JP2590107Y2 - 分光測定装置 - Google Patents
分光測定装置Info
- Publication number
- JP2590107Y2 JP2590107Y2 JP1992002284U JP228492U JP2590107Y2 JP 2590107 Y2 JP2590107 Y2 JP 2590107Y2 JP 1992002284 U JP1992002284 U JP 1992002284U JP 228492 U JP228492 U JP 228492U JP 2590107 Y2 JP2590107 Y2 JP 2590107Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、分光測定装置に関
し、特に回折格子を使用した分光器、光スペクトラム・
アナライザその他、入射光の偏光状態を直交する２直線
成分に分解、測定、表示する分光測定装置に関する。
し、特に回折格子を使用した分光器、光スペクトラム・
アナライザその他、入射光の偏光状態を直交する２直線
成分に分解、測定、表示する分光測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回折格子を使用した分光器、光スペクト
ラム・アナライザの偏光依存性を解消する手法には、次
の如きものがある。第１に、回折格子において回折せし
められた回折光をスリット後方に配置された複像偏光子
により回折格子の溝方向について０゜および９０゜の２
成分に分離し、各分離成分を各別の受光素子により光電
変換し、演算装置により各成分の回折効率を補正、加算
することにより偏光依存性を解消する方法が提案されて
いる（特開昭６２−２８６２３号公報参照）。この応用
例として、上述の各成分について回折効率を補正し、こ
れらの値を加算するに先だって表示するようにした入射
光成分を２直交成分に分離、分光表示するものも提案さ
れている（特開平２−２２７６１９号公報参照）。
ラム・アナライザの偏光依存性を解消する手法には、次
の如きものがある。第１に、回折格子において回折せし
められた回折光をスリット後方に配置された複像偏光子
により回折格子の溝方向について０゜および９０゜の２
成分に分離し、各分離成分を各別の受光素子により光電
変換し、演算装置により各成分の回折効率を補正、加算
することにより偏光依存性を解消する方法が提案されて
いる（特開昭６２−２８６２３号公報参照）。この応用
例として、上述の各成分について回折効率を補正し、こ
れらの値を加算するに先だって表示するようにした入射
光成分を２直交成分に分離、分光表示するものも提案さ
れている（特開平２−２２７６１９号公報参照）。
【０００３】第２に、入射光が回折格子に入射するに先
だって複像偏光子により回折格子の溝方向について±４
５゜の偏波面の２光束に分離し、回折格子に入射せし
め、回折光を１個の検出器により受光することにより偏
光依存性を解消する手法が提案されている（特願平１−
２３５９６７号公報参照）。
だって複像偏光子により回折格子の溝方向について±４
５゜の偏波面の２光束に分離し、回折格子に入射せし
め、回折光を１個の検出器により受光することにより偏
光依存性を解消する手法が提案されている（特願平１−
２３５９６７号公報参照）。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】上述された第２の手法
は、偏光依存性を解消するのに、 ａ 受光素子が１個でよいこと。 ｂ ２つの偏光成分の回折効率は等しいことから回折効
率の補正データは１つでよいこと。
は、偏光依存性を解消するのに、 ａ 受光素子が１個でよいこと。 ｂ ２つの偏光成分の回折効率は等しいことから回折効
率の補正データは１つでよいこと。
【０００５】ｃ 偏光依存性の解消は組付精度のみに依
存し、始めの偏光依存性を最大波長において調整すれ
ば、すべての波長について調整後の偏光依存性はより良
い値とされる。と言う長所を有するものである。しか
し、１個の受光素子により受光するものであるから、偏
光成分を分離することができないという欠点を有する。
存し、始めの偏光依存性を最大波長において調整すれ
ば、すべての波長について調整後の偏光依存性はより良
い値とされる。と言う長所を有するものである。しか
し、１個の受光素子により受光するものであるから、偏
光成分を分離することができないという欠点を有する。
【０００６】この考案は、上述の通りの欠点を解消した
分光測定装置を提供しようとするものである。
分光測定装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】被測定光が複像偏光素子
により、直交する偏波面を持ち光軸が互いに異なる２つ
の偏光成分に分離され、分離された２つの偏光成分の偏
波面がそれぞれ分光方向に対して±４５°の角度で交差
するように分光素子に入射されて、２つの偏光成分に含
まれる同じ各波長成分が同じ対応する分光角位置に分光
され、分光素子からの分光された２つの偏光成分が、そ
の結像点に設けられた横スリットにより分光方向におい
て切取られて所望の波長幅で選出され、その選出された
２つの偏光成分が受光素子で受光される分光測定装置に
おいて、本願考案の分光測定装置は、分光方向と直角方
向において分離された２つの偏光成分を切取る可動スリ
ットが、分光方向と直角方向に移動できるよう上記結像
点に可動自在に設けられ、可動スリットを移動させて、
分離された２つの偏光成分の双方あるいはいずれか一方
を選択通過させる手段が設けられている。
により、直交する偏波面を持ち光軸が互いに異なる２つ
の偏光成分に分離され、分離された２つの偏光成分の偏
波面がそれぞれ分光方向に対して±４５°の角度で交差
するように分光素子に入射されて、２つの偏光成分に含
まれる同じ各波長成分が同じ対応する分光角位置に分光
され、分光素子からの分光された２つの偏光成分が、そ
の結像点に設けられた横スリットにより分光方向におい
て切取られて所望の波長幅で選出され、その選出された
２つの偏光成分が受光素子で受光される分光測定装置に
おいて、本願考案の分光測定装置は、分光方向と直角方
向において分離された２つの偏光成分を切取る可動スリ
ットが、分光方向と直角方向に移動できるよう上記結像
点に可動自在に設けられ、可動スリットを移動させて、
分離された２つの偏光成分の双方あるいはいずれか一方
を選択通過させる手段が設けられている。
【０００８】
【実施例】この考案の実施例を図１および図２を参照し
て説明する。図１において、入射ファイバ１を介して入
射する入射光は複像偏光子２により回折格子３の刻線方
向に関して±４５゜の直線偏光の発散する２本の光束に
分離され、第１凹面鏡４によりコリメートされてから回
折格子３に入射する。回折格子３において回折されて所
定の条件を満足する回折光は第２凹面鏡５によりコリメ
ートされて集束し、スリット６のスリット面上に回折格
子３の刻線方向と平行な方向に分離した２個のスポット
として結像する。
て説明する。図１において、入射ファイバ１を介して入
射する入射光は複像偏光子２により回折格子３の刻線方
向に関して±４５゜の直線偏光の発散する２本の光束に
分離され、第１凹面鏡４によりコリメートされてから回
折格子３に入射する。回折格子３において回折されて所
定の条件を満足する回折光は第２凹面鏡５によりコリメ
ートされて集束し、スリット６のスリット面上に回折格
子３の刻線方向と平行な方向に分離した２個のスポット
として結像する。
【０００９】この分光測定装置によれば、入射光は、す
べて±４５゜の直線偏光になるために回折格子３による
回折光はＰ偏光の場合とＳ偏光の平均値を共にとること
となり、入射光の偏光状態が変化しても回折格子３に入
射する偏光状態は一定であるから、２本の回折光の総和
は変化しない。即ち、分光測定装置に偏光依存性は生じ
ない。
べて±４５゜の直線偏光になるために回折格子３による
回折光はＰ偏光の場合とＳ偏光の平均値を共にとること
となり、入射光の偏光状態が変化しても回折格子３に入
射する偏光状態は一定であるから、２本の回折光の総和
は変化しない。即ち、分光測定装置に偏光依存性は生じ
ない。
【００１０】この考案の分光測定装置は、上述した通り
の従来の分光測定装置において、出射スポットの結像点
であるスリット６に分解能を決定する横スリット６’の
他に上下方向に可動の縦スリット６''をも具備せしめ
る。偏光分離された２本の光束を、スリット６によりそ
の内の一方の偏光成分を遮断し、他方の偏光成分のみを
通過させてこれを受光素子７において光電変換する。
の従来の分光測定装置において、出射スポットの結像点
であるスリット６に分解能を決定する横スリット６’の
他に上下方向に可動の縦スリット６''をも具備せしめ
る。偏光分離された２本の光束を、スリット６によりそ
の内の一方の偏光成分を遮断し、他方の偏光成分のみを
通過させてこれを受光素子７において光電変換する。
【００１１】次に、偏光分離された２本の光束の内の一
方の偏光成分を遮断して他方の偏光成分のみを通過させ
る手法を図２を参照して説明する。 図２（ａ）は上下方向に可動の縦スリット６''が横スリ
ット６’の上下方向のほぼ中間にあって、±４５゜偏光
スポット成分の双方共スリット６の窓８を介して出射し
ているところを示している。この状態は（特願平１−２
３５９６７号公報）の状態と同様の状態であり、分光測
定装置に偏光依存性は生じない。
方の偏光成分を遮断して他方の偏光成分のみを通過させ
る手法を図２を参照して説明する。 図２（ａ）は上下方向に可動の縦スリット６''が横スリ
ット６’の上下方向のほぼ中間にあって、±４５゜偏光
スポット成分の双方共スリット６の窓８を介して出射し
ているところを示している。この状態は（特願平１−２
３５９６７号公報）の状態と同様の状態であり、分光測
定装置に偏光依存性は生じない。
【００１２】図２（ｂ）は上下方向に可動の縦スリット
６''が横スリット６’の上方に変移せしめられた結果、
−４５゜偏光スポット成分のみが縦スリット６''の窓８
を介して出射しているところを示している。 図２（ｃ）は上下方向に可動の縦スリット６''が横スリ
ット６’の下方に変移せしめられた結果、＋４５゜偏光
スポット成分のみが縦スリット６''の窓８を介して出射
しているところを示している。
６''が横スリット６’の上方に変移せしめられた結果、
−４５゜偏光スポット成分のみが縦スリット６''の窓８
を介して出射しているところを示している。 図２（ｃ）は上下方向に可動の縦スリット６''が横スリ
ット６’の下方に変移せしめられた結果、＋４５゜偏光
スポット成分のみが縦スリット６''の窓８を介して出射
しているところを示している。
【００１３】ここで、可動の縦スリット６''の開口８の
高さｈは２個のスポットが通過するに充分な高さがあれ
ばよい。偏光分離測定時はスリット６''の遮光部を一方
のスポットを欠けることなく通過せしめると共に、他方
のスポットを遮光する位置まで駆動する。即ち、図２
（ａ）において、２個のスポットを結ぶ線分の垂直２等
分線について可動の縦スリット６''が上下対称に設置さ
れた場合、±ｈ／２だけ縦スリット６''を上下に駆動す
れば偏光分離することができる。
高さｈは２個のスポットが通過するに充分な高さがあれ
ばよい。偏光分離測定時はスリット６''の遮光部を一方
のスポットを欠けることなく通過せしめると共に、他方
のスポットを遮光する位置まで駆動する。即ち、図２
（ａ）において、２個のスポットを結ぶ線分の垂直２等
分線について可動の縦スリット６''が上下対称に設置さ
れた場合、±ｈ／２だけ縦スリット６''を上下に駆動す
れば偏光分離することができる。
【００１４】縦スリット６''の駆動機構としては図３に
示される如きものが考えられる。図３（ａ）において、
ヨーク１０にはその一方の端部に３本のＬ字形のコア１
１が形成され、ソレノイドＡ、ＢおよびＣが構成される
と共に、他方の端部には可動アーム１２が形成され、こ
れに縦スリット６''が担持される。３本のＬ字形のコア
１１の先端と可動アーム１２の先端とは互いに接近して
おり、ソレノイドを励磁したとき両者は吸引し合う。即
ち、ソレノイドＡが励磁されたとき縦スリット６''は上
方位置をとり、ソレノイドＢが励磁されたとき縦スリッ
ト６''は中間位置をとり、そしてソレノイドＣが励磁さ
れたとき縦スリット６''は下方位置をとるに到る。図３
（ｂ）においては、モータ１３によりネジ１４を回動
し、スライダ１５を駆動することによりこれに担持され
た縦スリット６''を上下に駆動することができる。
示される如きものが考えられる。図３（ａ）において、
ヨーク１０にはその一方の端部に３本のＬ字形のコア１
１が形成され、ソレノイドＡ、ＢおよびＣが構成される
と共に、他方の端部には可動アーム１２が形成され、こ
れに縦スリット６''が担持される。３本のＬ字形のコア
１１の先端と可動アーム１２の先端とは互いに接近して
おり、ソレノイドを励磁したとき両者は吸引し合う。即
ち、ソレノイドＡが励磁されたとき縦スリット６''は上
方位置をとり、ソレノイドＢが励磁されたとき縦スリッ
ト６''は中間位置をとり、そしてソレノイドＣが励磁さ
れたとき縦スリット６''は下方位置をとるに到る。図３
（ｂ）においては、モータ１３によりネジ１４を回動
し、スライダ１５を駆動することによりこれに担持され
た縦スリット６''を上下に駆動することができる。
【００１５】
【考案の効果】以上の通りであって、入射光が回折格子
に入射するに先だって複像偏光子により回折格子の溝方
向について±４５゜の偏波面の２光束に分離し、回折格
子に入射せしめ、回折光を１個の検出器により受光する
ことにより偏光依存性を解消する分光測定装置におい
て、縦スリット６''を上下することにより、互いに直交
する偏光成分を分離、測定することができる。
に入射するに先だって複像偏光子により回折格子の溝方
向について±４５゜の偏波面の２光束に分離し、回折格
子に入射せしめ、回折光を１個の検出器により受光する
ことにより偏光依存性を解消する分光測定装置におい
て、縦スリット６''を上下することにより、互いに直交
する偏光成分を分離、測定することができる。
【図１】この考案の実施例を示す図。
【図２】この考案のスリットを示す図。
【図３】この考案の縦スリットの駆動機構を示す図。
２ 複像偏光子 ３ 回折格子 ６ スリット ７ 受光素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01J 3/447 G01J 3/04 G01J 3/18 G01J 4/00
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定光が複像偏光素子により、直交す
る偏波面を持ち光軸が互いに異なる２つの偏光成分に分
離され、 上記分離された２つの偏光成分の偏波面がそれぞれ分光
方向に対して±４５°の角度で交差するように分光素子
に入射されて、上記２つの偏光成分に含まれる同じ各波
長成分が同じ対応する分光角位置に分光され、 上記分光素子からの分光された２つの偏光成分が、その
結像点に設けられた横スリットにより分光方向において
切取られて所望の波長幅で選出され、 その選出された２つの偏光成分が受光素子で受光される
分光測定装置において、 上記分光方向と直角方向において上記分離された２つの
偏光成分を切取る可動スリットが、上記分光方向と直角
方向に移動できるよう上記結像点に可動自在に設けら
れ、 上記可動スリットを移動させて、上記分離された２つの
偏光成分の双方あるいはいずれか一方を選択通過させる
手段が設けられていることを特徴とする分光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992002284U JP2590107Y2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 分光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992002284U JP2590107Y2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0559261U JPH0559261U (ja) | 1993-08-06 |
| JP2590107Y2 true JP2590107Y2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=11525075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992002284U Expired - Fee Related JP2590107Y2 (ja) | 1992-01-27 | 1992-01-27 | 分光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590107Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5176937B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-04-03 | 横河電機株式会社 | 光スペクトラムアナライザ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5621093A (en) * | 1979-07-31 | 1981-02-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Control rod for bwr type reactor |
| JP2599024B2 (ja) * | 1989-09-12 | 1997-04-09 | 株式会社アドバンテスト | 分光測定装置 |
-
1992
- 1992-01-27 JP JP1992002284U patent/JP2590107Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559261U (ja) | 1993-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981006 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |