JP2594219Y2 - Ｘ−ｙ移動テーブル - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、例えばダイボンディン
グ装置に設けられ、リードフレームや基板等にボンディ
ングする半導体ペレットをセットするペレットテーブル
として用いられるＸ−Ｙ移動テーブルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のＸ−Ｙ移動テーブルに
は、駆動軸固定型のものと積重ね型のものとがある。

【０００３】すなわち、図５は、駆動軸固定型のものを
示す図であって、ベース５１には、Ｘ軸方向へ移動自在
に支持されたＸ軸プレート５２と、Ｙ軸方向に移動自在
に支持されたＹ軸プレート５３とがそれぞれ設けられて
いる。双方のプレート５２，５３は、それぞれがモータ
５４，５５に連結された送りねじ５６，５７に、図示し
ないボールナットを介して螺合されており、各々のモー
タ５４，５５の作動によりＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動
されるようになっている。また、双方のプレート５２，
５３の上部にはトッププレート５８が設けられている。
トッププレート５８は、Ｘ軸プレート５２に対してはＹ
軸方向へ移動自在に、またＹ軸プレート５３に対しては
Ｘ軸方向へ移動自在に支持されている。したがって、Ｘ
軸プレート５２とＹ軸プレート５３とが移動されると、
トッププレート５８が所定の位置に移動される。なお、
トッププレート５８の移動可能な領域はＸ軸プレート５
２とＹ軸プレート５３との移動距離に依存している。

【０００４】一方、図６は、積重ね型のものを示す図で
あって、積重ね型のＸ−Ｙテーブルにあっては、ベース
５１に、Ｘ軸プレート５２と、これを移動するモータ５
４及び送りねじ５６が支持され、Ｘ軸プレート５２上
に、Ｙ軸方向に移動自在なＹ軸プレート５３及びこれを
移動するモータ５５、駆動軸５７が支持されている。し
たがって、Ｘ軸プレート５２とＹ軸プレート５３とが移
動されると、Ｙ軸プレート５３が所定の位置に移動され
るのである。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来のＸ−Ｙ移動テーブルのうち前者にあっては、Ｘ
軸プレート５２とＹ軸プレート５３とが同一のベース５
１上に存在しているため、トッププレート５８の移動可
能な領域を広げようとすると、装置自体の外形寸法が大
きくなってしまい、省スペース化に反するという問題が
あった。

【０００６】一方、後者にあっては、前記問題は生じな
いが、Ｙ軸プレート５３及びこれを移動するモータ５５
等の重量がＸ軸プレート５２に加わる構造であるため、
その作動時には、Ｘ軸プレート５２を移動するモータ５
５にかかるトルクが大きい。このため、移動速度の高速
化が図りにくいという問題があった。

【０００７】本考案は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、省スペース化と高速化とを同時に
図ることができるＸ−Ｙ移動テーブルを提供することを
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本考案にあっては、ベースに支持されＹ軸方向へ移動
自在なＹ軸プレートと、このＹ軸プレートをＹ軸方向へ
移動するＹ軸側駆動手段と、このＹ軸側駆動手段を構成
するとともに、前記ベースに支持され前記Ｙ軸プレート
をＹ軸方向に案内するＹ軸側案内手段と、前記ベースに
支持されＸ軸方向へ移動自在でかつ前記Ｙ軸プレートと
上下に配置されたＸ軸プレートと、このＸ軸プレートを
移動するＸ軸側駆動手段と、このＸ軸側駆動手段を構成
するとともに、前記ベースに前記Ｙ軸側駆動手段と立体
的に交差して支持され前記Ｘ軸プレートをＸ軸方向に案
内するＸ軸側案内手段と、前記Ｘ軸プレートにＹ軸方向
へ移動自在に支持されるとともに、前記Ｙ軸プレートに
Ｘ軸方向へ移動自在に支持されたトッププレートとを備
えたことを特徴としている。

【０００９】

【作用】前記構成において、トッププレートは、Ｘ軸プ
レートが移動すればＸ軸方向へ、またＹ軸プレートが移
動すればＹ軸方向へそれぞれ移動される。したがって、
Ｙ軸側駆動手段とＸ軸側駆動手段とを作動させることに
より、トッププレートを任意の位置へ移動することがで
きる。

【００１０】ここで、Ｘ軸プレートはＹ軸プレートとは
上下に配置され、かつＹ軸プレートをＹ軸方向に案内す
るＹ軸側案内手段と、Ｘ軸プレートをＸ軸方向に案内す
るＸ軸側案内手段とが互いに立体的に交差するものであ
ることから、装置自体の外形寸法を余り大きくすること
なく双方のプレートの移動距離を大きく確保することが
できる。しかも、双方のプレートの各々がベースに支持
されているため、前記双方のプレートのうちの一方側に
他方側の重量が加わることがない。

【００１１】

【実施例】以下、本考案の一実施例を図にしたがって説
明する。図１〜図３及び図４（参考図）は、本考案にか
かるＸ−Ｙ移動テーブル１を示す図であって、図１に示
すように、Ｘ−Ｙ移動テーブル１は、ダイボンダ等に固
定支持されるベース２を有している。ベース２は、相対
向してＸ軸方向へ延在する短辺２ａ，２ａと、相対向し
てＹ軸方向へ延在する長辺２ｂ，２ｂとを有した矩形状
の板材であって、その上面には両短辺２ａ，２ａの一方
側から他方側に亙ってＹ軸方向に延在する長尺状の下段
側支持台３が取り付けられている。

【００１２】下段側支持台３は、図２及び図３に示すよ
うに、上方側に開口する断面コ字型であって、前記長辺
２ｂ，２ｂと平行する両側縁に一対の壁４，４を有して
いる。壁４，４の間には、下段側支持台３の一端に第１
の軸受５が、またその他端側に第２の軸受６がそれぞれ
立設されており、第１及び第２の軸受５，６に、ボール
ナット７が螺合するＹ軸側送りねじ８が回転自在に支持
されている。さらに、下段側支持台３の他端部にはブラ
ケット９を介してモータ１０が固定されており、モータ
１０の回転軸１１がカップリング１２を介して前記Ｙ軸
側送りねじ８に連結されている。なお、前記ボールナッ
ト７、Ｙ軸側案内手段であるＹ軸側送りねじ８、モータ
１０によってＹ軸側駆動手段が構成されている。

【００１３】また、前記一対の壁４，４の上部にはガイ
ドレール１４がそれぞれ取り付けられている。ガイドレ
ール１４，１４上には、Ｙ軸プレート１５が、その下面
に設けられた脚１６，１６を介してＹ軸方向へ移動自在
に支持されている。Ｙ軸プレート１５の下面側には前記
ボールナット７がブラケット１９を介して連結されてお
り、その上面側には、前記モータ１０の反対側に位置す
る側縁に沿ってレールブラケット１７が設けられてい
る。レールブラケット１７は断面Ｌ字型であって、Ｙ軸
プレート１５の側縁に連続する側壁の上部には、Ｘ軸に
沿って延在する可動レール１８が取り付けられている。

【００１４】一方、前記ベース２には長辺２ｂ，２ｂに
沿って断面コ字型の台座２１，２１が設けられている。
双方の台座２１，２１上には、Ｘ軸に沿って延在する上
段側支持台２２が、前記Ｙ軸プレート１５と立体的に交
差するよう架設されている（図３，４）。なお、上段側
支持台２２の下面側は、長手方向の中程部分、すなわち
前記Ｙ軸プレート１５と交差する部分に凹部２２ａが形
成されている。上段側支持台２２は、前述した下段側支
持台３と同様に、その両側縁に一対の壁２３，２３を有
している。

【００１５】図４に示すように、前記一対の壁２３，２
３の間には、上段側支持台２２の一端側に第３の軸受２
４が、またその他端に第４の軸受２５がそれぞれ立設さ
れており、第３及び第４の軸受２４，２５に、ボールナ
ット２６が螺合するとともにＹ軸側送りねじ８に立体的
に交差するＸ軸側送りねじ２７が回転自在に支持されて
いる。さらに、上段側支持台２２の一端部にはブラケッ
ト２８を介してモータ２９が固定されており、モータ２
９の回転軸３０がカップリング３１を介して前記Ｘ軸側
送りねじ２７に連結されている。なお、前記ボールナッ
ト２６、Ｘ軸側案内手段であるＸ軸側送りねじ２７、モ
ータ２９によってＸ軸側駆動手段が構成されている。

【００１６】また、前記一対の壁２３，２３の上部には
ガイドレール３４，３４がそれぞれ取り付けられてお
り、その上部には、Ｘ軸プレート３５が、その下面に設
けられた脚３６，３６を介してＸ軸方向へ移動自在に支
持されている（図２）。Ｘ軸プレート３５の下面側には
前記ボールナット２６がブラケット３７を介して連結さ
れている。Ｘ軸プレート３５のＹ軸に沿う両側辺にはフ
ランジ３５ａ，３５ａが形成されており（図１，３）、
Ｘ軸プレート３５の上面側には、そのフランジに３５
ａ，３５ａに沿って取り付けられたスライダー３８，３
８を介して、矩形状のトッププレート４１がＹ軸方向へ
移動自在に支持されている。

【００１７】トッププレート４１の下面側には、その一
方の短辺に位置して断面Ｌ字型のブラケット４２が設け
られている。また、ブラケット４２には、前述したＹ軸
プレート１５側の可動レール１８に摺動自在に連結され
た断面コ字状のランナー４３が取り付けられており、こ
れによってトッププレート４１はＹ軸プレート１５に、
Ｘ軸方向に移動自在に支持されている。

【００１８】以上の構成からなる本実施例において、モ
ータ１０の作動に伴い前記Ｙ軸側送りねじ８が回転する
と、Ｙ軸プレート１５がＹ軸方向へ移動する。すると、
トッププレート４１は、Ｘ軸プレート３５に対してスラ
イドしつつＹ軸プレート１５に連動してＹ軸方向へ移動
する。また、モータ２９の作動に伴い前記Ｘ軸側送りね
じ２７が回転すると、Ｘ軸プレート３５がＸ軸方向へ移
動する。すると、トッププレート４１は、Ｙ軸プレート
１５に対してスライドしつつＸ軸方向へ移動する。した
がって、前記モータ１０，２９を作動させることによ
り、トッププレート４１を任意の位置へ移動することが
できる。

【００１９】ここで、かかる作動時には、Ｘ軸プレート
３５が上段側支持台２２、台座２１，２１を介して、ま
たＹ軸プレート１５が下段側支持台３を介して、それぞ
れベース２に支持されているため、前記双方のプレート
３５，１５のうちの一方側に他方側の重量が加わること
がない。よって、双方のプレート３５，１５自体を軽量
化するだけで、その重量に応じてトッププレート４１の
移動速度を可及的に速くすることができる。すなわち、
高速化を容易に図ることができる。

【００２０】一方、Ｘ軸プレート３５はＹ軸プレート１
５とが上下に配置され、かつＸ軸側送りねじがＹ軸側送
りねじに立体的に交差するものであることから、Ｘ−Ｙ
移動テーブル１の外形寸法を余り大きくすることなく双
方のプレート３５，１５の移動距離を大きく確保するこ
とができる。つまり、トッププレート４１の移動可能領
域をより広く確保することができる。よって、省スペー
ス化を図ることができる。

【００２１】

【考案の効果】以上説明したように、本考案にあって
は、装置の外形寸法を余り大きくすることなく、トップ
プレートを支持するＸ軸プレートとＹ軸プレートとの移
動距離を大きく確保できる構成としたことから、装置の
外形寸法を余り大きくすることなく、より広い移動可能
領域を確保することができる。これにより省スペース化
を図ることができる。しかも、双方のプレートの各々が
ベースに支持され、前記双方のプレートのうちの一方側
に他方側の重量が加わることがない構成としたことか
ら、トッププレートの移動速度を容易に速くすることが
できる。よって、省スペース化と高速化とを同時に図る
ことができるＸ−Ｙ移動テーブルの提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す平面図である。

【図２】同実施例を示す図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】同実施例を示す正面図である。

【図４】同実施例のトッププレート及びＸ軸プレートを
取り除いた状態を示す平面図である。

【図５】従来例を示す平面図である。

【図６】他の従来例を示す平面図である。

【符号の説明】 １ Ｘ−Ｙ移動テーブル ２ ベース ７ ボールナット（Ｙ軸側駆動手段） ８ Ｙ軸側送りねじ（Ｙ軸側案内手段，Ｙ軸側駆動手
段） １０ モータ（Ｙ軸側駆動手段） １５ Ｙ軸プレート １８ 可動レール ２６ ボールナット（Ｘ軸側駆動手段） ２７ Ｘ軸側送りねじ（Ｘ軸側案内手段，Ｘ軸側駆動
手段） ２９ モータ（Ｘ軸側駆動手段） ３５ Ｘ軸プレート ３８ スライダー ４１ トッププレート ４３ ランナー

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースに支持されＹ軸方向へ移動自在な
   Ｙ軸プレートと、このＹ軸プレートをＹ軸方向へ移動するＹ軸側駆動手段
   と、 このＹ軸側駆動手段を構成するとともに、前記ベースに
   支持され前記Ｙ軸プレートをＹ軸方向に案内するＹ軸側
   案内手段と、 前記ベースに支持されＸ軸方向へ移動自在でかつ前記Ｙ
   軸プレートと上下に配置されたＸ軸プレートと、このＸ軸プレートを移動するＸ軸側駆動手段と、 このＸ軸側駆動手段を構成するとともに、前記ベースに
   前記Ｙ軸側駆動手段と立体的に交差して支持され前記Ｘ
   軸プレートをＸ軸方向に案内するＸ軸側案内手段と、 前記Ｘ軸プレートにＹ軸方向へ移動自在に支持されると
   ともに、前記Ｙ軸プレートにＸ軸方向へ移動自在に支持
   されたトッププレートと、 を備えたことを特徴とするＸ−Ｙ移動テーブル。