SU1315876A1 - Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников - Google Patents

Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников Download PDF

Info

Publication number
SU1315876A1
SU1315876A1 SU853965902A SU3965902A SU1315876A1 SU 1315876 A1 SU1315876 A1 SU 1315876A1 SU 853965902 A SU853965902 A SU 853965902A SU 3965902 A SU3965902 A SU 3965902A SU 1315876 A1 SU1315876 A1 SU 1315876A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
transparent
pattern
distribution
layer
photosensitive
Prior art date
Application number
SU853965902A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Трофимович Коваль
Игорь Владимирович Кравченко
Игорь Генрихович Чиж
Original Assignee
Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции filed Critical Киевский Политехнический Институт Им.50-Летия Великой Октябрьской Социалистической Революции
Priority to SU853965902A priority Critical patent/SU1315876A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1315876A1 publication Critical patent/SU1315876A1/ru

Links

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  контрол  неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников . Целью изобретени   вл етс  сокращение времени измерени . Способ включает засветку чувствительного сло  источником излучени , обеспечивающим заданную облученность сло , с проецированием на него изображени . вращающейс  оптической полуплоскости так, что ее центр вращени  совпадает с центром светового п тна. После этого осуществл ют анализ электрического сигнала, вырабатываемого фотоприемником при засветке, заключающийс  в разложении i фотоэлектрического сигнала во временной спектр. Определение неосесимметричности в распределении зонной чувствительности сло  фотоприемника производ т путем анализа амплитуды первой гармоники временного спектра фотоэлектрического сигнала после совмещени  центра вращени  изображени  полуплоскости.с точкой на светочувствительном слое фотоприемника , в которой амплитуда третьей гармоники спектра равна нулю, 1 ил. с сл со сл 00 -4j 05

Description

Изобретение относитс  к измери- тельной технике и предназначено дл  контрол  зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников
Цель изобретени  - сокращение вре- мени измерени .
На чертеже изображена схема устройства дл  реализации способа определени  неосесимметричности в распре- делении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников.
Устройство состоит из источника 1 излучени , светофильтра 2, диафрагмы 3, конденсора 4, вращающегос  растра-полуплоскости 5 с приводом 6, объектива 7, окул ра 8 визуального канала, предметного столика 9 дл  размещени  фотоприемника 10, электронных схем 11 и 12 селекции, на- строеньгых на частоту f и 3f соответ- ветственно, где f - частота вращени  растра-полуплоскости, индикаторного устройства 13,
Способ осуществл етс  следующим образом..
Излучение от источника 1 проходит через светофильтр 2 и попадает на диафрагму 3, Конденсор 4 строит изображение диафрагмы 3 на растре-полуплос кости так, что центр изображени  диафрагмы , 3 совпадает с центром вращени  растра-полуплоскости 5, который в свою очередь совмещен с оптической осью системь конденсор - объектив. Объектив 7 проецирует изображение освещенного прошедшим через диафрагму 3 излучением участка растра-полуплоскости 5 на светочувствительную площадку фотоприемника 10, установ- ленного на подвижном столике 9,
Столик позвол ет перемещать фотоприемник в плоскости, перпендикул рной оптической оси. Перед измерением неосесимметричности зонной чувстви-
5
о д
с
5
тельности фотоприемника 10, фотопри- емник перемещаетс  при помощи столика 9 в такое положение, при котором амплитуда третьей гармоники сигнала фотоприемника становитс  равной нулю. Контроль асимметрии зонной чувствительности фотоприемника 10 осуществл етс  по амплитуде первой гармоники сигнала, выдел емой схемой 11, вели- чина которой пропорциональна неосесимметричности распределени  зонной чувствительности светочувствительного сло  фотоприемника 10,

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ определени  неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников,, включающий засветку светочувствительного сло  и анализ электрического сигнала, вырабатываемого фотоприемником при засветке, отличающийс  тем, что, с целью сокращени  времени измерени , при засветке на светочувствительном слое фотоприемника формируют изображение вращающейс  непрозрачной полуплоскости , ось вращени  которой проходит через ее край и совпадает с оптической осью, а анализ электрического сигнала осуществл ют путем разложени  его во временной спектр и измерени  амплитуды первой гармоники спектра электрического сигнала, по величине которой суд т о неосесимметричности в раепределении зонной чувствительности светочувствительного сло  фотоприемника, после совмещени  центра вращени  изображени  полуплоскости с точкой на светочувствительном слое фотоприемника, в которой амплитуда третьей гармоники спектра равна нулю.
    Редактор П.Гереши
    Составитель Б.Зверев
    Техред М.Ходанич Корректор В.Бут га
    Заказ 2354/46Тираж 776 Подписное
    ВНИИПИ Государственного комитета СССР
    по делам изобретений и открытий 113035, Мосдсва, Ж-35, Раушска  наб,, д. 4/5
    Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
SU853965902A 1985-07-31 1985-07-31 Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников SU1315876A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853965902A SU1315876A1 (ru) 1985-07-31 1985-07-31 Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853965902A SU1315876A1 (ru) 1985-07-31 1985-07-31 Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1315876A1 true SU1315876A1 (ru) 1987-06-07

Family

ID=21201593

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853965902A SU1315876A1 (ru) 1985-07-31 1985-07-31 Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1315876A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Курбатов Л.Н. и др. Измерение параметров приемников оптического излучени , М.: Радио и св зь. 1983, с. 320. Кременчугский Л.Н. и др. Расчет и экспериментЕШьное исследование зонной чувствительности болометров.- Приборы и техника экс перимента, 1965 № 1, с. 153. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69525195D1 (de) Optische Inspektion von Dimensionsparametern von Behältern
JPS5629108A (en) Electronic photometry sensor system for thread and hole
ATE221650T1 (de) Optisches verfahren und vorrichtung zum erkennen von fehlstellen
JPS52479A (en) Optical scanning instrument
US4652738A (en) Edge detecting device in optical measuring instrument
JPS56124003A (en) Measuring device for pattern
SU1315876A1 (ru) Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников
JPS5734403A (en) Inspecting device for shape and defect of linear object
JPS5616806A (en) Surface roughness measuring unit
JPS5610201A (en) Object dimension measuring device
JPH0672805B2 (ja) 色試料の輝度の測定法及び測定装置
JPS55154402A (en) Shape measuring apparatus
JPS5635419A (en) Pattern inspection device
JPS5726704A (en) Measuring instrument for three-dimensional shape
JPS56132508A (en) Pattern measuring device
JPS57166547A (en) Apparatus for reflective spectrophotometry
SU1040509A1 (ru) Демонстрационный прибор по физике
SU1597656A1 (ru) Способ контрол центрировки линзы при обработке ее оправы в шпинделе станка
JPS5528231A (en) Specimen device for scanning electron microscope or the like
JP2698696B2 (ja) 表面疵検査方法
JPS54133395A (en) Detecting method and apparatus for carck on substrate
JPS5728239A (en) Inspection of defect on cylinder surface
JPS5629327A (en) Apparatus for aligning wafer with mask
JPS625333B2 (ru)
JP2583868Y2 (ja) 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置