JP2588864B2 - 光処理装置 - Google Patents
光処理装置Info
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- JP2588864B2 JP2588864B2 JP7804389A JP7804389A JP2588864B2 JP 2588864 B2 JP2588864 B2 JP 2588864B2 JP 7804389 A JP7804389 A JP 7804389A JP 7804389 A JP7804389 A JP 7804389A JP 2588864 B2 JP2588864 B2 JP 2588864B2
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、主として工場内の集合ダクト等に連結さ
れる場合に好適な光処理装置に関するものである。
れる場合に好適な光処理装置に関するものである。
［従来の技術］ 光処理装置は、ランプ冷却等のため排気ダクトを有す
るが、この排気ダクトは他の装置の排気ダクトととも
に、集合ダクトに連結されることが多い。
るが、この排気ダクトは他の装置の排気ダクトととも
に、集合ダクトに連結されることが多い。
第４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を
説明するための図で、１は光処理装置の光源であるラン
プ、２はランプ１を収納する灯具、３は光処理装置によ
って処理される被処理物（以下ワークという）、４は灯
具２内の熱風を排気するためのダクト、５はこのダクト
４内の排気を行う排気ブロア、６は光処理装置の電源、
７はランプ点灯制御回路、８は排気ブロア用のスイッ
チ、９は排気ブロア５からの排気を集合ダクト10に連結
するダクト、10は各装置からの排気を集めて屋外へ一括
して排気するための集合ダクト、11は屋外排気ファン、
12は光処理装置が使用されている例えばクリーンルーム
等の外壁である。
説明するための図で、１は光処理装置の光源であるラン
プ、２はランプ１を収納する灯具、３は光処理装置によ
って処理される被処理物（以下ワークという）、４は灯
具２内の熱風を排気するためのダクト、５はこのダクト
４内の排気を行う排気ブロア、６は光処理装置の電源、
７はランプ点灯制御回路、８は排気ブロア用のスイッ
チ、９は排気ブロア５からの排気を集合ダクト10に連結
するダクト、10は各装置からの排気を集めて屋外へ一括
して排気するための集合ダクト、11は屋外排気ファン、
12は光処理装置が使用されている例えばクリーンルーム
等の外壁である。
第３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロ
アの動作についての時間−温度，風量の関係を示した図
である。
アの動作についての時間−温度，風量の関係を示した図
である。
第４図において、ランプ１は水銀等の封入物が完全に
蒸発し発光材料として十分機能させる必要がある一方
で、あまり高温になると管壁材が失透するため、所定の
温度範囲になるよう排気ブロア５により所定の風量の冷
却がされる。
蒸発し発光材料として十分機能させる必要がある一方
で、あまり高温になると管壁材が失透するため、所定の
温度範囲になるよう排気ブロア５により所定の風量の冷
却がされる。
［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来の排気機構を有する光処理装置で
は、その排気ダクトが別の光処理装置及びその他の装置
の各排気ダクトと共に集合ダクトに接続されているため
に、集合ダクトにおける排気機構の影響を受け易い。即
ち、当該装置以外の他の装置等の運転もしくは休止如何
によって、その装置の各排気ダクトに流れる風量は変化
する。その変化によって集合ダクトの圧力が違ってくる
ために、大排気量のブロアを有する装置が他にあるよう
な場合は、風が当該装置の灯体に逆流したり、排気系の
抵抗が大きくなるため、冷却風量の低下を生じる。
は、その排気ダクトが別の光処理装置及びその他の装置
の各排気ダクトと共に集合ダクトに接続されているため
に、集合ダクトにおける排気機構の影響を受け易い。即
ち、当該装置以外の他の装置等の運転もしくは休止如何
によって、その装置の各排気ダクトに流れる風量は変化
する。その変化によって集合ダクトの圧力が違ってくる
ために、大排気量のブロアを有する装置が他にあるよう
な場合は、風が当該装置の灯体に逆流したり、排気系の
抵抗が大きくなるため、冷却風量の低下を生じる。
一般に、光処理装置の排気風量はランプの管壁温度等
が最適温度の範囲になるよう、ランプ入力に従って設計
されているが、上述のような排気ダクト内の風量変化に
より、例えばランプが過冷却されると水銀等の発光材料
の凝固による発光不良、また冷却不足の場合は石英等の
管壁材の失透等の現象が生じて発光状態が安定しないと
いう問題がある。換言すると、集合ダクトによる集合排
気の影響で、ランプが電力投入されて所定温度に達
し、点灯状態が安定する状態（安定状態）までに時間が
かかる。ひどい場合は、過冷却により安定しないことも
ある。ランプが安定点灯した後でも、集合ダクトの風
量が変化するとダクト内の圧力が変わるので適正な排気
ができず、発光状態が不安定となる。
が最適温度の範囲になるよう、ランプ入力に従って設計
されているが、上述のような排気ダクト内の風量変化に
より、例えばランプが過冷却されると水銀等の発光材料
の凝固による発光不良、また冷却不足の場合は石英等の
管壁材の失透等の現象が生じて発光状態が安定しないと
いう問題がある。換言すると、集合ダクトによる集合排
気の影響で、ランプが電力投入されて所定温度に達
し、点灯状態が安定する状態（安定状態）までに時間が
かかる。ひどい場合は、過冷却により安定しないことも
ある。ランプが安定点灯した後でも、集合ダクトの風
量が変化するとダクト内の圧力が変わるので適正な排気
ができず、発光状態が不安定となる。
この発明はかかる課題を解決するためになされたもの
で、集合ダクトの排気状態に影響されることなく適正に
安定状態に至り、かつ点灯動作中は適量の風量が排気さ
れて適正な冷却を行うことができ、従って点灯状態が安
定する光処理装置を提供することを目的とする。
で、集合ダクトの排気状態に影響されることなく適正に
安定状態に至り、かつ点灯動作中は適量の風量が排気さ
れて適正な冷却を行うことができ、従って点灯状態が安
定する光処理装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の灯具排気系
には排気風量を制御するダンパと風圧センサが設けら
れ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信号に基づ
いて制御するコントローラが設けられたものである。
には排気風量を制御するダンパと風圧センサが設けら
れ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信号に基づ
いて制御するコントローラが設けられたものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、ランプは電力投入さ
れて適正に安定状態に達し、点灯後も適正なランプ冷却
が行われ、点灯状態が安定する。
れて適正に安定状態に達し、点灯後も適正なランプ冷却
が行われ、点灯状態が安定する。
［実施例］ 第１図はこの発明の排気機構を有する光処理装置の一
実施例を示す概略説明図で、13はダクト４内の圧力と室
内の圧力とをそれぞれ抽出して、それらの出力差を検出
して電流値に変換する風圧センサ、14はダクト4,9内の
風量を調整するダンパ、15はダンパ14を駆動するための
DCモータ、16は排気ブロア５のモータを制御するインバ
ータ、17はランプ１の入力に対して適正な風量になるよ
うにDCモータ15に信号を送って制御するコントローラで
ある。また第４図と同一符号は、同一または相当部分を
示すので説明は省略する。
実施例を示す概略説明図で、13はダクト４内の圧力と室
内の圧力とをそれぞれ抽出して、それらの出力差を検出
して電流値に変換する風圧センサ、14はダクト4,9内の
風量を調整するダンパ、15はダンパ14を駆動するための
DCモータ、16は排気ブロア５のモータを制御するインバ
ータ、17はランプ１の入力に対して適正な風量になるよ
うにDCモータ15に信号を送って制御するコントローラで
ある。また第４図と同一符号は、同一または相当部分を
示すので説明は省略する。
また、第２図はランプ入力信号によってインバータ16
を駆動した際に、排気ブロア５によって制御される風圧
を示したランプ電力−風圧の関係を示す図である。
を駆動した際に、排気ブロア５によって制御される風圧
を示したランプ電力−風圧の関係を示す図である。
第１図の装置において、電源６が投入されて後、ラン
プ点灯制御回路７によってランプ１が例えば60w/cm（w/
cmとは、発光長1cm当たりの入力電力）の定格電力で点
灯するように制御されたとすると、このランプ入力に応
じてインバータ16が排気ブロア５のモータを制御する。
それによってダクト４及び９内の大まかな排気風量が決
まるが、集合ダクト10の風量によってダクト４及び９内
の風量は一定しないので、この風量の変動は風圧センサ
13によって検知されている。また一方、ダンパ14はコン
トローラ17からの信号によってDCモータ15を適宜駆動
し、ダンパ14の角度を制御してダクト９内の排気風量を
調整している。従って、風圧センサ13はダンパ14によっ
て最終的に制御されるダクト４内の風量に基づく風圧を
検知して、この検知信号をコントローラ17にフィードバ
ックすることにより、DCモータ15を介してダンパ14の角
度を適宜制御し、ランプ入力に対応してダクト４内の風
量が適当な値になるようにしている。
プ点灯制御回路７によってランプ１が例えば60w/cm（w/
cmとは、発光長1cm当たりの入力電力）の定格電力で点
灯するように制御されたとすると、このランプ入力に応
じてインバータ16が排気ブロア５のモータを制御する。
それによってダクト４及び９内の大まかな排気風量が決
まるが、集合ダクト10の風量によってダクト４及び９内
の風量は一定しないので、この風量の変動は風圧センサ
13によって検知されている。また一方、ダンパ14はコン
トローラ17からの信号によってDCモータ15を適宜駆動
し、ダンパ14の角度を制御してダクト９内の排気風量を
調整している。従って、風圧センサ13はダンパ14によっ
て最終的に制御されるダクト４内の風量に基づく風圧を
検知して、この検知信号をコントローラ17にフィードバ
ックすることにより、DCモータ15を介してダンパ14の角
度を適宜制御し、ランプ入力に対応してダクト４内の風
量が適当な値になるようにしている。
以上のように、この実施例の光処理装置においては、
排気風量の大まかな制御はランプ１の入力信号によって
駆動されるインバータ16によって排気ブロア５のモータ
が制御されることにより行われ、また、集合ダクト10を
介して屋外排気ファン11や別の装置の排気等によって生
ずる排気風量の変化に対する制御は風圧センサ13の信号
をコントローラ17にフィードバックして行うことによ
り、より精度の高い風量制御が可能である。
排気風量の大まかな制御はランプ１の入力信号によって
駆動されるインバータ16によって排気ブロア５のモータ
が制御されることにより行われ、また、集合ダクト10を
介して屋外排気ファン11や別の装置の排気等によって生
ずる排気風量の変化に対する制御は風圧センサ13の信号
をコントローラ17にフィードバックして行うことによ
り、より精度の高い風量制御が可能である。
尚、ランプ１に対して電源を投入してからランプ１が
点灯して昇温し安定状態に達するまでの間、ダクト４内
の風量は０になるようにダンパ14の制御を行うことは勿
論である。
点灯して昇温し安定状態に達するまでの間、ダクト４内
の風量は０になるようにダンパ14の制御を行うことは勿
論である。
［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明の光処理装置における
灯具排気系には排気風量を制御するダンパと風圧センサ
が設けられ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信
号に基づいて制御するコントローラが設けらているの
で、集合ダクトに連なる別の排気ブロアがあってもラン
プが電力投入されて安定するまでの時間はかからず、ま
た、前記他の装置の排風状態による影響は受けず、ラン
プの発光状態は安定し効率の良い光処理を実現すること
ができる。
灯具排気系には排気風量を制御するダンパと風圧センサ
が設けられ、該ダンパによる風量を風圧センサからの信
号に基づいて制御するコントローラが設けらているの
で、集合ダクトに連なる別の排気ブロアがあってもラン
プが電力投入されて安定するまでの時間はかからず、ま
た、前記他の装置の排風状態による影響は受けず、ラン
プの発光状態は安定し効率の良い光処理を実現すること
ができる。
第１図はこの発明の排気機構を有する光処理装置の一実
施例を示す概略説明図、第２図はランプ入力信号によっ
てインバータを駆動した際に排気ブロアによって制御さ
れる風圧を示したランプ電力−風圧の関係を示す図、第
３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロアの
動作についての時間−温度，風量の関係を示した図、第
４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を説明
するための図である。 図中． 1:ランプ、2:灯体 4,9:ダクト、5:排気ブロア 7:ランプ点灯制御回路 10:集合ダクト、13:風圧センサ 14:ダンパ、15:DCモータ 16:インバータ、17:コントローラ
施例を示す概略説明図、第２図はランプ入力信号によっ
てインバータを駆動した際に排気ブロアによって制御さ
れる風圧を示したランプ電力−風圧の関係を示す図、第
３図は光処理装置のランプの点灯動作及び排気ブロアの
動作についての時間−温度，風量の関係を示した図、第
４図は従来の排気機構を有する光処理装置の概略を説明
するための図である。 図中． 1:ランプ、2:灯体 4,9:ダクト、5:排気ブロア 7:ランプ点灯制御回路 10:集合ダクト、13:風圧センサ 14:ダンパ、15:DCモータ 16:インバータ、17:コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】内部にランプを納めた灯具と、この灯具排
気系を構成する排気ダクト及び排気ブロアとを有する光
処理装置において、前記灯具排気系には排気風量を制御
するダンパと風圧センサが設けられ、該ダンパによる風
量を風圧センサからの信号に基づいて制御するコントロ
ーラが設けられたことを特徴とする光処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7804389A JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7804389A JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02259356A JPH02259356A (ja) | 1990-10-22 |
| JP2588864B2 true JP2588864B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=13650814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7804389A Expired - Fee Related JP2588864B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 光処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588864B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001266637A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 光源装置 |
| EP1625327B1 (en) * | 2003-05-14 | 2009-01-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of accurately controlling a cooling process of a high power lamp |
| US8410410B2 (en) * | 2006-07-12 | 2013-04-02 | Nordson Corporation | Ultraviolet lamp system with cooling air control |
| JP5774439B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-09-09 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置 |
| JP6214406B2 (ja) * | 2014-01-22 | 2017-10-18 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
| JP6214408B2 (ja) * | 2014-01-24 | 2017-10-18 | スタンレー電気株式会社 | 車両用灯具 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP7804389A patent/JP2588864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02259356A (ja) | 1990-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 Year of fee payment: 12 |
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