JP2606407Y2 - フーリエ分光方式及び分散分光方式の光スペクトラムアナライザ - Google Patents
フーリエ分光方式及び分散分光方式の光スペクトラムアナライザInfo
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- JP2606407Y2 JP2606407Y2 JP1992043884U JP4388492U JP2606407Y2 JP 2606407 Y2 JP2606407 Y2 JP 2606407Y2 JP 1992043884 U JP1992043884 U JP 1992043884U JP 4388492 U JP4388492 U JP 4388492U JP 2606407 Y2 JP2606407 Y2 JP 2606407Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、干渉計を利用したフ
ーリエ分光や回折格子を使用した分散分光により入力光
の波長を解析表示する光スペクトラムアナライザに関す
る。
ーリエ分光や回折格子を使用した分散分光により入力光
の波長を解析表示する光スペクトラムアナライザに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種の光スペクトラムアナライザの従
来技術を光干渉計を利用したフーリエ分光について、図
４Ａを参照して説明する。マイケルソン干渉計のような
干渉計１１により、入力光１２と、その光の位相を順次
ずらした光との干渉光が作られ、その干渉光が電気信号
に変換され、その電気信号はＡＤ変換器１３でデジタル
信号に変換され、そのデジタル信号はデジタルフィルタ
１４に供給される。デジタルフィルタ１４の出力は高速
フーリエ変換器１５で高速フーリエ変換（ＦＦＴ）さ
れ、その変換結果が表示器１６に表示される。これら干
渉計１１，ＡＤ変換器１３，デシタルフィルタ１４，フ
ーリエ変換器１５，表示器１６は制御部１７によって制
御される。
来技術を光干渉計を利用したフーリエ分光について、図
４Ａを参照して説明する。マイケルソン干渉計のような
干渉計１１により、入力光１２と、その光の位相を順次
ずらした光との干渉光が作られ、その干渉光が電気信号
に変換され、その電気信号はＡＤ変換器１３でデジタル
信号に変換され、そのデジタル信号はデジタルフィルタ
１４に供給される。デジタルフィルタ１４の出力は高速
フーリエ変換器１５で高速フーリエ変換（ＦＦＴ）さ
れ、その変換結果が表示器１６に表示される。これら干
渉計１１，ＡＤ変換器１３，デシタルフィルタ１４，フ
ーリエ変換器１５，表示器１６は制御部１７によって制
御される。
【０００３】この制御部１７にはキーボードのような操
作部１８が接続され、操作部１８には数値キー１９，い
わゆるテンキー１９が設けられると共に、中心波長を設
定するためのキー２１，波長幅いわゆるスパンを設定す
るためのキー２２などが設けられている。この中心波長
設定キー２１と数値キー１９とを操作することによって
表示器１６に表示すべき中心波長が制御部１７に設定さ
れ、また波長幅設定キー２２と数値キー１９とを操作す
ることによって表示されるべき、すなわち解析されるべ
き波長幅が制御部１７に設定される。制御部１７は例え
ばマイクロコンピュータを主体として構成され、その設
定された中心波長と波長幅とに応じてデジタルフィルタ
１４の通過中心波長及び通過帯域幅を設定し、いわゆる
ズーム量、すなわち拡大率を設定する。
作部１８が接続され、操作部１８には数値キー１９，い
わゆるテンキー１９が設けられると共に、中心波長を設
定するためのキー２１，波長幅いわゆるスパンを設定す
るためのキー２２などが設けられている。この中心波長
設定キー２１と数値キー１９とを操作することによって
表示器１６に表示すべき中心波長が制御部１７に設定さ
れ、また波長幅設定キー２２と数値キー１９とを操作す
ることによって表示されるべき、すなわち解析されるべ
き波長幅が制御部１７に設定される。制御部１７は例え
ばマイクロコンピュータを主体として構成され、その設
定された中心波長と波長幅とに応じてデジタルフィルタ
１４の通過中心波長及び通過帯域幅を設定し、いわゆる
ズーム量、すなわち拡大率を設定する。
【０００４】このようにして設定された中心波長を中心
として、設定された波長帯域幅に対応した波長成分が入
力光１２について変換器１５において高速フーリエ変換
され、その結果が表示器１６に表示される。その表示状
態は例えば図４Ｃに示すような状態となる。これは中心
波長が1.３１００μm ，設定帯域幅が0.１μm の場合で
ある。
として、設定された波長帯域幅に対応した波長成分が入
力光１２について変換器１５において高速フーリエ変換
され、その結果が表示器１６に表示される。その表示状
態は例えば図４Ｃに示すような状態となる。これは中心
波長が1.３１００μm ，設定帯域幅が0.１μm の場合で
ある。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】この入力光の波長スペ
クトラムの状態を観察する場合に、もっとも尖頭値が高
いピーク波長を中心にしてその両側の分布状態を見ると
その入力光を観察する上で便利なことが多い。このため
従来においては先ず適当に中心波長及び波長帯域幅を設
定して表示器１６に表示し、その表示状態を見てそのピ
ーク波長を読み取り、そのピーク波長に操作部１８を制
御して中心波長設定を設定して再び測定を行っていた。
クトラムの状態を観察する場合に、もっとも尖頭値が高
いピーク波長を中心にしてその両側の分布状態を見ると
その入力光を観察する上で便利なことが多い。このため
従来においては先ず適当に中心波長及び波長帯域幅を設
定して表示器１６に表示し、その表示状態を見てそのピ
ーク波長を読み取り、そのピーク波長に操作部１８を制
御して中心波長設定を設定して再び測定を行っていた。
【０００６】ところが入力光１２の光源となるデバイス
によっては、個々のデバイスによりその中心波長が微妙
に異なることがあり、そのような場合において、その入
力光、つまり被測定光源デバイスごとに、先ず中心波長
の設定と帯域幅の設定とを行って測定し、その表示状態
からピーク波長を読み取って、そのピーク波長に中心波
長の設定をしなおして、再び測定することを繰り返す必
要があり、１つの光源デバイスについて２回の測定をい
ちいち手動操作によって行うことは測定に時間がかゝる
と共に、操作が面倒であった。
によっては、個々のデバイスによりその中心波長が微妙
に異なることがあり、そのような場合において、その入
力光、つまり被測定光源デバイスごとに、先ず中心波長
の設定と帯域幅の設定とを行って測定し、その表示状態
からピーク波長を読み取って、そのピーク波長に中心波
長の設定をしなおして、再び測定することを繰り返す必
要があり、１つの光源デバイスについて２回の測定をい
ちいち手動操作によって行うことは測定に時間がかゝる
と共に、操作が面倒であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この考案によれば自動中
心モードが設けられ、その自動中心モードに設定される
と、前に測定した結果よりピーク波長が検出され、その
検出したピーク波長が中心波長に自動的に設定される。
よってそのピーク波長を中心とした表示が自動的に得ら
れる。
心モードが設けられ、その自動中心モードに設定される
と、前に測定した結果よりピーク波長が検出され、その
検出したピーク波長が中心波長に自動的に設定される。
よってそのピーク波長を中心とした表示が自動的に得ら
れる。
【０００８】
【実施例】次にこの考案による実施例を図１を参照して
説明する。図１において図４Ａと対応する部分に同一符
号を付けてある。この考案においては操作部１８に自動
中心モード設定キー２５が設けられる。また、この例に
おいてはＡＤ変換器１３の出力はバッファメモリ２６に
も供給されてこれにも取り込まれる。ＡＤ変換器１３の
出力と、バッファメモリ２６から読み出された出力との
いずれかが、セレクタ２７により取り出される。そのセ
レクタ２７の出力がデジタルフィルタ１４に供給され
る。
説明する。図１において図４Ａと対応する部分に同一符
号を付けてある。この考案においては操作部１８に自動
中心モード設定キー２５が設けられる。また、この例に
おいてはＡＤ変換器１３の出力はバッファメモリ２６に
も供給されてこれにも取り込まれる。ＡＤ変換器１３の
出力と、バッファメモリ２６から読み出された出力との
いずれかが、セレクタ２７により取り出される。そのセ
レクタ２７の出力がデジタルフィルタ１４に供給され
る。
【０００９】従って図２に示すようにその測定にあたっ
て、先ず測定条件、つまり中心波長を先に述べたように
中心波長設定キー２１と数値キー１９とを操作して設定
し、また波長帯域を同様にして波長帯域設定キー２２と
数値キー１９を操作して設定する（Ｓ1 ）。その後この
例においては干渉計１１を制御して被測定光１２につい
ての干渉光を作り、その干渉光を電気信号に変換し、更
にＡＤ変換し、そのデジタル信号をセレクタ２７を通じ
てデジタルフィルタ１４に供給し、その出力を高速フー
リエ変換して、入力光の波長成分を解析し、これを必要
に応じて表示器１６に表示する（Ｓ2 ）。
て、先ず測定条件、つまり中心波長を先に述べたように
中心波長設定キー２１と数値キー１９とを操作して設定
し、また波長帯域を同様にして波長帯域設定キー２２と
数値キー１９を操作して設定する（Ｓ1 ）。その後この
例においては干渉計１１を制御して被測定光１２につい
ての干渉光を作り、その干渉光を電気信号に変換し、更
にＡＤ変換し、そのデジタル信号をセレクタ２７を通じ
てデジタルフィルタ１４に供給し、その出力を高速フー
リエ変換して、入力光の波長成分を解析し、これを必要
に応じて表示器１６に表示する（Ｓ2 ）。
【００１０】次に自動中心モードか否かがチェックされ
る（Ｓ3 ）。つまり自動中心モードキー２５が操作され
たか否かを調べ、操作されていない場合は、従来と同様
にそのステップＳ2 において測定された波長解析結果が
表示器１６に表示される（Ｓ4 ）。ステップＳ3 におい
て自動中心モードが設定される場合においては、ＦＦＴ
解析を行った結果についてその得られた各波長成分のレ
ベルを順次比較して大きいものを残していくことによっ
て最もピーク値の大きな波長成分を検出する（Ｓ5）。
次にその検出したピーク波長を中心波長に自動的に設定
する（Ｓ6 ）。その後、再測定を行う（Ｓ7 ）。つまり
この例においてはバッファメモリ２６に先のステップＳ
2 において被測定光１２の干渉光についてのデジタル変
換出力がバッファメモリ２６に記憶されているから、こ
のバッファメモリ２６を読み出してセレクタ２７よりデ
ジタルフィルタ１４を通過し、つまり先に自動的に設定
した中心波長に応じてデジタルフィルタ１４の通過中心
波長が設定され、そのフィルタ１４の出力を高速フーリ
エ変換して表示器１６に表示する（Ｓ 4 ）。従ってその
表示は表示器１６の表示面の中心にピーク波長が位置す
るようになる。
る（Ｓ3 ）。つまり自動中心モードキー２５が操作され
たか否かを調べ、操作されていない場合は、従来と同様
にそのステップＳ2 において測定された波長解析結果が
表示器１６に表示される（Ｓ4 ）。ステップＳ3 におい
て自動中心モードが設定される場合においては、ＦＦＴ
解析を行った結果についてその得られた各波長成分のレ
ベルを順次比較して大きいものを残していくことによっ
て最もピーク値の大きな波長成分を検出する（Ｓ5）。
次にその検出したピーク波長を中心波長に自動的に設定
する（Ｓ6 ）。その後、再測定を行う（Ｓ7 ）。つまり
この例においてはバッファメモリ２６に先のステップＳ
2 において被測定光１２の干渉光についてのデジタル変
換出力がバッファメモリ２６に記憶されているから、こ
のバッファメモリ２６を読み出してセレクタ２７よりデ
ジタルフィルタ１４を通過し、つまり先に自動的に設定
した中心波長に応じてデジタルフィルタ１４の通過中心
波長が設定され、そのフィルタ１４の出力を高速フーリ
エ変換して表示器１６に表示する（Ｓ 4 ）。従ってその
表示は表示器１６の表示面の中心にピーク波長が位置す
るようになる。
【００１１】ステップＳ2 において例えば図４Ｃに示し
た測定結果の場合には、そのピーク波長が、1.３１９５
μm であって、図４Ｂに示すようにこれが表示面の中心
に位置した状態で表示される。なお、この図４Ｂにおい
てはピーク波長を中心波長とすると同時に、その表示帯
域幅を図４Ｃの１／２とし、すなわち0.０５μm とした
場合である。このように最もピーク値の大きな波長が自
動的に表示面の中心となって表示されるため、その被測
定光に対する波長成分の解析、観察を行い易い、しかも
そのピーク波長を中心波長に、いちいち手動設定する必
要がなく、操作性がよく、かつ短時間で測定することが
できる。
た測定結果の場合には、そのピーク波長が、1.３１９５
μm であって、図４Ｂに示すようにこれが表示面の中心
に位置した状態で表示される。なお、この図４Ｂにおい
てはピーク波長を中心波長とすると同時に、その表示帯
域幅を図４Ｃの１／２とし、すなわち0.０５μm とした
場合である。このように最もピーク値の大きな波長が自
動的に表示面の中心となって表示されるため、その被測
定光に対する波長成分の解析、観察を行い易い、しかも
そのピーク波長を中心波長に、いちいち手動設定する必
要がなく、操作性がよく、かつ短時間で測定することが
できる。
【００１２】上述においては最初の測定においてバッフ
ァメモリ２６にＡＤ変換器１３の出力を取り込んでおい
たため、干渉計１１のその可動ミラーの駆動を再び行っ
てインタフェログラムを求める必要がなく、バッファメ
モリ２６のデータを利用して直ちにピーク波長を中心と
して表示することができ、表示を早く行うことができ
る。しかしバッファメモリ２６を設けることなく、中心
波長が自動的に設定された後に、再び干渉計１１を制御
して入力光を測定してもよい。また上述においては中心
波長のピークの中心波長を自動的に設定すると同時に設
定帯域幅を１／２としたが、設定帯域幅を最初に設定し
た値としておいてもよい。
ァメモリ２６にＡＤ変換器１３の出力を取り込んでおい
たため、干渉計１１のその可動ミラーの駆動を再び行っ
てインタフェログラムを求める必要がなく、バッファメ
モリ２６のデータを利用して直ちにピーク波長を中心と
して表示することができ、表示を早く行うことができ
る。しかしバッファメモリ２６を設けることなく、中心
波長が自動的に設定された後に、再び干渉計１１を制御
して入力光を測定してもよい。また上述においては中心
波長のピークの中心波長を自動的に設定すると同時に設
定帯域幅を１／２としたが、設定帯域幅を最初に設定し
た値としておいてもよい。
【００１３】上述においては、この考案を干渉計を利用
するフーリエ分光に適用したが、分散分光に適用するこ
ともできる。すなわち図３に示すように被測定光１２を
モノクロメータ２８に入射させる。モノクロメータ２８
は周知のように回折格子を備え、回折格子が制御部１７
の制御により、操作部１８によって設定された中心波長
と波長帯域に応じた角度と角度範囲をもって回折格子が
回動されて、入射光に対する波長分光がなされる。モノ
クロメータ２８よりの出射光は電気信号に変換され、こ
れがＡＤ変換器１３によりデジタル信号に変換されて表
示器１６に表示される。
するフーリエ分光に適用したが、分散分光に適用するこ
ともできる。すなわち図３に示すように被測定光１２を
モノクロメータ２８に入射させる。モノクロメータ２８
は周知のように回折格子を備え、回折格子が制御部１７
の制御により、操作部１８によって設定された中心波長
と波長帯域に応じた角度と角度範囲をもって回折格子が
回動されて、入射光に対する波長分光がなされる。モノ
クロメータ２８よりの出射光は電気信号に変換され、こ
れがＡＤ変換器１３によりデジタル信号に変換されて表
示器１６に表示される。
【００１４】このような分散分光方式の光スペクトラム
アナライザにおいても、図１の干渉計を用いたフーリエ
分光方式の光スペクトラムアナライザと同様に操作部１
８に自動中心モードキー２５を設け、これが設定されて
いる場合にはモノクロメータ２８を１回制御してその全
波長帯域に渡って分光するように回折格子を回動させた
後、得られた分析波長のピークをさがし、そのさがした
ピーク波長を自動的に中心波長に設定し、これが表示面
の中心となるようにモノクロメータ２８の回転角度中心
と回転角度幅が自動的に設定されて、再びモノクロメー
タ２８を制御して入力光を分光して表示器１６にピーク
値が中心となる表示が自動的に行われる。
アナライザにおいても、図１の干渉計を用いたフーリエ
分光方式の光スペクトラムアナライザと同様に操作部１
８に自動中心モードキー２５を設け、これが設定されて
いる場合にはモノクロメータ２８を１回制御してその全
波長帯域に渡って分光するように回折格子を回動させた
後、得られた分析波長のピークをさがし、そのさがした
ピーク波長を自動的に中心波長に設定し、これが表示面
の中心となるようにモノクロメータ２８の回転角度中心
と回転角度幅が自動的に設定されて、再びモノクロメー
タ２８を制御して入力光を分光して表示器１６にピーク
値が中心となる表示が自動的に行われる。
【００１５】
【考案の効果】以上述べたように、この考案によれば自
動中心モードに設定すると、一度測定してその測定結果
についての最もピーク値の大きな波長を検出してこれが
中心波長になるように自動的に設定され、従って従来に
おいてその中心波長を、表示器に表示された状態を見て
いちいち手動で設定した場合と比べてその操作が頗る簡
単であり、被測定入力光についていちいち中心波長の設
定を手動で２回行う場合と比べて、操作性が頗る簡単と
なる。
動中心モードに設定すると、一度測定してその測定結果
についての最もピーク値の大きな波長を検出してこれが
中心波長になるように自動的に設定され、従って従来に
おいてその中心波長を、表示器に表示された状態を見て
いちいち手動で設定した場合と比べてその操作が頗る簡
単であり、被測定入力光についていちいち中心波長の設
定を手動で２回行う場合と比べて、操作性が頗る簡単と
なる。
【００１６】特に図１に示したように、バッファメモリ
２６を設けて先の測定に使用した信号を記憶しておく場
合は、その干渉計等の機械的部分を含む部分を再び操作
する必要がなく、短時間でピークが中心波長となるよう
な表示をすることができ、また入力光が変動する場合に
おいては、最初に測定したものについてのデータについ
て中心波長をピーク値とすることが可能である。
２６を設けて先の測定に使用した信号を記憶しておく場
合は、その干渉計等の機械的部分を含む部分を再び操作
する必要がなく、短時間でピークが中心波長となるよう
な表示をすることができ、また入力光が変動する場合に
おいては、最初に測定したものについてのデータについ
て中心波長をピーク値とすることが可能である。
【図１】この考案をフーリエ分光方式に適用した実施例
を示すブロック図。
を示すブロック図。
【図２】この考案による光スペクトラムアナライザの測
定制御手順を示す流れ図。
定制御手順を示す流れ図。
【図３】この考案を分散分光方式に適用した実施例を示
すブロック図。
すブロック図。
【図４】Ａは従来のフーリエ分光方式による光スペクト
ラムアナライザを示すブロック図、Ｃはその表示器の表
示例を示す図、Ｂはそのピーク値を中心波長とした表示
を示す図である。
ラムアナライザを示すブロック図、Ｃはその表示器の表
示例を示す図、Ｂはそのピーク値を中心波長とした表示
を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 3/28 G01J 3/45
Claims (2)
- 【請求項１】 入力光を波長分光し、設定した中心波長
と波長幅と対応した分光を行い、これを表示するフーリ
エ分光方式の光スペクトラムアナライザにおいて、入射光とその光の位相をずらした光との干渉光を電気変
換して出力する干渉計と、 その干渉計の出力をＡＤ変換するＡＤ変換器と、 そのＡＤ変換器の出力を測定結果として 格納するバッフ
ァと、 上記バッファに格納された測定結果が入力され、設定さ
れた中心波長と帯域幅の測定結果を出力するデジタルフ
イルタと、 上記デジタルフイルタの出力結果をフーリエ変換するフ
ーリエ変換器と、 上記フーリエ変換器の出力の内から、最も大きなピーク
値の波長成分の検出する手段と、 上記フーリエ変換器の出力を表示する表示器と、 上記表示器に表示すべき中心波長と帯域幅、及び自動中
心モードを設定する操作部と、 上記自動中心モードが設定された場合は、上記検出され
た最も大きなピーク値の波長を、上記デジタルフイルタ
の中心波長として自動設定する手段とを具備することを
特徴とするフーリエ分光方式の光スペクトラムアナライ
ザ。 - 【請求項２】 入力光を波長分光し、設定された中心波
長と波長幅に対応した分光を行い、これを表示する分散
分光方式の光スペクトラムアナライザにおいて、 入射光が回折格子の回動により波長分光されて、設定さ
れた中心波長と帯域幅の測定結果を電気信号として出力
するモノクロメータと、 そのモノクロメータの出力をＡＤ変換するＡＤ変換器
と、 上記ＡＤ変換器の出力の内から、最も大きなピーク値の
波長成分を検出する手段と、 上記ＡＤ変換器の出力を表示する表示器と、 上記表示器に表示すべき中心波長と帯域幅、及び自動中
心モードを設定する操 作部と、 上記自動中心モードが設定された場合は、上記検出され
た最も大きなピーク値の波長を、上記モノクロメータの
中心波長として自動設定する手段とを具備することを特
徴とする分散分光方式の光スペクトラムアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992043884U JP2606407Y2 (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | フーリエ分光方式及び分散分光方式の光スペクトラムアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992043884U JP2606407Y2 (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | フーリエ分光方式及び分散分光方式の光スペクトラムアナライザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH064638U JPH064638U (ja) | 1994-01-21 |
| JP2606407Y2 true JP2606407Y2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=12676138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992043884U Expired - Lifetime JP2606407Y2 (ja) | 1992-06-24 | 1992-06-24 | フーリエ分光方式及び分散分光方式の光スペクトラムアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606407Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264212A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Advantest Corp | 波形計測装置、方法、記録媒体 |
-
1992
- 1992-06-24 JP JP1992043884U patent/JP2606407Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH064638U (ja) | 1994-01-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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