JP2597714Y2 - 赤外線式ガス分析計 - Google Patents
赤外線式ガス分析計Info
- Publication number
- JP2597714Y2 JP2597714Y2 JP1993027875U JP2787593U JP2597714Y2 JP 2597714 Y2 JP2597714 Y2 JP 2597714Y2 JP 1993027875 U JP1993027875 U JP 1993027875U JP 2787593 U JP2787593 U JP 2787593U JP 2597714 Y2 JP2597714 Y2 JP 2597714Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- detector
- chambers
- condenser microphone
- cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、燃焼排ガスの成分
（ＣＯ，ＣＯ2 ，ＮＯx ，ＳＯ2 等）濃度の計測やその
他のガスの成分濃度の測定を行う化学プロセス装置や大
気測定装置等において使用される赤外線式ガス分析計に
関する。
（ＣＯ，ＣＯ2 ，ＮＯx ，ＳＯ2 等）濃度の計測やその
他のガスの成分濃度の測定を行う化学プロセス装置や大
気測定装置等において使用される赤外線式ガス分析計に
関する。
【０００２】
【従来の技術】燃焼排ガスの成分、例えば一酸化炭素
（ＣＯ）濃度を測定する場合、図８に示すような赤外線
式ガス分析計が用いられる。この赤外線式ガス分析計
は、二本の平行に配置された円筒状のセル９３及び９４
と、これらの両セルに赤外線を投射する光源９１及び９
２と、モ−タ９５によって回転駆動され両セルに投射さ
れる光をチョッピングするセクタ−９６と、両セルから
の測定対象ガスの吸収波長の光の強度差を検出する検出
器８等から構成されている。
（ＣＯ）濃度を測定する場合、図８に示すような赤外線
式ガス分析計が用いられる。この赤外線式ガス分析計
は、二本の平行に配置された円筒状のセル９３及び９４
と、これらの両セルに赤外線を投射する光源９１及び９
２と、モ−タ９５によって回転駆動され両セルに投射さ
れる光をチョッピングするセクタ−９６と、両セルから
の測定対象ガスの吸収波長の光の強度差を検出する検出
器８等から構成されている。
【０００３】図６は、図８のＣ−Ｃ矢視断面図、図７は
図６のＤ−Ｄ矢視断面図である。前記検出器８は、ブロ
ック８ａと蓋８ｂ部分から成り、ブロック８ａには二つ
の室８１、８２が設けられ、これらの室８１，８２の上
部にはスペ−ス８０を形成すると共に該スペ−ス８０に
コンデンサマイクロホン６を設置する構造になってい
る。このスペ−ス８０と室８１及び室８２にそれぞれ繋
がる通路８３、８４によって８１室及び８２室の圧力が
コンデンサマイクロホン８に伝えられる。前記二本のセ
ル９３、９４のうち一方のセル９３（比較セル）には基
準となるガスを封入或いは流通させておき、他方のセル
９４（測定セル）には測定ガスを流しておく。ガス濃度
は、これら両セル９３、９４を通過した測定対象ガスの
吸収波長の赤外線強度の差を検出することにより測定さ
れる。前記コンデンサマイクロホン６は室８１と室８２
との微圧力差を測定するために用いられ、このコンデン
サマイクロホン６の代わりにマスフロ−センサ等が用い
られることもあるが、図６及び図７はコンデンサマイク
ロホンの例を示す。
図６のＤ−Ｄ矢視断面図である。前記検出器８は、ブロ
ック８ａと蓋８ｂ部分から成り、ブロック８ａには二つ
の室８１、８２が設けられ、これらの室８１，８２の上
部にはスペ−ス８０を形成すると共に該スペ−ス８０に
コンデンサマイクロホン６を設置する構造になってい
る。このスペ−ス８０と室８１及び室８２にそれぞれ繋
がる通路８３、８４によって８１室及び８２室の圧力が
コンデンサマイクロホン８に伝えられる。前記二本のセ
ル９３、９４のうち一方のセル９３（比較セル）には基
準となるガスを封入或いは流通させておき、他方のセル
９４（測定セル）には測定ガスを流しておく。ガス濃度
は、これら両セル９３、９４を通過した測定対象ガスの
吸収波長の赤外線強度の差を検出することにより測定さ
れる。前記コンデンサマイクロホン６は室８１と室８２
との微圧力差を測定するために用いられ、このコンデン
サマイクロホン６の代わりにマスフロ−センサ等が用い
られることもあるが、図６及び図７はコンデンサマイク
ロホンの例を示す。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】上記する従来の検出器
８では、構造上コンデンサマイクロホン６を配置する赤
外線エネルギ−の吸収に関与しないデッドスペ−ス８０
が大きい。そのため検出器自体が大型となり、検出器の
加工も複雑になる。また、ガス封入を真空法にて行う
際、真空排気のコンダクタンスは細い部分ではかなり大
きくなり、真空がスペ−ス全体に行き渡りにくいという
問題があった。
８では、構造上コンデンサマイクロホン６を配置する赤
外線エネルギ−の吸収に関与しないデッドスペ−ス８０
が大きい。そのため検出器自体が大型となり、検出器の
加工も複雑になる。また、ガス封入を真空法にて行う
際、真空排気のコンダクタンスは細い部分ではかなり大
きくなり、真空がスペ−ス全体に行き渡りにくいという
問題があった。
【０００５】この考案は、上記する課題に鑑みてなされ
たものであり、内部構造を単純化してデッドスペ−スを
少なくして検出器の感度をより一層向上させると共に、
真空排気等も容易な赤外線式ガス分析計を提供すること
を目的としている。
たものであり、内部構造を単純化してデッドスペ−スを
少なくして検出器の感度をより一層向上させると共に、
真空排気等も容易な赤外線式ガス分析計を提供すること
を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】即ち、この考案は上記す
る課題を解決するために、一方には基準となるガスを封
入或いは流通する比較セルを他方には試料ガスを導入・
排出する試料セルを配置して赤外線を透過させる二つの
セルの端部に、前記各セルを介してそれぞれ赤外線の入
射する二つの室を形成すると共にこれら二つの室の間に
コンデンサマイクロホン等の検出センサを配置する一定
のスペ−スを設ける検出器を配置してなる赤外線式ガス
分析計において、前記検出器は、一方の室を形成する半
円筒状ブロック（２ａ）と他方の室を形成する半円筒状
ブロック（２ｂ）とを接合するよう別個のブロックとし
て製作し、更にこれら半円筒状ブロック（２ａ，２ｂ）
の接合面を接合させた時前記コンデンサマイクロホン
（６）等の検出センサを配置する空間となると共に各室
（２１，２２）に通じる孔（２７，２８）を穿設した凹
部（２５，２６）を各ブロックの接合面（２３，２４）
に形成したことを特徴とする。
る課題を解決するために、一方には基準となるガスを封
入或いは流通する比較セルを他方には試料ガスを導入・
排出する試料セルを配置して赤外線を透過させる二つの
セルの端部に、前記各セルを介してそれぞれ赤外線の入
射する二つの室を形成すると共にこれら二つの室の間に
コンデンサマイクロホン等の検出センサを配置する一定
のスペ−スを設ける検出器を配置してなる赤外線式ガス
分析計において、前記検出器は、一方の室を形成する半
円筒状ブロック（２ａ）と他方の室を形成する半円筒状
ブロック（２ｂ）とを接合するよう別個のブロックとし
て製作し、更にこれら半円筒状ブロック（２ａ，２ｂ）
の接合面を接合させた時前記コンデンサマイクロホン
（６）等の検出センサを配置する空間となると共に各室
（２１，２２）に通じる孔（２７，２８）を穿設した凹
部（２５，２６）を各ブロックの接合面（２３，２４）
に形成したことを特徴とする。
【０００７】
【作用】赤外線式ガス分析計を上記手段とすると、半円
筒状ブロック２ａと半円筒状ブロック２ｂとを接合した
時、赤外線の吸収に関与しないコンデンサマイクロホン
６を設置するスペ−ス２０は小さく形成することが可能
となる。そして各室２１及び２２の圧力の伝播がロスな
く行われるため検出器としての感度を向上させることが
出来る。更に、各室２１及び２２の構造が簡単であるた
めガス封入を行う際の真空排気に対して有利となる。加
えて、検出器２全体の大きさを小さく形成することが出
来る。
筒状ブロック２ａと半円筒状ブロック２ｂとを接合した
時、赤外線の吸収に関与しないコンデンサマイクロホン
６を設置するスペ−ス２０は小さく形成することが可能
となる。そして各室２１及び２２の圧力の伝播がロスな
く行われるため検出器としての感度を向上させることが
出来る。更に、各室２１及び２２の構造が簡単であるた
めガス封入を行う際の真空排気に対して有利となる。加
えて、検出器２全体の大きさを小さく形成することが出
来る。
【０００８】
【実施例】以下、この考案の具体的実施例について図面
を参照して説明する。図１は、この考案の赤外線式ガス
分析計の検出器１の赤外線投射方向に対して直角方向の
断面図（図８のＣ−Ｃ矢視断面図と同じ方向の断面図）
であり、図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。この
検出器１部分はブロック１ａとブロック１ｂとを別個に
製作し、各ブロックにはそれぞれ室１１及び１２を形成
すると共に、各室の前面は赤外線を透過するガラスの蓋
４及び５がしてある。また前記各ブロック１ａ及び１ｂ
には対向する面１３、１４を接合するが、これらの対向
する面１３、１４には接合した時一つのスペ−ス１０を
形成するようそれぞれ凹部１５、１６が形成される。そ
して各凹部１５、１６にはそれぞれ各室１１、１２に通
じる孔１７、１８が穿設されている。
を参照して説明する。図１は、この考案の赤外線式ガス
分析計の検出器１の赤外線投射方向に対して直角方向の
断面図（図８のＣ−Ｃ矢視断面図と同じ方向の断面図）
であり、図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。この
検出器１部分はブロック１ａとブロック１ｂとを別個に
製作し、各ブロックにはそれぞれ室１１及び１２を形成
すると共に、各室の前面は赤外線を透過するガラスの蓋
４及び５がしてある。また前記各ブロック１ａ及び１ｂ
には対向する面１３、１４を接合するが、これらの対向
する面１３、１４には接合した時一つのスペ−ス１０を
形成するようそれぞれ凹部１５、１６が形成される。そ
して各凹部１５、１６にはそれぞれ各室１１、１２に通
じる孔１７、１８が穿設されている。
【０００９】前記検出器１は前記二つのブロック１ａ及
び１ｂを以上のように形成して接合面１３と接合面１４
とを接合して組立て、形成される前記スペ−ス１０には
コンデンサマイクロホン６を配置する。該コンデンサマ
イクロホン６の電極部６ａはセラミックスに金を蒸着し
て薄く形成することが可能である。また、該コンデンサ
マイクロホン６はマイクロセンサのように差圧を測定出
来るものであれば良くその他の差圧測定法を用いても良
い。
び１ｂを以上のように形成して接合面１３と接合面１４
とを接合して組立て、形成される前記スペ−ス１０には
コンデンサマイクロホン６を配置する。該コンデンサマ
イクロホン６の電極部６ａはセラミックスに金を蒸着し
て薄く形成することが可能である。また、該コンデンサ
マイクロホン６はマイクロセンサのように差圧を測定出
来るものであれば良くその他の差圧測定法を用いても良
い。
【００１０】この考案の赤外線式ガス分析計の構成は以
上のようであるが、次にその作用について説明する。ブ
ロック１ａとブロック１ｂとを接合した時、赤外線の吸
収に関与しないコンデンサマイクロホン６を設置するス
ペ−ス１０は小さく形成することが可能となる。そして
各室１１及１２の圧力の伝播がロスなく行われるため検
出器としての感度を向上させることが出来る。更に、各
室１１及び１２の構造が簡単であるためガス封入を行う
際の真空排気に対して有利となる。加えて、検出器１全
体の大きさを小さく形成することが出来る。
上のようであるが、次にその作用について説明する。ブ
ロック１ａとブロック１ｂとを接合した時、赤外線の吸
収に関与しないコンデンサマイクロホン６を設置するス
ペ−ス１０は小さく形成することが可能となる。そして
各室１１及１２の圧力の伝播がロスなく行われるため検
出器としての感度を向上させることが出来る。更に、各
室１１及び１２の構造が簡単であるためガス封入を行う
際の真空排気に対して有利となる。加えて、検出器１全
体の大きさを小さく形成することが出来る。
【００１１】図３は、この考案の赤外線式ガス分析計の
変形実施例で使用するセルの斜視図である。この変形実
施例では、一つの円筒体３に赤外線を透過させる二つの
セル３ａ及び３ｂが断面半円状に形成してある。図４
は、この実施例の赤外線式分析計の半円状の二つのセル
（３ａ，３ｂ）を有する円筒体３の端部に配置する検出
器２の軸方向に対して直角方向の断面図であり、図５
は、図４のＢ−Ｂ矢視断面図である。この実施例は、半
円状のブロック２ａと同じく半円状のブロック２ｂとを
接合面２３、２４で接合するように形成してある。そし
てブロック２ａには半円状の室２１を形成し、ブロック
２ｂには半円状の室２２を形成してある。そして各接合
面には凹部２５、２６を形成すると共にこれらの凹部２
５、２６には各室２１、２２に通じる孔２７、２８が穿
設してある。これらのブロック２ａ及び２ｂを接合した
とき形成されるスペ−ス２０には、コンデンサマイクロ
ホン６を設置する。尚、前部には赤外線を透過するガラ
ス７で蓋をする。この実施例のようにセル自体を半円状
のセルとし且つ検出器２自体も半円形の室２１、２２を
形成したブロックを接合するようにすれば、更に小型化
が可能である。
変形実施例で使用するセルの斜視図である。この変形実
施例では、一つの円筒体３に赤外線を透過させる二つの
セル３ａ及び３ｂが断面半円状に形成してある。図４
は、この実施例の赤外線式分析計の半円状の二つのセル
（３ａ，３ｂ）を有する円筒体３の端部に配置する検出
器２の軸方向に対して直角方向の断面図であり、図５
は、図４のＢ−Ｂ矢視断面図である。この実施例は、半
円状のブロック２ａと同じく半円状のブロック２ｂとを
接合面２３、２４で接合するように形成してある。そし
てブロック２ａには半円状の室２１を形成し、ブロック
２ｂには半円状の室２２を形成してある。そして各接合
面には凹部２５、２６を形成すると共にこれらの凹部２
５、２６には各室２１、２２に通じる孔２７、２８が穿
設してある。これらのブロック２ａ及び２ｂを接合した
とき形成されるスペ−ス２０には、コンデンサマイクロ
ホン６を設置する。尚、前部には赤外線を透過するガラ
ス７で蓋をする。この実施例のようにセル自体を半円状
のセルとし且つ検出器２自体も半円形の室２１、２２を
形成したブロックを接合するようにすれば、更に小型化
が可能である。
【００１２】
【考案の効果】この考案の赤外線式ガス分析計は以上詳
述したような構成としたので、検出器の内部構造を簡単
に構成することが出来るだけでなく、コンデンサマイク
ロホンやマイクロフロ−センサ等を配置するスペ−スの
デッドスペ−ス部分を少なく形成することが出来る。そ
の結果真空排気が容易となり、真空も隅々まで行き渡り
圧力検出部への圧力の伝播が良くなり測定精度を向上さ
せることが出来る。更に、この赤外線式ガス分析計は形
状、構造が単純化され製作コスト等も低減することが出
来る。
述したような構成としたので、検出器の内部構造を簡単
に構成することが出来るだけでなく、コンデンサマイク
ロホンやマイクロフロ−センサ等を配置するスペ−スの
デッドスペ−ス部分を少なく形成することが出来る。そ
の結果真空排気が容易となり、真空も隅々まで行き渡り
圧力検出部への圧力の伝播が良くなり測定精度を向上さ
せることが出来る。更に、この赤外線式ガス分析計は形
状、構造が単純化され製作コスト等も低減することが出
来る。
【図１】この考案の赤外線式ガス分析計の検出器の赤外
線投射方向に対して直角方向の断面図である。
線投射方向に対して直角方向の断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】この考案の変形実施例で使用するセルであっ
て、一つの円筒体に赤外線を透過させる二つのセルを断
面半円状に形成した斜視図である。
て、一つの円筒体に赤外線を透過させる二つのセルを断
面半円状に形成した斜視図である。
【図４】半円状の二つのセルを有する円筒体の端部に配
置する検出器の軸方向に対して直角方向の断面図であ
る。
置する検出器の軸方向に対して直角方向の断面図であ
る。
【図５】図４のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図６】従来の赤外線式ガス分析計の検出器の赤外線投
射方向に対して直角方向の断面図である。
射方向に対して直角方向の断面図である。
【図７】図６のＤ−Ｄ矢視断面図である。
【図８】従来の赤外線式ガス分析計の平面図である。
１ 検出器 １ａ、１ｂ ブロック ３ 円筒体 ３ａ、３ｂ セル ６ コンデンサマイクロホン １０、２０ スペ−ス １１、１２、２１、２２ 室 １３、１４、２３、２４ 接合面 １５、１６、２５、２６ 凹部 １７、１８、２７、２８ 孔
Claims (1)
- 【請求項１】 一方には基準となるガスを封入或いは流
通する比較セルを他方には試料ガスを導入・排出する試
料セルを配置して赤外線を透過させる二つのセルの端部
に、前記各セルを介してそれぞれ赤外線の入射する二つ
の室を形成すると共にこれら二つの室の間にコンデンサ
マイクロホン等の検出センサを配置する一定のスペ−ス
を設ける検出器を配置してなる赤外線式ガス分析計にお
いて、前記検出器は、一方の室を形成する半円筒状ブロ
ックと他方の室を形成する半円筒状ブロックとを接合す
るよう別個のブロックとして製作し、更にこれら半円筒
状ブロックの接合面を接合させた時前記コンデンサマイ
クロホン等の検出センサを配置する空間となると共に各
室に通じる孔を穿設した凹部を各ブロックの接合面に形
成したことを特徴とする赤外線式ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993027875U JP2597714Y2 (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 赤外線式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993027875U JP2597714Y2 (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 赤外線式ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682554U JPH0682554U (ja) | 1994-11-25 |
| JP2597714Y2 true JP2597714Y2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=12233074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993027875U Expired - Lifetime JP2597714Y2 (ja) | 1993-04-28 | 1993-04-28 | 赤外線式ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2597714Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-04-28 JP JP1993027875U patent/JP2597714Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682554U (ja) | 1994-11-25 |
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