SU1315876A1 - Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников - Google Patents
Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников Download PDFInfo
- Publication number
- SU1315876A1 SU1315876A1 SU853965902A SU3965902A SU1315876A1 SU 1315876 A1 SU1315876 A1 SU 1315876A1 SU 853965902 A SU853965902 A SU 853965902A SU 3965902 A SU3965902 A SU 3965902A SU 1315876 A1 SU1315876 A1 SU 1315876A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- transparent
- pattern
- distribution
- layer
- photosensitive
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл контрол неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников . Целью изобретени вл етс сокращение времени измерени . Способ включает засветку чувствительного сло источником излучени , обеспечивающим заданную облученность сло , с проецированием на него изображени . вращающейс оптической полуплоскости так, что ее центр вращени совпадает с центром светового п тна. После этого осуществл ют анализ электрического сигнала, вырабатываемого фотоприемником при засветке, заключающийс в разложении i фотоэлектрического сигнала во временной спектр. Определение неосесимметричности в распределении зонной чувствительности сло фотоприемника производ т путем анализа амплитуды первой гармоники временного спектра фотоэлектрического сигнала после совмещени центра вращени изображени полуплоскости.с точкой на светочувствительном слое фотоприемника , в которой амплитуда третьей гармоники спектра равна нулю, 1 ил. с сл со сл 00 -4j 05
Description
Изобретение относитс к измери- тельной технике и предназначено дл контрол зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников
Цель изобретени - сокращение вре- мени измерени .
На чертеже изображена схема устройства дл реализации способа определени неосесимметричности в распре- делении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников.
Устройство состоит из источника 1 излучени , светофильтра 2, диафрагмы 3, конденсора 4, вращающегос растра-полуплоскости 5 с приводом 6, объектива 7, окул ра 8 визуального канала, предметного столика 9 дл размещени фотоприемника 10, электронных схем 11 и 12 селекции, на- строеньгых на частоту f и 3f соответ- ветственно, где f - частота вращени растра-полуплоскости, индикаторного устройства 13,
Способ осуществл етс следующим образом..
Излучение от источника 1 проходит через светофильтр 2 и попадает на диафрагму 3, Конденсор 4 строит изображение диафрагмы 3 на растре-полуплос кости так, что центр изображени диафрагмы , 3 совпадает с центром вращени растра-полуплоскости 5, который в свою очередь совмещен с оптической осью системь конденсор - объектив. Объектив 7 проецирует изображение освещенного прошедшим через диафрагму 3 излучением участка растра-полуплоскости 5 на светочувствительную площадку фотоприемника 10, установ- ленного на подвижном столике 9,
Столик позвол ет перемещать фотоприемник в плоскости, перпендикул рной оптической оси. Перед измерением неосесимметричности зонной чувстви-
5
о д
с
5
тельности фотоприемника 10, фотопри- емник перемещаетс при помощи столика 9 в такое положение, при котором амплитуда третьей гармоники сигнала фотоприемника становитс равной нулю. Контроль асимметрии зонной чувствительности фотоприемника 10 осуществл етс по амплитуде первой гармоники сигнала, выдел емой схемой 11, вели- чина которой пропорциональна неосесимметричности распределени зонной чувствительности светочувствительного сло фотоприемника 10,
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников,, включающий засветку светочувствительного сло и анализ электрического сигнала, вырабатываемого фотоприемником при засветке, отличающийс тем, что, с целью сокращени времени измерени , при засветке на светочувствительном слое фотоприемника формируют изображение вращающейс непрозрачной полуплоскости , ось вращени которой проходит через ее край и совпадает с оптической осью, а анализ электрического сигнала осуществл ют путем разложени его во временной спектр и измерени амплитуды первой гармоники спектра электрического сигнала, по величине которой суд т о неосесимметричности в раепределении зонной чувствительности светочувствительного сло фотоприемника, после совмещени центра вращени изображени полуплоскости с точкой на светочувствительном слое фотоприемника, в которой амплитуда третьей гармоники спектра равна нулю.Редактор П.ГерешиСоставитель Б.ЗверевТехред М.Ходанич Корректор В.Бут гаЗаказ 2354/46Тираж 776 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Мосдсва, Ж-35, Раушска наб,, д. 4/5Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853965902A SU1315876A1 (ru) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853965902A SU1315876A1 (ru) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1315876A1 true SU1315876A1 (ru) | 1987-06-07 |
Family
ID=21201593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853965902A SU1315876A1 (ru) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1315876A1 (ru) |
-
1985
- 1985-07-31 SU SU853965902A patent/SU1315876A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Курбатов Л.Н. и др. Измерение параметров приемников оптического излучени , М.: Радио и св зь. 1983, с. 320. Кременчугский Л.Н. и др. Расчет и экспериментЕШьное исследование зонной чувствительности болометров.- Приборы и техника экс перимента, 1965 № 1, с. 153. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69525195D1 (de) | Optische Inspektion von Dimensionsparametern von Behältern | |
JPS5629108A (en) | Electronic photometry sensor system for thread and hole | |
ATE221650T1 (de) | Optisches verfahren und vorrichtung zum erkennen von fehlstellen | |
JPS52479A (en) | Optical scanning instrument | |
US4652738A (en) | Edge detecting device in optical measuring instrument | |
JPS56124003A (en) | Measuring device for pattern | |
SU1315876A1 (ru) | Способ определени неосесимметричности в распределении зонной чувствительности светочувствительных слоев фотоприемников | |
JPS5734403A (en) | Inspecting device for shape and defect of linear object | |
JPS5616806A (en) | Surface roughness measuring unit | |
JPS5610201A (en) | Object dimension measuring device | |
JPH0672805B2 (ja) | 色試料の輝度の測定法及び測定装置 | |
JPS55154402A (en) | Shape measuring apparatus | |
JPS5635419A (en) | Pattern inspection device | |
JPS5726704A (en) | Measuring instrument for three-dimensional shape | |
JPS56132508A (en) | Pattern measuring device | |
JPS57166547A (en) | Apparatus for reflective spectrophotometry | |
SU1040509A1 (ru) | Демонстрационный прибор по физике | |
SU1597656A1 (ru) | Способ контрол центрировки линзы при обработке ее оправы в шпинделе станка | |
JPS5528231A (en) | Specimen device for scanning electron microscope or the like | |
JP2698696B2 (ja) | 表面疵検査方法 | |
JPS54133395A (en) | Detecting method and apparatus for carck on substrate | |
JPS5728239A (en) | Inspection of defect on cylinder surface | |
JPS5629327A (en) | Apparatus for aligning wafer with mask | |
JPS625333B2 (ru) | ||
JP2583868Y2 (ja) | 対物チャート及びレンズ焦点位置検出装置 |