JP2593448Y2 - 精密切削装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ブレードの破損、摩耗
等を検出するブレード検出手段を装着したダイシング装
置等の精密切削装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイシング装置等の精密切削装置におい
て、従来例えば図３に示すようにブレード１の破損や摩
耗等を検出するためのブレード検出手段２をスピンドル
ハウジング３の先端部に取り付けたブレードカバー４内
に設け、且つダイシング装置のＣＰＵ５と配線６を介し
て接続したものがある。この場合、ダイシング時にスピ
ンドルハウジング３が矢印で示すＹ軸方向及びＺ軸方向
に動かされるため、その動きに追従できるように前記配
線６のうち保護ケース７とブレードカバー４との間の部
分６ａを適度にたるませてある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記配
線６のたるみ部分６ａはカッティングエリアに露出して
いるため、切削液供給管８から噴射される切削液９の飛
沫が付着したり、配線のたるみ部分がスピンドルハウジ
ング３に触れたり或は他の物が接触したりで漏電や断線
の原因になったり、又スピンドルハウジング３のＹ軸方
向、Ｚ軸方向の移動を妨げる等の不都合があった。本考
案は、このような従来の不都合を解消するためになさ
れ、ブレード検出手段の配線がカッティングエリアに露
出しない構成を採ることにより、漏電や断線、スピンド
ルハウジングの移動の妨げ等を未然に防止できるように
した、ダイシング装置等の精密切削装置を提供すること
を課題としたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本考案は、カッティングエリア
内に配設されＸ軸方向に移動可能なチャックテーブル
と、前記カッティングエリア内と保護ケース内とを仕切
る防水プレートと、該防水プレートを介して摺動可能に
配設されＹ軸方向に移動可能なスピンドルハウジング
と、前記カッティングエリア内に位置し前記スピンドル
ハウジングに保持されたスピンドルに取り付けられたブ
レードと、該ブレードのブレードカバーと、ブレードの
破損摩耗等を検出するブレード検出手段が前記ブレード
カバー内に装着されたダイシング装置等の精密切削装置
において、前記ブレード検出手段の配線は、前記スピン
ドルハウジングのＹ軸方向の移動において前記防水プレ
ートによって仕切られた前記カッティングエリア内には
露出しないようにスピンドルハウジング内に設けると共
に、前記保護ケース内においては適度にたるませてある
ことを要旨とする。

【０００５】

【作 用】ブレード検出手段の配線がカッティングエリ
ア内に露出しないので切削液の飛沫が付着することはな
く、且つスピンドルハウジングに接触したり他の物がぶ
つかったりすることもなくなる。

【０００６】

【実施例】以下、図示の実施例に基づいて本考案を更に
詳しく（従来例と同一部材は同一符号を付して）説明す
る。図１において、１はダイシング装置等の精密切削装
置におけるブレードであり、スピンドルハウジング３に
保持されたスピンドル３ａの先端部に着脱自在に取り付
けられている。

【０００７】２はブレード検出手段であり、前記スピン
ドルハウジング３の先端部に取り付けられたブレードカ
バー４内に設けられ、電磁波等により前記ブレード１の
破損や摩耗等を検出できるようにしてある。

【０００８】５は精密切削装置に設けられたＣＰＵであ
り、前記ブレード検出手段２と配線６で接続されてお
り、この場合は配線６の一部が従来のようにカッティン
グエリア内に露出しないようにしてある。

【０００９】即ち、図２(イ) にも示すように前記スピン
ドルハウジング３の円筒壁内に軸線方向に沿って通孔１
０を設け、この通孔１０の一方はスピンドルハウジング
３の前部から前記ブレードカバー４内に通じる開口１０
ａを形成すると共に、通孔１０の他方はスピンドルハウ
ジング３の後部から前記保護ケース７内に通じる開口１
０ｂを形成し、この通孔１０内に前記配線６を挿通して
ある。

【００１０】この場合、スピンドルハウジング３の円筒
壁内に通孔１０を設けるのではなく、図２(ロ) に示すよ
うにスピンドルハウジング３の外周面に軸線方向に沿っ
て配線通し部１０′を設け、この配線通し部１０′の先
端部をブレードカバー４内に位置させても良い。この配
線通し部１０′は、例えばパイプ部材又は断面逆Ｕ型部
材で形成することが可能である。

【００１１】前記スピンドルハウジング３は防水プレー
ト７′内をＹ軸方向に摺動すると共に防水プレート７′
と一緒にＺ軸方向に動かされるため、この移動に追従で
きるように前記配線６のうち保護ケース７内の部分６ｂ
を適度にたるませて断線を防止するようにしている。配
線６のうち前記ブレードカバー４内の部分はスピンドル
ハウジング３と一緒に移動するのでたるませる必要はな
い。

【００１２】尚、１１は前記スピンドルハウジング３を
Ｙ軸方向に移動させるＹ軸駆動機構であり、１２はスピ
ンドルハウジング３をＺ軸方向に移動させるためのＺ軸
駆動機構であり、いずれもボールスクリューを介して移
動できるようにしてある。

【００１３】本発明に係るダイシング等の精密切削装置
は上記のように構成され、従来と同様に回転ブレード１
によりＸ軸方向（紙面に垂直方向）に移動するチャック
テーブル１３上に固定されたウェーハ１４を、切削液供
給管８から切削液９を供給しながら精密切削するが、こ
のカッティングエリアに前記配線６が露出していないの
で切削液９の飛沫が配線６に付着することはなく、且つ
スピンドルハウジング３に接触したり或は他の物がぶつ
かったりすることもないので、配線６の漏電や断線、ス
ピンドルハウジング３の移動の妨げ等を未然に防止する
ことができる。

【００１４】この場合、配線６のたるみ部分６ｂは比較
的広い保護ケース７内に位置しており、しかもスピンド
ルハウジング３から引き出された配線が持ち上げられて
保護ケース７の天板に固定されているため、このたるみ
部分６ｂはスピンドルハウジング３に接触し難く且つ他
の物がぶつかるようなこともない。

【００１５】

【考案の効果】以上説明したように、本考案によれば、
ブレード検出手段を装着したダイシング等の精密切削装
置において、そのブレード検出手段の配線をブレードを
保持するスピンドルハウジング内に設けたので、配線の
一部がカッティングエリア内に露出することがなく漏電
や断線、スピンドルハウジングの移動の妨げ等を未然に
防止することができ、ブレード検出を確実に行える効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す概略断面図である。

【図２】 (イ) はスピンドルハウジングの断面図、(ロ)
はスピンドルハウジングに配線通し部を設けた例を示す
断面図である。

【図３】 従来例の概略断面図である。

【符号の説明】

１…ブレード ２…ブレード検出手段 ３…スピン
ドルハウジング ３ａ…スピンドル ４…ブレード
カバー ５…ＣＰＵ ６…配線 ６ａ、６ｂ…た
るみ部分 ７…保護ケース ７′…防水プレート
８…切削液供給管 ９…切削液 １０…通孔
１０ａ、１０ｂ…開口 １０′…配線通し部 １１
…Ｙ軸駆動機構 １２…Ｚ軸駆動機構

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】カッティングエリア内に配設されＸ軸方向
   に移動可能なチャックテーブルと、前記カッティングエ
   リア内と保護ケース内とを仕切る防水プレートと、該防
   水プレートを介して摺動可能に配設されＹ軸方向に移動
   可能なスピンドルハウジングと、前記カッティングエリ
   ア内に位置し前記スピンドルハウジングに保持されたス
   ピンドルに取り付けられたブレードと、該ブレードのブ
   レードカバーと、ブレードの破損摩耗等を検出するブレ
   ード検出手段が前記ブレードカバー内に装着されたダイ
   シング装置等の精密切削装置において、 前記ブレード検出手段の配線は、前記スピンドルハウジ
   ングのＹ軸方向の移動において前記防水プレートによっ
   て仕切られた前記カッティングエリア内には露出しない
   ようにスピンドルハウジング内に設けると共に、前記保
   護ケース内においては適度にたるませてある ことを特徴
   とする精密切削装置。