JPH03180743A - 赤外分光光度計 - Google Patents
赤外分光光度計Info
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- JPH03180743A JPH03180743A JP1319282A JP31928289A JPH03180743A JP H03180743 A JPH03180743 A JP H03180743A JP 1319282 A JP1319282 A JP 1319282A JP 31928289 A JP31928289 A JP 31928289A JP H03180743 A JPH03180743 A JP H03180743A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 97
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 8
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 4
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[概要]
フーリエ変換赤外分光法による分光光度計の構成に関し
、 測定精度の向上と測定時間の短縮を目的とし、測定用干
渉赤外光が入射する試料室に、検体試料を搭載する第1
の試料台、参照試料を搭載する第2の試料台、該第1の
試料台の上方に配設された第1の顕微鏡、該第2の試料
台の上方に配設された第2の顕微鏡、該第1または第2
の顕微鏡に設けられた赤外線検出器、該検体試料または
該参照試料の一方を照射するようにする該干渉赤外光の
光路切り換え手段とを具えたことを特徴とし構成する。
、 測定精度の向上と測定時間の短縮を目的とし、測定用干
渉赤外光が入射する試料室に、検体試料を搭載する第1
の試料台、参照試料を搭載する第2の試料台、該第1の
試料台の上方に配設された第1の顕微鏡、該第2の試料
台の上方に配設された第2の顕微鏡、該第1または第2
の顕微鏡に設けられた赤外線検出器、該検体試料または
該参照試料の一方を照射するようにする該干渉赤外光の
光路切り換え手段とを具えたことを特徴とし構成する。
本発明はフーリエ変換赤外分光(FT−IRHFour
ierTransform Infrared)法によ
る分光光度計、特に測定精度の向上と測定時間の短縮を
目的した構成に関する。
ierTransform Infrared)法によ
る分光光度計、特に測定精度の向上と測定時間の短縮を
目的した構成に関する。
主に有機物質の構造解析、定性定量分析の有力な評価技
術として知られるFT−IR法の光学系は、光源から出
た赤外光が二液干渉計(一般にマイケルソン干渉計)に
入り、干渉計から出た赤外光は試料に照射され、試料を
透過または反射する干渉赤外光を検出器で検出する。
術として知られるFT−IR法の光学系は、光源から出
た赤外光が二液干渉計(一般にマイケルソン干渉計)に
入り、干渉計から出た赤外光は試料に照射され、試料を
透過または反射する干渉赤外光を検出器で検出する。
検体試料に反射または透過して検出された赤外光は、干
渉計内の移動鏡による光路差の関数として干渉波形を測
定し、参照試料からの干渉赤外光(参照光)の干渉波形
と共に、それぞれフーリエ変換を行い、両者の差から検
体試料の赤外光吸収(反射)スペクトルが得られる。
渉計内の移動鏡による光路差の関数として干渉波形を測
定し、参照試料からの干渉赤外光(参照光)の干渉波形
と共に、それぞれフーリエ変換を行い、両者の差から検
体試料の赤外光吸収(反射)スペクトルが得られる。
第3図は従来の光度計を具えた赤外分光分析装置の主要
構成例を示すブロック図である。
構成例を示すブロック図である。
第3図において、赤外分光分析装置1は赤外分光光度計
2.コンピュータシステム3.操作部4゜表示記録部5
.制御部6.アンプ7、AD変換器8を具えてなる。
2.コンピュータシステム3.操作部4゜表示記録部5
.制御部6.アンプ7、AD変換器8を具えてなる。
光度計2は赤外光源、二波干渉計からなる光源装置9.
粉体や液体試料の測定ユニットを装着可能な測定ユニッ
ト装着部10.試料室11を具え、試料室11には検体
試料(または参照試料)12を搭載する試料台13.赤
外顕微鏡14.赤外光検出器15を有する。
粉体や液体試料の測定ユニットを装着可能な測定ユニッ
ト装着部10.試料室11を具え、試料室11には検体
試料(または参照試料)12を搭載する試料台13.赤
外顕微鏡14.赤外光検出器15を有する。
このような分析装置1においてオペレータは、試料台1
3に検体試料(または参照試料)12をセットし、操作
部4に測定開始を指示すると、コンピュータシステム3
は測定条件を記憶すると共に、制御部6を介して光度計
2が動作を開始し、試料12のスペクトルは表示記録部
5に表示または記録されるようになる。
3に検体試料(または参照試料)12をセットし、操作
部4に測定開始を指示すると、コンピュータシステム3
は測定条件を記憶すると共に、制御部6を介して光度計
2が動作を開始し、試料12のスペクトルは表示記録部
5に表示または記録されるようになる。
顕微鏡14は光源装置9からの干渉赤外光16を検体試
料12に照射せしめ、検体試料12がらの反射光(また
は透過光)17を検出器15に入射させる。
料12に照射せしめ、検体試料12がらの反射光(また
は透過光)17を検出器15に入射させる。
アンプ7は検出器15の出力をAD変換器8の入力レベ
ルまで増幅し、不要な高周波数帯域の信号とノイズを排
除する。
ルまで増幅し、不要な高周波数帯域の信号とノイズを排
除する。
AD変換器8は検出器15の交流信号を直流信号に変換
し、FT−IRO3N比を制限する。
し、FT−IRO3N比を制限する。
コンピュータシステム3は、干渉赤外光の交流成分であ
るインターフェログラムの積算と格納。
るインターフェログラムの積算と格納。
インターフェログラムの終端が段差をもたないように処
置するアポダイゼーション、フーリエ変換と位相補正、
スペクトルの補間、透過率と吸収度スペクトルの演算、
スペクトル波数の校正、スペクトルの波形処理、スペク
トルの形状解析等を行う。
置するアポダイゼーション、フーリエ変換と位相補正、
スペクトルの補間、透過率と吸収度スペクトルの演算、
スペクトル波数の校正、スペクトルの波形処理、スペク
トルの形状解析等を行う。
外気を遮断する試料室11において、検体試料と参照試
料の双方を測光する方式には、シングルビーム方式とダ
ブルビーム方式および試料切り換え式ダブルビーム方式
の3種類がある。
料の双方を測光する方式には、シングルビーム方式とダ
ブルビーム方式および試料切り換え式ダブルビーム方式
の3種類がある。
シングルビーム方式は、干渉赤外光の1光路に検体試料
と参照試料とを入れ替えにセットする方式であり、通常
の赤外分光分析装置はこの方式である。
と参照試料とを入れ替えにセットする方式であり、通常
の赤外分光分析装置はこの方式である。
ダブルビーム方式は、干渉赤外光の2光路とそのおのお
のに対応する一対の検出器が用意され、光路の切り換え
によって検体試料と参照試料を交互に測定する方式であ
る。
のに対応する一対の検出器が用意され、光路の切り換え
によって検体試料と参照試料を交互に測定する方式であ
る。
試料切り換え式ダブルビーム方式は、シングルビーム方
式に、検体試料と参照試料の自動切り換え機構を設けた
方式である。
式に、検体試料と参照試料の自動切り換え機構を設けた
方式である。
従来の赤外分光光度計において、ダブルビーム方式は2
検出器を使用するため、検出器に対する校正と監視を必
要とし、データ処理が煩雑化される。
検出器を使用するため、検出器に対する校正と監視を必
要とし、データ処理が煩雑化される。
従来の試料切り換え式ダブルビーム方式は、検体試料と
参照試料を交互に複数回入れ替える積算測定に対し、そ
の入れ替え時に試料室をあける必要がないため測定が迅
速化されるが、微細な検体試料は所定位置に正しく位置
決めすることが困難である。
参照試料を交互に複数回入れ替える積算測定に対し、そ
の入れ替え時に試料室をあける必要がないため測定が迅
速化されるが、微細な検体試料は所定位置に正しく位置
決めすることが困難である。
最も一般的であるシングルビーム方式は、検体試料と参
照試料との交換に際して試料室を開閉することになるが
、特に10μmX10μm程度の大きさのため試料室の
湿度に影響され易く、情報量が少なくなり、測定の積算
回数を大きくする必要がある微細試料について測定しよ
うとするとき、検体試料測定時の湿度と参照試料測定時
の湿度とを一致させることが困難である。
照試料との交換に際して試料室を開閉することになるが
、特に10μmX10μm程度の大きさのため試料室の
湿度に影響され易く、情報量が少なくなり、測定の積算
回数を大きくする必要がある微細試料について測定しよ
うとするとき、検体試料測定時の湿度と参照試料測定時
の湿度とを一致させることが困難である。
第4図は試料室のパージング効果の説明図であリ、縦軸
が試料室内の湿度(%)、縦軸が試料室の大気をドライ
窒素ガスに置換させるパージング時間(分)である第4
図において、検体試料を挿入した試料室の湿度特性Aは
、試料の交換やアパーチャ(所要部分のみ表呈させる可
動式マスク)準備等のため、一般に検体試料搭載用基板
である参照試料を挿入した試料室の湿度特性Bより高湿
度でスタートし、それぞれ多数回の積算測定によって得
られる検体試料の測定(スペクトル測定)時間の中心点
(図中の○印)は、参照試料の測光(スペクトル測定)
時間の中心点(図中の○印)と同一湿度となるように、
5分〜10分パージングしたのち測定を開始する必要が
ある。
が試料室内の湿度(%)、縦軸が試料室の大気をドライ
窒素ガスに置換させるパージング時間(分)である第4
図において、検体試料を挿入した試料室の湿度特性Aは
、試料の交換やアパーチャ(所要部分のみ表呈させる可
動式マスク)準備等のため、一般に検体試料搭載用基板
である参照試料を挿入した試料室の湿度特性Bより高湿
度でスタートし、それぞれ多数回の積算測定によって得
られる検体試料の測定(スペクトル測定)時間の中心点
(図中の○印)は、参照試料の測光(スペクトル測定)
時間の中心点(図中の○印)と同一湿度となるように、
5分〜10分パージングしたのち測定を開始する必要が
ある。
従って第4図に示す如く、参照試料の測定は図中に破線
で示す如くパージング開始後4.6分〜5.4分になる
が、検体試料の測定は図中に破線で示す如くパージング
開始後5分〜5.8分となり、かかる測定時間の設定は
試料の状態等によって一定でないため、双方の中心点を
一致させることが困難になる。
で示す如くパージング開始後4.6分〜5.4分になる
が、検体試料の測定は図中に破線で示す如くパージング
開始後5分〜5.8分となり、かかる測定時間の設定は
試料の状態等によって一定でないため、双方の中心点を
一致させることが困難になる。
第5図は第4図に示す装置を使用したエポキシ樹脂の分
光分析スペクトルの測定例であり、(イ)は検体試料の
測定中心湿度と参照試料の測定中心湿度とが一致する(
水分バランスがとれている)スペクトル、(+1)は検
体試料の測定中心湿度と参照試料の測定中心湿度とが一
致しない(水分バランスがとれてない)スペクトルを示
す。
光分析スペクトルの測定例であり、(イ)は検体試料の
測定中心湿度と参照試料の測定中心湿度とが一致する(
水分バランスがとれている)スペクトル、(+1)は検
体試料の測定中心湿度と参照試料の測定中心湿度とが一
致しない(水分バランスがとれてない)スペクトルを示
す。
縦軸を透過率(%)、横軸を波数とした第5図において
、(イ)のスペクトルは0−)1伸縮振動、芳香族のC
−H伸縮振動、CHt、CH3のC−H伸縮振動、芳香
族のC=C伸縮振動、CH3の変角振動、Phenyl
−0の伸縮振動、面外変角振動が明瞭に読み取れる。
、(イ)のスペクトルは0−)1伸縮振動、芳香族のC
−H伸縮振動、CHt、CH3のC−H伸縮振動、芳香
族のC=C伸縮振動、CH3の変角振動、Phenyl
−0の伸縮振動、面外変角振動が明瞭に読み取れる。
しかし、(IT)のスペクトルは図中のC95域および
Eel域に水分情報が現れ、芳香族のC=C伸縮振動。
Eel域に水分情報が現れ、芳香族のC=C伸縮振動。
CH3の変角振動が読み取られないようになる。
なお、第5図において領域りは炭酸ガス吸収帯であり、
(イ)図と([1)図において領域りに炭酸ガスのアン
バランスが現れるが、一般に炭酸ガス吸収帯領域りには
他の情報が重ならない。
(イ)図と([1)図において領域りに炭酸ガスのアン
バランスが現れるが、一般に炭酸ガス吸収帯領域りには
他の情報が重ならない。
本発明の目的は、測定スペクトルから水分のアンバラン
スを確実に除去し、かつ、測定時間を短縮させることで
ある。
スを確実に除去し、かつ、測定時間を短縮させることで
ある。
〔課題を解決するための手段]
上記目的は本発明の実施例に係わる第1.第2図によれ
ば、測定用干渉赤外光16が入射する試料室23に、検
体試料12を搭載する第1の試料台25゜参照試料24
を搭載する第2の試料台26.第1の試料台25の上方
に配設された第1の顕微鏡27.第2の試料台26の上
方に配設された第2の顕微鏡28゜第1の顕微鏡27(
または第2の顕微鏡28)に設は毛 られた赤外線検出器15.検体試料12または参照試料
24の一方を照射するようにする干渉赤外光16の光路
切り換え手段となるハーフミラ−29,30とを具えた
ことを特徴とする赤外分光光度計21によって達成され
る。
ば、測定用干渉赤外光16が入射する試料室23に、検
体試料12を搭載する第1の試料台25゜参照試料24
を搭載する第2の試料台26.第1の試料台25の上方
に配設された第1の顕微鏡27.第2の試料台26の上
方に配設された第2の顕微鏡28゜第1の顕微鏡27(
または第2の顕微鏡28)に設は毛 られた赤外線検出器15.検体試料12または参照試料
24の一方を照射するようにする干渉赤外光16の光路
切り換え手段となるハーフミラ−29,30とを具えた
ことを特徴とする赤外分光光度計21によって達成され
る。
上記手段によれば、試料室に一対の顕微鏡を具え、一方
の顕微鏡には赤外光検出器を設け、試料室に入射する干
渉赤外光の光路を一対の顕微鏡に対して切り換える手段
を設けたことにより、検体試料と参照試料とは同じ試料
室に収容し、検体試料の分析評価測光を行うようになる
ため、検体試料と参照試料とは同一湿度の下に測定する
ことで該湿度のアンバランスによる影響が解消し、検体
試料と参照試料とに干渉赤外光を切り換えて照射させる
ことが極めて容易かつ迅速化され、測定時間の短縮が実
現される。
の顕微鏡には赤外光検出器を設け、試料室に入射する干
渉赤外光の光路を一対の顕微鏡に対して切り換える手段
を設けたことにより、検体試料と参照試料とは同じ試料
室に収容し、検体試料の分析評価測光を行うようになる
ため、検体試料と参照試料とは同一湿度の下に測定する
ことで該湿度のアンバランスによる影響が解消し、検体
試料と参照試料とに干渉赤外光を切り換えて照射させる
ことが極めて容易かつ迅速化され、測定時間の短縮が実
現される。
第1図は本発明の一実施例による光度計を具えた赤外分
光分析装置の主要構成を示すブロック図、第2図は第1
図に示す装置における干渉赤外光の切り換えを説明する
ための図である。
光分析装置の主要構成を示すブロック図、第2図は第1
図に示す装置における干渉赤外光の切り換えを説明する
ための図である。
前出図と共通部分に同一符号を使用した第1図において
、赤外分光分析装置21は赤外分光光度計22、コンピ
ュータシステム3.操作部41表示記録部5.制御部6
.アンプ7、AD変換器8を具えてなる。
、赤外分光分析装置21は赤外分光光度計22、コンピ
ュータシステム3.操作部41表示記録部5.制御部6
.アンプ7、AD変換器8を具えてなる。
従来の光度計2に置き換えてコンピュータシステム3等
に接続された光度計22は、赤外光源、二液干渉計から
なる光源装置9.粉体や液体試料の測定ユニットを装着
可能な測定ユニット装着部10゜試料室23を具え、試
料室23には検体試料12を搭載する第1の試料台25
.参照試料24を搭載する第2の試料台26.検体試料
搭載台25の上方に配設した第1の顕微鏡27.参照試
料搭載台26の上方に配設した第2の顕微鏡2日、顕微
鏡27の上部に設けた赤外光検出器15.光源装置9か
らの干渉赤外光16の光路を顕微鏡27と28に切り換
える切り換え手段を具えてなる。
に接続された光度計22は、赤外光源、二液干渉計から
なる光源装置9.粉体や液体試料の測定ユニットを装着
可能な測定ユニット装着部10゜試料室23を具え、試
料室23には検体試料12を搭載する第1の試料台25
.参照試料24を搭載する第2の試料台26.検体試料
搭載台25の上方に配設した第1の顕微鏡27.参照試
料搭載台26の上方に配設した第2の顕微鏡2日、顕微
鏡27の上部に設けた赤外光検出器15.光源装置9か
らの干渉赤外光16の光路を顕微鏡27と28に切り換
える切り換え手段を具えてなる。
ただし、前記光路切り換え手段は第1図において、顕微
鏡27内の下部において同紙の厚さ方向へ移動可能な可
動式ハーフミラ−29と、顕微鏡27内の上部に設けら
れたハーフミラ−30である。
鏡27内の下部において同紙の厚さ方向へ移動可能な可
動式ハーフミラ−29と、顕微鏡27内の上部に設けら
れたハーフミラ−30である。
このような分析装置21においてオペレータは、試料台
25に検体試料12をセットし、試料台26に参照試料
24をセットし、操作部4に測定開始を指示すると、コ
ンピュータシステム3は測定条件を記憶すると共に、制
御部6を介して光度計22が動作を開始し、第4図(D
)に示す如き検体試料12のスペクトルは、表示記録部
5に表示または記録されるようになる。
25に検体試料12をセットし、試料台26に参照試料
24をセットし、操作部4に測定開始を指示すると、コ
ンピュータシステム3は測定条件を記憶すると共に、制
御部6を介して光度計22が動作を開始し、第4図(D
)に示す如き検体試料12のスペクトルは、表示記録部
5に表示または記録されるようになる。
試料室23のパージング後、例えば500回の積算記録
である検体試料12のスペクトルは、例えば検体試料1
2のスペクトルと参照試料24のスペクトルを交互に5
回ずつ積算し、それをさらに100回繰り返して積算す
ることにより得られる。
である検体試料12のスペクトルは、例えば検体試料1
2のスペクトルと参照試料24のスペクトルを交互に5
回ずつ積算し、それをさらに100回繰り返して積算す
ることにより得られる。
第2図(イ)において、検体試料12に赤外光16を照
射させるには、ハーフミラ−29を赤外光16の光路に
侵入せしめる。すると、赤外光16は検体試料12に照
射し、その反射光(または透過光)17はハーフミラ−
30を透過し検出器15に入射する。
射させるには、ハーフミラ−29を赤外光16の光路に
侵入せしめる。すると、赤外光16は検体試料12に照
射し、その反射光(または透過光)17はハーフミラ−
30を透過し検出器15に入射する。
第2図(ロ)において、参照試料24に赤外光16を照
射させるには、赤外光16の光路を遮らないようにハー
フミラ−29を後退せしめる。すると、赤外光16は顕
微鏡28のハーフ兆う−31で反射して参照試料24を
照射し、その反射光(または透過光)17は顕微鏡28
内のξラー32.顕微鏡27内のハーフミラ−30によ
って反射され検出器15に入射するようになる。
射させるには、赤外光16の光路を遮らないようにハー
フミラ−29を後退せしめる。すると、赤外光16は顕
微鏡28のハーフ兆う−31で反射して参照試料24を
照射し、その反射光(または透過光)17は顕微鏡28
内のξラー32.顕微鏡27内のハーフミラ−30によ
って反射され検出器15に入射するようになる。
そして、検出器15から出力信号はアンプ7、 AD変
換器8により処理されてコンピュータシステム3に入り
、表示記録部5には水分バランスのとれた状態で検体試
料12のスペクトルが、表示、記録されることになる。
換器8により処理されてコンピュータシステム3に入り
、表示記録部5には水分バランスのとれた状態で検体試
料12のスペクトルが、表示、記録されることになる。
以上説明したように本発明によれば、試料室に一対の顕
微鏡を具え、一方の顕微鏡には赤外光検出器を設け、試
料室に入射する干渉赤外光の光路を一対の顕微鏡に対し
て切り換える手段を設けたことにより、検体試料と参照
試料とは同じ試料室に収容し、検体試料の分析評価測光
を行うようになるため、検体試料と参照試料とは同一湿
度の下に測定することで該湿度のアンバランスによる影
響が解消してスペクトルの測光精度が向上し、パージン
グ開始後5分以下で測定が開始可能になるため、測定時
間が短縮された効果を有する。
微鏡を具え、一方の顕微鏡には赤外光検出器を設け、試
料室に入射する干渉赤外光の光路を一対の顕微鏡に対し
て切り換える手段を設けたことにより、検体試料と参照
試料とは同じ試料室に収容し、検体試料の分析評価測光
を行うようになるため、検体試料と参照試料とは同一湿
度の下に測定することで該湿度のアンバランスによる影
響が解消してスペクトルの測光精度が向上し、パージン
グ開始後5分以下で測定が開始可能になるため、測定時
間が短縮された効果を有する。
第1図は本発明の一実施例による赤外分光光度計を具え
た分析装置の主要構成図、 第2図は第1図に示す装置における干渉赤外光の切り換
え説明図、 第3図は従来の赤外分光光度を具えた分析装置の主要構
成例を示す図、 第4図は試料室のパージング効果の説明図、第5図はエ
ポキシ樹脂の分光分析スペクトル、である。 図中において、 12は検体試料、 尤 15は赤外線検出器、 16は赤外干渉光、 21は赤外分光分析装置、 22は赤外分光光度計、 23は試料室、 24は参照試料、 25は第1の試料台、 26は第2の試料台、 27は第1の顕微鏡、 28は第2の顕微鏡、 29は可動式ハーフミラ−(光路切り換え手段の一部)
、 30はハーフミラ−(光路切り換え手段の一部が部)、 を示す。
た分析装置の主要構成図、 第2図は第1図に示す装置における干渉赤外光の切り換
え説明図、 第3図は従来の赤外分光光度を具えた分析装置の主要構
成例を示す図、 第4図は試料室のパージング効果の説明図、第5図はエ
ポキシ樹脂の分光分析スペクトル、である。 図中において、 12は検体試料、 尤 15は赤外線検出器、 16は赤外干渉光、 21は赤外分光分析装置、 22は赤外分光光度計、 23は試料室、 24は参照試料、 25は第1の試料台、 26は第2の試料台、 27は第1の顕微鏡、 28は第2の顕微鏡、 29は可動式ハーフミラ−(光路切り換え手段の一部)
、 30はハーフミラ−(光路切り換え手段の一部が部)、 を示す。
Claims (1)
- 測定用干渉赤外光(16)が入射する試料室(23)に
、検体試料(12)を搭載する第1の試料台(25)、
参照試料(24)を搭載する第2の試料台(26)、該
第1の試料台(25)の上方に配設された第1の顕微鏡
(27)、該第2の試料台(26)の上方に配設された
第2の顕微鏡(28)、該第1または第2の顕微鏡(2
7、28)に設けられた赤外線検出器(15)、該検体
試料(12)または該参照試料(24)の一方を照射す
るようにする該干渉赤外光(16)の光路切り換え手段
(29、30)とを具えたことを特徴とする赤外分光光
度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1319282A JPH03180743A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1319282A JPH03180743A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 赤外分光光度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03180743A true JPH03180743A (ja) | 1991-08-06 |
Family
ID=18108468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1319282A Pending JPH03180743A (ja) | 1989-12-08 | 1989-12-08 | 赤外分光光度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03180743A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8323256B2 (en) | 2006-08-29 | 2012-12-04 | Playtex Products Inc. | Tampon removal device |
CN112540453A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 莱卡微系统Cms有限责任公司 | 具有可更换的光学元件的光片显微镜 |
-
1989
- 1989-12-08 JP JP1319282A patent/JPH03180743A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8323256B2 (en) | 2006-08-29 | 2012-12-04 | Playtex Products Inc. | Tampon removal device |
CN112540453A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 莱卡微系统Cms有限责任公司 | 具有可更换的光学元件的光片显微镜 |
EP3796065A1 (en) * | 2019-09-20 | 2021-03-24 | Leica Microsystems CMS GmbH | Light sheet microscope with exchangeable optical elements |
US11686929B2 (en) | 2019-09-20 | 2023-06-27 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Light sheet microscope with exchangeable optical elements |
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