JP2617922B2

JP2617922B2 - 浮動型磁気ヘツドの製造方法

Info

Publication number: JP2617922B2
Application number: JP21661086A
Authority: JP
Inventors: 則行井手; 昇小宮
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1986-09-12
Filing date: 1986-09-12
Publication date: 1997-06-11
Anticipated expiration: 2012-06-11
Also published as: JPS6370918A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、磁気ディスク装置に用いられる浮動型磁気
ヘッドに関するものである。

従来の技術従来、この種の浮動型磁気ヘッドに関しては、例えば
特公昭57-569号公報に示されているように、磁気媒体と
の対向面に形成された３本のレールのうちの中央のレー
ルの一端部にヘッドコアを接合し、動作中に磁気記録媒
体との間に生じる動圧を利用して微小な隙間を保って浮
上する浮動型磁気ヘッドが用いられている。

そして、この種の磁気ヘッドでは磁気記録媒体にでき
る限り近接して使用することにより分解能は向上し、高
い記録密度と高い出録を得ることができる。このため、
一般的に浮動型磁気ヘッドでは、スライダーの、磁気記
録媒体対向面のうち浮上量が最小となるような位置に磁
気ギャップが形成されている。第７図、第８図はこれを
図示したもので浮動型磁気ヘッドのスライダー面の形状
・寸法は磁気ヘッドに付加される負荷力及び負荷力の作
用点の位置により決定されている。

即ち、第７図、第８図に示したものでは浮動型磁気ヘ
ッドスライダー１に閉磁路を形成するコア２をガラスに
より接着すると同時に所定の磁気ギャップ長を得るよう
にしている。また３は平坦にポリシング加工されたスタ
イダー即ち磁気媒体との対向面を示している。そして磁
気媒体の矢印Ａ方向への回転に伴い、スライダー面３と
媒体表面との間に微小な空気層を形成し浮動することが
既に知られている。

さらに第９図、第10図は特公昭58-21329号公報並びに
USP4285019号にあるように、スライダー面９を空気流入
端５より空気流出端６まで全面に亙り曲面で連続して形
成したものであり、浮上量Ｌが小さくでき高密度記録が
できることも既知である。

ところで、媒体の表面状態は高密度化されることによ
り、平坦度は格段に向上しており、また、CSS（コンタ
クト・スタート・ストップ）方式の固定式磁気ディスク
装置の動作初期においては磁気ヘッドと媒体表面とは接
触状態であるところから、スライダー面３が第７図、第
８図のごとく高い精度の平坦度になっている場合には、
媒体との間で吸着現象が起り、磁気媒体に磁気ヘッドが
吸着し、磁気媒体、磁気ヘッド共に損傷する可能性があ
る。

これを防止するために第９図、第10図に示した磁気ヘ
ッドには空気流入端５より空気流出端６に向かって曲面
が形成されているのである。

また、第７図、第９図に示すように磁気媒体と対向す
るスライダー面３又は９は図示したごとく３本のレール
10,11,12より構成されており、外側の２本のレール10,1
2の表面が浮上のための空気ベアリング層を形成し、さ
らに中央レール９は磁気ギャップ13を有する磁気変換部
となっている。これらの３本のレールはスライダー面３
または９に対し、外側の２本のレールでは一般的にスラ
イダー上面に対して45度の角度で傾斜した傾斜面14を左
右縁部に有しており、また中央のレールではその角度が
45〜60度に設定された傾斜面15を有している。しかも電
磁変換を行うトラック幅Ｔは高密度化に伴い20μｍ以下
の寸法が必要となり、さらに磁気ヘッドとしての出力変
動を少なくするため、トラック幅Ｔは±１μｍまで要求
されるようになってきている。

発明が解決しようとする問題点上記した従来の浮動型磁気ヘッドは空気流入端５より
空気流出端６へ向かって曲面に形成されているため、上
述したように記録媒体との吸着現象を軽減させることは
幾分できるものの、十分とは言えなかった、なぜなら傾
斜面14,15と磁気媒体対向面の平坦部との間にシャープ
エッジ16が存在するため、動作時においてこのエッジ部
分と磁気記録媒体との間にリンギングが発生しやすく、
発生時には磁気記録媒体との吸着作用が大きくなってし
まうからである。

ところで磁気ヘッドに用いられているフェライト材料
は多結晶体であるところから加工圧によりフェライト加
工表面はモザイク層となりやすく、前記シャープエッジ
部分にはそのモザイク層の発生が多いことから、当部分
よりフェライト結晶の脱落が発生してしまう。そして結
晶の脱落が発生すると磁気媒体に損傷を与えるのみばか
りでなく磁気ヘッドをも破壊し、情報の記録再生時のエ
ラーにつながるといった問題があった。

本発明の目的は吸着現象の発生を抑制しつつ、しかも
フェライト結晶またはその一部の脱落の危険性を押さえ
ることのできる浮動型磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことにある。

問題点を解決するための手段上記問題点を解決するため本発明の浮動型磁気ヘッド
の製造方法は、媒体対向面に浮上面を有する浮動型磁気
ヘッドの浮上面を研磨する浮動型磁気ヘッドの製造方法
であって、弾性を有する研磨体上に前記浮動型磁気ヘッ
ドの浮上面を圧接するとともに、前記浮動型磁気ヘッド
を前記研磨体上で回転させる動作と、前記浮動型磁気ヘ
ッドと前記研磨体を相対的に摺動させる動作とにより前
記浮上面を研磨する構成とした。

作用本願発明の浮動型磁気ヘッドの製造方法によれば、浮
動型磁気ヘッドを研磨体上で回転させる動作と、浮動型
磁気ヘッドと研磨体を相対的に摺動させる動作の２つの
動作で研磨するため、浮上面の全周が研磨されるととも
に、スライダー外側の面取り部がスライダー内側の面取
り部よりも広範囲に形成されることもあり、動作時にお
いて磁気記録媒体との吸着現象の発生が抑制される。ま
た、ラッピング加工によりエッジ部分に多く発生してい
たモザイク層の一部が削られる。

実施例以下、本発明の実施例を添付図面に基づき説明する。

第１図は本発明による磁気ヘッドの外観図である。図
に於て21は磁気ヘッド全体の形状を示すスライダーであ
り、22は磁気ギャップ23を介して閉磁路を構成するコ
ア、24はコイルである。25、26、27は空気流入側テーパ
部分であり、28a、29a、30aは磁気媒体に対向する浮上
面としての３本のレール28、29、30の平坦面であり、特
に28a,30aは動作中に於ける磁気ヘッド浮上量に関係す
る平坦面である。

本発明では空気流入側テーパ部分25,26,27から磁気ギ
ャップ23を通って空気流出側テーパ部分31までは平坦面
28a,29a,30aで構成されている。

また、第２図はその平坦面の周囲をに施した丸め加工
による面取り部の様子を示したものであり、面取り部の
曲率半径は無限大より徐々に連続して小さくなって、ス
ライダーの側面に形成された傾斜面34との境界部分35で
滑らかにここと接続されている。ここで滑らかに接続さ
れているというのは、曲率半径が1mm以下となって接続
されているような接続のことである。曲線Ｂは前記した
半径を有する円の中心位置の軌跡を示したものである。
しかし面取り部とスライダーの磁気媒体対向平坦面との
境界部分36においてはその曲率半径無限大でありその中
心は直線Ｃ上の無限大の位置にあり、初期コアのエッジ
部45に対しＤ寸法を規制することが必要となり、本実施
例では磁気媒体対向部は初期コアの平坦面の面積に対し
有効率80％以上の面積を確保している。また、第１図で
37,38に示した線は図面上では実際には表示されないの
であるが、この37,38で囲まれた平坦面が初期値に対し8
0％となる部分を示したものである。そして本実施例で
は、面取り部の曲率半径が平坦面での無限大から連続的
に減少されてスライダーの側面に形成された傾斜面34と
滑らかに接続されているから、スライダーは空気力学的
に最も優れた形状であって、動作時にスライダーの側面
から流出する空気の流れが側面から剥離して渦流を生じ
るのを防止できるため、この渦流がもたらす磁気ヘッド
の不安定性を除去でき、ローリングやピッチング現象に
よる媒体への損傷を軽減することができるものである。

さらに、第４図はラッピング方法を示したものであ
り、8000〜12000メッシュ（平均粒径１マイクロメート
ル以下）の砥粒を用いた研磨体としてのラッピングシー
ト39を200rpm〜300rpmで回転することで磁気ヘッドとラ
ッピングシートを相対的に摺動させることで平面ホーニ
ングを行うのである。このときラッピングシート39の下
に弾性体40を置くことで弾性を有する研磨体として機能
させ、磁気ヘッドのスライダー21の浮上面としての３本
のレール28、29、30を研磨体にＰの圧力で圧接させるこ
とにより、ラッピングシート39は加圧力Ｐに応じて第４
図のごとくへこんだ状態になる。この状態で磁気ヘッド
を研磨体上で回転することにより、第３図のごとくスラ
イダー外側の面取り部である外側の２本のレール28、30
のＲ、Ｒ′部分はスライダー内側の面取り部であるトラ
ックの内側部分のR1、R1′部分よりも広範囲に亘って面
取り加工される。また硬質ゴム等の弾性体40の弾性量に
より、信号書き込みトラック部コア22のR2,R2′部分は
微小な値かまたは０にすることができ、実質的にトラッ
ク幅を減少させることはない。また、磁気ギャップ23は
磁気媒体対向面の平坦面内に位置している。

また、フェライト材料は多結晶体であり、研削加工に
よる加工圧により、フェライト表面は研削加工に用いる
砥石の粒度にもよるがフェライト表面層にはモザイク層
ができ、そしてこのモザイク層の発生はシャープエッジ
部分に多いことが判っているが、上記したような面取加
工によりエッジ部分は丸められるためモザイク層の一部
が除去されることとなる。

次に本発明のその他の実施例について説明する。

第５図、第６図に示したものは一般にコンポジット型
といわれる浮動型磁気ヘッドであり、セラミック製のベ
ーススライダー41にスリット42を設け、そこにフェライ
トコア43を配置して固定したものである。この磁気ヘッ
ドに於てもスライダーの磁気媒体対向面に平坦面44を形
成すると共に、その四囲には上記第１の実施例と同様に
曲率半径が無限大より1mm以下まで連続的に変化した曲
面を形成することによって上記第１の実施例と同様の効
果が得られる。

発明の効果以上説明したように本発明の浮動型磁気ヘッドの製造
方法は、弾性を有する研磨体上に前記浮動型磁気ヘッド
の浮上面を圧接するとともに、前記浮動型磁気ヘッドを
前記研磨体上で回転させる動作と、前記浮動型磁気ヘッ
ドと前記研磨体を相対的に摺動させる動作とにより前記
浮上面を研磨することを特徴とするので、浮上面の全周
が研磨されるとともに、スライダー外側の面取り部がス
ライダー内側の面取り部よりも広範囲に形成されること
もあり、動作時において磁気記録媒体との吸着現象の発
生が抑制される。また、本発明に係わる浮動型磁気ヘッ
ドのうち磁気媒体対向面に複数のレールを有するものに
あっては、磁気媒体に対応するレールのトラック幅を加
工する際に発生することがあるフェライト結晶の平坦面
からの脱落も抑制することができる。さらに、スライダ
ー内側の面取り部はスライダー外側と較べ最小限の面取
りとされるため平坦面全周の面取り部の面積を小さくす
ることができ、面取り部による浮上面面積低下による浮
上力の減少を最小限に抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の浮動型磁気ヘッドの製造方法を用いて
作成した浮動型磁気ヘッドの一実施例の外観斜視図、第
２図は同浮動型磁気ヘッドの平坦面の周囲をに施した丸
め加工による面取り部の様子を示した部分側面図、第３
図は磁気媒体対向面部分の側面図、第４図は同実施例の
浮動型磁気ヘッドのラッピング加工を模式的に示した斜
視図、第５図は本発明の浮動型磁気ヘッドの製造方法を
用いて作成した浮動型磁気ヘッドのその他の実施例の平
面図、第６図は同側面図、第７図および第８図は従来の
浮動型磁気ヘッドの斜視図及び側面図、第９図及び第10
図はその他の従来の浮動型磁気ヘッドの斜視図および側
面図である。 21……スライダー 22……コア 23……磁気ギャップ 24……コイル 25,26,27……空気流入側テーパ部分 28,29,30……レール 28a,29a,30a……平坦面 31……空気流出側テーパ部分 34……傾斜面 35……境界部分 39……ラッピングシート 40……弾性体 41……ベーススライダー 42……スリット 43……コア 44……平坦面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭51−146217（ＪＰ，Ａ) 実開昭51−93223（ＪＰ，Ｕ) 実開昭54−119321（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】媒体対向面に浮上面を有する浮動型磁気ヘ
ッドの浮上面を研磨する浮動型磁気ヘッドの製造方法で
あって、弾性を有する研磨体上に前記浮動型磁気ヘッドの浮上面
を圧接するとともに、前記浮動型磁気ヘッドを前記研磨体上で回転させる動作
と、前記浮動型磁気ヘッドと前記研磨体を相対的に摺動させ
る動作とにより前記浮上面を研磨することを特徴とする浮動型磁
気ヘッドの製造方法。