JP2579824Y2 - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
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- JP2579824Y2 JP2579824Y2 JP1992082766U JP8276692U JP2579824Y2 JP 2579824 Y2 JP2579824 Y2 JP 2579824Y2 JP 1992082766 U JP1992082766 U JP 1992082766U JP 8276692 U JP8276692 U JP 8276692U JP 2579824 Y2 JP2579824 Y2 JP 2579824Y2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Brushless Motors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば近接スイッチ、
流量センサー等に適用可能な磁気抵抗素子に関する。
流量センサー等に適用可能な磁気抵抗素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁極が形成された磁石体の位置検出素子
として磁気抵抗素子がある。磁気抵抗素子は磁石体に所
定のギャップをおいて対向配置される。図５はこのよう
な磁気抵抗素子の従来例を示す。図５において、基板１
８の上面には強磁性体からなる第１の磁気抵抗ストライ
プ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２が形成されてい
る。これら磁気抵抗ストライプ１１，１２は複数回折り
返されて全体として矩形状になっている。第１の磁気抵
抗ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２はそ
の長手方向が直交する向きに形成されている。第１の磁
気抵抗ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２
の隣接した端部は接続されており、この接続部は基板１
８の外側方向に延長されて出力端子１３が形成されてい
る。また、第１及び第２の磁気抵抗ストライプ１１，１
２の各端部もそれぞれ基板１８の外側方向に延長され
て、電極１４及び電極１５が形成されている。このよう
な磁気抵抗素子として、特公昭５７−５０６７号公報記
載のものがある。
として磁気抵抗素子がある。磁気抵抗素子は磁石体に所
定のギャップをおいて対向配置される。図５はこのよう
な磁気抵抗素子の従来例を示す。図５において、基板１
８の上面には強磁性体からなる第１の磁気抵抗ストライ
プ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２が形成されてい
る。これら磁気抵抗ストライプ１１，１２は複数回折り
返されて全体として矩形状になっている。第１の磁気抵
抗ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２はそ
の長手方向が直交する向きに形成されている。第１の磁
気抵抗ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２
の隣接した端部は接続されており、この接続部は基板１
８の外側方向に延長されて出力端子１３が形成されてい
る。また、第１及び第２の磁気抵抗ストライプ１１，１
２の各端部もそれぞれ基板１８の外側方向に延長され
て、電極１４及び電極１５が形成されている。このよう
な磁気抵抗素子として、特公昭５７−５０６７号公報記
載のものがある。
【０００３】上記のような磁気抵抗素子以外に、実開平
２−５８３５８号公報に記載されているものがある。こ
れは、基板上に第１、第２の磁気抵抗ストライプを有
し、この第１、第２の磁気抵抗ストライプ近傍に上記基
板の面にほぼ平行な磁場成分を有する磁石体を配置して
使用する磁気抵抗素子であって、磁石体の上記第１、第
２の磁気抵抗ストライプに対向された磁極の中心を通り
上記基板面にほぼ平行な法線を基準線としたとき、第１
の磁気抵抗ストライプは上記基準線に対して所定の角度
δだけ傾斜させ、第２の磁気抵抗ストライプは上記基準
線に対しδ＋９０度だけ傾斜させたものである。
２−５８３５８号公報に記載されているものがある。こ
れは、基板上に第１、第２の磁気抵抗ストライプを有
し、この第１、第２の磁気抵抗ストライプ近傍に上記基
板の面にほぼ平行な磁場成分を有する磁石体を配置して
使用する磁気抵抗素子であって、磁石体の上記第１、第
２の磁気抵抗ストライプに対向された磁極の中心を通り
上記基板面にほぼ平行な法線を基準線としたとき、第１
の磁気抵抗ストライプは上記基準線に対して所定の角度
δだけ傾斜させ、第２の磁気抵抗ストライプは上記基準
線に対しδ＋９０度だけ傾斜させたものである。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】上記従来の何れの磁気
抵抗素子においても、着磁された磁石体と磁気抵抗素子
の取り付け精度の影響を受けやすい。このため、磁気抵
抗素子の取り付け精度が悪く磁石体と磁気抵抗素子の距
離がばらついていると、磁気抵抗出力に違いが大きくば
らつく。
抵抗素子においても、着磁された磁石体と磁気抵抗素子
の取り付け精度の影響を受けやすい。このため、磁気抵
抗素子の取り付け精度が悪く磁石体と磁気抵抗素子の距
離がばらついていると、磁気抵抗出力に違いが大きくば
らつく。
【０００５】また、磁気抵抗出力に違いが生じるのは、
以上のような場合のみばかりではなく、第１の磁気抵抗
ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２の距離
が異なることによっても磁気抵抗出力に違いは生じる
し、磁気抵抗素子の取付け精度は良くても、磁石体が真
円でない場合は、回転するたびに磁石体と磁気抵抗素子
の距離が異なるため磁気抵抗出力に違いが生じてしま
う。特に、磁石体の径が小さくなればなるほど、磁石体
と磁気抵抗素子との距離のばらつきの影響を受けやす
く、かつ、第１、第２の磁気抵抗ストライプ間距離のば
らつきの影響を受けやすいという難点がある。
以上のような場合のみばかりではなく、第１の磁気抵抗
ストライプ１１と第２の磁気抵抗ストライプ１２の距離
が異なることによっても磁気抵抗出力に違いは生じる
し、磁気抵抗素子の取付け精度は良くても、磁石体が真
円でない場合は、回転するたびに磁石体と磁気抵抗素子
の距離が異なるため磁気抵抗出力に違いが生じてしま
う。特に、磁石体の径が小さくなればなるほど、磁石体
と磁気抵抗素子との距離のばらつきの影響を受けやす
く、かつ、第１、第２の磁気抵抗ストライプ間距離のば
らつきの影響を受けやすいという難点がある。
【０００６】本考案は以上のような問題点を解決するた
めになされたもので、磁石体や磁気抵抗素子の取り付け
精度や距離に左右されることなく、安定した磁気抵抗出
力を得ることが可能な磁気抵抗素子を提供することを目
的とする。
めになされたもので、磁石体や磁気抵抗素子の取り付け
精度や距離に左右されることなく、安定した磁気抵抗出
力を得ることが可能な磁気抵抗素子を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上のような目的を達成
するために本考案は、基盤上に強磁性体膜からなる第１
及び第２の磁気抵抗ストライプを形成し、この第１及び
第２の磁気抵抗ストライプの電流通路を互いに直列に接
続し、第１及び第２の磁気抵抗ストライプの接続点に出
力端子を設け、第１及び第２の磁気抵抗ストライプの他
端側には電流供給用の電極を夫々形成し、上記第１及び
第２の磁気抵抗ストライプを形成した面を磁石体の磁界
に対してほぼ平行になるように配置することにより、基
板の面に対する磁石体の磁場成分の方向の変化に応じ
て、出力端子の電圧の変化を検出する磁気抵抗素子にお
いて、磁石体には自らが回転するための中心になる回転
中心軸を設けるとともに周方向にＮ極とＳ極とを形成
し、磁石体の中心と磁気抵抗素子の中心とを結ぶ線を基
準線としたとき、第１及び第２の磁気抵抗ストライプ
を、基準線に対して５０度〜７０度の傾斜角度で、互い
にハの字形に形成した。
するために本考案は、基盤上に強磁性体膜からなる第１
及び第２の磁気抵抗ストライプを形成し、この第１及び
第２の磁気抵抗ストライプの電流通路を互いに直列に接
続し、第１及び第２の磁気抵抗ストライプの接続点に出
力端子を設け、第１及び第２の磁気抵抗ストライプの他
端側には電流供給用の電極を夫々形成し、上記第１及び
第２の磁気抵抗ストライプを形成した面を磁石体の磁界
に対してほぼ平行になるように配置することにより、基
板の面に対する磁石体の磁場成分の方向の変化に応じ
て、出力端子の電圧の変化を検出する磁気抵抗素子にお
いて、磁石体には自らが回転するための中心になる回転
中心軸を設けるとともに周方向にＮ極とＳ極とを形成
し、磁石体の中心と磁気抵抗素子の中心とを結ぶ線を基
準線としたとき、第１及び第２の磁気抵抗ストライプ
を、基準線に対して５０度〜７０度の傾斜角度で、互い
にハの字形に形成した。
【０００８】
【作用】第１及び第２の磁気抵抗ストライプを形成した
面を磁石体の磁界に対してほぼ平行になるように配置し
た磁気抵抗素子において、磁石体の中心を通り、基板面
の中央と直交する基準線に対し、各磁気抵抗ストライプ
を５０度〜６０度の傾斜角度をつけて、互いにハの字形
に形成することにより、磁気抵抗素子の取付け精度や、
磁石体と磁気抵抗素子の距離の変化の影響を受けにくく
なり、磁気抵抗素子の出力値はほぼ一定となる。
面を磁石体の磁界に対してほぼ平行になるように配置し
た磁気抵抗素子において、磁石体の中心を通り、基板面
の中央と直交する基準線に対し、各磁気抵抗ストライプ
を５０度〜６０度の傾斜角度をつけて、互いにハの字形
に形成することにより、磁気抵抗素子の取付け精度や、
磁石体と磁気抵抗素子の距離の変化の影響を受けにくく
なり、磁気抵抗素子の出力値はほぼ一定となる。
【０００９】
【実施例】以下、本考案にかかる磁気抵抗素子の実施例
について図面を参照しながら説明する。図１、図２にお
いて、磁石体７と一定の距離ｒをおき、かつ、磁石体７
の磁場成分とほぼ平行に配置された基板８の一方の面に
は、第１の磁気抵抗ストライプ１と第２の磁気抵抗スト
ライプ２が形成されている。すなわち、基板８の第１及
び第２の磁気抵抗ストライプ１、２が形成された面が磁
石体７の磁界に対してほぼ平行となるように配置されて
いる。磁気抵抗ストライプ１，２はそれぞれ複数回折り
返されてジグザグ状に形成されている。磁気抵抗ストラ
イプ１，２は、その隣接した一端部がお互いに接続され
ることにより直列に接続され、この接続された部分は基
板８の外側方向に引き延ばされて出力端子３が形成され
ている。一方、磁気抵抗ストライプ１，２の他端部も出
力端子３と同様に基板８の外側方向に引出され、電極
４，５が形成されている。磁気抵抗ストライプ１，２は
基板８の中心線に対し傾斜して形成されて、双方の磁気
抵抗ストライプ１、２でハの字形を描いている。磁石体
７の中心を通り基板８の中央部と直交する基準線６に対
する磁気抵抗ストライプ１，２の傾斜角δは、それぞれ
５０〜７０°の範囲となるように設定されている。磁石
体７は自らが回転するための中心になる回転中心軸を有
するとともに周方向にＮ極とＳ極とを有している。
について図面を参照しながら説明する。図１、図２にお
いて、磁石体７と一定の距離ｒをおき、かつ、磁石体７
の磁場成分とほぼ平行に配置された基板８の一方の面に
は、第１の磁気抵抗ストライプ１と第２の磁気抵抗スト
ライプ２が形成されている。すなわち、基板８の第１及
び第２の磁気抵抗ストライプ１、２が形成された面が磁
石体７の磁界に対してほぼ平行となるように配置されて
いる。磁気抵抗ストライプ１，２はそれぞれ複数回折り
返されてジグザグ状に形成されている。磁気抵抗ストラ
イプ１，２は、その隣接した一端部がお互いに接続され
ることにより直列に接続され、この接続された部分は基
板８の外側方向に引き延ばされて出力端子３が形成され
ている。一方、磁気抵抗ストライプ１，２の他端部も出
力端子３と同様に基板８の外側方向に引出され、電極
４，５が形成されている。磁気抵抗ストライプ１，２は
基板８の中心線に対し傾斜して形成されて、双方の磁気
抵抗ストライプ１、２でハの字形を描いている。磁石体
７の中心を通り基板８の中央部と直交する基準線６に対
する磁気抵抗ストライプ１，２の傾斜角δは、それぞれ
５０〜７０°の範囲となるように設定されている。磁石
体７は自らが回転するための中心になる回転中心軸を有
するとともに周方向にＮ極とＳ極とを有している。
【００１０】次に、磁気抵抗ストライプ１，２の基準線
６に対する傾斜角度δと磁気抵抗との関係について説明
する。傾斜角δを３０°にしたときの磁気抵抗素子と磁
石体との距離ｒと磁気抵抗出力の変化を、直径８．０ｍ
ｍで１８０°ずつＮ極とＳ極が着磁された磁石体７を使
用して調べた。その結果を、図３のグラフに示す。グラ
フの縦軸は磁気抵抗素子の出力、横軸は磁石の回転角度
である。測定は磁石体７と磁気抵抗素子との距離ｒが０
ｍｍの場合、１．０ｍｍの場合、２．０ｍｍの場合、
３．０ｍｍの場合の４つのケースについて行った。図３
のグラフから、磁気抵抗出力は確かに距離ｒのちがいに
よって、異なっていることがわかる。
６に対する傾斜角度δと磁気抵抗との関係について説明
する。傾斜角δを３０°にしたときの磁気抵抗素子と磁
石体との距離ｒと磁気抵抗出力の変化を、直径８．０ｍ
ｍで１８０°ずつＮ極とＳ極が着磁された磁石体７を使
用して調べた。その結果を、図３のグラフに示す。グラ
フの縦軸は磁気抵抗素子の出力、横軸は磁石の回転角度
である。測定は磁石体７と磁気抵抗素子との距離ｒが０
ｍｍの場合、１．０ｍｍの場合、２．０ｍｍの場合、
３．０ｍｍの場合の４つのケースについて行った。図３
のグラフから、磁気抵抗出力は確かに距離ｒのちがいに
よって、異なっていることがわかる。
【００１１】次に、磁気抵抗ストライプ１，２の基準線
６に対する傾斜角度δを１５°から９０°まで変化さ
せ、磁石体７と磁気抵抗素子との距離ｒが０と４ｍｍに
おける磁気抵抗出力の最大値の差を測定した。これを評
価した結果を図４のグラフに示す。グラフの縦軸が磁気
抵抗出力の距離変動に対する出力差を、横軸が傾斜角δ
を示している。測定は磁気抵抗素子間距離ｇが０ｍｍの
場合、０．５ｍｍの場合、１．０ｍｍの場合、１．５ｍ
ｍの場合、２．０ｍｍの場合の５つのケースについて行
った。図４のグラフから、５０°≦δ≦７０°付近が磁
気抵抗出力の距離変動に対する出力差が小さい。しか
も、距離ｒが異なっても、磁気抵抗出力の最大値の変動
が小さいことがわかった。
６に対する傾斜角度δを１５°から９０°まで変化さ
せ、磁石体７と磁気抵抗素子との距離ｒが０と４ｍｍに
おける磁気抵抗出力の最大値の差を測定した。これを評
価した結果を図４のグラフに示す。グラフの縦軸が磁気
抵抗出力の距離変動に対する出力差を、横軸が傾斜角δ
を示している。測定は磁気抵抗素子間距離ｇが０ｍｍの
場合、０．５ｍｍの場合、１．０ｍｍの場合、１．５ｍ
ｍの場合、２．０ｍｍの場合の５つのケースについて行
った。図４のグラフから、５０°≦δ≦７０°付近が磁
気抵抗出力の距離変動に対する出力差が小さい。しか
も、距離ｒが異なっても、磁気抵抗出力の最大値の変動
が小さいことがわかった。
【００１２】図４のグラフからもわかるように、磁気抵
抗素子の磁気抵抗ストライプ１、２の傾斜角δを基準線
６に対して傾斜角度δを５０°〜７０°の範囲に設定す
れば、磁気抵抗素子の取付け精度や、磁石体と磁気抵抗
素子との距離のばらつきにさほど左右されることなく、
安定した磁気抵抗出力を得ることができる。
抗素子の磁気抵抗ストライプ１、２の傾斜角δを基準線
６に対して傾斜角度δを５０°〜７０°の範囲に設定す
れば、磁気抵抗素子の取付け精度や、磁石体と磁気抵抗
素子との距離のばらつきにさほど左右されることなく、
安定した磁気抵抗出力を得ることができる。
【００１３】なお、上記実施例では第１及び第２の磁気
抵抗ストライプ１，２を複数回折り返して形成した場合
について説明したが、これに限られたものではない。例
えば、２つの磁気抵抗ストライプを接続部から両端の電
極に向けて一直線に延びるように形成しても良い。この
場合も、基準線に対する磁気抵抗ストライプの傾斜角度
δを５０°〜７０°の範囲に設定しておけば、磁気抵抗
素子の取付け精度や磁石体との距離の影響を受けること
なく、安定した磁気抵抗出力を得ることが可能である。
抵抗ストライプ１，２を複数回折り返して形成した場合
について説明したが、これに限られたものではない。例
えば、２つの磁気抵抗ストライプを接続部から両端の電
極に向けて一直線に延びるように形成しても良い。この
場合も、基準線に対する磁気抵抗ストライプの傾斜角度
δを５０°〜７０°の範囲に設定しておけば、磁気抵抗
素子の取付け精度や磁石体との距離の影響を受けること
なく、安定した磁気抵抗出力を得ることが可能である。
【００１４】
【考案の効果】本考案によれば、第１及び第２の磁気抵
抗ストライプを形成した面を磁石体の磁界に対してほぼ
平行になるように配置した磁気抵抗素子において、第１
及び第２の磁気抵抗ストライプを、磁石体の中心を通
り、基板面の中央と直交する基準線に対し、５０度〜７
０度の傾斜角度をつけて、互いにハの字形に形成したた
め、磁気抵抗素子の取付け精度や磁石体との距離等に左
右されることなく、安定した磁気抵抗出力を得ることが
できる。
抗ストライプを形成した面を磁石体の磁界に対してほぼ
平行になるように配置した磁気抵抗素子において、第１
及び第２の磁気抵抗ストライプを、磁石体の中心を通
り、基板面の中央と直交する基準線に対し、５０度〜７
０度の傾斜角度をつけて、互いにハの字形に形成したた
め、磁気抵抗素子の取付け精度や磁石体との距離等に左
右されることなく、安定した磁気抵抗出力を得ることが
できる。
【図１】本考案にかかる磁気抵抗素子の実施例を示す平
面図。
面図。
【図２】同上磁気抵抗素子の使用状態を示す斜視図。
【図３】磁気抵抗ストライプの傾斜角度を一定としたと
きの磁石体と磁気抵抗素子との距離の違いによる磁気抵
抗素子出力の違いを示すグラフ。
きの磁石体と磁気抵抗素子との距離の違いによる磁気抵
抗素子出力の違いを示すグラフ。
【図４】磁気抵抗ストライプの傾斜角度と磁気抵抗素子
出力のばらつきとの関係を示すグラフ。
出力のばらつきとの関係を示すグラフ。
【図５】従来の磁気抵抗素子の例を示す平面図。
１ 第１の磁気抵抗ストライプ ２ 第２の磁気抵抗ストライプ ３ 出力端子 ４，５ 電極 ６ 基準線 ７ 磁石体 ８ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 43/08 G01R 33/09
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に強磁性体膜からなる第１及び第
２の磁気抵抗ストライプが形成され、この第１及び第２
の磁気抵抗ストライプの電流通路が互いに直列に接続さ
れ、上記第１及び第２の磁気抵抗ストライプの接続点に
出力端子が設けられ、上記第１及び第２の磁気抵抗スト
ライプの他端側には電流供給用の電極が夫々形成され、
上記第１及び第２の磁気抵抗ストライプが形成された面
が磁石体の磁界に対してほぼ平行になるように配置され
ることにより、上記基板の面に対する上記磁石体の磁場
成分の方向の変化に応じて、上記出力端子の電圧の変化
を検出する磁気抵抗素子において、上記磁石体は自らが回転するための中心になる回転中心
軸を有するとともに周方向にＮ極とＳ極とが形成され、
上記磁石体の中心と磁気抵抗素子の中心とを結ぶ線を基
準線としたとき、上記第１及び第２の磁気抵抗ストライ
プは、上記基準線に対して５０度〜７０度の傾斜角度を
もち、互いにハの字形に形成されていることを特徴とす
る磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992082766U JP2579824Y2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992082766U JP2579824Y2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0641165U JPH0641165U (ja) | 1994-05-31 |
| JP2579824Y2 true JP2579824Y2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=13783565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992082766U Expired - Lifetime JP2579824Y2 (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579824Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH084041B2 (ja) * | 1987-01-27 | 1996-01-17 | 日本電装株式会社 | ポテンシヨメ−タ |
-
1992
- 1992-11-05 JP JP1992082766U patent/JP2579824Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641165U (ja) | 1994-05-31 |
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