JP2598245Y2 - Ｉｃｐ質量分析計 - Google Patents
Ｉｃｐ質量分析計Info
- Publication number
- JP2598245Y2 JP2598245Y2 JP1993008223U JP822393U JP2598245Y2 JP 2598245 Y2 JP2598245 Y2 JP 2598245Y2 JP 1993008223 U JP1993008223 U JP 1993008223U JP 822393 U JP822393 U JP 822393U JP 2598245 Y2 JP2598245 Y2 JP 2598245Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- work coil
- frequency power
- conductive coating
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、無機分析装置の一種
であるＩＣＰ質量分析計に関する。
であるＩＣＰ質量分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料のプラズマを発生する部分は
図２に示すようになっている。高周波を発生する高周波
電源１と、高周波電源１の出力を誘導結合によってプラ
ズマ６に供給するワークコイル２と、試料を供給し試料
のプラズマ６を保持するトーチ管５と、プラズマ６中の
イオンを引き出し、イオンを検出するイオン検出部７か
ら構成されている。ワークコイル２は通常直径３ないし
５ｍｍの銅管を、直径２０ないし４０ｍｍで、２ないし
５巻き螺旋状にトーチ管５のまわりに巻いたもので、高
周波電源１に接続されている。
図２に示すようになっている。高周波を発生する高周波
電源１と、高周波電源１の出力を誘導結合によってプラ
ズマ６に供給するワークコイル２と、試料を供給し試料
のプラズマ６を保持するトーチ管５と、プラズマ６中の
イオンを引き出し、イオンを検出するイオン検出部７か
ら構成されている。ワークコイル２は通常直径３ないし
５ｍｍの銅管を、直径２０ないし４０ｍｍで、２ないし
５巻き螺旋状にトーチ管５のまわりに巻いたもので、高
周波電源１に接続されている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかし、第３図に示す
ように、従来構成のワークコイル２ではプラズマ６とワ
ークコイル２の間に浮遊容量ｃ１、またプラズマ６とイ
オン検出部７との間にプラズマシースによる静電容量ｃ
２が生じる。このためプラズマ６はワークコイル２にか
かる電圧のｃ１／ｃ２の高周波電位を持つ。プラズマ６
中のイオンがイオン検出部７にはいるとき、この高周波
電位によってイオンが加速または減速される。すなわち
イオン検出部７にはいるイオンのエネルギーがひろが
り、質量分析計の分解能を悪くしたり、質量分析計の透
過率をわるくする欠点があった。そこで、この考案の目
的は、従来のこのような課題を解決するため、ワークコ
イル２とプラズマ６との静電結合をなくすようにし、イ
オンのエネルギー広がりをすくなくすることによって、
分解能と透過率の高いＩＣＰ質量分析計を得ることであ
る。
ように、従来構成のワークコイル２ではプラズマ６とワ
ークコイル２の間に浮遊容量ｃ１、またプラズマ６とイ
オン検出部７との間にプラズマシースによる静電容量ｃ
２が生じる。このためプラズマ６はワークコイル２にか
かる電圧のｃ１／ｃ２の高周波電位を持つ。プラズマ６
中のイオンがイオン検出部７にはいるとき、この高周波
電位によってイオンが加速または減速される。すなわち
イオン検出部７にはいるイオンのエネルギーがひろが
り、質量分析計の分解能を悪くしたり、質量分析計の透
過率をわるくする欠点があった。そこで、この考案の目
的は、従来のこのような課題を解決するため、ワークコ
イル２とプラズマ６との静電結合をなくすようにし、イ
オンのエネルギー広がりをすくなくすることによって、
分解能と透過率の高いＩＣＰ質量分析計を得ることであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この考案は、ワークコイルを形成する導電体を絶縁
体で被覆し、さらに前記絶縁体を導電性被覆で被覆し、
前記導電性被覆の一端を接地し、他端はどこにも電気的
に接続されていないように構成した。このため、ワーク
コイルとプラズマとの静電結合をなくすことができ、イ
オンのエネルギー広がりを少なくすることによって、分
解能と透過率の高い、ＩＣＰ質量分析計を得ることでが
できるようにした。
に、この考案は、ワークコイルを形成する導電体を絶縁
体で被覆し、さらに前記絶縁体を導電性被覆で被覆し、
前記導電性被覆の一端を接地し、他端はどこにも電気的
に接続されていないように構成した。このため、ワーク
コイルとプラズマとの静電結合をなくすことができ、イ
オンのエネルギー広がりを少なくすることによって、分
解能と透過率の高い、ＩＣＰ質量分析計を得ることでが
できるようにした。
【０００５】
【作用】上記のように構成されたＩＣＰ質量分析計にお
いては、ワークコイルを形成する導電体と導電性被覆と
の間に浮遊容量ｃ０、導電性被覆とプラズマとの間に浮
遊容量ｃ１，プラズマとイオン検出部の間にｃ２の浮遊
容量を持つ。ワークコイルにかかる高周波電位はｃ０を
介して導電性被覆にかかるが導電性被覆は接地されてい
るので電位はゼロである。従ってｃ１を介してプラズマ
にかかる高周波電位およびｃ２を介してイオン検出部に
かかる電位はゼロである。そのためプラズマ中のイオン
は高周波電位で変調されず、すなわちイオンのエネルギ
ー広がりが小さいまま、イオン検出部に導くことがで
き、分解能と透過率の高いいＩＣＰ質量分析計を得るこ
とでができる。
いては、ワークコイルを形成する導電体と導電性被覆と
の間に浮遊容量ｃ０、導電性被覆とプラズマとの間に浮
遊容量ｃ１，プラズマとイオン検出部の間にｃ２の浮遊
容量を持つ。ワークコイルにかかる高周波電位はｃ０を
介して導電性被覆にかかるが導電性被覆は接地されてい
るので電位はゼロである。従ってｃ１を介してプラズマ
にかかる高周波電位およびｃ２を介してイオン検出部に
かかる電位はゼロである。そのためプラズマ中のイオン
は高周波電位で変調されず、すなわちイオンのエネルギ
ー広がりが小さいまま、イオン検出部に導くことがで
き、分解能と透過率の高いいＩＣＰ質量分析計を得るこ
とでができる。
【０００６】
【実施例】以下に、この考案の実施例を図に基づいて説
明する。図１において、１はワークコイルに高周波電力
を供給する高周波電源、２はワークコイルで直径３ない
し４ｍｍの銅パイプを螺旋状に、直径２５ないし４０ｍ
ｍで２ないし６巻したコイル状のもので高周波電源に接
続されている。また、ワークコイル２のプラズマ６に近
い方の一端は、接地されている。ワークコイル２の中空
部には冷却用の水が導入されている。
明する。図１において、１はワークコイルに高周波電力
を供給する高周波電源、２はワークコイルで直径３ない
し４ｍｍの銅パイプを螺旋状に、直径２５ないし４０ｍ
ｍで２ないし６巻したコイル状のもので高周波電源に接
続されている。また、ワークコイル２のプラズマ６に近
い方の一端は、接地されている。ワークコイル２の中空
部には冷却用の水が導入されている。
【０００７】３は絶縁体でワークコイル２を形成する導
電体（例えば、銅パイプ）の上に被覆されており、高周
波での誘電損失の小さい材料（例えば、石英、アルミ
ナ、窒化ボロンなど）を用いる。更に、ワークコイル２
を被覆する絶縁体３の上には、導電性被覆４が形成され
ている。導電静被覆４は、絶縁体３の端から１ないし２
ｃｍ内側から被覆をはじめ、ワークコイルを形成する銅
パイプと導電性被覆の間でおこる縁面放電を防止する。
つまり、絶縁体３の端部１〜２cm程度露出することにな
る。そして、導電性被覆４の一端だけは接地されてい
る。ただし、容易にプラズマ６を点火するためには、プ
ラズマ点灯後に導電性被覆の一端を接地することが望ま
しい。５は試料をプラズマ６に供給し、プラズマ６を支
持するトーチ管、６はプラズマ、７はイオン検出部で従
来構成と変わりがない。次ぎに動作について説明する。
電体（例えば、銅パイプ）の上に被覆されており、高周
波での誘電損失の小さい材料（例えば、石英、アルミ
ナ、窒化ボロンなど）を用いる。更に、ワークコイル２
を被覆する絶縁体３の上には、導電性被覆４が形成され
ている。導電静被覆４は、絶縁体３の端から１ないし２
ｃｍ内側から被覆をはじめ、ワークコイルを形成する銅
パイプと導電性被覆の間でおこる縁面放電を防止する。
つまり、絶縁体３の端部１〜２cm程度露出することにな
る。そして、導電性被覆４の一端だけは接地されてい
る。ただし、容易にプラズマ６を点火するためには、プ
ラズマ点灯後に導電性被覆の一端を接地することが望ま
しい。５は試料をプラズマ６に供給し、プラズマ６を支
持するトーチ管、６はプラズマ、７はイオン検出部で従
来構成と変わりがない。次ぎに動作について説明する。
【０００８】図４は本考案の構成による等価回路であ
る。高周波電源１は２７. １２ＭＨｚで１ないし２ｋＷ
の電力容量である。ワークコイル２、導電性被覆４、プ
ラズマ６の等価回路はインダクタンスと抵抗で構成され
る。図中Ｃ０はワークコイル２を形成する銅パイプと導
電性被覆４の間の浮遊容量、Ｃ１は導電性被覆４とプラ
ズマ６間の浮遊容量、Ｃ２はプラズマ６とイオン検出部
７の間の浮遊容量である。
る。高周波電源１は２７. １２ＭＨｚで１ないし２ｋＷ
の電力容量である。ワークコイル２、導電性被覆４、プ
ラズマ６の等価回路はインダクタンスと抵抗で構成され
る。図中Ｃ０はワークコイル２を形成する銅パイプと導
電性被覆４の間の浮遊容量、Ｃ１は導電性被覆４とプラ
ズマ６間の浮遊容量、Ｃ２はプラズマ６とイオン検出部
７の間の浮遊容量である。
【０００９】ワークコイル２にかかる高周波電位はｃ０
を介して導電性被覆４にかかるが、導電性被覆４は接地
されているので電位はゼロである。従ってｃ１を介して
プラズマ６にかかる高周波電位およびｃ２を介してイオ
ン検出部７にかかる電位はゼロである。そのためプラズ
マ中のイオンは高周波電位で変調されず、すなわちイオ
ンのエネルギー広がりが小さいまま、イオン検出部に導
くことができる。
を介して導電性被覆４にかかるが、導電性被覆４は接地
されているので電位はゼロである。従ってｃ１を介して
プラズマ６にかかる高周波電位およびｃ２を介してイオ
ン検出部７にかかる電位はゼロである。そのためプラズ
マ中のイオンは高周波電位で変調されず、すなわちイオ
ンのエネルギー広がりが小さいまま、イオン検出部に導
くことができる。
【００１０】
【本考案の効果】高周波電源とワークコイルとトーチ管
をもつ、ＩＣＰ質量分析計において、ワークコイルが絶
縁体で被覆され、さらに前記絶縁体を導電性被覆で被覆
し、前記導電性被覆の一端を接地し、他端はどこにも電
気的に接続しない構成としたので、以上の説明から明ら
かなように、プラズマ中のイオンは高周波電位で変調さ
れず、すなわちイオンのエネルギー広がりが小さいま
ま、イオン検出部に導くことができる。そのため分解能
と透過率の高いＩＣＰ質量分析計を得ることでができる
効果がある。
をもつ、ＩＣＰ質量分析計において、ワークコイルが絶
縁体で被覆され、さらに前記絶縁体を導電性被覆で被覆
し、前記導電性被覆の一端を接地し、他端はどこにも電
気的に接続しない構成としたので、以上の説明から明ら
かなように、プラズマ中のイオンは高周波電位で変調さ
れず、すなわちイオンのエネルギー広がりが小さいま
ま、イオン検出部に導くことができる。そのため分解能
と透過率の高いＩＣＰ質量分析計を得ることでができる
効果がある。
【図１】本考案の実施例を示した主要部断面図である。
【図２】従来の装置のの主要部断面図である。
【図３】従来のプラズマ部の等価回路である。
【図４】本実施例のプラズマ部の等価回路である。
１ 高周波電源 ２ ワークコイル ３ 絶縁体 ４ 導電性被覆 ５ トーチ管 ６ プラズマ ７ イオン検出部
Claims (1)
- 【請求項１】 高周波電力を発生する高周波電源と、前
記高周波電源から高周波電力を受けるワークコイルと、
試料を供給し、前記ワークコイルの高周波電力により先
端に試料のプラズマを発生するトーチ管と、前記ワーク
コイルの表面に覆うように形成された絶縁体と、前記絶
縁体を前記絶縁体端部を除き被覆する導電性被覆とから
なり、前記導電性被覆の一端を接地し、他端はどこにも
電気的に接続されていないことを特徴とするＩＣＰ質量
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993008223U JP2598245Y2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Ｉｃｐ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993008223U JP2598245Y2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Ｉｃｐ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668288U JPH0668288U (ja) | 1994-09-22 |
| JP2598245Y2 true JP2598245Y2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=18528467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993008223U Expired - Fee Related JP2598245Y2 (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Ｉｃｐ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598245Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-03-03 JP JP1993008223U patent/JP2598245Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0668288U (ja) | 1994-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323111 |
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