JP2673753B2 - Ｃｃｄカメラによる線幅測定方法 - Google Patents
Ｃｃｄカメラによる線幅測定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＣＤカメラによる線
幅測定方法に関する。
幅測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、防水構造の製品を組立て
る場合、最終組立て工程で製品の基台と内部を覆う外ケ
ースとの接合部に沿って弾力性を備えたクリーム状のシ
ール材を線様に塗布している。このシール材の塗布状態
を検査し、そのダレ、切れ等線幅の不均一を検出する場
合には、外観検査を行う必要がある。外観検査として
は、拡大鏡、ルーペ、測微鏡、実体顕微鏡等を用いる目
視検査と、自動外観検査機を用いる自動外観検査とに大
別することができる。
る場合、最終組立て工程で製品の基台と内部を覆う外ケ
ースとの接合部に沿って弾力性を備えたクリーム状のシ
ール材を線様に塗布している。このシール材の塗布状態
を検査し、そのダレ、切れ等線幅の不均一を検出する場
合には、外観検査を行う必要がある。外観検査として
は、拡大鏡、ルーペ、測微鏡、実体顕微鏡等を用いる目
視検査と、自動外観検査機を用いる自動外観検査とに大
別することができる。
【０００３】目視検査は、良否判定に長時間を要し、迅
速な処理ができないばかりか、検査員によって検査基準
が一定せず、良否判定にバラツキが生じ、正確な検査が
できない等の問題が生じている。自動外観検査は人間の
目に代わって光学系を通じて被検査画像を取り込み、デ
ータ処理を行うので、目視検査の限界を超えてシール材
の塗布状態の検査を正確に、かつ、能率良く行うことが
できる。
速な処理ができないばかりか、検査員によって検査基準
が一定せず、良否判定にバラツキが生じ、正確な検査が
できない等の問題が生じている。自動外観検査は人間の
目に代わって光学系を通じて被検査画像を取り込み、デ
ータ処理を行うので、目視検査の限界を超えてシール材
の塗布状態の検査を正確に、かつ、能率良く行うことが
できる。
【０００４】自動外観検査において線幅を測定する方法
としては、光学系を通して取り込んだ被検査画像をイメ
ージセンサのピクセル（画素）に分割し、画線部と非画
線部とを０か１の２値で表現し、この２値化されたデー
タを予め記憶させておいた基準データに照らし合わせて
線幅がその基準データに基づいて測定する方法（以下、
従来方法１という）と、人間の目に代わって光学系を通
して被検査画像を取り込み、画線部の一方の側縁点を検
出し、その側縁点の法線方向で検出される画線部の他方
の側縁点までの距離を幅として検出する方法（以下、従
来方法２という）がある。
としては、光学系を通して取り込んだ被検査画像をイメ
ージセンサのピクセル（画素）に分割し、画線部と非画
線部とを０か１の２値で表現し、この２値化されたデー
タを予め記憶させておいた基準データに照らし合わせて
線幅がその基準データに基づいて測定する方法（以下、
従来方法１という）と、人間の目に代わって光学系を通
して被検査画像を取り込み、画線部の一方の側縁点を検
出し、その側縁点の法線方向で検出される画線部の他方
の側縁点までの距離を幅として検出する方法（以下、従
来方法２という）がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来方法１は予め
被検査画像に対応する基準データを格納する大規模なメ
モリが必要になり、ハード的に高価になるとともに、処
理が複雑になり、処理速度を高める上で不利になる。ま
た、上記従来方法２によれば、大規模なメモリは不要に
なるが、演算処理が複雑であり、処理速度を高める上で
不利になる。
被検査画像に対応する基準データを格納する大規模なメ
モリが必要になり、ハード的に高価になるとともに、処
理が複雑になり、処理速度を高める上で不利になる。ま
た、上記従来方法２によれば、大規模なメモリは不要に
なるが、演算処理が複雑であり、処理速度を高める上で
不利になる。
【０００６】本発明は、上記の事情を鑑みてなされたも
のであり、対象物上に形成された形状不明の線に対して
高速で線幅を検出できるようにした、ＣＣＤカメラによ
る線幅の測定方法を提供することを目的とする。
のであり、対象物上に形成された形状不明の線に対して
高速で線幅を検出できるようにした、ＣＣＤカメラによ
る線幅の測定方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るＣＣＤカメラにおける線幅測定方法は
ＣＣＤカメラで読まれた対象物画像上に形成された線部
の内部もしくは外部に注目点を設定する第１のステップ
と、当該注目点から放射状に偶数方向に走査して、注目
点を通過する走査線上における前記線部の両縁点を検出
する第２のステップと、各方向の走査線上における両縁
点間距離を画素数によって演算し、これらの両縁点間距
離のうち最小のものを線幅とする第３のステップとを有
し、前記第２のステップは、注目点から所定個の画素を
走査しても線部の縁点を検出できない場合に、当該所定
個目の画素の座標を記憶し、これを当該走査線上におけ
る線部の縁点とみなすステップを含むことを特徴とす
る。また、本発明に係るＣＣＤカメラにおける線幅測定
方法は、前記第２のステップにおける走査方向が、注目
点から等角度置きの８方向であることを特徴とする。
め、本発明に係るＣＣＤカメラにおける線幅測定方法は
ＣＣＤカメラで読まれた対象物画像上に形成された線部
の内部もしくは外部に注目点を設定する第１のステップ
と、当該注目点から放射状に偶数方向に走査して、注目
点を通過する走査線上における前記線部の両縁点を検出
する第２のステップと、各方向の走査線上における両縁
点間距離を画素数によって演算し、これらの両縁点間距
離のうち最小のものを線幅とする第３のステップとを有
し、前記第２のステップは、注目点から所定個の画素を
走査しても線部の縁点を検出できない場合に、当該所定
個目の画素の座標を記憶し、これを当該走査線上におけ
る線部の縁点とみなすステップを含むことを特徴とす
る。また、本発明に係るＣＣＤカメラにおける線幅測定
方法は、前記第２のステップにおける走査方向が、注目
点から等角度置きの８方向であることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明においては、注目点を読み取った対象物
画像上に形成された線部（以下、単に「線」という。）
の内部に設定するか外部に設定するかは自由であり、ま
た、注目点を線の一方の縁点に設定することも可能であ
る。要するに、測定の対象となる線の形状とは無関係に
１つの注目点を設定し、その注目点を通過する放射線状
に偶数方向に走査すればよい。
画像上に形成された線部（以下、単に「線」という。）
の内部に設定するか外部に設定するかは自由であり、ま
た、注目点を線の一方の縁点に設定することも可能であ
る。要するに、測定の対象となる線の形状とは無関係に
１つの注目点を設定し、その注目点を通過する放射線状
に偶数方向に走査すればよい。
【０００９】注目点を通過する何れかの走査線上に線の
縁点があれば、ＣＣＤカメラの画素信号が反転するの
で、これにより縁点の検出が可能である。注目点が線の
内部にあれば、注目点から互いに反対方向の走査線上に
２つの縁点が検出され、注目点が線の外部にあれば、注
目点から同じ方向の走査線上に２つの縁点が検出され
る。ただし、注目点から所定個の画素を走査しても線の
縁点を検出できない場合に、そこで走査を打ち切って当
該所定個目の画素を当該走査線上における線部の縁点と
みなすので、すぐに別の方向の走査に移行することがで
き、線幅測定処理の高速化を図れる。
縁点があれば、ＣＣＤカメラの画素信号が反転するの
で、これにより縁点の検出が可能である。注目点が線の
内部にあれば、注目点から互いに反対方向の走査線上に
２つの縁点が検出され、注目点が線の外部にあれば、注
目点から同じ方向の走査線上に２つの縁点が検出され
る。ただし、注目点から所定個の画素を走査しても線の
縁点を検出できない場合に、そこで走査を打ち切って当
該所定個目の画素を当該走査線上における線部の縁点と
みなすので、すぐに別の方向の走査に移行することがで
き、線幅測定処理の高速化を図れる。
【００１０】注目点を通過する各方向の線の両縁点が検
出されると、両縁点間の画素数から各方向の線の両縁点
の距離が演算され、互いに比較して最小値を見出し、こ
れが線幅とされる。走査と線の両縁点の距離の演算とは
段階的に分けて処理してもよいが、２方向の走査と線の
両縁点の距離の演算をして比較し、次に小さい値の方向
に対して大きい値の方向と逆の方向に振った方向の走査
と線の両縁点の距離の演算をし、先の小さい値と比較
し、先の小さい値の方が小さい場合には先の小さい値を
線の幅とする、というように、走査と演算とを適宜交錯
させて行うようにしてもよい。
出されると、両縁点間の画素数から各方向の線の両縁点
の距離が演算され、互いに比較して最小値を見出し、こ
れが線幅とされる。走査と線の両縁点の距離の演算とは
段階的に分けて処理してもよいが、２方向の走査と線の
両縁点の距離の演算をして比較し、次に小さい値の方向
に対して大きい値の方向と逆の方向に振った方向の走査
と線の両縁点の距離の演算をし、先の小さい値と比較
し、先の小さい値の方が小さい場合には先の小さい値を
線の幅とする、というように、走査と演算とを適宜交錯
させて行うようにしてもよい。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。図１は本発明を実施するために用いる線幅測定装置
のブロック図であり、ＣＣＤを内蔵したカメラ１を通し
て取り込んだ被検査画像が画像取り込み部（カメライン
ターフェース）２でＣＣＤのピクセル（画素）に分割さ
れ、画線部と非画線部とを０か１の２値で表現して出力
され、画像メモリ３に格納されるようにしてある。画像
メモリ３に格納されたデータは内部バス４を介して中央
処理部５に読み込まれ、後述する演算処理を経て線幅が
得られる。なお、中央処理部５はプログラムメモリ６に
格納された制御プログラムに従って装置全体を制御する
ようにしてある。
る。図１は本発明を実施するために用いる線幅測定装置
のブロック図であり、ＣＣＤを内蔵したカメラ１を通し
て取り込んだ被検査画像が画像取り込み部（カメライン
ターフェース）２でＣＣＤのピクセル（画素）に分割さ
れ、画線部と非画線部とを０か１の２値で表現して出力
され、画像メモリ３に格納されるようにしてある。画像
メモリ３に格納されたデータは内部バス４を介して中央
処理部５に読み込まれ、後述する演算処理を経て線幅が
得られる。なお、中央処理部５はプログラムメモリ６に
格納された制御プログラムに従って装置全体を制御する
ようにしてある。
【００１２】図２は上記制御プログラムのメインルーチ
ンの要部を示すフロー図であり、図３はこの制御プログ
ラムによる線の縁点の検出原理を示す原理説明図であ
る。図２に示すように、この制御プログラムのメインル
ーチンでは、対象物上に形成された線Ｌ（図３のハッチ
ングで示す部分）内に注目点を設定する注目点Ｐ抽出ル
ーチン（Ｓ１）、注目点Ｐから所定の８方向にＣＣＤで
走査し、線Ｌの縁点を検出する縁点検出ルーチン（Ｓ
２）、注目点Ｐから互いに反対方向で検出された２つの
縁点の間の距離を演算する両縁点間距離演算ステップ
（Ｓ３）及び演算された両縁点間距離のなかから最小値
を線幅として抽出する線幅抽出ステップ（Ｓ４）が順に
実行される。
ンの要部を示すフロー図であり、図３はこの制御プログ
ラムによる線の縁点の検出原理を示す原理説明図であ
る。図２に示すように、この制御プログラムのメインル
ーチンでは、対象物上に形成された線Ｌ（図３のハッチ
ングで示す部分）内に注目点を設定する注目点Ｐ抽出ル
ーチン（Ｓ１）、注目点Ｐから所定の８方向にＣＣＤで
走査し、線Ｌの縁点を検出する縁点検出ルーチン（Ｓ
２）、注目点Ｐから互いに反対方向で検出された２つの
縁点の間の距離を演算する両縁点間距離演算ステップ
（Ｓ３）及び演算された両縁点間距離のなかから最小値
を線幅として抽出する線幅抽出ステップ（Ｓ４）が順に
実行される。
【００１３】注目点Ｐ抽出ルーチン（Ｓ１）では、図４
に示すように、ウィンドウの中央を例えばウィンドウの
上端から下端の方向に走査し（Ｓ１１）、線Ｌの縁点Ａ
を検出すれば（Ｓ１２）、その縁点Ａの座標を記憶する
（Ｓ１３）。この後、更に同じ方向に走査してもう１つ
の縁点Ｂを探し（Ｓ１４）、縁点Ｂが見つかれば（Ｓ１
５）、この縁点Ｂの座標を記憶し（Ｓ１６）、両縁点
Ａ，Ｂの中点を求めて注目点Ｐとし、その座標を出力し
て（Ｓ１７）メインルーチンに戻る。
に示すように、ウィンドウの中央を例えばウィンドウの
上端から下端の方向に走査し（Ｓ１１）、線Ｌの縁点Ａ
を検出すれば（Ｓ１２）、その縁点Ａの座標を記憶する
（Ｓ１３）。この後、更に同じ方向に走査してもう１つ
の縁点Ｂを探し（Ｓ１４）、縁点Ｂが見つかれば（Ｓ１
５）、この縁点Ｂの座標を記憶し（Ｓ１６）、両縁点
Ａ，Ｂの中点を求めて注目点Ｐとし、その座標を出力し
て（Ｓ１７）メインルーチンに戻る。
【００１４】縁点検出ルーチン（Ｓ２）では、注目点Ｐ
から放射状に等間隔をおいて８方向に走査するもので、
例えば図５に示すように、ａ方向縁点検出ルーチン（Ｓ
２１）、ｂ方向縁点検出ルーチン（Ｓ２２）、ｃ方向縁
点検出ルーチン（Ｓ２３）、ｄ方向縁点検出ルーチン
（Ｓ２４）が順に実行される。各方向の縁点検出ルーチ
ン（Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４）は、走査方向が
異なることを除けば同様であるので、ここではａ方向縁
点検出ルーチン（Ｓ２１）を例にとって説明する。
から放射状に等間隔をおいて８方向に走査するもので、
例えば図５に示すように、ａ方向縁点検出ルーチン（Ｓ
２１）、ｂ方向縁点検出ルーチン（Ｓ２２）、ｃ方向縁
点検出ルーチン（Ｓ２３）、ｄ方向縁点検出ルーチン
（Ｓ２４）が順に実行される。各方向の縁点検出ルーチ
ン（Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４）は、走査方向が
異なることを除けば同様であるので、ここではａ方向縁
点検出ルーチン（Ｓ２１）を例にとって説明する。
【００１５】ａ方向縁点検出ルーチン（Ｓ２１）では、
例えば図６に示すように、注目点Ｐから上方向に走査し
（Ｓ２１０）、縁点Ｐa0を探す。縁点Ｐa0が相当数の画
素を走査しても見出せない場合は（Ｓ２１１，Ｓ２１
２）、所定の画素数を走査したところの座標をＰa0とし
て記憶し（Ｓ２１３〜Ｓ２１４）、また、縁点Ｐa0が見
出せた場合は、その座標Ｐa0を記憶する（Ｓ２１１，Ｓ
２１４）。この後、注目点Ｐから下方向に走査し（Ｓ２
１５）、縁点Ｐa1を探す（Ｓ２１６）。縁点Ｐa1が相当
数の画素を走査しても見出せない場合は（Ｓ２１６，Ｓ
２１７）、所定の画素数を走査したところの座標をＰa1
として記憶し（Ｓ２１８，Ｓ２１９）、また、縁点Ｐa1
が見出せた場合は、その座標Ｐa1を記憶する（Ｓ２１
６，Ｓ２１８）。
例えば図６に示すように、注目点Ｐから上方向に走査し
（Ｓ２１０）、縁点Ｐa0を探す。縁点Ｐa0が相当数の画
素を走査しても見出せない場合は（Ｓ２１１，Ｓ２１
２）、所定の画素数を走査したところの座標をＰa0とし
て記憶し（Ｓ２１３〜Ｓ２１４）、また、縁点Ｐa0が見
出せた場合は、その座標Ｐa0を記憶する（Ｓ２１１，Ｓ
２１４）。この後、注目点Ｐから下方向に走査し（Ｓ２
１５）、縁点Ｐa1を探す（Ｓ２１６）。縁点Ｐa1が相当
数の画素を走査しても見出せない場合は（Ｓ２１６，Ｓ
２１７）、所定の画素数を走査したところの座標をＰa1
として記憶し（Ｓ２１８，Ｓ２１９）、また、縁点Ｐa1
が見出せた場合は、その座標Ｐa1を記憶する（Ｓ２１
６，Ｓ２１８）。
【００１６】なお、上記画像メモリ３には、図７に示す
ように座標（ＣＣＤの画素）と１対１に対応するメモリ
枠（アドレス）を有するフレームメモリが内蔵され、画
線Ｌのある座標に「１」、ない座標には「０」が記入さ
れる。このようにして、注目点Ｐを通過する上下方向の
縁点Ｐa0，Ｐa1を検出した後、注目点Ｐを通過する他の
方向、即ち、左右方向（ｂ方向）、斜め右上がり方向
（ｃ方向）及び斜め右下がり方向（ｄ）方向の各縁点Ｐ
b0，Ｐb1，Ｐc0，Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1を画像メモリ３に記
憶する。
ように座標（ＣＣＤの画素）と１対１に対応するメモリ
枠（アドレス）を有するフレームメモリが内蔵され、画
線Ｌのある座標に「１」、ない座標には「０」が記入さ
れる。このようにして、注目点Ｐを通過する上下方向の
縁点Ｐa0，Ｐa1を検出した後、注目点Ｐを通過する他の
方向、即ち、左右方向（ｂ方向）、斜め右上がり方向
（ｃ方向）及び斜め右下がり方向（ｄ）方向の各縁点Ｐ
b0，Ｐb1，Ｐc0，Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1を画像メモリ３に記
憶する。
【００１７】縁点間距離演算ステップ（Ｓ３）では、各
縁点Ｐa0，Ｐa1，Ｐb0，Ｐb1，Ｐc0，Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1
の座標が読出され、注目点Ｐを通過する各直線上の両縁
点間の距離｜Ｐa0−Ｐa1｜，｜Ｐb0−Ｐb1｜，｜Ｐc0−
Ｐc1｜，｜Ｐd0−Ｐd1｜が演算される。幅抽出ステップ
（Ｓ４）では、これらの中の最小値、即ち、図３の上下
方向の両縁点間の距離｜Ｐa0−Ｐa1｜が注目点Ｐにおけ
る線幅として抽出される。
縁点Ｐa0，Ｐa1，Ｐb0，Ｐb1，Ｐc0，Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1
の座標が読出され、注目点Ｐを通過する各直線上の両縁
点間の距離｜Ｐa0−Ｐa1｜，｜Ｐb0−Ｐb1｜，｜Ｐc0−
Ｐc1｜，｜Ｐd0−Ｐd1｜が演算される。幅抽出ステップ
（Ｓ４）では、これらの中の最小値、即ち、図３の上下
方向の両縁点間の距離｜Ｐa0−Ｐa1｜が注目点Ｐにおけ
る線幅として抽出される。
【００１８】この線幅測定方法によれば、被測定物であ
る線Ｌの形状とは無関係に注目点Ｐを設定して線幅を測
定することができる。したがって、予め基準となるデー
タを記憶させるメモリが不要となり、ハード的に安価に
できる。また、注目点Ｐを基準にして８方の放射方向に
ＣＣＤで走査して縁点Ｐa0，Ｐa1，Ｐb0，Ｐb1，Ｐc0，
Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1を検出し、注目点Ｐに対して互いに反
対方向にある縁点間の距離を演算し、その最小値を抽出
するだけであるから、処理が簡単であり、処理速度を高
める上で有利になる。
る線Ｌの形状とは無関係に注目点Ｐを設定して線幅を測
定することができる。したがって、予め基準となるデー
タを記憶させるメモリが不要となり、ハード的に安価に
できる。また、注目点Ｐを基準にして８方の放射方向に
ＣＣＤで走査して縁点Ｐa0，Ｐa1，Ｐb0，Ｐb1，Ｐc0，
Ｐc1，Ｐd0，Ｐd1を検出し、注目点Ｐに対して互いに反
対方向にある縁点間の距離を演算し、その最小値を抽出
するだけであるから、処理が簡単であり、処理速度を高
める上で有利になる。
【００１９】以上の説明においては、注目点Ｐを線Ｌ内
に設定するように構成しているが、注目点Ｐを線Ｌ外に
設定するように構成してもよい。この場合には、注目点
Ｐから同じ方向に線Ｌの両縁点が検出されることになる
が、前例と同様にして両縁点間の距離を演算し、その最
小値を求めて線幅とすることができる。また、ＣＣＤの
走査方向（向き）が注目点Ｐを通る８方向に設定されて
いるが、これは比較的少数の走査によって所定の精度で
線幅を測定できるようにするためであり、走査方向の数
は特に限定されず、偶数であればよく、例えば、２２．
５°置きの１６方向に設定して、より正確に線幅を測定
できるようにしてもよい。
に設定するように構成しているが、注目点Ｐを線Ｌ外に
設定するように構成してもよい。この場合には、注目点
Ｐから同じ方向に線Ｌの両縁点が検出されることになる
が、前例と同様にして両縁点間の距離を演算し、その最
小値を求めて線幅とすることができる。また、ＣＣＤの
走査方向（向き）が注目点Ｐを通る８方向に設定されて
いるが、これは比較的少数の走査によって所定の精度で
線幅を測定できるようにするためであり、走査方向の数
は特に限定されず、偶数であればよく、例えば、２２．
５°置きの１６方向に設定して、より正確に線幅を測定
できるようにしてもよい。
【００２０】なお、１つの注目点Ｐについての幅線Ｌの
測定が終了した時には次の注目点Ｐを設定し、その注目
点Ｐにおける幅線Ｌの測定が同様の手順で行われる。ま
た、本発明は、例えばプリント基板に印刷されるシール
その他の連続する帯状の被測定物の形状検査及び幅寸法
測定に適用することができ、更に、特定の方向を向いて
移動する製品上に形成された帯状の被測定物の形状検査
及び幅寸法測定のみならず、不特定の方向を向いて移動
する製品上の形成された帯状の被測定物の形状検査及び
幅寸法測定にも適用することができる。
測定が終了した時には次の注目点Ｐを設定し、その注目
点Ｐにおける幅線Ｌの測定が同様の手順で行われる。ま
た、本発明は、例えばプリント基板に印刷されるシール
その他の連続する帯状の被測定物の形状検査及び幅寸法
測定に適用することができ、更に、特定の方向を向いて
移動する製品上に形成された帯状の被測定物の形状検査
及び幅寸法測定のみならず、不特定の方向を向いて移動
する製品上の形成された帯状の被測定物の形状検査及び
幅寸法測定にも適用することができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の線幅測定方
法によれば、対象物上に形成された線部の内部もしくは
外部に注目点を設定し、注目点から放射線状に偶数方向
に走査して、注目点を通過する直線上の両縁点を検出
し、線部の両縁点間の距離の最小値を線幅とするので、
予め基準となるデータを記憶させておく大規模なメモリ
が不要となり、ハード的に安価にできる。また、検出し
た線部の各縁点のデータから線幅を求める処理が簡単で
あり、処理速度を高める上で有利になる。また、線部の
縁点の検出時において、注目点から所定個の画素を走査
しても線の縁点を検出できない場合に、そこで走査を打
ち切って当該所定個目の画素を当該走査線上における線
部の縁点とみなすので、すぐに別の方向の走査に移るこ
とができ、線幅測定処理の高速化をさらに図れる。その
上、所定個の画素を走査しても縁点が検出されなかった
場合に、その所定個目の画素を記憶しておくことによ
り、当該走査方向に縁点がない蓋然性を情報としてもつ
ことができ、これにより次の注目点の設定に有用な情報
とすることができ、さらに迅速な線幅測定が可能とな
る。
法によれば、対象物上に形成された線部の内部もしくは
外部に注目点を設定し、注目点から放射線状に偶数方向
に走査して、注目点を通過する直線上の両縁点を検出
し、線部の両縁点間の距離の最小値を線幅とするので、
予め基準となるデータを記憶させておく大規模なメモリ
が不要となり、ハード的に安価にできる。また、検出し
た線部の各縁点のデータから線幅を求める処理が簡単で
あり、処理速度を高める上で有利になる。また、線部の
縁点の検出時において、注目点から所定個の画素を走査
しても線の縁点を検出できない場合に、そこで走査を打
ち切って当該所定個目の画素を当該走査線上における線
部の縁点とみなすので、すぐに別の方向の走査に移るこ
とができ、線幅測定処理の高速化をさらに図れる。その
上、所定個の画素を走査しても縁点が検出されなかった
場合に、その所定個目の画素を記憶しておくことによ
り、当該走査方向に縁点がない蓋然性を情報としてもつ
ことができ、これにより次の注目点の設定に有用な情報
とすることができ、さらに迅速な線幅測定が可能とな
る。
【図１】本発明を実施するために用いる線幅測定装置の
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】その制御プログラムのメインルーチンのフロー
図である。
図である。
【図３】その制御プログラムによる線Ｌの縁点の検出原
理を示す原理説明図である。
理を示す原理説明図である。
【図４】その制御プログラムの注目点抽出ルーチンのフ
ロー図である。
ロー図である。
【図５】その制御プログラムの縁点検出ルーチンのフロ
ー図である。
ー図である。
【図６】その制御プログラムのａ方向縁点検出ルーチン
のフロー図である。
のフロー図である。
【図７】上記線幅測定装置の画像メモリ内に設けたフレ
ームメモリの構成図である。
ームメモリの構成図である。
Ｐ 注目点 Ｐa0 縁点 Ｐa1 縁点 Ｐb0 縁点 Ｐb1 縁点 Ｐc0 縁点 Ｐc1 縁点 Ｐd0 縁点 Ｐd1 縁点
Claims (2)
- 【請求項１】 ＣＣＤカメラで読まれた対象物画像上に
形成された線部の内部もしくは外部に注目点を設定する
第１のステップと、 当該 注目点から放射状に偶数方向に走査して、注目点を
通過する走査線上における前記線部の両縁点を検出する
第２のステップと、 各方向の走査線上における両縁点間距離を画素数によっ
て演算し、これらの両縁点間距離のうち最小のものを線
幅とする第３のステップと、 を有し、 前記第２のステップは、 注目点から所定個の画素を走査しても線部の縁点を検出
できない場合に、当該所定個目の画素の座標を記憶し、
これを当該走査線上における線部の縁点とみなすステッ
プを含む ことを特徴とするＣＣＤカメラによる線幅測定
方法。 - 【請求項２】 前記第２のステップにおける走査方向
は、注目点から等角度置きの８方向であることを特徴と
する請求項１記載の線幅測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3158121A JP2673753B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｃｃｄカメラによる線幅測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3158121A JP2673753B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｃｃｄカメラによる線幅測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055606A JPH055606A (ja) | 1993-01-14 |
| JP2673753B2 true JP2673753B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=15664761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3158121A Expired - Lifetime JP2673753B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｃｃｄカメラによる線幅測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673753B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179603A (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 線幅計測方式 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP3158121A patent/JP2673753B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH055606A (ja) | 1993-01-14 |
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