JP2583868Y2 - 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 - Google Patents
対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置Info
- Publication number
- JP2583868Y2 JP2583868Y2 JP1990072480U JP7248090U JP2583868Y2 JP 2583868 Y2 JP2583868 Y2 JP 2583868Y2 JP 1990072480 U JP1990072480 U JP 1990072480U JP 7248090 U JP7248090 U JP 7248090U JP 2583868 Y2 JP2583868 Y2 JP 2583868Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chart
- objective
- group
- light
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は光学測定機としての光電コリメータに用いる
対物チャート、特に、レンズ系の焦点位置検出装置に利
用される対物チャートに関するものである。
対物チャート、特に、レンズ系の焦点位置検出装置に利
用される対物チャートに関するものである。
［従来の技術］ 従来、この種の焦点位置検出装置は特公昭38−2581号
公報および特開昭64−61601号公報から既知である。か
かるレンズ焦点位置検出装置においては、対物チャート
を回転させることによる光変調方式を用いており、この
場合、第５図に示すように、ほぼ一様な縞帯による一様
な空間周波数のチャート20が利用されている。
公報および特開昭64−61601号公報から既知である。か
かるレンズ焦点位置検出装置においては、対物チャート
を回転させることによる光変調方式を用いており、この
場合、第５図に示すように、ほぼ一様な縞帯による一様
な空間周波数のチャート20が利用されている。
［考案が解決しようとする課題］ かかる回転チャート方式による焦点位置検出装置を使
用する場合には、複数の空間周波数の対物チャートを利
用する必要があるズームレンズ等を測定するためには不
適当であった。
用する場合には、複数の空間周波数の対物チャートを利
用する必要があるズームレンズ等を測定するためには不
適当であった。
また、空間周波数を切換えることも考えられるが、こ
の場合には対物チャート自体を交換するか、又は、回転
チャートユニット部全体を交換する必要があり、従って
装置が複雑となり、かつ、高価で大掛かりになってしま
う欠点があった。
の場合には対物チャート自体を交換するか、又は、回転
チャートユニット部全体を交換する必要があり、従って
装置が複雑となり、かつ、高価で大掛かりになってしま
う欠点があった。
本考案は、回転チャート方式において簡単にチャート
の空間周波数の変更を可能とした対物チャート及びこれ
を利用するレンズ焦点位置検出装置を提供することをそ
の目的とする。
の空間周波数の変更を可能とした対物チャート及びこれ
を利用するレンズ焦点位置検出装置を提供することをそ
の目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本考案対物チャートは、中心より放射状に広がる格子
状で幅の広い明部と幅の広い暗部とからなる第１の縞帯
の群と、前記中心より放射状に広がる格子状で前記第１
の縞帯の明部の幅より幅の狭い明部と前記第１の縞帯の
暗部の幅より幅の狭い暗部とからなる第２の縞帯の群と
を少なくとも有し、前記各群が同心状に配置されること
を特徴とする。
状で幅の広い明部と幅の広い暗部とからなる第１の縞帯
の群と、前記中心より放射状に広がる格子状で前記第１
の縞帯の明部の幅より幅の狭い明部と前記第１の縞帯の
暗部の幅より幅の狭い暗部とからなる第２の縞帯の群と
を少なくとも有し、前記各群が同心状に配置されること
を特徴とする。
また、本考案レンズ焦点位置検出装置は、光源より発
した光を対物チャートを介して被検レンズに照射し、被
検レンズに照射された光を接眼チャートを介して検出器
に照射して前記被検レンズの焦点位置を検出するレンズ
焦点位置検出装置において、中心より放射状に広がる格
子状で幅の広い明部と幅の広い暗部とからなる第１の縞
帯の群と、前記中心より放射状に広がる格子状で前記第
１の縞帯の明部の幅より幅の狭い明部と前記第１の縞帯
の暗部の幅より幅の狭い暗部とからなる第２の縞帯の群
とを少なくとも有し、前記各群が同心状に配置された対
物チャートと、前記対物チャートの各縞帯の群と対応す
る縞帯の群を有する接眼チャートとを備え、前記対物チ
ャートを回転させて前記対物チャートの複数の縞帯の群
を回転させると共に測定する前記対物チャートの縞帯の
群に対応する接眼チャートの縞帯の群を光の光路上に停
止させ、前記検出器によって前記被検レンズの焦点位置
を検出することを特徴とする。
した光を対物チャートを介して被検レンズに照射し、被
検レンズに照射された光を接眼チャートを介して検出器
に照射して前記被検レンズの焦点位置を検出するレンズ
焦点位置検出装置において、中心より放射状に広がる格
子状で幅の広い明部と幅の広い暗部とからなる第１の縞
帯の群と、前記中心より放射状に広がる格子状で前記第
１の縞帯の明部の幅より幅の狭い明部と前記第１の縞帯
の暗部の幅より幅の狭い暗部とからなる第２の縞帯の群
とを少なくとも有し、前記各群が同心状に配置された対
物チャートと、前記対物チャートの各縞帯の群と対応す
る縞帯の群を有する接眼チャートとを備え、前記対物チ
ャートを回転させて前記対物チャートの複数の縞帯の群
を回転させると共に測定する前記対物チャートの縞帯の
群に対応する接眼チャートの縞帯の群を光の光路上に停
止させ、前記検出器によって前記被検レンズの焦点位置
を検出することを特徴とする。
第１図に示す構成を有する回転式焦点位置検出装置に
おいて、所望の対物チャート３は、それぞれ第２図およ
び第３図に示すように、１枚のチャート上に固有の空間
周波数の縞の群を複数帯有する構成のチャートとする。
おいて、所望の対物チャート３は、それぞれ第２図およ
び第３図に示すように、１枚のチャート上に固有の空間
周波数の縞の群を複数帯有する構成のチャートとする。
［作用］ かように構成したチャートを対物チャートとして回転
式焦点位置検出装置に用いた場合、そのピント位置検出
用信号成分の中に複数の空間周波数成分が含まれてい
る。各周波数成分は、第２図および第３図から明らかな
ように、複数帯群の縞に対応して形成されるため、位置
的又は時間的に異なって存在するようになる。この信号
成分の中から単一の空間周波数成分のみを取出して信号
処理することにより、所望の空間周波数での被検レンズ
６のピント位置を検出することができる。
式焦点位置検出装置に用いた場合、そのピント位置検出
用信号成分の中に複数の空間周波数成分が含まれてい
る。各周波数成分は、第２図および第３図から明らかな
ように、複数帯群の縞に対応して形成されるため、位置
的又は時間的に異なって存在するようになる。この信号
成分の中から単一の空間周波数成分のみを取出して信号
処理することにより、所望の空間周波数での被検レンズ
６のピント位置を検出することができる。
空間周波数の選択は、接眼チャートにおいて、不要周
波数成分の位置をマスクする（位置的相違時）か、また
は対物チャート３の回転の同期信号を形成し、その信号
を用いて分別する（時間的相異時）等の手段により行
う。
波数成分の位置をマスクする（位置的相違時）か、また
は対物チャート３の回転の同期信号を形成し、その信号
を用いて分別する（時間的相異時）等の手段により行
う。
接眼チャート部は、第６図につき後に説明する構成と
し、そのチャートは対物チャートに合致させ、第３図お
よび第４図に示すものと同一のものを選択する。
し、そのチャートは対物チャートに合致させ、第３図お
よび第４図に示すものと同一のものを選択する。
対物チャート３の所望の空間周波数の切換えは、接眼
チャートを回転させて、第１図に示す検出器９の下側に
位置する接眼チャートの空間周波数を対物チャート３の
所望の空間周波数と一致させるようにして行う。これに
より、検出器９において指定の所望の空間周波数成分の
検出を容易に行うことができる。
チャートを回転させて、第１図に示す検出器９の下側に
位置する接眼チャートの空間周波数を対物チャート３の
所望の空間周波数と一致させるようにして行う。これに
より、検出器９において指定の所望の空間周波数成分の
検出を容易に行うことができる。
［実施例］ （第１実施例） 本実施例では、使用する対物チャートを例えば第２図
に示すように、異なる空間周波数の２群の縞の帯を有す
るチャートとする。焦点検出に利用される対物チャート
の照明ポイントは縞帯中の円Ａで囲まれている部分とす
る。
に示すように、異なる空間周波数の２群の縞の帯を有す
るチャートとする。焦点検出に利用される対物チャート
の照明ポイントは縞帯中の円Ａで囲まれている部分とす
る。
この対物チャートを第１図に示すレンズ焦点位置検出
装置に用いる。このレンズ焦点位置検出装置は、第１図
から明らかなように、照明光を発生する光源１、モータ
２、このモータにより回転される対物チャート３、この
対物チャート３を透過した光が入射するハーフミラー
４、このハーフミラー４を透過した光の光路内に設けら
れたコリメータレンズ５、被検レンズ６、ミラー７、こ
のミラーの駆動装置８、更に、前記ハーフミラー４によ
り反射された光を受ける接眼チャート11、この接眼チャ
ート11を回転させるモータ10および前記接眼チャート11
を透過する光を検出する検出器９を具え、これらを図示
のように配置して構成する。
装置に用いる。このレンズ焦点位置検出装置は、第１図
から明らかなように、照明光を発生する光源１、モータ
２、このモータにより回転される対物チャート３、この
対物チャート３を透過した光が入射するハーフミラー
４、このハーフミラー４を透過した光の光路内に設けら
れたコリメータレンズ５、被検レンズ６、ミラー７、こ
のミラーの駆動装置８、更に、前記ハーフミラー４によ
り反射された光を受ける接眼チャート11、この接眼チャ
ート11を回転させるモータ10および前記接眼チャート11
を透過する光を検出する検出器９を具え、これらを図示
のように配置して構成する。
また、接眼チャート部は、第６図に示すように、接眼
チャート101、その回転軸102、従動プーリ103、ベアリ
ング104、フランジ105、ナット106、プーリに張架する
ベルト107、駆動プーリ108、固定板109、モータ110を図
示のように配置して構成する。
チャート101、その回転軸102、従動プーリ103、ベアリ
ング104、フランジ105、ナット106、プーリに張架する
ベルト107、駆動プーリ108、固定板109、モータ110を図
示のように配置して構成する。
作動に当たり、光源１からの光による前記照明にポイ
ントは、第１図のハーフミラー４、コリメートレンズ
５、被検レンズ６、ミラー７、再び被検レンズ６、コリ
メートレンズ５、ハーフミラー４を介して接眼チャート
11に到達し得るようにする。この接眼チャート11は、第
４図に示すように、第２図における幅の広い明部と暗部
が外側にあり、幅の狭い明部と暗部が内側にあるものと
対応させるように、幅の広い部分が外側にあり且つ幅の
狭い部分が内側にあるようにしたチャートを用い、更に
このチャートの外側半分の幅の広い部分をマスクし、内
側半分の幅の狭い部分をマスクし得るように構成する。
ントは、第１図のハーフミラー４、コリメートレンズ
５、被検レンズ６、ミラー７、再び被検レンズ６、コリ
メートレンズ５、ハーフミラー４を介して接眼チャート
11に到達し得るようにする。この接眼チャート11は、第
４図に示すように、第２図における幅の広い明部と暗部
が外側にあり、幅の狭い明部と暗部が内側にあるものと
対応させるように、幅の広い部分が外側にあり且つ幅の
狭い部分が内側にあるようにしたチャートを用い、更に
このチャートの外側半分の幅の広い部分をマスクし、内
側半分の幅の狭い部分をマスクし得るように構成する。
測定を行う場合には、まず、モーター10を用いて測定
に利用したい空間周波数の縞帯が開放されている接眼チ
ャート11が検出器９の下側にくるようにセットする（接
眼チャート11は停止）。従ってミラー７をその駆動装置
８により移動させるのに伴い、接眼チャート11を透過す
る光の光量は所定の空間周波数成分のみのものとなり、
これを測定し、処理することにより選択された空間周波
数でのレンズ焦点位置検出を行うことができる。
に利用したい空間周波数の縞帯が開放されている接眼チ
ャート11が検出器９の下側にくるようにセットする（接
眼チャート11は停止）。従ってミラー７をその駆動装置
８により移動させるのに伴い、接眼チャート11を透過す
る光の光量は所定の空間周波数成分のみのものとなり、
これを測定し、処理することにより選択された空間周波
数でのレンズ焦点位置検出を行うことができる。
本実施例によれば、対物チャート３の空間周波数の切
換えを、接眼チャート11を回転させるだけで極めて簡単
に行うことができる。
換えを、接眼チャート11を回転させるだけで極めて簡単
に行うことができる。
（第２実施例） 本実施例では、使用する対物チャート３を第３図に示
すように、１帯の縞チャートを角度分割して２種類の空
間周波数を有するチャートとする。
すように、１帯の縞チャートを角度分割して２種類の空
間周波数を有するチャートとする。
検出信号の伝達は、第１実施例につき説明した所と全
く同様に接眼チャート11に到達するように行う。本例で
は接眼チャート11は対物チャート３と同様のものを用い
る。
く同様に接眼チャート11に到達するように行う。本例で
は接眼チャート11は対物チャート３と同様のものを用い
る。
接眼チャート11は測定すべき空間周波数成分の縞部が
検出器９の下側に位置するようにセットする。この場
合、接眼チャート11を透過する光量の信号成分には２種
類の異なる空間周波数成分が含まれている。これがた
め、対物チャート３の照明光ポイントで、いずれの空間
周波数成分の縞の照明されているのかを識別できる信号
をつくる。この信号と検出器９より得た信号とを同期さ
せて測定処理にすることにより、所望の空間周波数での
焦点位置の検出を行うことができる。
検出器９の下側に位置するようにセットする。この場
合、接眼チャート11を透過する光量の信号成分には２種
類の異なる空間周波数成分が含まれている。これがた
め、対物チャート３の照明光ポイントで、いずれの空間
周波数成分の縞の照明されているのかを識別できる信号
をつくる。この信号と検出器９より得た信号とを同期さ
せて測定処理にすることにより、所望の空間周波数での
焦点位置の検出を行うことができる。
［考案の効果］ 上述したように本考案による対物チャートを用いて構
成されたレンズ系焦点検出装置は、複数の空間周波数で
外乱光を無視し得るチャート回転光変調方式での測定が
可能となり、その空間周波数の切換えも極めて簡単な機
構で達成することができる。
成されたレンズ系焦点検出装置は、複数の空間周波数で
外乱光を無視し得るチャート回転光変調方式での測定が
可能となり、その空間周波数の切換えも極めて簡単な機
構で達成することができる。
第１図は本考案レンズ焦点位置検出装置の構成を示す説
明図、 第２図は本考案対物チャートの１例の構成を示す平面
図、 第３図は本考案対物チャート及び接眼チャートの他の例
の構成を示す平面図、 第４図は本考案レンズ焦点位置検出装置の接眼チャート
の構成を示す平面図、 第５図は従来のレンズ焦点位置検出装置に用いっれるチ
ャートの構成を示す平面図、 第６図はレンズ焦点位置検出装置の接眼チャート部の構
成を示す断面図である。 １…光源 ２…モータ ３…対物チャート ４…ハーフミラー ５…コリメートレンズ ６…被検レンズ ７…ミラー ８…ミラー駆動装置 ９…検出器 10…モータ 11…接眼チャート 101…チャート 102…軸 103…従動プーリ 104…ベアリング 105…フランジ 106…ナット 107…ベルト 108…駆動プーリ 109…固定板 110…モータ
明図、 第２図は本考案対物チャートの１例の構成を示す平面
図、 第３図は本考案対物チャート及び接眼チャートの他の例
の構成を示す平面図、 第４図は本考案レンズ焦点位置検出装置の接眼チャート
の構成を示す平面図、 第５図は従来のレンズ焦点位置検出装置に用いっれるチ
ャートの構成を示す平面図、 第６図はレンズ焦点位置検出装置の接眼チャート部の構
成を示す断面図である。 １…光源 ２…モータ ３…対物チャート ４…ハーフミラー ５…コリメートレンズ ６…被検レンズ ７…ミラー ８…ミラー駆動装置 ９…検出器 10…モータ 11…接眼チャート 101…チャート 102…軸 103…従動プーリ 104…ベアリング 105…フランジ 106…ナット 107…ベルト 108…駆動プーリ 109…固定板 110…モータ
Claims (2)
- 【請求項１】中心より放射状に広がる格子状で幅の広い
明部と幅の広い暗部とからなる第１の縞帯の群と、前記
中心より放射状に広がる格子状で前記第１の縞帯の明部
の幅より幅の狭い明部と前記第１の縞帯の暗部の幅より
幅の狭い暗部とからなる第２の縞帯の群とを少なくとも
有し、前記各群が同心状に配置されることを特徴とする
対物チャート。 - 【請求項２】光源より発した光を対物チャートを介して
被検レンズに照射し、被検レンズに照射された光を接眼
チャートを介して検出器に照射して前記被検レンズの焦
点位置を検出するレンズ焦点位置検出装置において、 中心より放射状に広がる格子状で幅の広い明部と幅の広
い暗部とからなる第１の縞帯の群と、前記中心より放射
状に広がる格子状で前記第１の縞帯の明部の幅より幅の
狭い明部と前記第１の縞帯の暗部の幅より幅の狭い暗部
とからなる第２の縞帯の群とを少なくとも有し、前記各
群が同心状に配置された対物チャートと、 前記対物チャートの各縞帯の群と対応する縞帯の群を有
する接眼チャートとを、備え、 前記対物チャートを回転させて前記対物チャートの複数
の縞帯の群を回転させると共に測定する前記対物チャー
トの縞帯の群に対応する接眼チャートの縞帯の群を光の
光路上に停止させ、前記検出器によって前記被検レンズ
の焦点位置を検出することを特徴とするレンズ焦点位置
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990072480U JP2583868Y2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990072480U JP2583868Y2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430457U JPH0430457U (ja) | 1992-03-11 |
| JP2583868Y2 true JP2583868Y2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=31610452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990072480U Expired - Lifetime JP2583868Y2 (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583868Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139707A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転対称面形状測定方法及びその装置 |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP1990072480U patent/JP2583868Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61139707A (ja) * | 1984-12-12 | 1986-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転対称面形状測定方法及びその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0430457U (ja) | 1992-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4330775A (en) | Apparatus for inspecting defects in a periodic pattern | |
| US4360269A (en) | Apparatus for inspecting defects in a periodic pattern | |
| US4412742A (en) | Apparatus for use in investigating specimens | |
| US3761179A (en) | Mirror testing apparatus | |
| JPH0463330B2 (ja) | ||
| JPS6037418B2 (ja) | レンズ性能検査装置 | |
| JP2583868Y2 (ja) | 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 | |
| JP2000046532A (ja) | パターン検査装置 | |
| US3604806A (en) | Pattern classification apparatus | |
| US3052843A (en) | Frequency measuring and phase measuring systems | |
| US5724137A (en) | Fringe pattern discriminator for interferometer using diffraction gratings | |
| US4256958A (en) | Apparatus for monitoring the optical quality of a beam of radiation | |
| JP3049144B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| US4245156A (en) | Apparatus for monitoring the optical quality of a beam radiation | |
| JPH10288741A (ja) | 顕微鏡 | |
| CN112485899B (zh) | 一种设置紧凑型结构光光路的方法 | |
| JPH07140046A (ja) | レンズ性能検査装置 | |
| JPS57144446A (en) | Apparatus for spectrochemical analysis | |
| JPS6411887B2 (ja) | ||
| JPH09269277A (ja) | レンズの偏心計測装置 | |
| SU1315876A1 (ru) | Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников | |
| JPH0682380A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP4422281B2 (ja) | 光学装置 | |
| SU619889A1 (ru) | Измерительное устройство | |
| SU728060A1 (ru) | Фотоэлектрический дефектоскоп дл контрол поверхностей тел вращени |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |