JP2607800Y2 - 赤外線放射温度計 - Google Patents
赤外線放射温度計Info
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- JP2607800Y2 JP2607800Y2 JP1993030549U JP3054993U JP2607800Y2 JP 2607800 Y2 JP2607800 Y2 JP 2607800Y2 JP 1993030549 U JP1993030549 U JP 1993030549U JP 3054993 U JP3054993 U JP 3054993U JP 2607800 Y2 JP2607800 Y2 JP 2607800Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は赤外線放射温度計に関
し、更に詳しくは、放射温度計用焦電型赤外線検出器
と、測定対象物から放射された赤外光を断続するシャッ
ターとからなり、このシャッターが開かれた時には測定
対象物からの赤外光を受けることにより、測定対象物と
シャッターとの温度差に比例した出力を計測する赤外線
放射温度計に関するものである。
し、更に詳しくは、放射温度計用焦電型赤外線検出器
と、測定対象物から放射された赤外光を断続するシャッ
ターとからなり、このシャッターが開かれた時には測定
対象物からの赤外光を受けることにより、測定対象物と
シャッターとの温度差に比例した出力を計測する赤外線
放射温度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】赤外線放射温度計の光学系部分の従来の
一般的な構成を図１０、図１１に示す。まず、図１０に
おいて、測定対象物Ｓから放射された赤外光は、まず、
シャッター３１によって断続された後、放射温度計用焦
電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器という）３２の
受光面３３に集光するため、シャッター手前および赤外
線検出器手前に設けられたレンズ３４およびスリット３
５を、それぞれ通過する。受光面３３は、シャッター３
１による遮蔽時にはそのシャッターからの放射を受け、
シャッター３１が開かれた時には測定対象物Ｓからの赤
外光を受けることにより、赤外線検出器３２は、測定対
象物Ｓとシャッター３１との温度差に比例した電圧Ｖ1
を出力する。
一般的な構成を図１０、図１１に示す。まず、図１０に
おいて、測定対象物Ｓから放射された赤外光は、まず、
シャッター３１によって断続された後、放射温度計用焦
電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器という）３２の
受光面３３に集光するため、シャッター手前および赤外
線検出器手前に設けられたレンズ３４およびスリット３
５を、それぞれ通過する。受光面３３は、シャッター３
１による遮蔽時にはそのシャッターからの放射を受け、
シャッター３１が開かれた時には測定対象物Ｓからの赤
外光を受けることにより、赤外線検出器３２は、測定対
象物Ｓとシャッター３１との温度差に比例した電圧Ｖ1
を出力する。
【０００３】従って、測定対象物Ｓの温度を正確に測定
するには、測定対象物Ｓから放射された赤外光を効率良
く受光面３３に集光することと、シャッター３１の温度
を精度良く検出することが重要な要素である。
するには、測定対象物Ｓから放射された赤外光を効率良
く受光面３３に集光することと、シャッター３１の温度
を精度良く検出することが重要な要素である。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】その対策として従来に
おいては、図１０に示されるように、シャッター３１の
近傍に温度センサ３６を設けてシャッター表面の温度を
測定して前記出力Ｖ1 を補正することが提案されてい
る。
おいては、図１０に示されるように、シャッター３１の
近傍に温度センサ３６を設けてシャッター表面の温度を
測定して前記出力Ｖ1 を補正することが提案されてい
る。
【０００５】ところが、シャッター３１として用いられ
る部材は、一般に、熱容量が小さく、シャッター温度は
シャッター周囲の温度の変動に大きく左右される。この
ため、シャッター周囲の温度の急激な変化に対しては、
前記出力補正により測定対象物の温度が正確に測定され
るという補償が難しい。例えば、赤外線放射温度計の指
示値が温度ドリフトに対して過渡的にふらつきを生じて
実際に用いる上での測定確度が制限される一つの要因を
招いてしまう。
る部材は、一般に、熱容量が小さく、シャッター温度は
シャッター周囲の温度の変動に大きく左右される。この
ため、シャッター周囲の温度の急激な変化に対しては、
前記出力補正により測定対象物の温度が正確に測定され
るという補償が難しい。例えば、赤外線放射温度計の指
示値が温度ドリフトに対して過渡的にふらつきを生じて
実際に用いる上での測定確度が制限される一つの要因を
招いてしまう。
【０００６】また、図１１に示すように、シャッター４
１を低い赤外放射率εr （＜０．２）を有する材料で構
成することにより、シャッター温度の変動による前記出
力Ｖ1 への影響を減らし、赤外線検出器４２の出力とし
て、新たに、測定対象物Ｓと赤外線検出器４２自体の温
度との温度差に比例した電圧Ｖ2 を出力するようにする
ために、赤外線検出器４２の近傍に赤外線検出器４２の
周囲雰囲気温度を測温するサーミスタ４３を設けた赤外
線放射温度計が提案されている（特開昭６０−１８７８
２９号公報）。
１を低い赤外放射率εr （＜０．２）を有する材料で構
成することにより、シャッター温度の変動による前記出
力Ｖ1 への影響を減らし、赤外線検出器４２の出力とし
て、新たに、測定対象物Ｓと赤外線検出器４２自体の温
度との温度差に比例した電圧Ｖ2 を出力するようにする
ために、赤外線検出器４２の近傍に赤外線検出器４２の
周囲雰囲気温度を測温するサーミスタ４３を設けた赤外
線放射温度計が提案されている（特開昭６０−１８７８
２９号公報）。
【０００７】この場合、前記公報の赤外線放射温度計
は、シャッター温度を精度良く測温するためのダイオー
ド等の測温センサを不要にできるという利点と、赤外線
検出器４２の近傍へのサーミスタ４３の取付け構造も比
較的容易にできるという利点を有する。しかし、前記公
報の赤外線放射温度計では、赤外線検出器４２を測温す
るサーミスタ４３を設けることで測定対象物の温度を正
確に測定できるというものの、赤外線検出器周囲の温度
の急激な変化に対しては周囲のみならず、ましてや検出
器４２内の温度変化にまで追従するのが容易では無く、
やはり、上述したように、赤外線放射温度計の指示値の
温度ドリフトに対する補償が十分であるというところ迄
到達するのは難しい。また、赤外線検出器内の温度変化
に追従できるように、検出器全体を一定温度に温調する
ことも提案されているが取付けのための構造を必要とし
たり、コスト高になるおそれがある。
は、シャッター温度を精度良く測温するためのダイオー
ド等の測温センサを不要にできるという利点と、赤外線
検出器４２の近傍へのサーミスタ４３の取付け構造も比
較的容易にできるという利点を有する。しかし、前記公
報の赤外線放射温度計では、赤外線検出器４２を測温す
るサーミスタ４３を設けることで測定対象物の温度を正
確に測定できるというものの、赤外線検出器周囲の温度
の急激な変化に対しては周囲のみならず、ましてや検出
器４２内の温度変化にまで追従するのが容易では無く、
やはり、上述したように、赤外線放射温度計の指示値の
温度ドリフトに対する補償が十分であるというところ迄
到達するのは難しい。また、赤外線検出器内の温度変化
に追従できるように、検出器全体を一定温度に温調する
ことも提案されているが取付けのための構造を必要とし
たり、コスト高になるおそれがある。
【０００８】本考案はこのような実情に鑑みてなされ、
シャッターの温度の変動に左右されにくくできるととも
に、赤外線検出器の（雰囲気）温度の変動にかかわら
ず、赤外線検出器の温度変化に容易に追従できる赤外線
放射温度計を提供することを目的としている。
シャッターの温度の変動に左右されにくくできるととも
に、赤外線検出器の（雰囲気）温度の変動にかかわら
ず、赤外線検出器の温度変化に容易に追従できる赤外線
放射温度計を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この考案は、放射温度計
用焦電型赤外線検出器と、測定対象物から放射された赤
外光を断続するシャッターとからなり、このシャッター
が開かれた時には測定対象物からの赤外光を受けること
により、測定対象物とシャッターとの温度差に比例した
出力を計測する赤外線放射温度計において、前記シャッ
ターが、その表面が鏡面加工された鏡面加工部を検出器
側に有し、かつ、前記放射温度計用焦電型赤外線検出器
が温度補償用センサを内蔵しており、また、放射温度計
用焦電型赤外線検出器が、金属ステム上に固定して載置
された基板と、この基板に実装される受光素子と、前記
基板の受光素子側および／または反対側に実装される受
光部のプリアンプ部品と、受光素子側から受光素子およ
びプリアンプ部品を覆う金属キャップと、この金属キャ
ップに設けられた光学フィルタとからなり、一方、温度
補償用センサが前記基板を挟んで受光素子側と反対側に
実装されており、さらに、基板が両面を連通する開孔を
有し、温度補償用センサが前記開孔に臨んで前記基板上
に取付けられており、また、前記放射温度計用焦電型赤
外線検出器は、前記受光素子からの焦電出力を前記プリ
アンプ部品であるＪ−ＦＥＴおよびゲートバイアス抵抗
を通してインピーダンス変化して出力するための電源端
子、アース端子、焦電出力端子および前記アース端子に
前記温度補償用センサを介して一端が接続されている温
度出力端子を有しており、前記焦電出力端子から増幅回
路を通過した焦電出力と、前記温度出力端子からの温度
出力との温度差に比例した計測信号が基準器から出力さ
れるようにしたことを特徴とする赤外線放射温度計であ
る。
用焦電型赤外線検出器と、測定対象物から放射された赤
外光を断続するシャッターとからなり、このシャッター
が開かれた時には測定対象物からの赤外光を受けること
により、測定対象物とシャッターとの温度差に比例した
出力を計測する赤外線放射温度計において、前記シャッ
ターが、その表面が鏡面加工された鏡面加工部を検出器
側に有し、かつ、前記放射温度計用焦電型赤外線検出器
が温度補償用センサを内蔵しており、また、放射温度計
用焦電型赤外線検出器が、金属ステム上に固定して載置
された基板と、この基板に実装される受光素子と、前記
基板の受光素子側および／または反対側に実装される受
光部のプリアンプ部品と、受光素子側から受光素子およ
びプリアンプ部品を覆う金属キャップと、この金属キャ
ップに設けられた光学フィルタとからなり、一方、温度
補償用センサが前記基板を挟んで受光素子側と反対側に
実装されており、さらに、基板が両面を連通する開孔を
有し、温度補償用センサが前記開孔に臨んで前記基板上
に取付けられており、また、前記放射温度計用焦電型赤
外線検出器は、前記受光素子からの焦電出力を前記プリ
アンプ部品であるＪ−ＦＥＴおよびゲートバイアス抵抗
を通してインピーダンス変化して出力するための電源端
子、アース端子、焦電出力端子および前記アース端子に
前記温度補償用センサを介して一端が接続されている温
度出力端子を有しており、前記焦電出力端子から増幅回
路を通過した焦電出力と、前記温度出力端子からの温度
出力との温度差に比例した計測信号が基準器から出力さ
れるようにしたことを特徴とする赤外線放射温度計であ
る。
【００１０】
【００１１】上記のように、基板が両面を連通する開孔
を有し、温度補償用センサが前記開孔に臨んで前記基板
上に取付けられ（図２参照）、あるいは基板が両面を連
通する開孔を有し、温度補償用センサが前記開孔に臨ん
で金属ステム上に取付けられる（図７参照）ので前記放
射温度計用焦電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器と
いう）の小型化に寄与できる。
を有し、温度補償用センサが前記開孔に臨んで前記基板
上に取付けられ（図２参照）、あるいは基板が両面を連
通する開孔を有し、温度補償用センサが前記開孔に臨ん
で金属ステム上に取付けられる（図７参照）ので前記放
射温度計用焦電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器と
いう）の小型化に寄与できる。
【００１２】また、赤外線検出器の受光素子としては、
受光部の受光電極を光学フィルタ側に有し、受光電極に
対する共通電極を基板側に有する焦電材料からなり、こ
の焦電出力をＪ−ＦＥＴおよびチップ抵抗などのプリア
ンプを通してインピーダンス変換して出力するための電
源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子（Ｖ
s ）と、温度補償用センサの温度出力端子（Ｖth）とを
備えたものが挙げられる。そして、赤外線検出器は、電
源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子（Ｖ
s ）および一端が前記アース端子に接続されている温度
出力端子の４ピン端子を有している。
受光部の受光電極を光学フィルタ側に有し、受光電極に
対する共通電極を基板側に有する焦電材料からなり、こ
の焦電出力をＪ−ＦＥＴおよびチップ抵抗などのプリア
ンプを通してインピーダンス変換して出力するための電
源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子（Ｖ
s ）と、温度補償用センサの温度出力端子（Ｖth）とを
備えたものが挙げられる。そして、赤外線検出器は、電
源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子（Ｖ
s ）および一端が前記アース端子に接続されている温度
出力端子の４ピン端子を有している。
【００１３】この考案における温度補償用センサとして
は、公知のサーミスタ、または、ダイオードが使用され
る。
は、公知のサーミスタ、または、ダイオードが使用され
る。
【００１４】この考案における赤外線放射温度計は、例
えば、測定対象物から放射された赤外光が通過する方向
に、レンズ、複数のスリットを備えたレンズホルダ、シ
ャッターが取付けられたシャッター取付部および放射温
度計用焦電型赤外線検出器用ホルダが、順次、配置され
てなるもの（図１参照）を挙げることができる。
えば、測定対象物から放射された赤外光が通過する方向
に、レンズ、複数のスリットを備えたレンズホルダ、シ
ャッターが取付けられたシャッター取付部および放射温
度計用焦電型赤外線検出器用ホルダが、順次、配置され
てなるもの（図１参照）を挙げることができる。
【００１５】図６および図１２は、本考案の赤外線検出
器を用いた赤外線放射温度計および従来例の指示値の温
度ドリフトに対する補償特性をそれぞれ示す。図６およ
び図１２から、焦電出力曲線Ｒと周囲温度変化曲線Ｆを
本考案と従来とで同一にした場合、焦電出力曲線Ｒと温
度出力曲線Ｐ，Ｑから得られる計測信号に対応する計測
曲線Ｈ，Ｉを比較すると、領域Ｃで示す計測曲線Ｉの極
小部分の方が、領域Ｄで示す計測曲線Ｈの極小部分のも
のより遅れていることが分かる。このことは、周囲温度
変化曲線Ｆが急激に変化しても、従来例の温度補償用セ
ンサの温度出力曲線Ｑより赤外線検出器に内蔵した温度
補償用センサの温度出力曲線Ｐの方が曲線Ｆで示す周囲
温度変化に追随しやすく、そのため立ち上がりが速いと
いうことを示している。
器を用いた赤外線放射温度計および従来例の指示値の温
度ドリフトに対する補償特性をそれぞれ示す。図６およ
び図１２から、焦電出力曲線Ｒと周囲温度変化曲線Ｆを
本考案と従来とで同一にした場合、焦電出力曲線Ｒと温
度出力曲線Ｐ，Ｑから得られる計測信号に対応する計測
曲線Ｈ，Ｉを比較すると、領域Ｃで示す計測曲線Ｉの極
小部分の方が、領域Ｄで示す計測曲線Ｈの極小部分のも
のより遅れていることが分かる。このことは、周囲温度
変化曲線Ｆが急激に変化しても、従来例の温度補償用セ
ンサの温度出力曲線Ｑより赤外線検出器に内蔵した温度
補償用センサの温度出力曲線Ｐの方が曲線Ｆで示す周囲
温度変化に追随しやすく、そのため立ち上がりが速いと
いうことを示している。
【００１６】
【作用】本考案では、シャッターの検出器側の表面に鏡
面加工部を形成しているので、放射温度計用焦電型赤外
線検出器の出力がシャッター温度の変動による出力への
影響を低減できるとともに、前記赤外線検出器が温度補
償用センサを内蔵していることから、前記検出器の温度
変化に追従しやすく、検出器全体を温調しなくても、比
較的良好な補償特性を得ることができる効果がある。ま
た、従来のような赤外線検出器の近傍へのサーミスタの
取付けのための取付け構造を必要とすることなく、比較
的容易に温度補償用センサを放射温度計用焦電型検出器
に内蔵でき、かつ取付工程も削減できる。
面加工部を形成しているので、放射温度計用焦電型赤外
線検出器の出力がシャッター温度の変動による出力への
影響を低減できるとともに、前記赤外線検出器が温度補
償用センサを内蔵していることから、前記検出器の温度
変化に追従しやすく、検出器全体を温調しなくても、比
較的良好な補償特性を得ることができる効果がある。ま
た、従来のような赤外線検出器の近傍へのサーミスタの
取付けのための取付け構造を必要とすることなく、比較
的容易に温度補償用センサを放射温度計用焦電型検出器
に内蔵でき、かつ取付工程も削減できる。
【００１７】
【実施例】以下にこの考案の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。なお、この考案は、それによって限定を
受けるものではない。図１〜図６はこの考案の一実施例
を示す。図１〜図３において、赤外線放射温度計は、放
射温度計用焦電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器と
いう）１と、測定対象物Ｓから放射された赤外光を断続
するシャッター２とからなり、このシャッターが開かれ
た時には測定対象物Ｓからの赤外光を受けることによ
り、測定対象物Ｓとシャッター２との温度差に比例した
出力を計測するものである。この赤外線放射温度計は、
シャッター２が、その表面が鏡面加工された鏡面加工部
３を検出器側に有し、かつ、赤外線検出器１がサーミス
タの温度補償用センサ４を内蔵している。
細に説明する。なお、この考案は、それによって限定を
受けるものではない。図１〜図６はこの考案の一実施例
を示す。図１〜図３において、赤外線放射温度計は、放
射温度計用焦電型赤外線検出器（以下、赤外線検出器と
いう）１と、測定対象物Ｓから放射された赤外光を断続
するシャッター２とからなり、このシャッターが開かれ
た時には測定対象物Ｓからの赤外光を受けることによ
り、測定対象物Ｓとシャッター２との温度差に比例した
出力を計測するものである。この赤外線放射温度計は、
シャッター２が、その表面が鏡面加工された鏡面加工部
３を検出器側に有し、かつ、赤外線検出器１がサーミス
タの温度補償用センサ４を内蔵している。
【００１８】更に、赤外線検出器１が、金属ステム５上
に固定して載置された基板６と、この基板に実装される
受光素子７と、基板６の両面に形成された導体パターン
上に実装される、受光部８のプリアンプ部品９ａ〜９ｃ
と、受光素子側から受光素子７およびプリアンプ部品９
ａ〜９ｃを覆う金属キャップ１０と、この金属キャップ
に設けられた光学フィルタ１１とからなり、一方、サー
ミスタ（温度補償用センサ）４が基板６を挟んで受光素
子側と反対側に実装されている。この際、基板６が両面
を連通する開孔６ａを有し、サーミスタ４が開孔６ａに
臨んで基板上に取付けられている。
に固定して載置された基板６と、この基板に実装される
受光素子７と、基板６の両面に形成された導体パターン
上に実装される、受光部８のプリアンプ部品９ａ〜９ｃ
と、受光素子側から受光素子７およびプリアンプ部品９
ａ〜９ｃを覆う金属キャップ１０と、この金属キャップ
に設けられた光学フィルタ１１とからなり、一方、サー
ミスタ（温度補償用センサ）４が基板６を挟んで受光素
子側と反対側に実装されている。この際、基板６が両面
を連通する開孔６ａを有し、サーミスタ４が開孔６ａに
臨んで基板上に取付けられている。
【００１９】また、シャッター２はステンレス、また
は、鉄からなり、０．２ｍｍの厚みを有し、鏡面加工部
３は金（Ａｕ）膜からなり、一方、光学フィルタ１１
は、透過特性に波長選択性を持たせた、例えば、８μｍ
カット用フィルタ（カットオンフィルタ）が使用され
る。そして、赤外線放射温度計は、図１に示すように、
測定対象物Ｓから放射された赤外光が通過する方向（符
号１５で示す矢印の方向）に、レンズ１２、複数のスリ
ット１３，１４を備えたレンズホルダ１６、シャッター
２が取付けられたシャッター取付部１７および赤外線検
出器取付用ホルダ１８が、順次、配置されてなる。
は、鉄からなり、０．２ｍｍの厚みを有し、鏡面加工部
３は金（Ａｕ）膜からなり、一方、光学フィルタ１１
は、透過特性に波長選択性を持たせた、例えば、８μｍ
カット用フィルタ（カットオンフィルタ）が使用され
る。そして、赤外線放射温度計は、図１に示すように、
測定対象物Ｓから放射された赤外光が通過する方向（符
号１５で示す矢印の方向）に、レンズ１２、複数のスリ
ット１３，１４を備えたレンズホルダ１６、シャッター
２が取付けられたシャッター取付部１７および赤外線検
出器取付用ホルダ１８が、順次、配置されてなる。
【００２０】さらに、受光素子７が、受光部８としての
受光電極１９，１９を光学フィルタ１１側に有し、受光
電極１９に対する共通電極２０を基板６側に有する焦電
材料からなり、この焦電出力をＪ−ＦＥＴおよびゲート
バイアス抵抗（チップ抵抗）ＲG などのプリアンプ９ａ
〜９ｃを通してインピーダンス変換して出力するための
電源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子
（Ｖs ）と、温度補償用センサの温度出力端子（Ｖth）
とを赤外線放射温度計は備えている。そして、赤外線検
出器１は、電源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電
出力端子（Ｖs ）および一端が前記アース端子（Ｅ）に
接続されている温度出力端子（Ｖth）の４ピン端子を有
する（図４、図５参照）。すなわち、図４に示すよう
に、サーミスタ４の接続を、アース端子（Ｅ）と温度出
力端子（Ｖth）に接続してある。そして、図１におい
て、焦電出力端子（Ｖs ）から増幅回路Ｚを通過した焦
電出力と、温度出力端子（Ｖth）からの温度出力との温
度差に比例した計測信号が基準器Ｋから出力される。
受光電極１９，１９を光学フィルタ１１側に有し、受光
電極１９に対する共通電極２０を基板６側に有する焦電
材料からなり、この焦電出力をＪ−ＦＥＴおよびゲート
バイアス抵抗（チップ抵抗）ＲG などのプリアンプ９ａ
〜９ｃを通してインピーダンス変換して出力するための
電源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電出力端子
（Ｖs ）と、温度補償用センサの温度出力端子（Ｖth）
とを赤外線放射温度計は備えている。そして、赤外線検
出器１は、電源端子（ＶDD）、アース端子（Ｅ）、焦電
出力端子（Ｖs ）および一端が前記アース端子（Ｅ）に
接続されている温度出力端子（Ｖth）の４ピン端子を有
する（図４、図５参照）。すなわち、図４に示すよう
に、サーミスタ４の接続を、アース端子（Ｅ）と温度出
力端子（Ｖth）に接続してある。そして、図１におい
て、焦電出力端子（Ｖs ）から増幅回路Ｚを通過した焦
電出力と、温度出力端子（Ｖth）からの温度出力との温
度差に比例した計測信号が基準器Ｋから出力される。
【００２１】この実施例のものは、上記構成を有するか
ら、シャッター２の検出器１側の表面に鏡面加工部３を
形成しているので、赤外線検出器１の出力がシャッター
温度の変動による出力への影響を低減できるとともに、
赤外線検出器１がサーミスタ４を内蔵していることか
ら、検出器１の温度変化に追従しやすく、検出器全体を
温調しなくても、比較的良好な補償特性を得ることがで
きる。また、従来のような赤外線検出器の近傍へのサー
ミスタの取付けのための取付け構造を必要とすることな
く、比較的容易にサーミスタ４を検出器１に内蔵でき
る。
ら、シャッター２の検出器１側の表面に鏡面加工部３を
形成しているので、赤外線検出器１の出力がシャッター
温度の変動による出力への影響を低減できるとともに、
赤外線検出器１がサーミスタ４を内蔵していることか
ら、検出器１の温度変化に追従しやすく、検出器全体を
温調しなくても、比較的良好な補償特性を得ることがで
きる。また、従来のような赤外線検出器の近傍へのサー
ミスタの取付けのための取付け構造を必要とすることな
く、比較的容易にサーミスタ４を検出器１に内蔵でき
る。
【００２２】なお、このサーミスタ４は、公知のものを
使用してもよいし、基板６上にパターン形成した小型化
されたものでもよい。要するに、赤外線検出器１に内蔵
できるように、サーミスタ部品実装に必要なスペースが
赤外線検出器１内に確保されていればよい。温度補償用
センサがダイオードの場合も同様である。
使用してもよいし、基板６上にパターン形成した小型化
されたものでもよい。要するに、赤外線検出器１に内蔵
できるように、サーミスタ部品実装に必要なスペースが
赤外線検出器１内に確保されていればよい。温度補償用
センサがダイオードの場合も同様である。
【００２３】図７は、基板６が両面を連通する開孔６ａ
を有し、サーミスタ４が開孔６ａに臨んで金属ステム１
０上に取付けられているこの考案の他の実施例を示す。
そして、受光部８のプリアンプ部品９が基板６の受光素
子側のみに実装されている。
を有し、サーミスタ４が開孔６ａに臨んで金属ステム１
０上に取付けられているこの考案の他の実施例を示す。
そして、受光部８のプリアンプ部品９が基板６の受光素
子側のみに実装されている。
【００２４】
【００２５】
【考案の効果】以上のようにこの考案によれば、シャッ
ターの検出器側の表面に鏡面加工部を形成しているの
で、放射温度計用焦電型赤外線検出器の出力がシャッタ
ー温度の変動による出力への影響を低減できるととも
に、放射温度計用焦電型赤外線検出器が温度補償用セン
サを内蔵していることから、検出器の温度変化に追従し
やすく、検出器全体を温調しなくても、比較的良好な補
償特性を得ることができる効果がある。また、従来のよ
うな赤外線検出器の近傍へのサーミスタの取付けのため
の取付け構造を必要とすることなく、比較的容易に温度
補償用センサを放射温度計用焦電型赤外線検出器に内蔵
でき、かつ取付工程も削減できる利点を有する。
ターの検出器側の表面に鏡面加工部を形成しているの
で、放射温度計用焦電型赤外線検出器の出力がシャッタ
ー温度の変動による出力への影響を低減できるととも
に、放射温度計用焦電型赤外線検出器が温度補償用セン
サを内蔵していることから、検出器の温度変化に追従し
やすく、検出器全体を温調しなくても、比較的良好な補
償特性を得ることができる効果がある。また、従来のよ
うな赤外線検出器の近傍へのサーミスタの取付けのため
の取付け構造を必要とすることなく、比較的容易に温度
補償用センサを放射温度計用焦電型赤外線検出器に内蔵
でき、かつ取付工程も削減できる利点を有する。
【図１】この考案の一実施例を示す全体構成説明図であ
る。
る。
【図２】上記実施例における要部斜視図である。
【図３】上記実施例における要部構成説明図である。
【図４】上記実施例における要部の等価回路図である。
【図５】上記実施例における簡略化した要部構成説明図
である。
である。
【図６】上記実施例における赤外線放射温度計の指示値
の温度ドリフトに対する補償特性を一般的に示す特性図
である。
の温度ドリフトに対する補償特性を一般的に示す特性図
である。
【図７】この考案の他の実施例を示す要部斜視図であ
る。
る。
【図８】上記他の実施例における要部の等価回路図であ
る。
る。
【図９】上記他の実施例における簡略化した要部構成説
明図である。
明図である。
【図１０】従来例を示す全体構成説明図である。
【図１１】もう１つの従来例を示す全体構成説明図であ
る。
る。
【図１２】従来の赤外線放射温度計の指示値の温度ドリ
フトに対する補償特性を一般的に示す特性図である。
フトに対する補償特性を一般的に示す特性図である。
１…赤外線検出器（放射温度計用焦電型赤外線検出
器）、２…シャッター、３…鏡面加工部、４…サーミス
タ（温度補償用センサ）、Ｓ…測定対象物、ＶDD…電源
端子、Ｅ…アース端子、Ｖs …焦電出力端子、Ｖth，Ｖ
th1 ，Ｖth2 …温度出力端子。
器）、２…シャッター、３…鏡面加工部、４…サーミス
タ（温度補償用センサ）、Ｓ…測定対象物、ＶDD…電源
端子、Ｅ…アース端子、Ｖs …焦電出力端子、Ｖth，Ｖ
th1 ，Ｖth2 …温度出力端子。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−249020（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−184127（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−39123（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−42427（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 1/02 G01J 1/42 - 1/44 G01J 5/02 G01J 5/12 - 5/14 G01V 9/04 G08B 13/19 - 13/191 H01L 31/00 - 31/02 H01L 31/08 H01L 37/00 - 37/02
Claims (1)
- 【請求項１】 放射温度計用焦電型赤外線検出器と、測
定対象物から放射された赤外光を断続するシャッターと
からなり、このシャッターが開かれた時には測定対象物
からの赤外光を受けることにより、測定対象物とシャッ
ターとの温度差に比例した出力を計測する赤外線放射温
度計において、前記シャッターが、その表面が鏡面加工
された鏡面加工部を検出器側に有し、かつ、前記放射温
度計用焦電型赤外線検出器が温度補償用センサを内蔵し
ており、また、放射温度計用焦電型赤外線検出器が、金
属ステム上に固定して載置された基板と、この基板に実
装される受光素子と、前記基板の受光素子側および／ま
たは反対側に実装される受光部のプリアンプ部品と、受
光素子側から受光素子およびプリアンプ部品を覆う金属
キャップと、この金属キャップに設けられた光学フィル
タとからなり、一方、温度補償用センサが前記基板を挟
んで受光素子側と反対側に実装されており、さらに、基
板が両面を連通する開孔を有し、温度補償用センサが前
記開孔に臨んで前記基板上に取付けられており、また、
前記放射温度計用焦電型赤外線検出器は、前記受光素子
からの焦電出力を前記プリアンプ部品であるＪ−ＦＥＴ
およびゲートバイアス抵抗を通してインピーダンス変化
して出力するための電源端子、アース端子、焦電出力端
子および前記アース端子に前記温度補償用センサを介し
て一端が接続されている温度出力端子を有しており、前
記焦電出力端子から増幅回路を通過した焦電出力と、前
記温度出力端子からの温度出力との温度差に比例した計
測信号が基準器から出力されるようにしたことを特徴と
する赤外線放射温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993030549U JP2607800Y2 (ja) | 1993-05-16 | 1993-05-16 | 赤外線放射温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993030549U JP2607800Y2 (ja) | 1993-05-16 | 1993-05-16 | 赤外線放射温度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684326U JPH0684326U (ja) | 1994-12-02 |
| JP2607800Y2 true JP2607800Y2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=12306884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993030549U Expired - Fee Related JP2607800Y2 (ja) | 1993-05-16 | 1993-05-16 | 赤外線放射温度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2607800Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102657953B1 (ko) * | 2020-12-08 | 2024-04-18 | (주)유우일렉트로닉스 | 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치, 방법 및 컴퓨터로 독출 가능한 기록 매체 |
-
1993
- 1993-05-16 JP JP1993030549U patent/JP2607800Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684326U (ja) | 1994-12-02 |
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