JP2004117322A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の測定対象成分を含んだサンプルガスSが供給されるセル1と、このセル1に赤外光IRを照射する赤外光源2と、前記セル1を透過した赤外光IRのうち前記各測定対象成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長の赤外光を透過させる複数のバンドパスフィルタ14a〜14gと、これらのバンドパスフィルタ14a〜14gを透過した赤外光の強度をそれぞれ測定する複数の検出器13a〜13gを備え、前記複数の測定対象成分を同時に分析できるように構成された赤外線ガス分析計において、前記セル1として複数の相異なるセル長が形成された単一のセルを用いる一方、前記複数のバンドパスフィルタ14a〜14gおよび検出器13a〜13gを、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置した。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、赤外線ガス分析計に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特開平2−124448号公報
従来より、特に冷蔵庫やクーラなどの冷却機に用いられる冷媒には、一般的にフロンガスが用いられている。フロンガスは旧冷媒のCFC系、HCFC系に加えて、新冷媒のHFC系があるが、オゾン層破壊や地球温暖化の問題があり、フロンガスの回収およびリサイクルが義務付けられている。また、リサイクルできないフロンガスについてはこれを確実に破壊することが求められている。
【0003】
一方、新冷媒としては、代表的なフロン410A、フロン407C、フロン404A、フロン507Aがあり、これらは、複数の単成分フロンガス〔フロン32(R32)、フロン125(R125)、フロン134a(R134a)、フロン143a(R143a)〕のうちの数種を所定の割合で混合した所謂混合冷媒である。
【0004】そして、フロンガス濃度を測定する手段として、例えば、前記特許文献1に記載されているように、NDIR法に則ったガス分析計(赤外線ガス分析計)があり、この赤外線ガス分析計によれば前記混合冷媒に含まれる各冷媒成分の比率を分析するのにも用いることができることが分かっている。
【0005】ところで、赤外線ガス分析計においては、その測定原理上、測定対象となるガス成分の吸光度に応じたセル長(光路長)を設定する必要がある。これは測定可能な感度を得るためおよび検量線の曲がりを所定の範囲内に抑えるためである。
そして、赤外線ガス分析計においては、サンプルガスに含まれている複数の測定対象成分を同時に分析するのにも広く用いられているが、このような場合、各測定対象成分の吸光度の大きさに差があり、このため、従来においては、例えば図5に示すように、同様構成の分析部ユニット51,52を複数(図示例では2つ)有する赤外線ガス分析計を用いて分析を行っていた。
【0006】すなわち、図5において、51,52は分析部ユニットで、一方の分析部ユニット51は、セル51aと、このセル51aの一方の窓51a1 側に設けられる赤外光源51bおよび光チョッパ51cと、セル51aの他方の窓51a2 側に設けられる検出部51dとからなり、他方の分析部ユニット52は、セル52aと、このセル52aの一方の窓52a1 側に設けられる赤外光源52bおよび光チョッパ52cと、セル52aの他方の窓52a2 側に設けられる検出部52dとからなる。そして、一方の分析部ユニット51のセル51aと他方の分析部ユニット52のセル52aはサンプルガスSが直列に供給されるように接続されている。また、分析部ユニット51,52のそれぞれの検出部51d,52dには、それぞれ吸光度が似通った(近い)測定対象成分をそれぞれ検出するための検出器が設けられている。
【0007】上記構成の赤外線ガス分析計によれば、セル51a,51bのそれぞれのセル長を、検出部51,52でそれぞれ検出される測定対象成分の吸光度に最適となるように設定することにより、複数の測定対象成分を最適の状態で分析することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構成の赤外線ガス分析計においては、同様構成の分析部ユニット51,52を複数(測定対象成分の組み合わせによっては3以上)設ける必要があるところから、装置全体の構成が大がかりとなるとともに、分析部ユニットが個別に形成されるところから、ドリフト補正などの補正も個々に行う必要があり、これらの補正ための作業や構成がそれだけ複雑になるといった欠点がある。
【0009】この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、コンパクト構成でありながらも複数の測定対象成分を同時に精度よく測定することのできる赤外線ガス分析計を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、この発明では、複数の測定対象成分を含んだサンプルガスが供給されるセルと、このセルに赤外光を照射する赤外光源と、前記セルを透過した赤外光のうち前記各測定対象成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長の赤外光を透過させる複数のバンドパスフィルタと、これらのバンドパスフィルタを透過した赤外光の強度をそれぞれ測定する複数の検出器を備え、前記複数の測定対象成分を同時に分析できるように構成された赤外線ガス分析計において、前記セルとして複数の相異なるセル長が形成された単一のセルを用いる一方、前記複数のバンドパスフィルタおよび検出器を、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置したことを特徴としている(請求項1)。
【0011】上記構成の赤外線ガス分析計においては、サンプルガスが供給されるセルとして、複数の相異なるセル長が形成された単一のセルを用いる一方、前記複数のバンドパスフィルタおよび検出器を、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置しているので、分析部が一つで済み、装置全体をコンパクトに構成することができるとともに、ドリフト補正などを容易に行うことができ、ランニングコストなども低減することができる。
【0012】そして、前記一つのセル内に複数の相異なるセル長を形成するのに、セル内に赤外光透過性素材よりなるスペーサを設けてもよい(請求項2)。この場合、赤外線透過性素材よりなりその一部に赤外光通過孔が形成されたスペーサと、赤外光遮断性素材よりなり前記スペーサにおける赤外光通過孔に対応する箇所をも含むように赤外光通過孔が形成されたスペーサとを互いに重ね合わせるようにするのがよい。この構成によれば、スペーサの厚みがセル長となるので、セル長の設定(変更)を精度よく行うことができる。
【0013】また、前記一つのセル内に複数の相異なるセル長を形成するのに、セルの相対向するセル窓を互いに一方的に傾斜するように設けてもよい(請求項3)。この場合、セル長としては段階的ではなく連続的に変化するものが得られる。
【0014】さらに、複数の検出器を、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じてアレイ状に配列することもできる(請求項4)。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参照しながら説明する。図1〜図3は、この発明の一つの実施の形態を示している。そして、図1は、この発明の赤外線ガス分析計の構成の一例を概略的に示すもので、この実施の形態においては、混合冷媒を、冷媒成分ごとに測定することができるように構成したものを示している。図1において、1はサンプルガスSが供給されるセルである。ここでは、サンプルガスSは、混合冷媒である。なお、セル1の詳細な構造については後述する。
【0016】2はセル1の一方の側に設けられ、赤外光IRをセル1に向けて発する赤外光源、3はセル1と赤外光源2との間に介装される光チョッパで、モータ(図示していない)によって所定の方向に一定周期で回転する。そして、4は検出器部で、その詳細な構成については後述する。
【0017】
次に、セル1の構成について、図2および図3を参照しながら詳しく説明する。このセル1は、図1に模式的に示すように、二つのセル長La ,Lb を有するように構成されている。すなわち、図2はセル1の断面形状を示し、図3はこのセル1に組み込まれるスペーサの形状を示している。まず、図2において、5はセルブロックで、その外観形状は例えば直方体であり、ステンレス鋼など耐薬品性に優れた素材よりなり、内部に空間が形成されている。6a,6bはこのセルブロック5の一対の相対向する側面(図2中の矢印A方向における側面)にそれぞれ形成されるサンプルガスSの導入部、導出部で、互いに一直線となるように配置されている。7,8は前記A方向と直交するB方向において互いに対向する面に形成されるセル窓で、一方のセル窓7が赤外光源2側に対応し、他方のセル窓8が検出器部4に対応するようにそれぞれ設けられる。これらのセル窓7,8は、Siなどの赤外線透過性の良好な素材よりなる。9は例えばステンレス鋼よりなる窓押さえ部材、10は例えばエチレンプロピレンゴムなどよりなるシール部材である。なお、図2において、紙面に垂直な方向、つまり、A方向およびB方向に垂直な方向をC方向(図3参照)というものとする。
【0018】
前記セル窓7,8を装着した状態におけるセルブロック5の空間は、直方体で形状であり、対向するセル窓7,8間の長さ(セル長)は単一であるが、この実施の形態においては、以下のようにして、内部に二つ相異なるセル長La ,Lb を有するセル空間5a,5bが形成される。すなわち、11,12は第1スペーサ、第2スペーサで、これらのスペーサ11,12は、図3(A),(B)に示すように、その平面視形状(外形)は互いに等しく、長方形の平板よりなる。これらのスペーサ11,12は、互いに重ね合わせた状態で、前記セルブロック5内の空間を完全に隙間無く納まるように形成されている。
【0019】より詳しくは、第1スペーサ11は、例えばSiなどの赤外線透過性の良好な素材よりなる適宜厚さ(例えば0.5mm)の平板であって、図3(A)に示すように、そのA方向の中間より右半分は、そのままの状態で赤外光透過部分11aとなっているが、前記中間より左半分には、平面視等脚台形状の貫通孔(赤外光通過孔)11bが例えばエッチングなどの手法によって形成されている。
【0020】また、第2スペーサ12は、例えばステンレス鋼などの遮光性素材よりなる適宜厚さ(例えば0.4mm)の平板であって、同図(B)に示すように、そのA方向のほぼ全長にわたって貫通孔(赤外光通過孔)12bが形成されている。この赤外光通過孔12bは、第1スペーサ11における等脚台形状の赤外光通過孔11bと同じ大きさ(同形状)の孔12b1 ,12b2 (孔12b2 は、孔12b1 と線対称)を線対称的に形成したものである。そして、この赤外光通過孔12bの右側および左側には、矩形状の溝12c,12dが形成されている。前記赤外光通過孔12bおよび溝12c,12dは、エッチングなどの手法によって形成される。なお、12aは第2スペーサ12における光遮断部である。
【0021】上述した形状の2つのスペーサ11,12を、図2に示すように、第1スペーサ11が窓7(赤外光源2)側に、第2スペーサ12が窓8(検出器部4)側になるようにして重ねてセルブロック5内に配置すると、セルブロック5のガス導入部6aに近い側においては、第1スペーサ11には赤外光通過孔はなく、第2スペーサ12の赤外光通過孔12b2 のみが存在し、したがって、この赤外光通過孔12b2 によってセル空間5aが形成され、そのセル長La は第2スペーサ12の厚み、すなわち、この実施の形態では0.4mmとなる。一方、セルブロック5のガス導出部6bに近い側においては、第1スペーサ11および第2スペーサ12にそれぞれ赤外光通過孔11b,12b1 が存在するので、したがって、これらの赤外光通過孔11b,12b1 によってセル空間5bが形成され、そのセル長Lb は、両スペーサ11,12の厚みの合計、すなわち、この実施の形態では0.9mmとなる。
【0022】上述のように、セルブロック5の内部には、セル長La ,Lb の異なる2つのセル空間5a,5bがサンプルガスSの供給方向上流側から下流側にかけて段階的に形成されることになる。つまり、セルブロック5内には、図1および図2に示すように、ガス導入部6aに近い上流側にセル長La の短い空間(短セル部)5aが形成され、ガス導出部6bに近い下流側にセル長Lb の長い空間(長セル部)5bが形成されることになる。
【0023】そして、上述のように構成されたセル1のセル窓8に対向するように設けられた検出器部4の構成について、図1を参照しながら説明すると、この検出器部4は、二つの互いに光学的に並列配置された検出器ユニット4A,4Bよりなり、短セル部5a、長セル部5bにそれぞれ対応するように設けられ、セル1に供給されるサンプルガスSとしての混合冷媒が例えば7種類の冷媒成分からなる場合、当該7種類の冷媒成分を各別に検出することができるように構成されている。
【0024】今、例えば前記7種類の冷媒成分の吸光度が、大きいものが3種類、小さいものが4種類であるとする。この場合、短セル部5aに対応する検出器ユニット4Aには、吸光度が比較的大きくしかも互いに似通った3つの冷媒成分を検出するために、3つの焦電検出器13a,13b,13cと3つのバンドパスフィルタ14a,14b,14cとが対をなすように、円周を3等分するように同心円上に配置されており、長セル部5bに対応する検出器ユニット4Bには、吸光度が比較的小さくしかも互いに似通った4つの冷媒成分を検出するために、4つの焦電検出器13d,13e,13f,13gと4つのバンドパスフィルタ14d,14e,14f,14gとが対をなすように、円周を4等分するように同心円上に配置されている。図1では、前記焦電検出器13a〜13cおよびバンドパスフィルタ14a〜14c、および、焦電検出器13d〜13gおよびバンドパスフィルタ14d〜14gを、便宜上、一直線上に配置した状態で示している。
【0025】なお、7つのバンドパスフィルタ14a〜14gは、7種類の冷媒成分の赤外吸収スペクトルに合わせて、透過する中心波長が所定の範囲になるように設定されていることはいうまでもない。
【0026】そして、前記検出器部4の出力は、各冷媒成分の濃度演算(成分比率演算)を行う演算制御装置(例えばパソコン)に入力されるように構成されている。
【0027】上記構成の赤外線ガス分析計においては、セル1として部分的にセル長を変化されたものを用いているので、単一の分析部ユニットを構成すればよく、装置全体をコンパクトに構成することができるとともに、ドリフト補正などを容易に行うことができ、ランニングコストなども低減することができる。そして、サンプルガスS中に複数の測定対象成分が含まれていても、当該複数の測定対象成分を各別に検出するための検出器13a〜13gと複数のバンドパスフィルタ14a〜14gとをそれぞれ対をなすように、しかも、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置している。すなわち、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度が大きいものが短セル部5aに対応し、前記吸光度が小さいものが長セル部5bに対応するように配置しているので、複数の測定対象成分を各別に測定するに際して、測定に必要な感度を得ることができるとともに、検量線の曲がりが所定の範囲内に抑制され、複数の測定対象成分をそれぞれに適した好ましい状態で各別に測定することができる。
【0028】そして、上記実施の形態においては、サンプルガスSをセル1内に導入する場合、当該サンプルガスSを狭い側(短セル5a側)から導入し、次いで、広い側(長セル5b側)に流れる)ようにしているので、セル1内においてサンプルガスSが確実に拡散し、赤外光源2からの赤外光IRの照射を確実に受けることができる。また、セル1内からスムーズに排出される。
【0029】上述の実施の形態においては、セルブロック5内に、赤外線透過性素材よりなりその一部に赤外光通過孔11bが形成されたスペーサ11と、赤外光遮断性素材よりなりスペーサ11における赤外光通過孔11bに対応する箇所をも含むように赤外光通過孔12bが形成されたスペーサ12とを互いに重ね合わせることにより、セルブロック5内に2つの相異なるセル長La ,Lb を有する空間を形成していたが、スペーサの積層数を増やすことにより、3以上の相異なるセル長を有する空間を形成することもできる。このように構成したセル1においては、スペーサの厚みがセル長となるので、セル長の設定(変更)を精度よく行うことができる。
【0030】図4はこの発明の他の実施の形態を示すもので、この実施の形態においては、セル1におけるセル窓7,8を互いに平行ではなく、例えばセル窓8を傾けて配置し、セル窓7,8が一方的に傾斜するようにして、セル窓7,8間の距離、すなわち、セル長が連続的に変化するように構成してもよい。また、検出器部4としては、同図に示すように、それぞれバンドパスフィルタ付きの7つの検出器15a〜15gをアレイ状に形成したものを用いてもよい。この場合、バンドパスフィルタ付きの検出器15a〜15gは、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置され、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度が大きいものがセル長の短い部分に対応し、前記吸光度が小さいものがセル長の大きい部分に対応するように配置されることはいうまでもない。
【0031】そして、図1〜図3に示した実施の形態において、検出器部4を図4における検出器部と同様に構成してもよく、また、図4に示した実施の形態において、検出器部4を図1および図2に示した検出器部と同様に構成してもよい。
【0032】さらに、上記実施の形態においては、赤外線ガス分析計として、光チョッパ3を赤外光源2とセル1との間に設けていたが、これに代えて、光チョッパ3をセル1と検出器部4との間に設けてもよい。そしてさらに、次のように構成してもよい。すなわち、赤外光源2を例えば薄膜光源とし、これに断続的に電力を供給して赤外光源2から赤外光IRを断続的に発するようにしてもよい。このように構成した赤外線ガス分析計においては、機械的作動部分がなくなるとともに、構成がよりコンパクト化される。
【0033】なお、この発明の赤外線ガス分析計は、上記混合冷媒の成分比率分析のみならず、各種のガス分析に広く用いることができるのは言うまでもない。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の赤外線ガス分析計によれば、コンパクトな構成でありながらも複数の測定対象成分を同時に精度よく測定することができ、各種のガス分析に広く用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の赤外線ガス分析計の構成の一例を概略的に示すものである。
【図2】前記赤外線ガス分析計のセルの断面形状を示す図である。
【図3】前記セルに組み込まれるスペーサの形状を示す図である。
【図4】セルおよび検出器部の構成の他の例を示す概略断面図である。
【図5】従来技術を説明するための図である。
【符号の説明】1…セル、2…赤外光源、5a…短セル部、5b…長セル部、7,8…セル窓、11…スペーサ、11b…赤外光通過孔、12…スペーサ、12b…赤外光通過孔、13a〜13g…検出器、14a〜14g…バンドパスフィルタ、IR…赤外光、La ,Lb …セル長、S…サンプルガス。
Claims (4)
- 複数の測定対象成分を含んだサンプルガスが供給されるセルと、このセルに赤外光を照射する赤外光源と、前記セルを透過した赤外光のうち前記各測定対象成分の赤外吸収スペクトルに合わせた波長の赤外光を透過させる複数のバンドパスフィルタと、これらのバンドパスフィルタを透過した赤外光の強度をそれぞれ測定する複数の検出器を備え、前記複数の測定対象成分を同時に分析できるように構成された赤外線ガス分析計において、前記セルとして複数の相異なるセル長が形成された単一のセルを用いる一方、前記複数のバンドパスフィルタおよび検出器を、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じて所定のセル長に対応するように配置したことを特徴とする赤外線ガス分析計。
- 一つのセル内に複数の相異なるセル長を形成するのに、前記セル内に赤外光透過性素材よりなるスペーサを設けてなる請求項1に記載の赤外線ガス分析計。
- 一つのセル内に複数の相異なるセル長を形成するのに、前記セルの相対向するセル窓を互いに一方的に傾斜するように設けてなる請求項1に記載の赤外線ガス分析計。
- 複数の検出器を、それぞれが検出する測定対象成分の吸光度に応じてアレイ状に配列してなる請求項1〜3のいずれかに記載の赤外線ガス分析計。
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