JP2587970B2 - インピーダンス測定装置 - Google Patents

インピーダンス測定装置

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【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は低周波、超低周波においても被測定物のイ
ンピーダンス伝達関数を高速、高精度に測定することが
できるインピーダンス測定装置に関する。
「従来の技術」 従来の同期検波方式のインピーダンス測定装置は第4
図に示すように方形波発振器11の端子12より0゜位相の
方形波と、端子13より90゜位相の方形波とを出力し、端
子12の0゜位相方形波を低域通過濾波器14を通して正弦
波出力とし、増幅器15で増幅した後、被測定物16へ供給
する。被測定物16の電流出力Ixを電流電圧変換器17で電
圧信号に変換し、その電圧信号を同期検波器18,19へそ
れぞれ供給し、端子12,13よりの方形波と掛算して同期
検波を行い、これら同期検波器18,19の出力を積分器21,
22でそれぞれ積分して、積分出力RlとImとを得、これら
をスイッチ23で切替えてAD変換器24へ供給してデジタル
信号に変換する。電流電圧変換器17の帰還抵抗器25の抵
抗値をRとすると、AD変換器24からデジタルのベクトル
電圧R・Ix=Rl+jImが得られる。
低域通過濾波器14から周波数fcの出力Si1が第5図A
に示すように得られるとすると、被測定物16、電流電圧
変換器17から第5図Aに示すように歪Si2,Si3…が発生
する。一方、方形波のスペクトルは第5図Bに示すよう
に比較的大きい奇数次の高調波を含む。従って同期検波
器18,19では前記歪が、高調波により同期検波され、出
力に現れる。つまりこの従来の測定装置は被測定物16、
電流電圧変換器17の歪が直接測定誤差となる問題があっ
た。
またインピーダンス測定装置として第6図に示すもの
が考えられる。すなわち正弦波発振器26の出力電圧Vin
を被測定物16へ供給し、被測定物16の電流出力Ixを電流
電圧変換器17で電圧信号に変換し、その電圧信号をAD変
換器27でデジタル信号に変換する。そのデジタル信号を
フーリエ変換器28でフーリエ変換して−RIxと対応したS
bを得る。一方、正弦波発振器26の出力VinをAD変換器29
でデジタル信号に変換し、そのデジタル信号をフーリエ
変換器31でフーリエ変換してVinと対応したSaを得る。
従ってZx=Vin=−R・Sa・/Sbを求めることができる。
このインピーダンス測定装置は被測定物16、電流電圧
変換器17の歪の影響を受けないが、AD変換器27,29は波
形をデジタル信号に変換するため高速、高精度が要求さ
れ高価になる。またフーリエ変換数値処理が必要なため
高速に実行することが難しい問題があった。
「問題点を解決するための手段」 この発明によれば少くとも1つの正弦波波形メモリを
含む数値正弦波発生手段がフェーズアキュムレータの出
力で読出され、第1デジタル正弦波、第2デジタル正弦
波、デジタル余弦波を発生する。その第1デジタル正弦
波はDA変換器でアナログ信号に変換されて被測定物へ供
給される。被測定物の出力と第2デジタル正弦波とが第
1乗算形DA変換器で掛算され、被測定物の出力とデジタ
ル余弦波とが第2乗算形DA変換器で掛算される。第1乗
算形DA変換器、第2乗算形DA変換器の各出力は第1積分
器、第2積分器でそれぞれ正弦波周期の整数倍の区間積
分される。
「実施例」 第1図はこの発明の実施例を示す。この発明ではフェ
ーズアキュムレータ32が設けられる。フェーズアキュム
レータ32は与えられた数値nをクロックごとに累加算
し、数値波形33を端子34に出力し、内部の累加算器のオ
ーバーフローごとに端子35にパルス36を出力する。発振
器37の出力が可変分周器38でm分の1に分周され、周波
数fsのクロックがアキュムレータ32に入力される。
アキュムレータ32の端子34の出力33は数値正弦波発生
手段39へ出力される。数値正弦波発生手段39はこの例で
は第1正弦波波形メモリ41、第2正弦波波形メモリ42、
余弦波波形メモリ43を備え、これらメモリ41,42,43は端
子34からの数値をアドレスとして読出されてクロックに
よりラッチ回路44,45,46に格納される。
ラッチ回路44の出力はDA変換器47でアナログ信号に変
換され、そのアナログ信号は低域通過ろ波器48を通さ
れ、必要に応じて増幅器49で増幅され、更に必要に応じ
て端子51からの直流バイアスが加算器52で加算され、そ
の加算出力Vinが被測定物53へ供給される。被測定物53
の出力電流Ixは電流電圧変換器54で電圧出力Voutに変換
される。
この電圧出力Voutは第1,第2乗算形DA変換器55,56に
それぞれ基準電圧として供給される。第1,第2乗算形DA
変換器55,56のデータ入力端子にはラッチ回路45,46の各
出力が供給される。第1,第2乗算形DA変換器55,56のデ
ータ入力端子にはラッチ回路45,46の各出力が供給され
る。第1,第2乗算形DA変換器55,56の出力はそれぞれス
イッチ57,58を通じて第1,第2積分器61,62へ供給され
る。第1,第2積分器61,62の出力は切替スイッチ63を通
じてAD変換器64へ供給される。
フェーズアキュムレータ32の端子35のパルスはサイク
ルカウンタ65で計数され、カウンタ65の出力66により第
1,第2積分器61,62のリセットスイッチ67,68が短時間オ
ンとされて第1,第2積分器61,62がリセットされる。そ
のリセット後の所定期間k/fc(fcはパルス36の周波数、
kは整数)、スイッチ57,58はカウンタ65の出力69で第
1,第2乗算形DA変換器55,56の出力側を第1,第2積分器6
1,62に接続する。出力69の後縁からリセットパルス66の
直前までの間に、第1,第2積分器61,62の出力がAD変換
器64でそれぞれデイジタル値に変換される。
第1,第2乗算形DA変換器55,56の各出力は、 Vout(t)Sin(ωt) Vout(t)Cos(ωt) となり、ω=2πfc、第1,第2積分器61,62の各出力
は、 とそれぞれなる。t2−t1=k/fc、つまりVoutがフーリエ
変換された出力Rl,Inが得られる。この観測される出力R
l+jImは被測定物53を流れる電流Ixに比例する。
Vout=RIx=Rl+jIm Rは電流電圧変換器54の帰還抵抗器71の抵抗値であ
る。従って被測定物53のインピーダンスZxで求まる。Vinは被測定物53に加える正弦波振幅、は
測定システムの補正ベクトルである。
Voutを検波する信号、つまりラッチ回路45,46の出力
のスペクトラムは第5図Cに示すようになる。測定対象
スペクトルSi1と一致したスペクトルSb1は検波に有効な
成分となる。スペクトルSb2,Sb3…被測定物53、電流電
圧変換器54の歪スペクトルと一致したものであり、測定
誤差と成るが、一般に極く微少、1/1000以下であるため
影響は少ない。スペクトルSc1,Sc2はmfs±fc(m=1,2,
…)で発生するサンプル不要スペクトルである。fs/fc
を非整数、例えば10.24に選択すれば、このスペクトル
は被測定物53、電流電圧変換器54の歪スペクトルと一致
しないため、測定誤差とはならない。積分区間t2−t1
1/fcの整数倍でかつ1/f2の整数倍例えば400/fc=4096/f
sに選択されない場合は、スンペクトルSc1,Sc2成分はフ
ーリエ変換切り取り誤差として観測される。この誤差は
積分区間t2−t1=k/fcで選択される整数k及びfs/fc
反比例して減少するため、例えばfs/fc=10.24、k=10
で切り取り誤差は0.1%以下である。
第1図において電流電圧変換器54の替りに電圧電圧変
換器を用いれば被測定物53の伝達関数を測定することが
できる。
第1図中の数値正弦波発生手段39としては第2図に示
すように構成してもよい。つまりフェーズアキュムレー
タ32の出力をフェーズシフタ72へ供給し、0゜出力と90
゜出力とを第3図aに示すように交互に出力し、これら
出力により正弦波波形メモリ73が読出され、つまり正弦
波波形メモリ73から0゜の正弦波とこれより90゜進んだ
正弦波、つまり余弦波とが交互に読出される。余弦波が
読出された時に、第3図bのパルスによりラッチ回路74
にラッチされ、正弦波が読出された時に第3図Cのパル
スによりラッチ回路75にラッチされると共にラッチ回路
74の出力がラッチ回路76にラッチされる。ラッチ回路75
の出力はDA変換器47及び第1乗算形DA変換器55へ供給さ
れ、ラッチ回路76の出力は第2乗算形DA変換器56へ供給
される。
第1図中の第1積分器61の出力Rlは被測定インピーダ
ンスZxのコンダクタンス成分であり、第2積分器62の出
力Inはリセプタンス成分であり、これらRl,Imをオシロ
スコープで直接観測してもよい。
「発明の効果」 以上述べたようにこの発明においては高速、高精度の
AD変換器を使用しないため、第6図に示したものと比較
して、安価に構成することができる。デジタルフーリエ
変換数値処理を必要とせず高速度に動作する。被測定物
や電流電圧変換器の歪の影響を受けないため高精度の測
定が可能である。更に第4図に示した従来のものにおい
ては測定周波数を変化させるには低域通過ろ波器14の通
過特性をも変更させる必要があり、周波数を可変とする
ことは困難であるが、この発明においては周波数を変化
させても第5図C中のスペクトルSc1,Sc2はわずかしか
変化しないため、これを除去するためのろ波器のろ波特
性を可変とする必要がなく、容易に測定周波数fcを変化
させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示すブロック図、第2図は
その数値正弦波発生手段の変形例を示すブロック図、第
3図はその動作の説明に供する波形図、第4図は従来の
インピーダンス測定装置を示すブロック図、第5図はこ
の発明の説明に供するためのスペクトラムを示す図、第
6図は従来の他のインピーダンス測定装置を示すブロッ
ク図である。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フェーズアキュムレータと、 少くとも1つの正弦波波形メモリを含み、上記フェーズ
    アキュムレータの出力で読出され、第1デジタル正弦波
    と、第2デジタル正弦波と、デジタル余弦派とを発生す
    る数値正弦波発生手段と、 上記第1デジタル正弦波をアナログ信号に変換して被測
    定物へ供給するDA変換器と、 上記被測定物の出力と上記第2デジタル正弦波とを掛算
    する第1乗算形DA変換器と、 上記被測定物の出力と上記デジタル余弦波とを掛算する
    第2乗算形DA変換器と、 上記第1乗算形DA変換器の出力を正弦波周期の整数倍の
    区間積分する第1積分器と、 上記第2乗算形DA変換器の出力を正弦波周期の整数倍の
    区間積分する第2積分器とを具備するインピーダンス測
    定装置。
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