JP2610261B2 - 光偏向器ユニット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈技術分野〉 本発明は光ビーム走査装置に用いられる光偏向器ユニ
ットに関し、一層詳細には、光ビームにより被走査体を
二次元的に走査する、例えば、放射線画像が蓄積記録さ
れた蓄積性蛍光体シートに励起光を照射して読み取りを
行う、あるいは、写真感光材料に光ビームを照射して前
記写真感光材料に画像記録を行う際に、光ビームを一次
元的に偏向する光偏向器ユニットに関する。

〈従来技術およびその問題点〉 放射線像を画像として得る方法として、従来より銀塩
感光材料からなる乳剤層を有する放射線写真フィルムと
増感紙との組合わせを用いる、いわゆる放射線写真シス
テムが利用されている。最近、前記放射線写真システム
に代るものとして、蓄積性蛍光体を用いる放射線画像変
換システムが注目されるようになった。

ここで、蓄積性蛍光体とは放射線（Ｘ線、α線、β
線、γ線、電子線、紫外線等）を照射すると、この放射
線のエネルギーの一部がその蛍光体中に蓄積され、その
後、前記蛍光体に可視光等の励起光を照射すると、蓄積
されたエネルギに応じて蛍光体が輝尽発光する。このよ
うな性質を示す蛍光体を蓄積性蛍光体という。

この蓄積性蛍光体を利用して、人体等の被写体の放射
線画像情報をいったん蓄積性蛍光体の層を有するシート
（以下、「蓄積性蛍光体シート」または単に「蛍光体シ
ート」という）に蓄積記録し、このシートを励起光で走
査して輝尽発光させ、生じた輝尽発光光を光学的素子に
より読み取り電気信号に変換して画像信号を得、この画
像信号を処理して診断適性のよい被写体の放射線画像を
得る放射線画像情報記録再生システムが提案されている
（例えば、特開昭55−12429号、同56−11395号、同55−
163472号、同56−104645号、同55−116340号等）。

また、このシステムによれば蓄積性蛍光体に蓄積され
た放射線画像情報を電気信号に変換した後に適当な信号
処理を施し、この電気信号を用いて写真感光材料等の記
録材料、CRT等の表示装置に可視像として出力し、これ
により観察読影適性（診断適性）の優れた放射線画像が
得られる。

ところで、このような放射線画像記録再生システムに
おいて、画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体シート
からその画像情報を読み取るために、あるいはその画像
情報を写真感光材料に記録するために蓄積性蛍光体シー
トあるいは写真感光材料などの被走査体を光ビーム走査
装置により二次元的に走査している。この光ビーム走査
装置では副走査としての被走査体の搬送と同時に、レー
ザ発振器などの光源から放射された光を例えばガルバノ
メータミラー等の光偏向器で一次元方向に偏向すること
により、被走査体の搬送方向と略直交する方向に走査す
る方式をとっている。この光ビーム走査装置を画像読取
（再生）装置に適用する場合にはレーザビームを励起光
として蓄積性蛍光体シートに照射して走査し、その輝尽
発光光を検出することによって記録媒体である蓄積性蛍
光体シートの担持している画像情報を読み取ることがで
きる。

また、この光ビーム走査装置を画像記録装置に適用す
る場合は、光ビームをたとえば音響光学変調器（AOM）
によって画像情報信号で変調し、変調された光ビームで
写真感光材料を含む記録媒体を走査することによって、
画像情報の記録を行うことができる。

このような光ビーム走査装置には、画像情報の読み取
り、記録のいずれにおいても、極めて高い走査精度（走
査位置および走査量）が要求される。従って、光ビーム
を一次元的に偏向させる光偏向器の駆動制御（回転駆動
速度および回転駆動角）および位置公差も高い精度を有
していなければならない。このため、レーザ、光偏向器
を始めとして光ビーム走査装置の光学系を構成する部分
は定盤上に設置され、光学系の精度を向上させるため、
読取装置または記録装置内のそれぞれの定盤上で微調整
がなされているのが現状である。

例えば、第5a図および第5b図に示すように、光偏向器
33はマウント100を介して、基台18に固定されている。
これは光偏向器33を直接基台18に取り付けるとガルバノ
メータ32の回動軸40にはミラーマウント42がネジ44で固
定され、ミラーマウント42の上端部の凹形溝46には回動
ミラー30が接着剤により固定されているので、ねじ44を
緩めて、回動軸40に対してミラーマウント42を回転さ
せ、回動ミラー30の偏向点30aの位置ずれを調整しなけ
ればならないが、回転半径が小さく、調整が極めて困難
であるからである。

そして、光偏向器33はねじまたは接着剤等によりマウ
ント100の中心部上に固定されている。マウント100は矩
形板状であり、周辺部に４ケ所の調整口102を有してい
る。４個の調整口102の設置位置は回動軸40の中心を中
心とする円周上である。調整口102には座金等を介して
ねじ104が挿入され、ねじ104は基台18に設けられたねじ
穴106と螺合する。この時、調整口102はねじ104の軸径
よりも大きい穴いわゆるバカ穴となっているので、調整
口102とねじ104の径の差の分まではマウント100の固定
位置を基台18に対して、前後左右あるいは回転方向に動
かしている。こうして、ガルバノメーター32の回動軸40
を前後左右あるいは回転方向に微調整して位置合せし、
回動ミラー30の偏向点30aの位置ずれを調整している。

確かに、この方法は前述のミラーマウント42による調
整に比べて、マウント100を前後左右に動かすこともで
き、その回転半径も大きく、はるかに容易に回動ミラー
30の偏向点30aの位置ずれを調整できるが、光ビーム走
査装置の基台に載置した後、位置調整しなければなら
ず、調整が非常に面倒である。特に面倒れ補正光学系を
組み込んだ光学系では位置ずれの調整精度が厳しく要求
されるので不都合である。

特に部品交換時には光学系の他にも種々の部品が組み
込まれた装置内での光学系の微調整は極めて困難なもの
であり、また微調整のための空間を設けることは装置の
大型化にもつながり、ひいてはコストアップにつながる
などの問題もある。

〈発明の目的〉 本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解消し、光
ビームを照射して蓄積性蛍光体シートまたは写真感光材
料等の被走査体を二次元的に走査する光ビーム走査装置
において、該光ビームを一次元方向に偏向する光偏向器
の位置調整を前記光ビーム走査装置例えば放射線画像読
取装置または放射線画像記録装置の基台への固定に先だ
って、前記装置外で、前記装置と同じ配置の光学系治具
で調整し、前記基台への取り付けを無調整のまま行え、
前記光偏向器の装置への組立または交換を簡便にし、前
記装置をコンパクト化できる光偏向器ユニットを提供す
ることにある。

＜発明の簡単な説明＞ 本発明によれば、被走査体に光ビームを照射して二次
元的に走査する光ビーム走査装置に用いる光偏向器ユニ
ットであって、該光偏向器ユニットは、該光ビームを一
次元方向に偏向する光偏向器と、該光偏向器を支持する
上部マウントおよび該上部マウントを支持すると共に前
記光ビーム走査装置の基台の所定の位置に固定される下
部マウントで構成されるマウント部材と、前記下部マウ
ントの前記上部マウント支持面において該下部マウント
に対する上部マウントの位置を２次元的に調整するため
の調整手段と、前記ビーム走査装置と光学的に等価な光
学系を有する調整装置とを有し、前記下部マウントを前
記光ビーム走査装置の基台の所定の位置に固定するに先
立ち、前記調整装置を用いて、前記調整手段によって前
記下部マウントに対する前記上部マウントの２次元的な
位置が調整されてなることを特徴とする光偏向器ユニッ
トが提供される。

また、前記位置調整手段は、前記上部マウントに形成
された溝孔と、この溝孔に挿通されたねじと、前記下部
マウントに設けられたねじ穴とで構成することが好まし
い。

〈発明の具体的構成〉 次に本発明に係る光偏向器ユニットを添付の図面に示
す好適な実施例につき詳細に説明する。

第１図は本発明に係る光偏向器ユニットを読取に用い
られる光ビーム走査装置に適用した第１実施例を概念的
に示す斜視図である。

光ビーム走査装置10は基本的にレーザ光源部12と光偏
向器ユニット14と、副走査部（読取部）16とを有し、光
学系を構成するレーザ光源部12と、光偏向器ユニット14
は定盤18上に載置されている。

レーザ光源部12はレーザ発振器からなるレーザ光源2
0、レーザ光源20から放射されたレーザビーム22の不要
な波長領域をカットするフィルター24、レーザビーム22
の径の大きさを厳密に調整するビームエクスパンダー2
6、レーザビーム22を光偏向器ユニット14へ向けるミラ
ー28などで構成され、レーザビーム22が光偏向器ユニッ
ト14を構成する回動ミラー30の偏向点30aに正確に一致
するように光学系を構成している。これらの構成要素で
あるレーザ光源20、フィルター24、ビームエクスパンダ
ー26およびミラー28はレーザビーム22の光軸のずれを生
じさせないように定盤18上に載置され、種々の手段によ
り固定されている。

本発明の光偏向器ユニット14は回動ミラー30および回
動ミラー30を所定角度揺動するためのガルバノメータ32
を有する光偏向器33と、光偏向器33を支持し、基台とな
る定盤18に取り付けるためのマウント部材34を有してお
り、このマウント部材34は上部マウント36と下部マウン
ト38の２層構造を有している。

ガルバノメータ32の回動軸40に担持された回動ミラー
30はガルバノメータが駆動されていない時は、機械的な
中立位置を保っているが、駆動電流に応じて該中立位置
の両側に揺動し、レーザビーム22を偏向点30aを中心と
して走査レンズ70によりビーム径を厳密に調整されてレ
ーザビーム22aから22bまで一次元方向に偏向することが
できるように構成されている。

第2a図および第2b図に詳細に示すように、光偏向器33
のガルバノメータ32は基台である定盤18にマウント部材
34を介して固定されている。ガルバノメータ32の中心に
は回動軸40が上側に突出し、回動軸40の上端部にはこれ
と嵌合する円柱状のミラーマウント42がその円柱側面を
貫通して回動軸40に到達するねじ44によって固定されて
いる。ミラーマウント42は上部端面に凹形の溝46が形成
され、回動ミラー30の下部を受容する。回動ミラー30の
下部は、凹形溝46に対して接着剤にて接着され、これに
よって回動ミラー30がミラーマウント42に機械的に保持
される。光偏向器33のガルバノメータ32はねじまたは接
着剤などの固定手段によって上部マウント36に固定され
ている。

上部マウント36は第２図に示す例では矩形板であって
中心部にガルバノメータ32が固定され、周辺部４箇所に
調整手段となる調整溝孔48が設けられている。各調整溝
孔48には座金49等を介してねじ50が挿入され、下部マウ
ント38に設けられたねじ穴52と螺合する。この調整溝孔
48はその孔径がねじ50の軸径よりも大きく、いわゆるバ
カ穴となっているので上部マウント36を下部マウント38
に対して前後左右に微小変位させることができる。

こうして、上部マウント36に固定されたガルバノメー
タ33の回動軸40を前後左右に微調整して位置合せを行な
い、回動ミラー30の偏向点30aの位置ずれを下部マウン
ト38上で調整することができる。この時、前述の４個の
調整溝孔48は回動軸40の中心を中心とする同一円周上に
等間隔で設けるのが好ましい。この理由は、上部マウン
ト36を下部38に固定する際にねじ50により片締めになら
ず均等に締付けることができるばかりか、回動軸40の回
転方向への微調整もできるからである。

下部マウント38は第２図に示す例では矩形板であって
上部マウント36の４個の調整溝孔48に対応するねじ穴52
に加えて、周辺部４箇所に円形の小孔54が設けられてい
る。各小孔54には小孔54の内径とほぼ同じ径のねじ56が
すきまやガタがなく、ぴったりと挿入され、定盤18に設
けられたねじ穴58と螺合し、下部マウントを定盤18の所
定の位置に固定することができる。

第１図に示すようにレーザ光源20から放射された光が
光偏向器33の回動ミラー30の偏向点30aで反射偏向され
て、走査レンズ70に入り、回動ミラー30の揺動によっ
て、レーザビーム22aから22bまで偏向され副走査部16の
シート状の被走査体である蓄積性蛍光体シート72上に１
本の主走査線74が形成されるように光学系が構成され
る。副走査部16は蓄積性蛍光体シート72を主走査線74と
略直交する矢印Ａで示す方向に搬送するためのローラ、
ベルトコンベアなどの副走査搬送手段76を有している。
また、主走査線74に沿って、矢印Ａで示す方向に搬送さ
れる蓄積性蛍光体シート72と所定間隔離間して、光ガイ
ド78が設けられている。光ガイド78は導光性シート状材
料からなりその一端が主走査線74とほぼ同じ長さの入射
端面78aを有し、他端がフォトマルチプライヤなどの光
電変換素子からなる光検出器80の受光面と合うように形
成されている。このため、レーザビーム22の照射によっ
て、蓄積性蛍光体シート74から放射される輝尽発光光は
すべて光ガイド78に入射し、光伝達手段である光ガイド
78によって、光検出器80へ伝達されるように構成され
る。

光偏向器33の回動ミラー30の揺動によってレーザビー
ム22を22aから22bまで偏向し、蓄積性蛍光体シート72を
矢印Ａで示す方向に副走査搬送しつつ、主走査線74に沿
って走査することにより、蓄積性蛍光体シート72の全面
を走査することができ、蓄積性蛍光体シート72に蓄えら
れていた全画像情報をあますところなく読み取ることが
できるように、副走査および主走査の速度を同時に調整
するように構成されている。

本発明に係る光偏向器ユニット14を組み込んだ読取に
用いられる光ビーム走査装置は基本的には以上のように
構成されるが、これに限定されるわけではなく、画像情
報を写真感光材料等の記録媒体に記録するための光ビー
ム走査装置に組み込んでもよい。

例えば、第３図に示すように、あらかじめ、音響光学
変調器（AOM）などの何らかの変調手段によって情報信
号に応じて変調されて、レーザ光源20から放射されたレ
ーザビーム22をミラー28により光偏向器ユニット14の回
動ミラー30の偏向点30aに入射させ、光偏向器33のガル
バノメータ32の駆動によって回動ミラー30を所定角度揺
動させて、レーザビーム22を22aから22bまで偏向し、光
路の途中に配設された長方形のミラー82によって、反射
させて、矢印Ａで示す方向に副走査搬送される写真感光
材料などの記録媒体84上に主走査線74を形成し、走査す
ることにより、記録媒体84に画像情報を記録させるよう
に構成してもよい。

本発明に係る光偏向器ユニット14は放射線画像読取装
置または放射線画像記録装置の組立時または修理交換時
に、それらの装置内に設けられた光ビーム走査装置10内
に組み込むのに先だって、予め光偏向器33の回動ミラー
30の偏向点30aを調整することができるように構成され
ているので、前記の読取装置または記録装置内の光ビー
ム走査装置10と光学的に等価な光学系を有する調整装置
が必要である。この調整装置は第４図および第4a図に示
すように、副走査搬送機構を除き第１図に示す光ビーム
走査装置10の光学系と同じ配置を取ることができるよう
に構成されている。従ってこれらの図では理解し易いよ
うに第１図と同様の部分は第１図と同様の符号を付して
示し、また光学系についての詳細な説明は省略する。光
学偏向器ユニット14の下部マウント38は定盤18にねじ56
によって予め定められた位置に取り付けられる。

この時、下部マウント38は光ビーム走査装置10および
調整装置11のそれぞれの定盤18に対して、位置決めピン
などにより、精度よく再取り付け、互換取り付けができ
るように構成されている。

第４図に示す例では、下部マウント38の周囲であっ
て、レーザビーム22を妨げず、上部マウント36をねじ50
により固定する際に妨げにならない位置に、６個の微調
整治具90が定盤18に配設され、上部マウント36をあらゆ
る方向に微調整することができる。

微調整治具90はスピンドル91とスピンドル91を支持す
るための支持ブロック92を有する。スピンドル91の先端
91aは上部マウント36をスピンドルの移動に従って確実
に移動させるように押すための部分であり、半球状であ
るのが好ましい。スピンドル91の他端には円盤状のつま
み93が取り付けられている。スピンドル91の中間部はお
ねじが設けられており、支持ブロック92のめねじ部と螺
合するように構成されている。支持ブロック92の下端部
はねじ94などによって定盤18に固定され、上部マウント
36をスピンドル91が押すことのできる位置にめねじ部が
貫通して設けられている。

微調整治具90はこれに限定されるわけではなく、例え
ばマイクロメータなどの既製の測長器具をマイクロメー
タスタンドなどを用いて光学系を妨害せずに、上部マウ
ント36を移動できる位置に据え付けるようにしてもよ
い。

第４図に示す例では、６個の微調整治具90を用い、レ
ーザビーム22の反射方向（符号22aと22bの方向）の光軸
の中心線上に沿って、微調整治具90を上部マウント36の
端面37aおよび37bにそれぞれ１個ずつ設けている。ま
た、前記中心線と略直角方向に沿って、微調整治具90を
上部マウント36の端面37cの両端に２個、端面37dの両端
に２個設け、対応する２個を同一直線に沿うように配置
している。

回動ミラー30の偏向点30aが正しく設定された場合
に、光偏向器33の駆動によって回動ミラー30が揺動し、
レーザビーム22を22aから22bまでの偏向して形成される
主走査線74と一致する位置に設定主走査線75とその両端
部75aおよび75bを示す線が形成されている。

回動ミラー30の偏向点30aがずれている場合には、主
走査線74が設定主走査線75とその両端部75aおよび75bと
一致するように、上部マウント36を下部マウント38に対
して微小変位させて、微調整した後、上部マウント36を
下部マウント38に固定するように構成されている。

以上のように、光偏向器ユニット14の上部マウント36
および下部マウント38の形状は矩形としたけれども、こ
れに限定されるわけではなく、上部マウント36は好適に
光偏向器32を取り付けることができ、下部マウント38に
対して微小変位させることができ、微小変位による微調
整後下部マウント38にねじ等により固定できればどのよ
うな形状でもよい。また下部マウント38も、光ビーム走
査装置10の基台である定盤の所定の位置に取り付けるこ
とができ、上部マウントを載置できればどのような形状
でもよい。

従って、後偏向器ユニット14の微調整治具90の取り付
け位置、数および形状は上記の上部マウント36および下
部マウント38の形状によって変えることができることは
勿論である。

また、本発明では調整手段として円弧状の調整溝孔48
を上部マウント36に設けたが、光偏向器32が固定されて
いる上部マウント36と定盤38に固定するための下部マウ
ント38との間で好適に微調整でき、微調後固着できれば
どのような手段であってもよい。さらに、微調後、上部
マウント36を外側から下部マウント38にねじ止めしても
よいし、接着剤による接着を行ってもよい。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて詳細に説
明したが、本発明はこの実施態様に限定されるわけでは
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。

〈発明の具体的作用〉 本発明に係る光偏向器ユニットは基本的には以上のよ
うに構成されるものであり、その作用について説明す
る。

先ず、第2a図および第2b図に示す光偏向器ユニット14
は第４図および第4a図に示す光偏向器の調整装置11の所
定の位置に設置され、その下部マウント38がこの調整装
置11の定盤18に４個のねじ56により据え付けられる。こ
の時には４個のねじ50は緩められており、上部マウント
36は調整溝孔48に沿って、あらゆる方向に変位できる。

次に、レーザ光源20から放射されたレーザビーム22は
フィルター24により不要な波長領域がカットされ、ビー
ムエクスパンダー26によりレーザビーム22の径が厳密に
調整され、ミラー28により反射されて光偏向器ユニット
14の回動ミラー30の偏向点30aに向かって進行する。

光偏向器33のガルバノメータ32を駆動させると、回動
ミラー30が所定の角度揺動し、レーザビーム22は所定角
度偏向され、走査レンズ70により収束されて、レーザビ
ーム22aから22bまで偏向され、主走査線74が形成され
る。主走査線74が予め設定されている設定主走査線75と
その両端部75a、75bに一致していない場合には、回動ミ
ラー30の偏向点30aが位置ずれを起こしていることにな
る。

この時、偏向点30aの位置ずれは主走査線74が設定主
走査線75とその両端部75a,75bに一致するように調整さ
れる。すなわち、６個のうちのそれぞれ対応する２つの
微調整治具90のつまみ93を回して、スピンドル91を微小
変位させ、スピンドル91の先端部91aに当接している光
偏向器ユニット14の上部マウント36を調整溝孔48に沿っ
て微小変位させることにより、上部マウント36に取り付
けられている回動ミラー30の偏向点30aが微小変位し、
第４図に誇張して点線で主走査線74aが設定主走査線75
とその両端部75a、75bに一致する位置まで調整される。

調整が終ると、上部マウント36に設けられた調整溝孔
48に挿入され、下部マウント38のねじ穴52と係合してい
るねじ50を４箇所とも締め付けて、上部マウント36を下
部マウント38に固着する。

この後、下部マウント38を調整装置11の定盤18に固定
しているねじ56を緩めて、この調整済の光偏向器ユニッ
ト14をこの定盤18から取り外し、第１図に示す本来取り
付けるべき光ビーム走査装置10の定盤18に取り付け、そ
の下部マウント38をねじ56で４箇所とも締め付けて固定
する。なお、この際、光ビーム走査装置10と調整装置11
の定盤18には位置決め用のピンが設けられ、下部マウン
ト38を正確に位置決めできるようになっている。

ここで、光偏向器ユニット14は光ビーム走査装置10と
光学的に等価な光学系を有する調整装置11により予め調
整されているので光ビーム走査装置10上で調整する必要
がない。

ここで、レーザ光源20を点灯し、レーザビーム22を光
偏向器33によりレーザビーム22aから22bまで偏向し、蓄
積性蛍光体シート72上に好適に主走査線74を画成するこ
とができる。同時に蓄積性蛍光体シート72は副走査搬送
機構76により主走査線74と略直交する方向（矢印Ａで示
す方向）に搬送されているので、被走査体である蓄積性
蛍光体シート72は二次元的に全面に亘って走査される。
この時発生する輝尽発光光を光ガイド78に集光し、光検
出器80で光電変換して、電気信号として蓄積性蛍光体シ
ート72が蓄えていた全ての情報が読み取られる。

光偏向器33の回動ミラー30の偏向点30aは光ビーム走
査装置10に組み込む前に十分に調整されているため、光
ビーム走査装置10上で微調整を行わなくても、主走査線
74の位置と長さは常に好適なものとなる。

また、第３図に示すようにこの光偏向器ユニット14を
記録装置の光ビーム走査装置10に適用した場合も、同様
に矢印Ａで示す方向に副走査搬送される記録媒体84上
に、好適な主走査線74を画成することができ、可視像と
して得た時に、読影特性の優れた放射線画像を得ること
ができる。

〈発明の効果〉 以上詳述したように、本発明によれば、組立時および
修理交換時において光偏向器にマウントを取り付けた光
偏向器ユニットを放射線画像読取装置および／または放
射線画像記録装置の光ビーム走査装置に取り付ける前に
調整して、取付後の調整を不要なものとしたので、取り
付け時のめんどうな調整が簡略化されるばかりでなく、
調整ためのスペース（空間）が不要なものとなるので、
前記光ビーム走査装置、ひいては前記放射線画像読取装
置および／または前記放射線画像記録装置がコンパクト
化でき、コストダウンできる。

また、本発明によれば、光偏向器ユニットを光ビーム
走査装置用の調整済組立体として構成しているので、組
立および修理交換に際して特別な作業が不要であり、熟
練を要さない。

また、本発明によれば、光偏向器ユニットのマウント
に調整手段を設け、前記読取装置および／または前記記
録装置の光ビーム走査装置と光学的に等価な光学系を有
する調整装置により予め調整できるので、調整が容易で
あり、かつ正確である。

また、本発明によれば、光ビーム走査装置の光偏向器
の偏向点のずれが予め調整されているので、該光ビーム
走査装置に無調整のまま取り付けて、被走査体を走査し
ても、好適に二次元的に走査されるため、読取において
も記録においても、最終的に可視像として出力した時に
読影適性に優れた放射線画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る光偏向器ユニットを組み込んだ
読取用の光ビーム走査装置の概略斜視図である。 第2a図は、本発明に係る光偏向器ユニットの概略斜視図
であり、第2b図は第2a図のII−II断面図である。 第３図は、本発明の光偏向器ユニットを組込んだ記録用
の光ビーム走査装置の概略斜視図である。 第４図は、本発明の光偏向器ユニットの偏向点の位置ず
れを調整するのに用いられる調整装置の概略上面図であ
り、第4a図は光偏向器ユニットおよび微調整治具の部分
の概略正面図である。 第5a図は、従来の光偏向器の光ビーム走査装置への取付
状態を示す概略斜視図であり、第5b図は第5a図のＶ−Ｖ
断面図である。 符号の説明 10……光ビーム走査装置、 11……光偏向器ユニットの調整装置、 12……レーザ光源部、 14……光偏向器ユニット、 16……副走査部、 18……定盤、 20……レーザ光源、 22,22a,22b……レーザビーム、 24……フィルター、 26……ビームエクスパンダー、 28,82……ミラー、 30……回動ミラー、 30a……偏向点、 32……ガルバメータ、 33……光偏向器、 34……マウント、 36……下部マウント、 37a,37b,37c,37d……端面、 38……下部マウント、 40……回動軸、 42……ミラーマウント、 44,50,56,94,104……ねじ、 46……溝、 48……調整溝孔、 49……座金、 52,58,106……ねじ穴、 54……小孔、 70……走査レンズ、 72……蓄積性蛍光体シート、 74,74a……主走査線、 75……設定主走査線、 75a,75b……設定主走査線の端部の線、 76……副走査搬送手段、 78……光ガイド、 78a……入射端面、 80……光検出器、 84……記録媒体、 90……微調整治具、 91……スピンドル、 91a……スピンドルの先端部、 92……支持ブロック、 93……つまみ、 100……マウント、 102……調整口

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被走査体に光ビームを照射して二次元的に
   走査する光ビーム走査装置に用いる光偏向器ユニットで
   あって、 該光偏向器ユニットは、該光ビームを一次元方向に偏向
   する光偏向器と、該光偏向器を支持する上部マウントお
   よび該上部マウントを支持すると共に前記光ビーム走査
   装置の基台の所定の位置に固定される下部マウントで構
   成されるマウント部材と、前記下部マウントの前記上部
   マウント支持面において該下部マウントに対する上部マ
   ウントの位置を２次元的に調整するための調整手段と、
   前記ビーム走査装置と光学的に等価な光学系を有する調
   整装置とを有し、 前記下部マウントを前記光ビーム走査装置の基台の所定
   の位置に固定するに先立ち、前記調整装置を用いて、前
   記調整手段によって前記下部マウントに対する前記上部
   マウントの２次元的な位置が調整されてなることを特徴
   とする光偏向器ユニット。
2. 【請求項２】前記位置調整手段は、前記上部マウントに
   形成された溝孔と、この溝孔に挿通されたねじと、前記
   下部マウントに設けられたねじ穴とで構成してなる特許
   請求の範囲第１項に記載の光偏向器ユニット。