JP2601056B2 - 軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッド - Google Patents
軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JP2601056B2 JP2601056B2 JP3119083A JP11908391A JP2601056B2 JP 2601056 B2 JP2601056 B2 JP 2601056B2 JP 3119083 A JP3119083 A JP 3119083A JP 11908391 A JP11908391 A JP 11908391A JP 2601056 B2 JP2601056 B2 JP 2601056B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- soft magnetic
- magnetic film
- oxide
- material structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Soft Magnetic Materials (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
Description
ック基板、磁気ヘッド材料、及び、磁気ヘッドに関す
る。
膜,FeMN系膜を磁気ヘッドコア材料として用いる際
には、セラミック基板上に直接これらの軟磁性膜を成膜
していた。このセラミック基板は上記金属軟磁性膜と熱
膨張係数が近いことが必要である。そのため、NiO,
MnO,CoOなどの熱膨張係数の大きい酸化物を多く
含有させる必要がある。
eMN系膜はスパッタなどの気相成長法による成膜後、
500℃以上の熱処理を施すことにより、軟磁気特性膜
となる。これらの膜を、磁気ヘッド化する際にセラミッ
ク基板上に直接成膜し、熱処理すると、軟磁性膜を構成
する元素の酸化物の生成エネルギーが、セラミック基板
を構成する金属、或は、半金属の酸化物の生成エネルギ
ーよりも低いと、セラミック中の酸素が磁性膜に奪わ
れ、磁性膜の軟磁気特性が劣化していた。特に、Ni
O,CoOなどは酸化物生成エネルギーが高いため、熱
処理の際の金属軟磁性膜への酸素の取り込みが顕著であ
った。
ク基板にFeTaN系膜を成膜し、熱処理すると、図4
に示すように、Niの酸化物生成エネルギーがFeのそ
れよりも高いため、基板の酸素が磁性膜に奪われ、軟磁
気特性が劣化していた。
いた。
しても基板から酸素の侵入による磁気特性の劣化の起こ
らないセラミック基板構造体を提供することにある。
成膜した磁性膜の軟磁気特性劣化が抑制された軟磁性体
膜構造体を提供することにある。
せた磁気ヘッドを提供することにある。
半金属の酸化物の粒から成るセラミック基板であって、
前記セラミック基板がNiO粒あるいはCoO粒の少な
くとも一方を含み、前記基板表面に酸化物の薄膜を形成
し、前記酸化物の薄膜上に軟磁性膜を形成したことを特
徴とする軟磁性膜構造体であって、前記酸化物を形成す
る元素の酸化物生成エネルギーが、前記軟磁性膜を形成
する金属あるいは半金属の酸化物生成エネルギーに対し
て、同等もしくは小さいことを特徴とする。
り、MはTi,Nb,Zr,Mo,Hf,Taの群から
選択される少なくとも1種類の元素であり、Nは窒素で
ある軟磁性膜であり、前記酸化物膜が、Al2 O3 、あ
るいはMgO、あるいはCaO、あるいはSiO2 、あ
るいはMnOであることを特徴とする。また本発明は、
前記軟磁性膜がFeAlSiから成る軟磁性膜であり、
前記酸化物膜が、Al2 O3 、あるいはMgO、あるい
はCaOであることを特徴とする。
アとして磁気ヘッドを作製する。
セラミック板11を用い、基板上にAl2 O3 膜12を
0.1μm成膜した場合(図1(a))と、しない場合
(図1(b))について、図2(a),(b)に示すよ
うにFeTaN膜(軟磁性膜)を形成して、軟磁性膜構
造体を作り、550℃で熱処理を施した後の軟磁気特性
を評価した。その結果、Al2 O3 膜を形成した時の保
磁力(図3(a))は、Al2 O3 膜のない時の保磁力
(図3(b))に較べて大きく減少し、軟磁気特性が改
善された。
方向での酸素の分布を調べた結果、Al2 O3 膜がない
場合は、熱処理によって酸素が磁性膜中に拡散している
ことが判った。これは、図4に示す酸化物の生成エネル
ギーが基板のNiよりも、磁性膜のFeの方が低いた
め、基板のNiOの酸素が、熱処理によって磁性膜のF
eに奪われたためである。それに対し、Al2 O3 膜を
設けた時には、熱処理による酸素の磁性膜中への拡散は
認められなかった。これはAlの酸化物生成エネルギー
が低いため、磁性膜を構成する元素に酸素を奪われなか
ったためである。
も有効であった。
ク板を用い、基板上にAl2 O3 を0.1μm成膜した
場合と、しない場合について、FeTaN膜を形成し、
550℃で熱処理を施した後の軟磁気特性を評価した。
軟磁性膜構造体は図2(a),(b)の通りである。そ
の結果、Al2 O3 膜を形成した時の保磁力は、Al2
O3 膜のない時の保磁力に較べて大きく減少し、軟磁気
特性が改善された。
l2 O3 膜を0.1μm形成し、更に、Al2 O3 上に
FeTaN膜を成膜し熱処理した軟磁性膜構造体を用
い、軟磁性膜52がセラミック基板51で挟まれた構造
の磁気コアを作成し、これを用いて図5に示す構造の磁
気ヘッドを作製した。FeTaN膜厚は5μm、ギャッ
プ幅は0.3μmであった。
に較べ、図6に示すように、大きい出力が得られた。こ
れはAl2 O3 膜によってFeTaN膜へ基板から酸素
が侵入して来なかったために、FeTaNの軟磁気特性
が良好であったことによる。
Oを含む複合系でも本発明の効果があることは自明であ
る。また、Al2 O3 膜に代えて、CaO膜,MgO
膜,SiO 2 ,MnO膜などを用いても同様である。磁
性膜として、Ta以外のFeMN(M=Ti,Zr,N
b,Mo,Hf,Ta)系膜や、FeSiAl膜の場合
も同様に、磁性膜を構成する元素よりも酸化物の生成エ
ネルギーの低い元素の酸化物を基板表面に形成すること
によって、酸素の膜中への拡散を防止し、軟磁気特性の
劣化を抑制できる。
みに大きくするために酸化物生成エネルギーの高いNi
O,CoOを多く含するセラミック基板であっても、い
かなる軟磁性体膜に対しても基板からの酸素の侵入によ
る磁気特性の劣化の起こらないセラミック基板構造体が
実現できた。また、この構造により、表面研磨の難しい
セラミックであっても、表面に形成した酸化物などの膜
を研磨することにより、表面平滑性の改善が可能であ
る。
成膜した磁性膜の軟磁気特性劣化が抑制された軟磁性体
膜構造体が実現した。実施例の他にも、基板としてCo
Oを含む複合系でも本発明の効果があることは自明であ
る。
構造体を磁気ヘッドコアとすることにより、磁気ヘッド
の効率を向上させることができる。
す図である。
である。
曲線を示す図である。
である。
Claims (5)
- 【請求項1】金属あるいは半金属の酸化物の粒から成る
セラミック基板であって、前記セラミック基板がNiO
粒あるいはCoO粒の少なくとも一方を含み、前記基板
表面に酸化物の薄膜を形成し、前記酸化物の薄膜上に軟
磁性膜を形成したことを特徴とする軟磁性膜構造体であ
って、前記酸化物を形成する元素の酸化物生成エネルギ
ーが、前記軟磁性膜を形成する金属あるいは半金属の酸
化物生成エネルギーに対して、同等もしくは小さいこと
を特徴とする軟磁性膜材料構造体。 - 【請求項2】前記軟磁性膜がFeMNから成り、MはT
i,Nb,Zr,Mo,Hf,Taの群から選択される
少なくとも1種類の元素であり、Nは窒素である軟磁性
膜であり、前記酸化物膜が、Al2 O3 、あるいはMg
O、あるいはCaO、あるいはSiO2 、あるいはMn
Oであることを特徴とする請求項1記載の軟磁性膜材料
構造体。 - 【請求項3】前記軟磁性膜がFeAlSiから成る軟磁
性膜であり、前記酸化物膜が、Al2 O3 、あるいはM
gO、あるいはCaOであることを特徴とする請求項1
記載の軟磁性膜材料構造体。 - 【請求項4】請求項2記載の軟磁性膜材料構造体を磁気
コアとしたことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項5】請求項3記載の軟磁性膜材料構造体を磁気
コアとしたことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3119083A JP2601056B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッド |
EP92107074A EP0510699B1 (en) | 1991-04-24 | 1992-04-24 | Magnetic structure |
DE69203029T DE69203029T2 (de) | 1991-04-24 | 1992-04-24 | Magnetische Struktur. |
US08/155,185 US5572391A (en) | 1991-04-24 | 1993-11-22 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3119083A JP2601056B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04356711A JPH04356711A (ja) | 1992-12-10 |
JP2601056B2 true JP2601056B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=14752467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3119083A Expired - Lifetime JP2601056B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2601056B2 (ja) |
-
1991
- 1991-04-24 JP JP3119083A patent/JP2601056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04356711A (ja) | 1992-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2550996B2 (ja) | 軟磁性薄膜 | |
EP0382195A1 (en) | Magnetic head and method of manufacturing the same | |
JP2789806B2 (ja) | 軟磁性窒化合金膜の作製方法 | |
US5736264A (en) | Magnetic core and magnetic head using the same | |
JP2601056B2 (ja) | 軟磁性膜材料構造体および磁気ヘッド | |
JP2924935B2 (ja) | 垂直磁化膜、垂直磁化膜用多層膜及び垂直磁化膜の製造法 | |
EP0737960B1 (en) | Magnetic thin film for magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic head | |
EP0485951B1 (en) | Garnet polycrystalline film for magneto-optical recording medium | |
KR0127114B1 (ko) | 적층형자기헤드코어 | |
JPH06168822A (ja) | 垂直磁化膜、垂直磁化膜用多層膜及び垂直磁化膜の製造法 | |
US5862023A (en) | Metal in gap magnetic head having metal magnetic film including precious metal layer | |
JP2523854B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH02208811A (ja) | 磁気ヘッド | |
JP2570337B2 (ja) | 軟磁性積層膜 | |
JP3084580B2 (ja) | 光磁気記録媒体用ガーネット多結晶膜、光磁気記録用媒体および光磁気記録ディスク | |
JP2001015339A (ja) | 軟磁性積層膜および薄膜磁気ヘッド | |
JPH09306736A (ja) | 垂直磁化膜およびその製造法ならびに 光磁気記録媒体 | |
JPH1097706A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
JPH06244048A (ja) | 軟磁性薄膜の形成方法及び磁気ヘッド | |
JPS637509A (ja) | 磁気ヘツド | |
JP3704810B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH0695418A (ja) | 熱磁気記録媒体 | |
JPH01143312A (ja) | 非晶質軟磁性積層膜 | |
JPH09198611A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPH1012437A (ja) | 磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜、その製造方法および磁気ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120129 Year of fee payment: 15 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120129 Year of fee payment: 15 |