JP2583452B2 - 複合流量計 - Google Patents
複合流量計Info
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- JP2583452B2 JP2583452B2 JP1186091A JP18609189A JP2583452B2 JP 2583452 B2 JP2583452 B2 JP 2583452B2 JP 1186091 A JP1186091 A JP 1186091A JP 18609189 A JP18609189 A JP 18609189A JP 2583452 B2 JP2583452 B2 JP 2583452B2
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- Japan
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- sensor
- flow
- nozzle
- flow rate
- flow meter
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フルイディック流量計内に熱式流速センサ
を組み込んだ複合流量計に係わり、特に低流量域におけ
る測定範囲を広げた複合流量計に関するものである。
を組み込んだ複合流量計に係わり、特に低流量域におけ
る測定範囲を広げた複合流量計に関するものである。
従来、この種の複合流量計として、実開平１−58118
号公報には、流体振動子における被測定流体の流れ方向
と垂直な断面が長方形状である絞り部（ノズル）内のそ
れぞれ対向する面の間隔が広い方の面、つまり長方形断
面の短辺側の面に熱式フローセンサを取り付け、これに
よって検出された流速から流量を演算して低流量での測
定範囲を改善して成る流体振動型流量計（フルイディッ
ク流量計）が開示されている。
号公報には、流体振動子における被測定流体の流れ方向
と垂直な断面が長方形状である絞り部（ノズル）内のそ
れぞれ対向する面の間隔が広い方の面、つまり長方形断
面の短辺側の面に熱式フローセンサを取り付け、これに
よって検出された流速から流量を演算して低流量での測
定範囲を改善して成る流体振動型流量計（フルイディッ
ク流量計）が開示されている。
しかしながら、このように構成された流体振動型流量
計は、絞り部（ノズル）内のそれぞれ対向する面の間隔
が広い方の面、つまり長方形断面の短辺側の面に熱式フ
ローセンサが取り付けてあるため、熱式フローセンサ付
近の流速勾配がなだらかであり（流速が低く）、低流量
域における感度が小さいという問題があった。
計は、絞り部（ノズル）内のそれぞれ対向する面の間隔
が広い方の面、つまり長方形断面の短辺側の面に熱式フ
ローセンサが取り付けてあるため、熱式フローセンサ付
近の流速勾配がなだらかであり（流速が低く）、低流量
域における感度が小さいという問題があった。
〔課題を解決するための手段〕 このような課題を解決するために本発明は、被測定流
体の流れ方向と垂直な断面が長方形状であるノズルを有
するフルイディック流量計において、ノズル内のそれぞ
れ対向する面の間隔が狭い方の面、つまり長方形断面の
長辺側の面に熱式流速センサを配置し、所定の流量範囲
において熱式流速センサの出力から被測定流体の流量を
算出するようにしたものである。
体の流れ方向と垂直な断面が長方形状であるノズルを有
するフルイディック流量計において、ノズル内のそれぞ
れ対向する面の間隔が狭い方の面、つまり長方形断面の
長辺側の面に熱式流速センサを配置し、所定の流量範囲
において熱式流速センサの出力から被測定流体の流量を
算出するようにしたものである。
本発明においては、熱式流速センサをフルイディック
流量計のノズル内の流速勾配が急峻な（流速が大きい）
部分に配置したので、特に低流量域における感度が大き
くなる。
流量計のノズル内の流速勾配が急峻な（流速が大きい）
部分に配置したので、特に低流量域における感度が大き
くなる。
第１図（ａ）〜（ｃ）は、本発明による複合流量計の
組み付け工程を示す工程説明図である。第１図におい
て、３はノズル、４はノズルユニットの蓋、５は後述の
センサ基板９を挿入するためのセンサ基板挿入口、６は
蓋４をノズルユニットボディ７に固定するビス、８は後
述のセンサ基板９を取り付けるためのセンサ基板取付
溝、９は抵抗値の変化により流速を検出するマイクロフ
ローセンサと外部接続のためのピン１とを有するセンサ
基板、11はセンサ基板挿入口５とセンサ基板９との間の
すきまを充填するエポキシ等のシーリング材、Ｆは流体
の流れる方向を示す矢印である。センサ基板９の材質は
例えばセラミックである。ノズルユニットの蓋４とノズ
ルユニットボディ７とはノズル３を有するノズルユニッ
トを構成する。
組み付け工程を示す工程説明図である。第１図におい
て、３はノズル、４はノズルユニットの蓋、５は後述の
センサ基板９を挿入するためのセンサ基板挿入口、６は
蓋４をノズルユニットボディ７に固定するビス、８は後
述のセンサ基板９を取り付けるためのセンサ基板取付
溝、９は抵抗値の変化により流速を検出するマイクロフ
ローセンサと外部接続のためのピン１とを有するセンサ
基板、11はセンサ基板挿入口５とセンサ基板９との間の
すきまを充填するエポキシ等のシーリング材、Ｆは流体
の流れる方向を示す矢印である。センサ基板９の材質は
例えばセラミックである。ノズルユニットの蓋４とノズ
ルユニットボディ７とはノズル３を有するノズルユニッ
トを構成する。
組み付けは、まず蓋４をボディ７にビス６で固定し
（第１図（ａ））、次にセンサ基板９をセンサ基板挿入
口５から挿入して（第１図（ｂ））センサ基板取付溝８
に取り付け、センサ基板挿入口５とセンサ基板９とのす
きまをシーリング材で充填する（第１図）。
（第１図（ａ））、次にセンサ基板９をセンサ基板挿入
口５から挿入して（第１図（ｂ））センサ基板取付溝８
に取り付け、センサ基板挿入口５とセンサ基板９とのす
きまをシーリング材で充填する（第１図）。
第２図はセンサ基板取付溝８の形状を明確に示すため
の説明図、第３図はセンサ基板９を明確に示すための説
明図である。第３図において、12はマイクロフローセン
サのチップである。
の説明図、第３図はセンサ基板９を明確に示すための説
明図である。第３図において、12はマイクロフローセン
サのチップである。
このようにセンサ基板９とノズル３とを一体化したこ
とにより、マイクロフローセンサのチップ12がむきだし
にならず、フルイディック流量計へ組み付ける時にチッ
プ12を破損することもなくなる。
とにより、マイクロフローセンサのチップ12がむきだし
にならず、フルイディック流量計へ組み付ける時にチッ
プ12を破損することもなくなる。
第４図は流速センサの出力値を説明するための説明図
である。第４図において、３はノズル（右下がり斜線
部）、12はマイクロフローセンサのチップ、13は流速分
布、14はセンサ基板９をノズル３の上面に取り付けた場
合のマイクロフローセンサのチップ、15は矩形断面の流
路、16は円形断面の流路である。マイクロフローセンサ
をチップ14で示すようにノズル３の上面に取り付けた場
合、上流側の構造すなわち流路15と16の構造により流速
分布13で示すように流速勾配が緩やかであり、マイクロ
フローセンサからの出力電圧（流速を示す）は小さい。
しかし、マイクロフローセンサをチップ12で示すように
ノズル３の側面に取り付けた場合、第４図の流速分布13
で示すように流速の速い位置になり、また、第５図の流
速分布13で示すように水平方向の流速勾配は急峻である
ため、マイクロフローセンサからの出力電圧は大きくな
る。たとえば３［/h］の流量のとき、チップ12の出力
電圧はチップ14の出力電圧の約1.6倍であることが確認
されている。
である。第４図において、３はノズル（右下がり斜線
部）、12はマイクロフローセンサのチップ、13は流速分
布、14はセンサ基板９をノズル３の上面に取り付けた場
合のマイクロフローセンサのチップ、15は矩形断面の流
路、16は円形断面の流路である。マイクロフローセンサ
をチップ14で示すようにノズル３の上面に取り付けた場
合、上流側の構造すなわち流路15と16の構造により流速
分布13で示すように流速勾配が緩やかであり、マイクロ
フローセンサからの出力電圧（流速を示す）は小さい。
しかし、マイクロフローセンサをチップ12で示すように
ノズル３の側面に取り付けた場合、第４図の流速分布13
で示すように流速の速い位置になり、また、第５図の流
速分布13で示すように水平方向の流速勾配は急峻である
ため、マイクロフローセンサからの出力電圧は大きくな
る。たとえば３［/h］の流量のとき、チップ12の出力
電圧はチップ14の出力電圧の約1.6倍であることが確認
されている。
第６図はフルイディック流量計本体にノズル17を形成
した場合を示す一部断面図である。18は点線で示す流速
センサの取り付けスペースである。このような構成とす
ることにより、フルイディック流量計の流量測定の精度
が向上する。
した場合を示す一部断面図である。18は点線で示す流速
センサの取り付けスペースである。このような構成とす
ることにより、フルイディック流量計の流量測定の精度
が向上する。
以上、説明したように本発明によれば、被測定流体の
流れ方向と垂直な断面が長方形状であるノズルを有する
フルイディック流量計において、ノズル内のそれぞれ対
向する面の間隔が狭い方の面に熱式流速センサを配置
し、所定の流量範囲において熱式流速センサの出力から
被測定流体の流量を算出するようにしたことにより、熱
式流速センサ付近の流速勾配が急峻に（流速が大きく）
なるので、特に低流量域における感度が大きくなり、低
流量域における測定範囲が広がるとともに精度の高い流
量計測ができるようになるという極めて優れた効果が得
られる。
流れ方向と垂直な断面が長方形状であるノズルを有する
フルイディック流量計において、ノズル内のそれぞれ対
向する面の間隔が狭い方の面に熱式流速センサを配置
し、所定の流量範囲において熱式流速センサの出力から
被測定流体の流量を算出するようにしたことにより、熱
式流速センサ付近の流速勾配が急峻に（流速が大きく）
なるので、特に低流量域における感度が大きくなり、低
流量域における測定範囲が広がるとともに精度の高い流
量計測ができるようになるという極めて優れた効果が得
られる。
第１図は本発明による複合流量計の一実施例の組み付け
工程を示す工程説明図、第２図はセンサ基板取付溝を明
確に示すための説明図、第３図はセンサ基板を明確に示
すための説明図、第４図および第５図はマイクロフロー
センサの出力値を説明するための説明図、第６図はフル
イディック本体のノズルを示す一部断面図である。 ３……ノズル、４……ノズルユニットの蓋、５……セン
サ基板挿入口、６……ビス、７……ノズルユニットボデ
ィ、８……センサ基板取付溝、９……センサ基板、10…
ピン、11……シーリング材。
工程を示す工程説明図、第２図はセンサ基板取付溝を明
確に示すための説明図、第３図はセンサ基板を明確に示
すための説明図、第４図および第５図はマイクロフロー
センサの出力値を説明するための説明図、第６図はフル
イディック本体のノズルを示す一部断面図である。 ３……ノズル、４……ノズルユニットの蓋、５……セン
サ基板挿入口、６……ビス、７……ノズルユニットボデ
ィ、８……センサ基板取付溝、９……センサ基板、10…
ピン、11……シーリング材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒井 克人 東京都足立区千住柳町20―９ (72)発明者 安部 健 神奈川県川崎市高津区梶ケ谷２―11―２ (72)発明者 岡林 誠 大阪府大阪市中央区平野町４―１―２ 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 早川 秀樹 大阪府大阪市中央区平野町４―１―２ 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 安田 弘一 愛知県豊田市若林西町北間57 (72)発明者 上運天 昭司 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 青島 滋 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 落合 耕一 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 長田 光彦 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内 (72)発明者 津村 高志 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内
Claims (1)
- 【請求項１】被測定流体の流れ方向と垂直な断面が長方
形状であるノズルを有するフルイディック流量計におい
て、 前記ノズル内のそれぞれ対向する面の間隔が狭い方の面
に熱式流速センサを配置し、所定の流量範囲において前
記熱式流速センサの出力から被測定流体の流量を算出す
るようにしたことを特徴とする複合流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186091A JP2583452B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186091A JP2583452B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353125A JPH0353125A (ja) | 1991-03-07 |
| JP2583452B2 true JP2583452B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=16182213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186091A Expired - Lifetime JP2583452B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583452B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3570645B2 (ja) * | 1996-02-15 | 2004-09-29 | 矢崎総業株式会社 | 流速センサモジュール及びその組立方法 |
| DE102004027386A1 (de) * | 2004-06-04 | 2006-01-05 | Vse Volumentechnik Gmbh | Durchflussmengenfühler |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0158118B2 (ja) * | 1985-06-25 | 1989-12-08 | Miki Netsuren Kk |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618244Y2 (ja) * | 1987-10-07 | 1994-05-11 | 東京瓦斯株式会社 | 流体振動型流量計 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1186091A patent/JP2583452B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0158118B2 (ja) * | 1985-06-25 | 1989-12-08 | Miki Netsuren Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353125A (ja) | 1991-03-07 |
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