JP2606024B2 - 電子ビーム露光装置 - Google Patents
電子ビーム露光装置Info
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- JP2606024B2 JP2606024B2 JP25497791A JP25497791A JP2606024B2 JP 2606024 B2 JP2606024 B2 JP 2606024B2 JP 25497791 A JP25497791 A JP 25497791A JP 25497791 A JP25497791 A JP 25497791A JP 2606024 B2 JP2606024 B2 JP 2606024B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam exposure
- column
- exposure apparatus
- electron
- Prior art date
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビーム露光装置の
構造の改良に関するものである。近年の半導体装置の製
造工程に用いる電子ビーム露光装置においては、電子ビ
ームを発生させるコラム部のクリーニングの周期を出来
る限り長くし、電子ビーム露光装置を連続して使用でき
る期間を長くすることが必要である。
構造の改良に関するものである。近年の半導体装置の製
造工程に用いる電子ビーム露光装置においては、電子ビ
ームを発生させるコラム部のクリーニングの周期を出来
る限り長くし、電子ビーム露光装置を連続して使用でき
る期間を長くすることが必要である。
【０００２】以上のような状況から、コラム部のクリー
ニングの周期を出来る限り長くすることが可能な電子ビ
ーム露光装置が要望されている。
ニングの周期を出来る限り長くすることが可能な電子ビ
ーム露光装置が要望されている。
【０００３】
【従来の技術】従来の電子ビーム露光装置を図２により
詳細に説明する。図２は従来の電子ビーム露光装置の概
略構造を示す図である。
詳細に説明する。図２は従来の電子ビーム露光装置の概
略構造を示す図である。
【０００４】図に示すように、電子銃１から出た電子ビ
ームはコラム部２を通ってこのコラム部２の下部に設け
られているチャンバ３内の載物台４の上に載置されてい
る被照射物７に照射されている。
ームはコラム部２を通ってこのコラム部２の下部に設け
られているチャンバ３内の載物台４の上に載置されてい
る被照射物７に照射されている。
【０００５】この被照射物７の表面に形成されたレジス
ト膜等に電子ビームを照射する場合には、このレジスト
膜等が昇華した蒸気がコラム部２の内部に付着してコラ
ム部２を汚染するようになっている。
ト膜等に電子ビームを照射する場合には、このレジスト
膜等が昇華した蒸気がコラム部２の内部に付着してコラ
ム部２を汚染するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の電
子ビーム露光装置においては、被照射物の表面に形成さ
れたレジスト膜等に電子ビームを照射する場合には、こ
のレジスト膜等が昇華した蒸気がコラム部の内部に付着
してコラム部を汚染するという問題点があり、この汚染
に起因するチャージアップが起こりやすくなり、電子ビ
ームの軌道にズレが生じる等の障害が発生するという問
題点があった。
子ビーム露光装置においては、被照射物の表面に形成さ
れたレジスト膜等に電子ビームを照射する場合には、こ
のレジスト膜等が昇華した蒸気がコラム部の内部に付着
してコラム部を汚染するという問題点があり、この汚染
に起因するチャージアップが起こりやすくなり、電子ビ
ームの軌道にズレが生じる等の障害が発生するという問
題点があった。
【０００７】本発明は以上のような状況から、チャンバ
からコラム部に蒸気が侵入するのを防止することが可能
となる簡単且つ容易に設けることが可能な二次電子放射
板を具備した電子ビーム露光装置の提供を目的としたも
のである。
からコラム部に蒸気が侵入するのを防止することが可能
となる簡単且つ容易に設けることが可能な二次電子放射
板を具備した電子ビーム露光装置の提供を目的としたも
のである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の電子ビーム露光
装置は、電子銃から出てコラム部を通る電子ビームを、
このコラム部の下部に設けたチャンバ内の載物台に載置
した被照射物に照射する電子ビーム露光装置において、
このコラム部とこのチャンバの接続部に、この電子ビー
ムが照射された位置から二次電子を放射する二次電子放
射板と、この二次電子放射板に直流電圧を印加する直流
電源とを具備するように構成する。
装置は、電子銃から出てコラム部を通る電子ビームを、
このコラム部の下部に設けたチャンバ内の載物台に載置
した被照射物に照射する電子ビーム露光装置において、
このコラム部とこのチャンバの接続部に、この電子ビー
ムが照射された位置から二次電子を放射する二次電子放
射板と、この二次電子放射板に直流電圧を印加する直流
電源とを具備するように構成する。
【０００９】
【作用】即ち本発明においては電子ビーム露光装置のコ
ラム部とチャンバの接続部に二次電子放射板を設け、こ
の二次電子放射板に直流電源を用いて直流電圧を印加し
ているから、この二次電子放射板の上面に電子ビームが
照射された位置の下面から二次電子を放射させることが
できるので、電子ビーム露光装置の稼働時の電子ビーム
の露光には支障がなく、被照射物の表面に形成されたレ
ジスト膜等から発生する蒸気がチャンバからコラム部に
侵入するのを防止することが可能となる。
ラム部とチャンバの接続部に二次電子放射板を設け、こ
の二次電子放射板に直流電源を用いて直流電圧を印加し
ているから、この二次電子放射板の上面に電子ビームが
照射された位置の下面から二次電子を放射させることが
できるので、電子ビーム露光装置の稼働時の電子ビーム
の露光には支障がなく、被照射物の表面に形成されたレ
ジスト膜等から発生する蒸気がチャンバからコラム部に
侵入するのを防止することが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下図１により本発明の一実施例について詳
細に説明する。図１は本発明による一実施例の電子ビー
ム露光装置の概略構造を示す図である。
細に説明する。図１は本発明による一実施例の電子ビー
ム露光装置の概略構造を示す図である。
【００１１】図に示すように、電子銃１から出た電子ビ
ームはコラム部２を通ってこのコラム部２とチャンバ３
との間に設けられている二次電子放射板５に照射され
る。この二次電子放射板５と被照射物７には直流電源６
によって１ＫＶ〜10ＫＶの高圧電圧が印加されているか
ら、この二次電子放射板５と被照射物７との間には電位
差が生じているので、電子銃１から出た電子がこの二次
電子放射板５に衝突した場合には、この衝突した位置か
ら加速された二次電子が放射され、被照射物７に二次電
子を衝突させることが可能となる。
ームはコラム部２を通ってこのコラム部２とチャンバ３
との間に設けられている二次電子放射板５に照射され
る。この二次電子放射板５と被照射物７には直流電源６
によって１ＫＶ〜10ＫＶの高圧電圧が印加されているか
ら、この二次電子放射板５と被照射物７との間には電位
差が生じているので、電子銃１から出た電子がこの二次
電子放射板５に衝突した場合には、この衝突した位置か
ら加速された二次電子が放射され、被照射物７に二次電
子を衝突させることが可能となる。
【００１２】このようにコラム部２とチャンバ３との間
を二次電子放射板５により仕切っているので、チャンバ
３内に発生した蒸気がコラム部２に侵入し、チャージア
ップを起こして電子ビームの軌道がずれる障害を防止す
ることが可能となる。
を二次電子放射板５により仕切っているので、チャンバ
３内に発生した蒸気がコラム部２に侵入し、チャージア
ップを起こして電子ビームの軌道がずれる障害を防止す
ることが可能となる。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造の変更によりコラム部とチャ
ンバとの間を二次電子放射板により仕切ることができる
ので、チャージアップが起こって電子ビームの軌道がず
れる障害を防止することが可能となる利点があり、著し
い経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる電子ビー
ム露光装置の提供が可能である。
によれば極めて簡単な構造の変更によりコラム部とチャ
ンバとの間を二次電子放射板により仕切ることができる
ので、チャージアップが起こって電子ビームの軌道がず
れる障害を防止することが可能となる利点があり、著し
い経済的及び、信頼性向上の効果が期待できる電子ビー
ム露光装置の提供が可能である。
【図１】 本発明による一実施例の電子ビーム露光装置
の概略構造を示す図、
の概略構造を示す図、
【図２】 従来の電子ビーム露光装置の概略構造を示す
図、
図、
１は電子銃、２はコラム部、３はチャンバ、４は載物
台、５は二次電子放射板、６は直流電源、７は被照射
物、
台、５は二次電子放射板、６は直流電源、７は被照射
物、
Claims (1)
- 【請求項１】 電子銃(1)から出てコラム部(2)を通る電
子ビームを、前記コラム部(2)の下部に設けたチャンバ
(3)内の載物台(4)に載置した被照射物(7)に照射する電
子ビーム露光装置において、 前記コラム部(2)と前記チャンバ(3)の接続部に、前記電
子ビームが照射された位置から二次電子を放射する二次
電子放射板(5) と、 該二次電子放射板(5) に直流電圧を印加する直流電源
(6) と、 を具備することを特徴とする電子ビーム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25497791A JP2606024B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 電子ビーム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25497791A JP2606024B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 電子ビーム露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594941A JPH0594941A (ja) | 1993-04-16 |
| JP2606024B2 true JP2606024B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=17272501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25497791A Expired - Lifetime JP2606024B2 (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 電子ビーム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606024B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25497791A patent/JP2606024B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0594941A (ja) | 1993-04-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961210 |