JP2591694B2 - 線幅連続測定方法 - Google Patents

線幅連続測定方法

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JP2591694B2 JP3180922A JP18092291A JP2591694B2 JP 2591694 B2 JP2591694 B2 JP 2591694B2 JP 3180922 A JP3180922 A JP 3180922A JP 18092291 A JP18092291 A JP 18092291A JP 2591694 B2 JP2591694 B2 JP 2591694B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、CCDカメラ等による
帯状線の線幅を連続的に測定する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、防水構造の製品を組立て
る場合、最終組立て工程で製品の基台と内部を覆う外カ
バーとの接合部に沿って弾力性を備えたクリーム状のシ
ール材を線様に塗布している。このシール材の塗布状態
を検査し、そのダレ、切れ等線幅の不均一を検出する場
合には、外観検査を行う必要がある。外観検査として
は、拡大鏡、ルーペ、測微鏡、実体顕微鏡等を用いる目
視検査と、自動外観検査機を用いる自動外観検査とに大
別することができる。
【0003】目視検査は、良否判定に長時間を要し、迅
速な処理ができないばかりか、検査員によって検査基準
が一定せず、良否判定にバラツキが生じ、正確な検査が
できない等の問題が生じている。自動外観検査は人間の
目に代わって光学系を通じて被検査画像を取り込み、デ
ータ処理を行うので、目視検査の限界を超えてシール材
の塗布状態の検査を正確に、かつ、能率良く行うことが
できる。
【0004】自動外観検査において線幅を測定する方法
としては、光学系を通して取り込んだ被検査画像をイメ
ージセンサのピクセル(画素)に分割し、画線部と非画
線部とを0か1の2値で表現し、この2値化されたデー
タを予め記憶させておいた基準データに照らし合わせて
測定する方法(以下、従来方法1という)と、人間の目
に代わって光学系を通して被検査画像を取り込み、画線
部の一方の側縁点を検出し、その側縁点を法線方向で検
出される画線部の他方の側縁点までの距離を幅として検
出する方法(以下、従来方法2という)がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法1は予め
被検査画像に対応する基準データを格納する大規模なメ
モリが必要になり、ハード的に高価になるとともに、処
理が複雑になり、処理速度を高める上で不利になる。ま
た、上記従来方法2によれば、大規模なメモリは不要に
なるが、演算処理が複雑であり、処理速度を高める点で
不利になる。
【0006】加えて、いずれの従来方法においても、何
箇所もの線幅を測定するためには各測定点を記憶させて
おくためのメモリが必要になり、ハード的に一層高価に
なる上、予め形状が判明していない線に対しては連続し
て線幅の測定ができないという課題がある。本発明は、
上記の事情を鑑みてなされたものであり、形状不明の帯
状線に対して連続して線幅を測定できるようにした、C
CDカメラ等による線幅の連続測定方法を提供すること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明に係る線幅の連続
測定方法は、上記の目的を達成するため、読取画像中の
測定対象となる帯状の線に沿ってその線幅内に注目点を
次々に設定し、各注目点での線幅を測定する方法であっ
て、前記帯状線内に設定された一つの注目点を中心とし
て偶数方向に走査し、注目点から互いに反対方向に存在
する帯状線の縁を検出し、各走査方向における帯状の縁
間距離を画素数から演算すると共に、演算によって得ら
れた縁間距離のうち最小値を現在の注目点における線幅
とする線幅測定ステップと、現在の注目点を中心として
前回の注目点に対して点対称な方向を次回の注目点を設
定する方向と定めるステップと、前記ステップで定めら
れた方向乃至はその方向と鋭角的に交差する方向に延び
ている走査線のうち、注目点から帯状線の縁までの距離
が有効な画素数の範囲におさまっている一つの走査線を
選択するステップと、選択された走査線上における帯状
線の縁と、線幅を与える2本の走査線上における帯状線
の縁のうち前記選択された走査線上の縁から遠い側の縁
とを結ぶ線分を所定比で内分する点を次の注目点として
設定する注目点設定ステップとからなり、前記ステップ
で設定された注目点を新たに現在の注目点として上記各
ステップを実行することを特徴としている。
【0008】
【作 用】本発明によれば、現在の注目点において線幅
が測定されると、前回の注目点と現在の注目点から次回
の注目点を設定すべき方向が決定され、その方向乃至は
その方向と鋭角的に交差する方向の走査線上における帯
状線の縁と線幅方向の走査線の縁とから次回の注目点の
位置が決定される。そして、この新たに決定された注目
点を中心として線幅測定処理を実行して、その注目点に
おける帯状線の線幅が測定される。以後、この線幅測定
から新たな注目点設定までの処理を繰り返すことによ
り、帯状線の線幅を連続的に測定することができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。図1は本発明を実施するために用いる線幅連続測定
装置のブロック図であり、CCDを内蔵したカメラ1を
通して取り込んだ被検査画像が画像取り込み部(カメラ
インターフェース)2でCCDのピクセル(画素)に分
割され、画線部と非画線部とを0か1の2値で表現して
出力され、画像メモリ3に格納されるようにしてある。
画像メモリ3に格納されたデータは内部バス4を介して
中央処理部5に読み込まれ、後述する演算処理を経て線
幅が得られる。なお、中央処理部5はプログラムメモリ
6に格納された制御プログラムに従って装置全体を制御
するようにしてある。
【0010】上記制御プログラムのメインルーチンは、
例えば図2に示すように、対象物上に形成された帯状の
線L(図3にハッチングで示す)内に最初の注目点P0
を設定する初期注目点抽出ルーチン(S1)、設定され
た注目点Pn から所定の8方向にCCDで走査し、帯状
線Lの縁点を検出する縁点検出ルーチン(S2)、注目
点Pn から互いに反対方向で検出された2つの縁点の間
の距離を演算する両縁点間距離演算ステップ(S3)、
演算された両縁点間距離のなかから最小値を線幅として
抽出する線幅抽出ステップ(S4)、次の注目点Pn+1
を設定する次注目点設定ルーチン(S5)が順に実行さ
れ、以後、終了が確認されるまで(S6)、縁点検出ル
ーチン(S2)から次注目点設定ルーチン(S5)まで
の制御プログラムが繰り返される。
【0011】初期注目点抽出ルーチン(S1)は、図3
に示すように、カメラ1で撮像される画像を表示ウィン
ドウの中央部に帯状線Lが通過するようにセットした
後、開始される。このルーチン(S1)では、図4に示
すように、ウィンドウの中央を例えばウィンドウの上端
から下端の方向に走査し(S11)、線Lの縁点Aを検
出すれば(S12)、その縁点Aの座標を記憶する(S
13)。この後、更に同じ方向に走査してもう1つの縁
点Bを探し(S14)、縁点Bが見つかれば(S1
5)、この縁点Bの座標を記憶し(S16)、両縁点
A,Bの中点を求めて注目点Pとし、その座標を出力し
て(S17)メインルーチンに戻る。
【0012】縁点検出ルーチン(S2)では、例えば図
5に示すように、a方向縁点検出ルーチン(S21)、
b方向縁点検出ルーチン(S22)、c方向縁点検出ル
ーチン(S23)、d方向縁点検出ルーチン(S24)
が順に実行される。各方向の縁点検出ルーチン(S2
1,S22,S23,S24)は、センサの走査方向が
異なることを除けば同様であるので、ここではa方向縁
点検出ルーチン(S21)を例にとって説明する。
【0013】a方向縁点検出ルーチン(S21)では、
例えば図6に示すように、注目点Pから上方向に走査し
(S210)、縁点Pa0を探す。縁点Pa0がセンサ端ま
で走査しても見出せない場合は(S211,S21
2)、センサ端の座標をPa0として記憶し(S213〜
S214)、また、縁点Pa0が見出せた場合は、その座
標Pa0を記憶する(S211,S214)。この後、注
目点Pから下方向に走査し(S215)、縁点Pa1を探
す(S216)。縁点Pa1がセンサ端まで走査しても見
出せない場合は(S216,S217)、センサ端の座
標をPa1として記憶し(S218,S219)、また、
縁点Pa1が見出せた場合は、その座標Pa1を記憶する
(S216,S219)。
【0014】なお、上記画像メモリ3には、図7に示す
ように座標(CCDの画素)と1対1に対応するメモリ
枠(アドレス)を有するフレームメモリが内蔵され、画
線Lのある座標に「1」、ない座標には「0」が記入さ
れる。このようにして、注目点Pを通過する上下方向の
縁点Pa0,Pa1を検出した後、注目点Pを通過する他の
方向、即ち、左右方向(b方向)、斜め右上がり方向
(c方向)及び斜め右下がり方向(d)方向の各縁点P
b0,Pb1,Pc0,Pc1,Pd0,Pd1を画像メモリ3に記
憶する。
【0015】縁点間距離演算ステップ(S3)では、各
縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0,Pc1,Pd0,Pd1
の座標が読出され、各方向の両縁点間の距離|Pa0−P
a1|,|Pb0−Pb1|,|Pc0−Pc1|,|Pd0−Pd1
|が演算される。線幅抽出ステップ(S4)では、これ
らの中の最小値、即ち、図3の上下方向の両縁点間の距
離|Pa0−Pa1|が注目点Pにおける線幅として抽出さ
れる。
【0016】この線幅測定方法によれば、被測定物であ
る線Lの形状とは無関係に注目点Pを設定して線幅を測
定することができる。したがって、予め基準となるデー
タを記憶させるメモリが不要となり、ハード的に安価に
できる。また、注目点Pを基準にして8方の放射方向に
CCDで走査して縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0
c1,Pd0,Pd1を検出し、注目点Pに対して互いに反
対方向にある縁点間の距離を演算し、その最小値を抽出
するだけであるから、処理が簡単であり、処理速度を高
める上で有利になる。
【0017】次回注目点設定ルーチン(S5)では、図
8に示すように、この今回測定の今回注目点と前回測定
の前回注目点との位置から次回測定の次回注目点を設定
する方向を決定する方向決定ルーチン(S51)と、こ
の線幅の両端の縁点を通る直線の次回注目点の側で線幅
の方向に隣接する方向上にある縁点と、この縁点に対し
て今回注目点を挟んで反対側で線幅の方向上にある縁点
との中点を次回注目点に設定する次回注目点抽出ルーチ
ン(S52)とが順に実行される。
【0018】方向決定ルーチン(S51)では、図9に
示すように、今回注目点PのX座標P(X)から前回注
目点P0 のX座標P0 (X)を差引き(S510)、そ
の差が負であるか否かによってとりあえず次回地注目点
の設定方向が左方向か右方向かが決定される(S51
1)。その差が負である場合には、次回注目点の設定方
向が左方向とされ、更に今回注目点PのY座標P(Y)
から前回注目点P0 のY座標P0 (Y)を差引き(S5
12)、その差が負であれば次回注目点の方向が左上方
向と最終決定され(S513,S514)、その差が負
でなければ次回注目点の方向が左下方向と最終決定され
る(S513,S515)。また、今回注目点PのX座
標P(X)から前回注目点P0 のX座標P0 (X)を差
引いた差が負でない場合には、次回注目点の設定方向が
左方向とされ、更に今回注目点PのY座標P(Y)から
前回注目点P0 のY座標P0 (Y)を差引き(S51
6)、その差が負であれば次回注目点の方向が左上方向
と最終決定され(S517,S518)、その差が負で
なければ次回注目点の方向が左下方向と最終決定される
(S517,519)。このように方向が何れかの方向
に最終決定されると次回注目点設定ルーチン(S5)に
戻る。なお、最初の注目点については、ウィンドウの中
央を前回注目点P0 と見做して次回注目点の設定方向が
決定される。
【0019】次回注目点抽出ルーチン(S52)では、
例えば図10ないし図13に示すように、まず線幅方向
がどの方向かが判定される(S5201,S5211,
S5221)。ここで、例えば図3に示すように、線幅
方向がa方向であると判定される場合には(S520
1)、図10に示すように、次回注目点P1 の設定方向
が右上または右下(右方向)か否かを判定し(S520
2)、右方向の場合には、線Lが右上方向あるいは右下
方向に延びているものとして、a方向から反時計回り方
向に45°振ったd方向上で、a方向の両縁点Pa0,P
a1を結ぶ直線の右側に位置する縁点Pd0が有るか否か、
即ち、センサ端に到達するまでにこの縁点Pd0が検出さ
れているか否かを判定する(S5203)。ここで、縁
点Pd0が有ると判定されたときには、線Lが右上方向に
延びているものとして、この縁点Pd0とa方向上で今回
注目点Pを挟んでこの縁点Pd0の反対側に位置する縁点
a0との中点|Pa0−Pd0|/2を演算してこの座標を
次回注目点P1 の座標として抽出し(S5204)、縁
点Pd0がないと判定された時には、線Lが右下方向に延
びているものとして、更にa方向から時計回り方向に4
5°振ったc方向上で、a方向の両縁点Pa0,Pa1を結
ぶ直線の右側に位置する縁点Pc0が有ることを確認した
後(S5205)、この縁点Pc0とa方向上で今回注目
点Pを挟んでこの縁点P c0の反対側に位置する縁点Pa1
との中点|Pa1−Pc0|/2を演算し、この座標を次回
注目点P1 の座標として抽出する(S5206)。次回
注目点P1 の設定方向が右方向でない場合には、線Lが
左方向に延びているものとして、a方向から反時計回り
方向に45°振ったd方向上で、a方向の両縁点Pa0
a1を結ぶ直線の左側に位置する縁点Pd1が有るか否か
が判定され(S5207)、有れば線Lが左下方向に延
びているものとして、この縁点Pd1とa方向上で今回注
目点Pを挟んでこの縁点Pd1の反対側に位置する縁点P
a1との中点|Pa1−Pd1|/2を演算してこの座標を次
回注目点P1 の座標として抽出し(S5208)、無け
れば線Lが左上方向に延びているものとして、a方向か
ら反時計回り方向に45°振ったc方向上で、a方向の
両縁点Pa0,Pa1を結ぶ直線の左側に位置する縁点PC1
が有ることを確認した後(S5209)、この縁点PC1
とa方向上で今回注目点Pを挟んでこの縁点PC1の反対
側に位置する縁点Pa0との中点|Pa0−PC1|/2を求
め、この座標を次回注目点P1 の座標として抽出する
(S5210)。
【0020】図11に示すように、線幅方向がb方向で
あると判定されると(S5211)、次回注目点P1
設定方向が右上または左上(上方向)か否かが判定され
(S5212)、上方向の場合には、線Lが左上方向あ
るいは左上方向に延びているものとして、b方向から反
時計回り方向に45°振ったc方向上で、b方向の両縁
点Pb0,Pb1を結ぶ直線の上側に位置する縁点Pc0が有
るか否かを判定する(S5213)。ここで、縁点Pc0
が有ると判定されたときには、線Lが左上方向に延びて
いるものとして、この縁点Pc0とb方向上で今回注目点
Pを挟んでこの縁点Pc0の反対側に位置する縁点Pb0
の中点|Pb0−Pc0|/2を演算してこの座標を次回注
目点P1 の座標として抽出し(S5214)、縁点Pc0
がないと判定された時には、線Lが右上方向に延びてい
るものとして、更にb方向から時計回り方向に45°振
ったd方向上でb方向の両縁点Pb0,Pb1を結ぶ直線の
上側に位置する縁点Pd1が有ることを確認し(S521
5)、この縁点Pd1とb方向上で今回注目点Pを挟んで
この縁点Pc0の反対側に位置する縁点Pb1との中点|P
b1−Pd1|/2を演算し、この座標を次回注目点P1
座標として抽出する(S5216)。次回注目点P1
設定方向が上方向でない場合には、線Lが左下方向ある
いは右下方向に延びているものとして、b方向から時計
回り方向に45°振ったd方向上で、b方向の両縁点P
b0,Pb1を結ぶ直線の下側に位置する縁点Pd0が有るか
否かが判定され(S5217)、有れば線Lが左下方向
に延びているものとして、この縁点Pd0とb方向上で今
回注目点Pを挟んでこの縁点P d1の反対側に位置する縁
点Pb1との中点|Pb1−Pd0|/2を演算してこの座標
を次回注目点P1 の座標として抽出し(S5218)、
無ければ線Lが右下方向に延びているものとして、b方
向から反時計回り方向に45°振ったc方向上で、b方
向の両縁点Pb0,Pb1を結ぶ直線の下側に位置する縁点
C1が有ることを確認した後(S5219)、この縁点
C1とb方向上で今回注目点Pを挟んでこの縁点PC1
反対側に位置する縁点Pb0との中点|Pb0−PC1|/2
を求め、この座標を次回注目点P1 の座標として抽出す
る(S5220)。
【0021】図12に示すように、線幅方向がc方向で
あると判定されると(S5221)、次回注目点P1
設定方向が左上方向か否かが判定され(S5222)、
左上方向の場合には、線Lが右上方向でa方向寄りある
いはb方向寄りの方向に延びているものとして、c方向
から反時計回り方向に45°振ったa方向上で、c方向
の両縁点Pc0,Pc1を結ぶ直線の左上側に位置する縁点
a0が有るか否かを判定する(S5223)。ここで、
縁点Pa0が有ると判定されたときには、線Lが右上方向
でb方向寄りの方向に延びているものとして、この縁点
a0とc方向上で今回注目点Pを挟んでこの縁点Pa0
反対側に位置する縁点Pc1との中点|P c1−Pa0|/2
を演算してこの座標を次回注目点P1 の座標として抽出
し(S5224)、縁点Pa0がないと判定された時に
は、線Lが右上方向でa方向寄りの方向に延びているも
のとして、更にc方向から時計回り方向に45°振った
b方向上でc方向の両縁点Pc0,Pc1を結ぶ直線の左上
側に位置する縁点Pb1が有ることを確認し(S522
5)、この縁点Pb1とc方向上で今回注目点Pを挟んで
この縁点Pb1の反対側に位置する縁点Pc0との中点|P
c0−Pb1|/2を演算し、この座標を次回注目点P1
座標として抽出する(S5226)。次回注目点P1
設定方向が左上方向でない場合には、線Lが右下方向の
a方向寄りあるいはb方向寄りの方向に延びているもの
として、c方向から反時計回り方向に45°振ったa方
向上で、c方向の両縁点Pc0,Pc1を結ぶ直線の右下側
に位置する縁点Pa1が有るか否かが判定され(S522
7)、有れば線Lが右下方向のb方向寄りの方向に延び
ているものとして、この縁点Pa1とc方向上で今回注目
点Pを挟んでこの縁点Pa1の反対側に位置する縁点Pc0
との中点|Pc0−Pa1|/2を演算してこの座標を次回
注目点P1の座標として抽出し(S5228)、無けれ
ば線Lが右下方向のa方向寄りの方向に延びているもの
として、c方向から時計回り方向に45°振ったb方向
上で、c方向の両縁点Pc0,Pc1を結ぶ直線の右下側に
位置する縁点Pb0が有ることを確認してから(S522
9)、この縁点Pb0とc方向上で今回注目点Pを挟んで
この縁点Pb0の反対側に位置する縁点P c1との中点|P
c1−Pb0|/2を求めて、次回注目点P1 の座標として
抽出する(S5230)。
【0022】線幅方向がa方向でも、b方向でも、c方
向でもないと判定された場合、すなわち、線幅方向がd
方向であると判定される場合には、図13に示すよう
に、次回注目点P1 の設定方向が右上方向か否かが判定
され(S5231)、右上方向の場合には、線Lが右上
方向でa方向寄りあるいはb方向寄りの方向に延びてい
るものとして、d方向から時計回り方向に45°振った
a方向上で、d方向の両縁点Pd0,Pd1を結ぶ直線の右
上側に位置する縁点Pa0が有るか否かを判定する(S5
232)。ここで、縁点Pa0が有ると判定されたときに
は、線Lが右上方向でb方向寄りの方向に延びているも
のとして、この縁点Pa0とd方向上で今回注目点Pを挟
んでこの縁点Pa0の反対側に位置する縁点Pd0との中点
|Pd0−P a0|/2を演算してこの座標を次回注目点P
1 の座標として抽出し(S5233)、縁点Pa0がない
と判定された時には、線Lが右上方向でa方向寄りの方
向に延びているものとして、更にd方向から反時計回り
方向に45°振ったb方向上でd方向の両縁点Pd0,P
d1を結ぶ直線の右上側に位置する縁点Pb0が有ることを
確認し(S5234)、この縁点Pb0とd方向上で今回
注目点Pを挟んでこの縁点Pb0の反対側に位置する縁点
d1との中点|Pd1−Pb0|/2を演算し、この座標を
次回注目点P1 の座標として抽出する(S5235)。
次回注目点P1 の設定方向が右上方向でない場合には、
線Lが左下方向のa方向寄りあるいはb方向寄りの方向
に延びているものとして、d方向から反時計回り方向に
45°振ったa方向上で、d方向の両縁点Pd0,Pd1
結ぶ直線の左下側に位置する縁点Pa1が有るか否かが判
定され(S5236)、有れば線Lが右下方向のb方向
寄りの方向に延びているものとして、この縁点Pa1とd
方向上で今回注目点Pを挟んでこの縁点Pa1の反対側に
位置する縁点Pd1との中点|Pd1−Pa1|/2を演算し
てこの座標を次回注目点P1 の座標として抽出し(S5
237)、無ければ線Lが左下方向のa方向寄りの方向
に延びているものとして、d方向から時計回り方向に4
5°振ったb方向上で、d方向の両縁点Pd0,Pd1を結
ぶ直線の左下側に位置する縁点Pb1が有ることを確認し
てから(S5238)、この縁点Pb1とd方向上で今回
注目点Pを挟んでこの縁点Pb1の反対側に位置する縁点
d1との中点|Pd1−Pb1|/2を求めて、次回注目点
1 の座標として抽出する(S5239)。
【0023】そして、このような次回注目点P1 の設定
と、次回注目点P1 での線幅の測定を繰りかえすことに
より、形状が不明な線Lの線幅を連続して測定できる。
上記の実施例では、CCDの走査方向(向き)が注目点
Pを通る8方向に設定されているが、これは比較的少数
の走査によって所定の精度で線幅を測定できるようにす
るためであり、走査方向の数は特に限定されず、例え
ば、22.5°置きの16方向に設定して、より正確に
線幅を測定できるようにしてもよい。
【0024】なお、1つの注目点Pについての幅線Lの
測定が終了した時には次の注目点Pを設定し、その注目
点Pにおける幅線Lの測定が同様の手順で行われる。ま
た、本発明は、連続する帯状の被測定物の形状検査及び
幅寸法測定に適用することができ、更に、特定の方向を
向いて移動する製品上に形成された帯状の被測定物の形
状検査及び幅寸法測定のみならず、不特定の方向を向い
て移動する製品上の形成された帯状の被測定物の形状検
査及び幅寸法測定にも適用することができる。
【0025】尚、上記実施例では、次の注目点を2つの
縁点を結ぶ線分の中点に設定しているが、前記線分を任
意の比率で内分する点に設置することもできる。又、次
の注目点を設定すべき方向を定めるのに、実施例では、
つまるところ現在の注目点を中心として4つの象限に分
け、前回の注目点が存在する象限と点対称な位置にある
象限を次回の注目点を設定する方向として選んでいる
が、そのような座標系を用いるものに限定されるもので
はなく、現在の注目点を中心として前回の注目点に対し
て点対称な方向乃至はその方向と鋭角的に交差する方向
を、次回の注目点の設定方向として定めるものであれば
よい。
【0026】
【発明の効果】以上のように、本発明は、前回の注目点
と現在の注目点とから次回の注目点を設定する方向を設
定すると共に、今回の測定で得られた帯状線の縁点から
次回注目点の位置を決定しているので、注目点のデータ
を予め格納するメモリは不要であり、ハード的に一層安
価にできるとともに、注目点のデータを予めメモリに格
納する準備作業が不要になり、工数を著しく削減するこ
とができ、また、予め形状が判明していない帯状線につ
いても自動的に連続して線幅を測定できる等の効果が得
られる。
【0027】更に、本発明は、縁点の内分点を次回注目
点として設定しているので、常に注目点が帯状線内に自
動的に設定され、任意の形状の線に追従して線幅を連続
測定できる、という効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施するために用いる線幅測定装置の
ブロック図である。
【図2】その制御プログラムのメインルーチンのフロー
図である。
【図3】その制御プログラムによる線Lの縁点の検出原
理及び次回注目点の設定原理を示す原理説明図である。
【図4】その制御プログラムの注目点抽出ルーチンのフ
ロー図である。
【図5】その制御プログラムの縁点検出ルーチンのフロ
ー図である。
【図6】その制御プログラムのa方向縁点検出ルーチン
のフロー図である。
【図7】上記線幅測定装置の画像メモリ内に設けたフレ
ームメモリの構成図である。
【図8】上記制御プログラムの次回注目点設定ルーチン
のフロー図である。
【図9】上記制御プログラムの方向決定ルーチンのフロ
ー図である。
【図10】上記制御プログラムの次回注目点抽出ルーチ
ンの一部分のフロー図である。
【図11】上記制御プログラムの次回注目点抽出ルーチ
ンの続きの一部分のフロー図である。
【図12】上記制御プログラムの次回注目点抽出ルーチ
ンの更に続きの一部分のフロー図である。
【図13】上記制御プログラムの次回注目点抽出ルーチ
ンの残りの一部分のフロー図である。
【符号の説明】
P 注目点(今回注目点) P0 前回注目点 P1 次回注目点 Pa0 縁点 Pa1 縁点 Pb0 縁点 Pb1 縁点 Pc0 縁点 Pc1 縁点 Pd0 縁点 Pd1 縁点

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 読取画像中の測定対象となる帯状の線に
    沿ってその線幅内に注目点を次々に設定し、各注目点で
    の線幅を測定する方法であって、 前記帯状線内に設定された一つの注目点を中心として偶
    数方向に走査し、注目点から互いに反対方向に存在する
    帯状線の縁を検出し、各走査方向における帯状の縁間距
    離を画素数から演算すると共に、演算によって得られた
    縁間距離のうち最小値を現在の注目点における線幅とす
    る線幅測定ステップと、 現在の注目点を中心として前回の注目点に対して点対称
    な方向を次回の注目点を設定する方向と定めるステップ
    と、 前記ステップで定められた方向乃至はその方向と鋭角的
    に交差する方向に延びている走査線のうち、注目点から
    帯状線の縁までの距離が有効な画素数の範囲におさまっ
    ている一つの走査線を選択するステップと、 選択された走査線上における帯状線の縁と、線幅を与え
    る2本の走査線上における帯状線の縁のうち前記選択さ
    れた走査線上の縁から遠い側の縁とを結ぶ線分を所定比
    で内分する点を次の注目点として設定する注目点設定ス
    テップとからなり、 前記ステップで設定された注目点を新たに現在の注目点
    として上記各ステップを実行することを特徴とする線幅
    連続測定方法。
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