flatness.

しかしながら、このFPCを260℃の溶融半田の表面に10
秒間浮游させた後、常温に戻したところポリイミド薄膜
を内側とする曲率半径3.0cmの強いカールを生じた。こ
れはポリイミド薄膜中に残存している溶剤の一部が揮散
したことによるポリイミド薄膜の収縮によるものであっ
た。
However, this FPC was applied to the surface of
After floating for 2 seconds, when the temperature was returned to room temperature, a strong curl having a radius of curvature of 3.0 cm with the polyimide thin film inside was generated. This was due to the contraction of the polyimide thin film due to the volatilization of a part of the solvent remaining in the polyimide thin film.

更に、このFMCLを100℃にて1ケ月間放置したとこ
ろ、ポリイミド薄膜の寸法収縮は0.4%に増大してい
た。これは溶剤が徐々に揮散するためであると推定され
る。
Further, when this FMCL was left at 100 ° C. for one month, the dimensional shrinkage of the polyimide thin film was increased to 0.4%. It is presumed that this is because the solvent volatilizes gradually.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はFMCLを構成するプラスチックの寸法を矯正する
処理において機能するバーの配置角度、および長手・横
手方向の意味説明用平面図であり第2図はFMCLの機能ベ
ースの導入、誘出角度を示す端面略図である。
Fig. 1 is a plan view for explaining the arrangement angles of bars functioning in the process of correcting the dimensions of the plastic constituting FMCL, and the meaning of the longitudinal and lateral directions, and Fig. 2 is the introduction and derivation angles of the FMCL function base. FIG.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−157286(JP,A) 特開 昭61−111359(JP,A) 特開 昭61−19352(JP,A) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-61-157286 (JP, A) JP-A-61-111359 (JP, A) JP-A-61-19352 (JP, A)

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】金属箔上に接着剤を介さずに直接形成した
プラスチック薄膜を有するフレキシブル金属プラスチッ
ク積層板において、該金属箔が、曲率半径が0.001〜0.5
mmの曲面を有するバーの曲面に該金属箔を接触させ緊張
下に通過させてなり、かくして、薬品エッチングにより
金属箔を全面除去したとき、該プラスチック薄膜の収縮
率がエッチング前の薄膜寸法を基準として±0.3%より
小さくするとともに、プラスチック中の溶剤含有量が0.
2%より小さく、金属箔とプラスチック薄膜との室温に
おける90度ピール接着強度が、0.7kg/cm以上であること
を特徴とするフレキシブル金属プラスチック積層板。
1. A flexible metal-plastic laminate having a plastic thin film directly formed on a metal foil without an adhesive, wherein the metal foil has a radius of curvature of 0.001 to 0.5.
The metal foil is brought into contact with the curved surface of a bar having a curved surface of mm and passed under tension. Thus, when the metal foil is entirely removed by chemical etching, the shrinkage ratio of the plastic thin film is based on the thin film size before etching. As less than ± 0.3% and the solvent content in plastic is
A flexible metal-plastic laminate having a 90 ° peel adhesion between a metal foil and a plastic thin film at room temperature of less than 2%, which is 0.7 kg / cm or more.
【請求項2】プラスチック薄膜が複数種類のプラスチッ
クからなる特許請求の範囲1項記載の積層板。
2. The laminate according to claim 1, wherein the plastic thin film comprises a plurality of types of plastics.
【請求項3】少なくとも、金属箔に接するプラスチック
の室温における引張弾性率が100〜400kg/mm2であり、か
つ、引張り伸び率が40〜200%である特許請求の範囲2
項記載の積層板。
3. The method according to claim 2 , wherein at least the plastic in contact with the metal foil has a tensile modulus at room temperature of 100 to 400 kg / mm 2 and a tensile elongation of 40 to 200%.
13. The laminate according to the above item.
【請求項4】金属箔に接し、引張弾性率が100〜400kg/m
m2であり、かつ、引張り伸び率が40〜200%である、プ
ラスチック薄膜の厚さがプラスチック層全体の厚さの1/
3以下である特許請求の範囲2項記載の積層板。
4. Contacting a metal foil and having a tensile modulus of 100 to 400 kg / m
m 2 and a tensile elongation of 40 to 200%, the thickness of the plastic thin film is 1 / th of the thickness of the entire plastic layer.
3. The laminate according to claim 2, wherein the thickness is 3 or less.
【請求項5】プラスチック薄膜の平均熱線膨張率係数が
金属のそれよりも(−1.0〜+0.4)×10-5/℃だけ大き
い特許請求の範囲3項記載の積層板。
5. The laminate according to claim 3, wherein the average coefficient of linear thermal expansion of the plastic thin film is larger than that of metal by (−1.0 to +0.4) × 10 −5 / ° C.
【請求項6】プラスチック薄膜の平均熱線膨張率係数が
金属のそれよりも少なくとも1.0×10-5/℃だけより小
さいか、あるいは少なくとも0.4×10-5/℃だけより大
きい特許請求の範囲1項記載の積層板。
6. The method according to claim 1, wherein the average coefficient of linear thermal expansion of the plastic thin film is at least 1.0 × 10 −5 / ° C. lower than that of the metal, or at least 0.4 × 10 −5 / ° C. A laminate as described.
【請求項7】プラスチックがイミド結合を有する耐熱性
重合体、耐熱性ポリエステルまたはポリフロロエチレン
である特許請求の範囲1項記載の積層板。
7. The laminate according to claim 1, wherein the plastic is a heat-resistant polymer having an imide bond, a heat-resistant polyester or polyfluoroethylene.
【請求項8】イミド結合を有する耐熱性重合体がポリイ
ミド、アミドイミドである特許請求の範囲7項記載の積
層板。
8. The laminate according to claim 7, wherein the heat-resistant polymer having an imide bond is polyimide or amide imide.
【請求項9】金属箔が銅、アルミニウム、ニッケル、
金、銀である特許請求の範囲1項記載の積層板。
9. The metal foil is made of copper, aluminum, nickel,
The laminate according to claim 1, wherein the laminate is gold or silver.
【請求項10】積層板の用途がフレキシブルプリント回
路用基板である特許請求の範囲1項記載の積層板。
10. The laminate according to claim 1, wherein the use of the laminate is a substrate for a flexible printed circuit.
【請求項11】積層板の用途がフレキシブルプリント回
路用基板である特許請求の範囲2項記載の積層板。
11. The laminate according to claim 2, wherein the use of the laminate is a substrate for a flexible printed circuit.
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