JP2584908Y2 - プローバのアタッチメントボード - Google Patents
プローバのアタッチメントボードInfo
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- JP2584908Y2 JP2584908Y2 JP1991025769U JP2576991U JP2584908Y2 JP 2584908 Y2 JP2584908 Y2 JP 2584908Y2 JP 1991025769 U JP1991025769 U JP 1991025769U JP 2576991 U JP2576991 U JP 2576991U JP 2584908 Y2 JP2584908 Y2 JP 2584908Y2
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- Japan
- Prior art keywords
- terminal
- board
- family
- signal
- power supply
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ＩＣテスタとプロー
バ上のデバイスとを電気的に接続するプローバのアタッ
チメントボードについてのものである。
バ上のデバイスとを電気的に接続するプローバのアタッ
チメントボードについてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術によるＩＣテスタ、アタ
ッチメントボードおよびプローバの位置関係を図７によ
り説明する。図７の５はＩＣテスタ、６はテストヘッ
ド、７はプローバである。
ッチメントボードおよびプローバの位置関係を図７によ
り説明する。図７の５はＩＣテスタ、６はテストヘッ
ド、７はプローバである。
【０００３】ＩＣテスタ５の電気信号はテストヘッド６
を通り、ファミリーボード６Ａからポゴピンまたはコネ
クタ等の電気接触子６Ｂを用いてアタッチメントボード
８へ伝えられる。アタッチメントボード８に伝えられた
信号は、電気接触子７Ａでプローブカード７Ｂに伝えら
れ、ニードル７Ｃと呼ばれる電気接触子でデバイス９に
伝えられる。
を通り、ファミリーボード６Ａからポゴピンまたはコネ
クタ等の電気接触子６Ｂを用いてアタッチメントボード
８へ伝えられる。アタッチメントボード８に伝えられた
信号は、電気接触子７Ａでプローブカード７Ｂに伝えら
れ、ニードル７Ｃと呼ばれる電気接触子でデバイス９に
伝えられる。
【０００４】図７のような構造になっているのは、プ
ローブカード７Ｂが消耗品であり、容易に交換ができる
こと、アタッチメントボード８はデバイス９により、
電源、接地、信号のピン位置が違うので、デバイス９の
種類により交換する必要があること、プローバ７以外
の外部機器へ接続する場合や、マニュアル測定の場合に
はアタッチメントボード８を交換すれば対応できること
等の理由による。
ローブカード７Ｂが消耗品であり、容易に交換ができる
こと、アタッチメントボード８はデバイス９により、
電源、接地、信号のピン位置が違うので、デバイス９の
種類により交換する必要があること、プローバ７以外
の外部機器へ接続する場合や、マニュアル測定の場合に
はアタッチメントボード８を交換すれば対応できること
等の理由による。
【０００５】次に、従来技術によるアタッチメントボー
ド８の回路を図８により説明する。アタッチメントボー
ド８には、ファミリーボード側からの各ピンに対応する
電気信号をプローブカード側のピンへ伝える信号線８Ａ
〜８Ｃが設けられる。この他に、デバイス９の電源用の
線８Ｄと接地用の線８Ｅと、ノイズリミッタ用のコンデ
ンサ８Ｆ・８Ｇが設けられる。線８Ｄ・８Ｅは、パター
ンの幅を太くしてプローブカード側のピンまでインピー
ダンスを低くする。しかし、電源と接地が固定なので、
デバイス９の電源位置によっては、アタッチメントボー
ド８を交換する必要がある。なお、図８では線８Ａ〜８
Ｅが例示されているが、実際にはプローブカード側が必
要とするピン数の線が設けられる。
ド８の回路を図８により説明する。アタッチメントボー
ド８には、ファミリーボード側からの各ピンに対応する
電気信号をプローブカード側のピンへ伝える信号線８Ａ
〜８Ｃが設けられる。この他に、デバイス９の電源用の
線８Ｄと接地用の線８Ｅと、ノイズリミッタ用のコンデ
ンサ８Ｆ・８Ｇが設けられる。線８Ｄ・８Ｅは、パター
ンの幅を太くしてプローブカード側のピンまでインピー
ダンスを低くする。しかし、電源と接地が固定なので、
デバイス９の電源位置によっては、アタッチメントボー
ド８を交換する必要がある。なお、図８では線８Ａ〜８
Ｅが例示されているが、実際にはプローブカード側が必
要とするピン数の線が設けられる。
【０００６】次に、従来技術によるアタッチメントボー
ドの他の回路を図９により説明する。図９ではファミリ
ボード６Ａ上で、またはファミリボード６Ａからアタッ
チメントボード８Ｈまでをケーブル接続にし、ケーブル
の配線変更により電源、接地を任意のピンに接続できる
ようにしたものである。アタッチメントボード８Ｈは、
ファミリーボード６Ａからの信号をプローブカード側の
ピンへ伝える線８Ａ〜８Ｅだけが設けられており、電源
と接地用のパターンは特に設けていない。このため、電
源と接地用の線はデバイス９のピンより距離的に長い線
となり、高周波測定が困難になる。
ドの他の回路を図９により説明する。図９ではファミリ
ボード６Ａ上で、またはファミリボード６Ａからアタッ
チメントボード８Ｈまでをケーブル接続にし、ケーブル
の配線変更により電源、接地を任意のピンに接続できる
ようにしたものである。アタッチメントボード８Ｈは、
ファミリーボード６Ａからの信号をプローブカード側の
ピンへ伝える線８Ａ〜８Ｅだけが設けられており、電源
と接地用のパターンは特に設けていない。このため、電
源と接地用の線はデバイス９のピンより距離的に長い線
となり、高周波測定が困難になる。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】図８では、デバイス９
の電源位置によりアタッチメントボード８を多種類用意
し、交換しなければならない。これに対し、図９は高周
波測定に適さない。この考案は、アタッチメントボード
８の線８Ａ〜８Ｅをショートピースで切り換えるように
し、デバイス９の近くで任意のピンを電源、接地、信号
のどれかに接続できるアタッチメントボードの提供を目
的とする。
の電源位置によりアタッチメントボード８を多種類用意
し、交換しなければならない。これに対し、図９は高周
波測定に適さない。この考案は、アタッチメントボード
８の線８Ａ〜８Ｅをショートピースで切り換えるように
し、デバイス９の近くで任意のピンを電源、接地、信号
のどれかに接続できるアタッチメントボードの提供を目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、第１の考案では、ファミリーボード側の信号を接続
する第１の端子と、ファミリーボード側の電源に接続さ
れた第２の端子と、ファミリーボード側の接地に接続さ
れた第３の端子と、第１の端子と第２の端子間または第
１の端子と第３の端子間を短絡するショートピースとを
備え、ファミリーボード側とプローブカード側の信号線
が接続されており、ショートピースで第１の端子と第２
の端子間または第１の端子と第３の端子間を短絡したと
きは、第１の端子のプローブカード側の信号線をファミ
リーボード側で切り離す。
め、第１の考案では、ファミリーボード側の信号を接続
する第１の端子と、ファミリーボード側の電源に接続さ
れた第２の端子と、ファミリーボード側の接地に接続さ
れた第３の端子と、第１の端子と第２の端子間または第
１の端子と第３の端子間を短絡するショートピースとを
備え、ファミリーボード側とプローブカード側の信号線
が接続されており、ショートピースで第１の端子と第２
の端子間または第１の端子と第３の端子間を短絡したと
きは、第１の端子のプローブカード側の信号線をファミ
リーボード側で切り離す。
【０００９】第２の考案では、ファミリーボード側の信
号を、プリント基板上のパターンで接続する第１の端子
と、ファミリーボード側の電源に、プリント基板上のパ
ターンで接続された第２の端子と、プローブカード側へ
信号を、プリント基板上のパターンで接続する第３の端
子と、ファミリーボード側の接地に、プリント基板上の
パターンで接続された第４の端子と、第３の端子と第１
の端子の間、第３の端子と第２の端子の間または第３の
端子と第４の端子の間を短絡するショートピースとを備
えている。
号を、プリント基板上のパターンで接続する第１の端子
と、ファミリーボード側の電源に、プリント基板上のパ
ターンで接続された第２の端子と、プローブカード側へ
信号を、プリント基板上のパターンで接続する第３の端
子と、ファミリーボード側の接地に、プリント基板上の
パターンで接続された第４の端子と、第３の端子と第１
の端子の間、第３の端子と第２の端子の間または第３の
端子と第４の端子の間を短絡するショートピースとを備
えている。
【００１０】第３の考案では、互いに異なる電源に接続
された複数の電源端子と、プローブカード側へ電源を接
続し、かつ、互いに導通した複数の出力端子とを備え、
前記電源端子のいずれかと前記出力端子のいずれかとの
間をショートピースで短絡する。
された複数の電源端子と、プローブカード側へ電源を接
続し、かつ、互いに導通した複数の出力端子とを備え、
前記電源端子のいずれかと前記出力端子のいずれかとの
間をショートピースで短絡する。
【００１１】
【作用】次に、この考案によるアタッチメントボードの
構成を図６により説明する。図６の１と２はセレクタ、
３Ａ〜３Ｃはコンデンサ、４はアタッチメントボードで
あり、図６はアタッチメントボード４の内部回路図であ
る。図６では、セレクタ１が３個例示されているが、実
際にはプローブカードが必要とするピン数のセレクタ１
が設けられる。
構成を図６により説明する。図６の１と２はセレクタ、
３Ａ〜３Ｃはコンデンサ、４はアタッチメントボードで
あり、図６はアタッチメントボード４の内部回路図であ
る。図６では、セレクタ１が３個例示されているが、実
際にはプローブカードが必要とするピン数のセレクタ１
が設けられる。
【００１２】ファミリーボード側から送られてきた信号
は、アタッチメントボード４上のセレクタ１に伝えられ
る。セレクタ１は、後述のショートピースにより、信
号、接地、電源が切換えられる。切換えられた信号は、
セレクタ１を通して、プロープカード側に伝えられる。
セレクタ１は各ピンに設けられ、各ピンがそれぞれ信
号、接地、電源に切換えられる。
は、アタッチメントボード４上のセレクタ１に伝えられ
る。セレクタ１は、後述のショートピースにより、信
号、接地、電源が切換えられる。切換えられた信号は、
セレクタ１を通して、プロープカード側に伝えられる。
セレクタ１は各ピンに設けられ、各ピンがそれぞれ信
号、接地、電源に切換えられる。
【００１３】多種類の電源の中からセレクタ２により使
用する電源が選ばれる。コンデンサ３Ａ〜３Ｃは電源、
接地間のノイズを取り除くためのものであり、コンデン
サ３Ａ〜３Ｃは、使用する電源の条件等により、１ピン
ごとに１個、２ピンごとに１個等のように取りつけられ
る。コンデンサ３Ａ〜３Ｃは、ピンの切換えに関係な
く、常に電源、接地間に接続される。信号以外のピン
は、任意に電源、接地ピンを増やせること、また、デバ
イス９に比較的近いところで、接続できること等から、
図６によれば高周波でも測定することができる。
用する電源が選ばれる。コンデンサ３Ａ〜３Ｃは電源、
接地間のノイズを取り除くためのものであり、コンデン
サ３Ａ〜３Ｃは、使用する電源の条件等により、１ピン
ごとに１個、２ピンごとに１個等のように取りつけられ
る。コンデンサ３Ａ〜３Ｃは、ピンの切換えに関係な
く、常に電源、接地間に接続される。信号以外のピン
は、任意に電源、接地ピンを増やせること、また、デバ
イス９に比較的近いところで、接続できること等から、
図６によれば高周波でも測定することができる。
【００１４】
【実施例】次に、セレクタ１の実施例の回路を図１によ
り説明する。図１の１Ａ〜１Ｃはセレクタ１の端子、１
Ｅはショートピースである。図１は端子１Ａに電源が接
続された場合であり、端子１Ａと端子１Ｂ間をショート
ピース１Ｅで接続している。図１のファミリーボード側
で電源と信号、接地が短絡しないように信号を切り離
す。
り説明する。図１の１Ａ〜１Ｃはセレクタ１の端子、１
Ｅはショートピースである。図１は端子１Ａに電源が接
続された場合であり、端子１Ａと端子１Ｂ間をショート
ピース１Ｅで接続している。図１のファミリーボード側
で電源と信号、接地が短絡しないように信号を切り離
す。
【００１５】図２は端子１Ａに接地が接続された場合で
あり、端子１Ａと端子１Ｃ間をショートピース１Ｅで接
続している。図２でも、ファミリーボード側で信号と電
源、接地が短絡しないように信号を切り離す。
あり、端子１Ａと端子１Ｃ間をショートピース１Ｅで接
続している。図２でも、ファミリーボード側で信号と電
源、接地が短絡しないように信号を切り離す。
【００１６】次に、ショートピース１Ｅの外観図を図３
により説明する。図３の１Ｆと１Ｇはピンであり、内部
で短絡されている。ピン１Ｆ・１Ｇの間は、プリント基
板のピッチ間隔で形成される。ピン１Ｆ・１Ｇの部分以
外は、エポキシ樹脂などで覆われる。図１と図２の端子
１Ａ・１Ｂ間、端子１Ａ・１Ｃ間はショートピース１Ｅ
のピン１Ｆ・１Ｇの間隔で形成される。
により説明する。図３の１Ｆと１Ｇはピンであり、内部
で短絡されている。ピン１Ｆ・１Ｇの間は、プリント基
板のピッチ間隔で形成される。ピン１Ｆ・１Ｇの部分以
外は、エポキシ樹脂などで覆われる。図１と図２の端子
１Ａ・１Ｂ間、端子１Ａ・１Ｃ間はショートピース１Ｅ
のピン１Ｆ・１Ｇの間隔で形成される。
【００１７】次に、セレクタ２の実施例の回路を図４に
より説明する。図４の２Ａ〜２Ｄは電源側の端子、２Ｅ
〜２Ｈは出力側の端子である。図４は、４種類の電源か
ら１つの電源を選ぶものであり、ショートピース１Ｅに
より端子２Ｂと端子２Ｆを接続している。電源の種類を
変えるときは、ショートピース１Ｅの位置を移動する。
図４の端子数を増やせば、選ぶ電源の種類を増やすこと
ができる。
より説明する。図４の２Ａ〜２Ｄは電源側の端子、２Ｅ
〜２Ｈは出力側の端子である。図４は、４種類の電源か
ら１つの電源を選ぶものであり、ショートピース１Ｅに
より端子２Ｂと端子２Ｆを接続している。電源の種類を
変えるときは、ショートピース１Ｅの位置を移動する。
図４の端子数を増やせば、選ぶ電源の種類を増やすこと
ができる。
【００１８】次に、図１と図２に対する応用例を図５に
より説明する。図５の１Ｄは出力側の端子であり、端子
１Ａ・１Ｄ間はショートピース１Ｅのピン１Ｆ・１Ｇの
間隔で形成される。図５では、端子１Ｄ・１Ｂ間または
端子１Ｄ・１Ｃ間にショートピース１Ｅを接続したとき
は、端子１Ａ・１Ｄ間が切り離される。
より説明する。図５の１Ｄは出力側の端子であり、端子
１Ａ・１Ｄ間はショートピース１Ｅのピン１Ｆ・１Ｇの
間隔で形成される。図５では、端子１Ｄ・１Ｂ間または
端子１Ｄ・１Ｃ間にショートピース１Ｅを接続したとき
は、端子１Ａ・１Ｄ間が切り離される。
【００１９】
【考案の効果】この考案によれば、任意の端子を信号、
電源、接地用に設定し、必要とする端子間をショートピ
ースで短絡するので、１種類のアタッチメントボードで
多品種のデバイスに対応することができる。また、デバ
イス近くで電源、接地を強化することができるので、高
周波の測定ができる。また、ショートピースで回路を実
現しているので、実装スペースを取らない。
電源、接地用に設定し、必要とする端子間をショートピ
ースで短絡するので、１種類のアタッチメントボードで
多品種のデバイスに対応することができる。また、デバ
イス近くで電源、接地を強化することができるので、高
周波の測定ができる。また、ショートピースで回路を実
現しているので、実装スペースを取らない。
【図１】端子１Ａに電源が接続された場合のセレクタｌ
の実施例の回路図である。
の実施例の回路図である。
【図２】図１の端子１Ａに接地が接続された場合の回路
図である。
図である。
【図３】図１に使用されるショートピース１Ｅの外観図
である。
である。
【図４】図６のセレクタ２の実施例の回路図である。
【図５】図１と図２に対する応用例の回路図である。
【図６】この考案によるアタッチメントボードの構成図
である。
である。
【図７】従来技術によるＩＣテスタ、アタッチメントボ
ードおよびプローバの位置関係説明図である。
ードおよびプローバの位置関係説明図である。
【図８】従来技術によるアタッチメントボード８の回路
図である。
図である。
【図９】従来技術によるアタッチメントボードの他の回
路図である。
路図である。
１ セレクタ ２ セレクタ ３Ａ コンデンサ ３Ｂ コンデンサ ３Ｃ コンデンサ ４ アタッチメントボード ５ ＩＣテスタ ６ テストヘッド ７ プローバ ８ アタッチメントボード ９ デバイス
フロントページの続き (72)考案者 加藤忠義 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤 電気株式会社内 (72)考案者 佐藤俊弥 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤 電気株式会社内 審査官 西島 篤宏 (56)参考文献 特開 昭64−21374（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−106876（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−14675（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66 H01R 11/00
Claims (3)
- 【請求項１】 ファミリーボード側の信号を接続する第
１の端子と、ファミリーボード側の電源に接続された 第２の端子と、ファミリーボード側の接地に接続された 第３の端子と、 第１の端子と第２の端子間または第１の端子と第３の端
子間を短絡するショートピースとを備え、 ファミリーボード側とプローブカード側の信号線が接続
されており、 ショートピースで第１の端子と第２の端子間または第１
の端子と第３の端子間を短絡したときは、第１の端子の
プローブカード側の信号線をファミリーボード側で切り
離すことを特徴とするプローバのアタッチメントボー
ド。 - 【請求項２】 ファミリーボード側の信号を、プリント
基板上のパターンで接続する第１の端子と、 ファミリーボード側の電源に、プリント基板上のパター
ンで接続された第２の端子と、 プローブカード側へ信号を、プリント基板上のパターン
で接続する第３の端子と、 ファミリーボード側の接地に、プリント基板上のパター
ンで接続された第４の端子と、第３の端子と第１の端子の間、第３の端子と第２の端子
の間または第３の端子と第４の端子の間を短絡するショ
ートピースと を備えることを特徴とするプローバのアタ
ッチメントボード。 - 【請求項３】 互いに異なる電源に接続された複数の電
源端子と、 プローブカード側へ電源を接続し、かつ、互いに導通し
た複数の出力端子とを備え、 前記電源端子のいずれかと前記出力端子のいずれかとの
間をショートピースで短絡する ことを特徴とするプロー
バのアタッチメントボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991025769U JP2584908Y2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | プローバのアタッチメントボード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991025769U JP2584908Y2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | プローバのアタッチメントボード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0543081U JPH0543081U (ja) | 1993-06-11 |
| JP2584908Y2 true JP2584908Y2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=12175055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991025769U Expired - Lifetime JP2584908Y2 (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | プローバのアタッチメントボード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584908Y2 (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55106876U (ja) * | 1979-01-23 | 1980-07-25 | ||
| JPS59192981A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | Ｉｃソケツトアダプタ |
| JPH0134297Y2 (ja) * | 1985-07-09 | 1989-10-18 | ||
| JPS6267474A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験装置 |
| JPS6421374A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 | Nec Corp | Apparatus for testing integrated circuit |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP1991025769U patent/JP2584908Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543081U (ja) | 1993-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980721 |